CN106503877A - 外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法 - Google Patents

Abstract

本发明的外包晶圆测试品质检验系统，包括外包制造系统、品质标准系统、数据结果系统、外包产品处置系统以及接口系统。本发明的外包晶圆测试品质检验方法中，外包商测试完成后，数据结果系统自动收集和计算每一批次的测试结果，并将测试结果与品质标准进行比对得出比对结果，将不合格的批次晶圆传送到产品处置系统中进行复审，从而发包商仅需对测试过程中发现问题的批次作审查和处置，可大幅缩减发包商和承包商的沟通、系统操作和等待时间，提高晶圆测试的效率和完工品质检验效率。

Description

外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法

技术领域

本发明涉及工业自动化技术领域，尤其涉及一种外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法。

背景技术

在现今的晶圆制造中，需要对每一个制造环节做品质检测，特别是测试环节的良率要求以满足客户对产品品质的要求。一般的，发包商(制造商)将生产的晶圆发给承包商进行外包测试。外包测试过程中，除了承包商需对每一个测试步骤进行品质检验外，发包商对完工产品进行再一次检验是交付给客户之前对产品品质一项重要把关。

目前，大部分的发包商完全信任承包商的检验结果而不对检验结果进行二次检验，但是发包商会承担产品不符合客户品质要求的风险，或者采用发包商的制造执行系统对外包产品按测试流程中的每一个测试步骤进行逐步检验，确保每一步检验过程中对测试品质进行检验直至完工，但这样的检验方法不仅花费发包商较多的人力，而且品质检验的效率很低。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法，对外包测试的测试结果进行自动比对，减少检验过程中的人力，提高检验效率。

为解决上述技术问题，本发明提供一种外包晶圆测试品质检验系统，用于发包商对承包商系统的测试数据进行检验，包括：

外包制造系统，用于发包商新建外包工作订单并存储待检测晶圆的批次的数据；

品质标准系统，用于存储晶圆的测试流程和品质标准；

数据结果系统，用于接收和存储每一批次晶圆的测试数据，并将测试数据进行加工汇总，与品质标准进行比对得出测试结果；

外包产品处置系统，用于存储不符合品质标准的批次的晶圆，并由发包商对所述外包产品处置系统中的晶圆批次进行复审；

接口系统，用于所述外包制造系统、所述品质标准系统、所述数据结果系统以及所述外包产品处置系统与所述承包商系统之间的数据传递。

可选的，承包商系统和发包商之间通过所述接口系统传送的数据包括工作订单、测试流程、品质标准、测试数据以及不合格晶圆批次的处置结果。

可选的，发包商根据客户和内部管控的要求制定晶圆的测试流程和品质标准，测试流程包括若干个测试步骤，每个测试步骤对应一个品质标准。

可选的，每个批次包括若干片晶圆，每片晶圆中包括若干个晶粒，每片晶圆中合格的晶粒的比例为第一良率，每个批次中晶圆的第一良率的平均值为第二良率。

可选的，品质标准为良率标准，良率标准包括第一良率标准和第二良率标准，所述第一良率标准为所述第一良率的最低值，所述第二良率标准为所示第二良率的最低值。

可选的，所述第一良率标准为85％，所述第二良率标准为90％。

相应的，本发明还提供一种外包晶圆测试品质检验方法，采用如权利要求1-6中任意一项所述的外包晶圆测试品质检验方法，包括如下步骤：

发包商制定晶圆的测试流程和品质标准存储于所述品质标准系统中，并将测试流程和品质标准通过所述接口系统提供给承包商；

发包商在所述外包制造系统中新建外包工作订单，发包商将工作订单和晶圆提供给承包商，承包商通过所述接口系统接入外包工作订单，依据测试流程对每一批次的晶圆进行测试，并将测试数据通过所述接口系统传送至数据结果系统；

承包商测试完成之后，所述数据结果系统自动收集和计算每一批次晶圆的测试结果，并连接到所述品质标准系统将测试结果与品质标准进行比对得出比对结果；

所述外包制造系统自动连接到数据结果系统查看比对结果，如符合品质标准，则通过所述接口系统通知承包商将该批次晶圆发货，如不符合品质标准，则将该批次晶圆传输到所述外包产品处置系统中进行复审；

