CN106461915B - 光学镜头 - Google Patents

光学镜头 Download PDF

Info

Publication number
CN106461915B
CN106461915B CN201480078602.7A CN201480078602A CN106461915B CN 106461915 B CN106461915 B CN 106461915B CN 201480078602 A CN201480078602 A CN 201480078602A CN 106461915 B CN106461915 B CN 106461915B
Authority
CN
China
Prior art keywords
lens
curved surface
optical
radius
curvature
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201480078602.7A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106461915A (zh
Inventor
李家英
周朝明
孙博
黄海
高云峰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd
Original Assignee
Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd filed Critical Han s Laser Technology Industry Group Co Ltd
Publication of CN106461915A publication Critical patent/CN106461915A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106461915B publication Critical patent/CN106461915B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B9/00—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or -
    • G02B9/34—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having four components only
    • G02B9/36—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having four components only arranged + -- +
    • G02B9/38—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having four components only arranged + -- + both - components being meniscus
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/14—Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use with infrared or ultraviolet radiation
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00—Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/001—Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras
    • G02B13/0015—Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras characterised by the lens design
    • G02B13/002—Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras characterised by the lens design having at least one aspherical surface
    • G02B13/004—Miniaturised objectives for electronic devices, e.g. portable telephones, webcams, PDAs, small digital cameras characterised by the lens design having at least one aspherical surface having four lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B9/00—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or -
    • G02B9/34—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having four components only
    • G02B9/36—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having four components only arranged + -- +
    • G02B9/56—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having four components only arranged + -- + all components being simple lenses
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B9/00—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or -
    • G02B9/34—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having four components only
    • G02B9/58—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having four components only arranged - + + -
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B9/00—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or -
    • G02B9/64—Optical objectives characterised both by the number of the components and their arrangements according to their sign, i.e. + or - having more than six components

Abstract

一种光学镜头，包括沿入射光线的传输方向依次共光轴排列的第一透镜(L1)、第二透镜(L2)、第三透镜(L3)和第四透镜(L4)，所述第一透镜(L1)和第四透镜(L4)均为弯月型负透镜，第二透镜(L2)为弯月型正透镜，第三透镜(L3)为平凸型正透镜。上述光学镜头应用至激光加工设备的光学系统中，当采用的加工波长与监控波长不同时，可消除在监控系统中的成像色差，特别是对于采用远红外区的波长作为激光加工的波长，而采用红光波长作为监控波长时，在监控系统中具有更好的成像效果，可保证激光加工质量。

Description

光学镜头
【技术领域】
本发明涉及光学领域，尤其涉及一种应用于激光加工的光学镜头。
【背景技术】
随着激光加工领域技术的日益发展，无论是激光打标还是激光切割等，都希望在激光加工过程实行全程监控，以保证加工质量。目前常用的监控方法是采用CCD监控系统全程监控加工过程，相较于传统的加工系统仅在加工之初以目视对焦即行加工，该CCD监控系统能监控加工的全过程。通过全程监控，在遇有质量问题时即可立刻进行调整，以保证加工质量。
由于目前CCD监控系统对于远红外区的波长“视”觉较差，灵敏度较高的波段多在红光区域，一般采用红光进行监控。而当系统采用远红外区的波长激光进行加工时，就会导致CCD监控系统中的成像存在色差，不能如实地反映加工实况。
【发明内容】
基于此，有必要提供一种光学镜头，其可适用于远红外区的工作波长，同时对于采用红光区域的监控波长时，可消除在监控系统中的成像色差。
一种光学镜头，包括沿入射光线的传输方向依次共光轴排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜和第四透镜均为弯月型负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸型正透镜；所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面、第二透镜包括第三曲面和第四曲面、第三透镜包括第五曲面和第六曲面、第四透镜包括第七曲面和第八曲面，每个透镜的两个曲面分别是透镜的光入射面和光出射面，第一至第八曲面沿入射光线的传输方向依次排布；第一曲面、第二曲面、第三曲面、第四曲面、第六曲面、第七曲面和第八曲面均向入射光线的传输方向凸出。
在其中一个实施例中，所述第一曲面的曲率半径为-27mm±5％，所述第二曲面的曲率半径为-110mm±5％，所述第一透镜的中心厚度为3mm±5％。
在其中一个实施例中，所述第三曲面的曲率半径为-90mm±5％，所述第四曲面的曲率半径为-30mm±5％，所述第二透镜的中心厚度为10mm±5％。
在其中一个实施例中，所述第五曲面的曲率半径为∞，所述第六曲面的曲率半径为-63mm±5％，所述第三透镜的中心厚度为14mm±5％。
在其中一个实施例中，所述第七曲面的曲率半径为-55mm±5％，所述第八曲面的曲率半径为-90mm±5