发包商对所述产品处置系统中的批次的晶圆的测试数据进行分析，并决定该批次拆批、报废或继续测试。

可选的，承包商在测试过程中或测试完成后，发现不符合品质标准的晶圆批次时，将该批次晶圆传送到所述外包产品处置保留系统进行复审。

可选的，若对所述产品处置系统中的批次的晶圆拆批，将不符合品质标准的晶圆报废，符合品质标准的晶圆新建立在一个子批次中，所述数据结果系统将子批次的测试数据进行重新收集和计算。

可选的，承包商测试完成后，数据结果系统收到承包商发送的该批次的合计晶粒数量文件。

可选的，发包商在外包制造系统中执行拆批、报废或继续测试的动作时，通过所述接口系统通知承包商在承包商系统中进行相应的动作。

本发明的外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法中，数据结果系统自动收集和计算每一批次的测试结果，并将测试结果与品质标准进行比对得出比对结果，将不合格的批次传送到产品处置系统进行复审，从而发包商仅需对测试过程中发现问题的批次作审查和处置，可大幅缩减发包商和承包商的沟通、系统操作和等待时间，提高晶圆测试的效率和完工品质检验效率。

附图说明

图1为本发明一实施例中的外包晶圆测试品质检验系统的结构的示意图；

图2为本发明一实施例中的外包晶圆测试品质检验的方法流程图。

具体实施方式

下面将结合示意图对本发明的外包晶圆测试品质检验系统及其检验方法进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。

本发明的核心思想在于，承包商根据外包商提供的测试流程以及品质标准对每一批次的产品进行测试，测试完成后，数据结果系统自动获取品质标准系统中的品质标准，对外包测试的测试结果与品质标准进行自动比对得到比对结果，制造系统连接到数据结果系统中查看比对结果并做出判断，将不合格的晶圆批次传输到产品保留系统中进行复审。发包商依据该批次的晶圆的测试数据判定进行继续测试、报废或者拆批，本发明实现测试结果的自动检验，从而提高产品测试的效率。

下文结合图1-2对本发明的外包产品测试系统及其测试方法进行具体说明。

参考图1所示，本发明的外包晶圆测试品质检验系统包括：

外包制造系统1，用于发包商新建外包工作订单并存储待检测晶圆的批次的数据；

品质标准系统3，用于存储晶圆的测试流程和品质标准，发包商根据客户的要求以及内部的管控要求制定的测试流程和品质标准，并将测试流程和品质标准存储在所述品质标准系统3中；

数据结果系统4，用于接收承包商发送的晶圆的测试数据，并存储每一批次的晶圆的测试数据，承包商测试完成之后，所述数据结果系统4将测试数据进行加工汇总，与品质标准进行比对得出测试结果；

外包产品处置系统5，用于存储不符合品质标准的批次的晶圆，并由发包商对所述外包产品处置系统中的晶圆批次进行复审；

接口系统2，承包商相应的建立的自己的承包商系统6，接口系统2用于外包制造系统1、品质标准系统3、数据结果系统4以及外包产品处置系统5与承包商系统6之间的数据传递，承包商和发包商之间传送的数据包括：工作订单、测试流程、品质标准、测试数据以及不合格晶圆批次的处置结果等。

参考图2所示，本发明还提供一种外包晶圆测试品质检验方法，采用图1中所示的外包晶圆测试品质检验系统，测试方法包括如下步骤：

执行步骤S1，发包商根据客户以及内部管控的要求制定晶圆的测试流程和品质标准，将测试流程和品质标志存储于品质标准系统3中，并通过接口系统2提供给承包商，承包商系统6通过接口系统2接收测试流程和品质标准。测试流程包括若干个测试步骤，一般的，需要采用不同的测试方法对晶圆进行测试，要求晶圆能够通过不同的方法的测试，以检测晶圆是否符合客户的要求。

例如，本实施例中，测试流程包括5-7个测试步骤，每一片晶圆逐个经过每一测试步骤，品质标准为晶圆的良率标准，每片晶圆中合格的晶粒的所占的比例为第一良率，在某一步测试步骤过程中，上一测试步骤测试中的不合格的晶粒不进行下一步测试步骤，从而随着测试流程的进行，一片晶圆上的第一良率的值会越来越小。每个批次中所有晶圆的第一良率的平均值为第二良率，随着测试的进行，由于一片晶圆上的第一良率会越来越小，第二良率同样会越来越小。良率标准包括第一良率标准和第二良率标准，第一良率标准即为第一良率的最低值，第二良率标准即为第二良率的最低值。例如，第一良率标准为85％，第二良率标准为90％，良率标准既作为每一测试步骤中的品质标准，也是所有测试步骤完成之后的品质标准。也就是说，在某一步测试过程中，当一片晶圆的第一良率低于第一良率标准，或者第二良率低于第二良率标准时，可以将该批次的晶圆停止测试流程，等待发包商对该批次进行处理。

执行步骤S2，发包商在外包制造系统1中新建外包工作订单，外包工作订单中包括晶圆的批次信息，每个批次包括若干片晶圆，每片晶圆中包括若干个晶粒，例如，一个批次的中包括25片晶圆，每一片晶圆中包括1000颗晶粒，外包制造系统1中存储了这些批次的信息，发包商将外包工作订单和晶圆提供给承包商。接着，承包商在承包商系统6中通过接口系统2接入外包工作订单，并依据发包商提供的测试流程要对每个批次的每一片晶圆进行测试，测试过程中不断的将测试数据传送回数据结果系统4直至测试完成。

执行步骤S3，承包商测试完成之后，承包商会向数据结果系统4发送合计晶粒数量文件(GDC，Good Die Count)。此时，数据结果系统4自动收集、汇总该批次所有测试数据，计算测试完成之后一个批次的晶圆的第一良率的第二良率，并自动连接到品质标准系统3中与良率标准中的第一良率标准和第二良率标准进行比对，得出整个批次以及每一片晶圆是否符合品质标准的比对结果。

执行步骤S4，发包商连接到测试结果系统4中，根据试结果系统4中的比对结果进行判断，如比对结果中显示第一良率、第二良率均符合良率标准，则通知承包商将该批次晶圆发货，如比对结果中显示第二良率不符合第二良率标准，则将该批次晶圆传送到外包产品处置系统5中进行复审。此外，在某一步测试过程中，当一片晶圆的第一良率低于第一良率标准，或者第二良率低于第二良率标准时，将该批次的晶圆停止测试流程，则将该批次晶圆传送到产品处置系统5中进行复审，等待发包商对该批次进行审查决策，从而决定该批次的下一步操作。

执行步骤S5，发包商对外包产品处置系统5的问题批次的晶圆依次进行审查，外包制造系统1可自动连接到数据结果系统4查看该批次的晶圆的详细测试数据，包括整个批次和每一片晶圆在每一个测试步骤中的测试数据信息。如果发包商确认该批次晶圆的问题可以忽略，则将该批次的晶圆完成发货或者继续进行剩下未完成的测试步骤。如果发包商确认该批次晶圆的问题严重，难以符合客户的要求，则将整批晶圆报废。发包商还可以将该批次的晶圆进行拆批，将不符合第一良率的晶圆报废，将其余的晶圆新建在一个子批次中，拆批后的子批次中每一片晶圆在每一步骤的测试数据仍然需数据结果系统进行再一次收集、计算和检验，保证该批次的第一良率和第二良率符合良率标准。

本发明中，数据结果系统4自动收集和计算每一批次的测试结果，并连接到品质标准系统3中将测试结果与品质标准进行比对得出比对结果，将不合格的批次传送到产品处置系统进行复审，从而发包商仅需对测试过程中发现问题的批次作审查和处置，可大幅缩减发包商和承包商的沟通、系统操作和等待时间，提高晶圆测试的效率和完工品质检验效率。

需要说明的是，发包商的外包制造系统1中的产品批次信息与承包商系统5中的产品批次信息应该一致，也就是说，发包商在制造系统1中执行继续测试、报废或拆批动作时，通知承包商进行相应继续测试、报废或拆批动作。

综上所述，本发明的外包晶圆测试品质检验系统，包括外包制造系统、品质标准系统、数据结果系统、外包产品处置系统以及与承包商系统。本发明的外包晶圆测试品质检验方法中，承包商测试完成后，数据结果系统自动获取标准评价系统中的良率标准，对外包测试的测试结果与良率标准进行自动比对，制造系统链接到数据结果系统中查看比对结果并做出判断，将不合格的产品批次传输到产品保留系统中进行复审，发包商判定进行继续测试、报废或者拆批。本发明可以实现测试结果的自动检验，从而提高产品测试的效率。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (11)

1.一种外包晶圆测试品质检验系统，用于发包商对承包商系统的测试数据进行检验，其特征在于，包括：

外包制造系统，用于发包商新建外包工作订单并存储待检测晶圆的批次的数据；

品质标准系统，用于存储晶圆的测试流程和品质标准；

数据结果系统，用于接收和存储每一批次晶圆的测试数据，并将测试数据进行加工汇总，与品质标准进行比对得出测试结果；

外包产品处置系统，用于存储不符合品质标准的批次的晶圆，并由发包商对所述外包产品处置系统中的晶圆批次进行复审；

接口系统，用于所述外包制造系统、所述品质标准系统、所述数据结果系统以及所述外包产品处置系统与所述承包商系统之间的数据传递。

2.如权利要求1所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，承包商系统和发包商之间通过所述接口系统传送的数据包括工作订单、测试流程、品质标准、测试数据以及不合格晶圆批次的处置结果。

3.如权利要求1所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，发包商根据客户和内部管控的要求制定晶圆的测试流程和品质标准，测试流程包括若干个测试步骤，每个测试步骤对应一个品质标准。

4.如权利要求2所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，每个批次包括若干片晶圆，每片晶圆中包括若干个晶粒，每片晶圆中合格的晶粒的比例为第一良率，每个批次中晶圆的第一良率的平均值为第二良率。

5.如权利要求3所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，品质标准为良率标准，良率标准包括第一良率标准和第二良率标准，所述第一良率标准为所述第一良率的最低值，所述第二良率标准为所示第二良率的最低值。

6.如权利要求4所述的外包晶圆测试品质检验系统，其特征在于，所述第一良率标准为85％，所述第二良率标准为90％。

7.一种外包晶圆测试品质检验方法，其特征在于，采用如权利要求1-6中任意一项所述的外包晶圆测试品质检验方法，包括如下步骤：

发包商制定晶圆的测试流程和品质标准存储于所述品质标准系统中，并将测试流程和品质标准通过所述接口系统提供给承包商；

发包商在所述外包制造系统中新建外包工作订单，发包商将工作订单和晶圆提供给承包商，承包商通过所述接口系统接入外包工作订单，依据测试流程对每一批次的晶圆进行测试，并将测试数据通过所述接口系统传送至数据结果系统；

承包商测试完成之后，所述数据结果系统自动收集和计算每一批次晶圆的测试结果，并连接到所述品质标准系统将测试结果与品质标准进行比对得出比对结果；

所述外包制造系统自动连接到数据结果系统查看比对结果，如符合品质标准，则通过所述接口系统通知承包商将该批次晶圆发货，如不符合品质标准，则将该批次晶圆传输到所述外包产品处置系统中进行复审；

发包商对所述产品处置系统中的批次的晶圆的测试数据进行分析，并决定该批次拆批、报废或继续测试。

8.如权利要求7所述的外包晶圆测试品质检验方法，其特征在于，承包商在测试过程中或测试完成后，发现不符合品质标准的晶圆批次时，将该批次晶圆传送到所述外包产品处置保留系统进行复审。

9.如权利要求7或8所述的外包晶圆测试品质检验方法，其特征在于，若对所述产品处置系统中的批次的晶圆拆批，将不符合品质标准的晶圆报废，符合品质标准的晶圆新建立在一个子批次中，所述数据结果系统将子批次的测试数据进行重新收集和计算。

10.如权利要求7所述的外包晶圆测试品质检验方法，其特征在于，承包商测试完成后，数据结果系统收到承包商发送的该批次的合计晶粒数量文件。

11.如权利要求7所述的外包产品测试方法，其特征在于，发包商在外包制造系统中执行拆批、报废或继续测试的动作时，通过所述接口系统通知承包商在承包商系统中进行相应的动作。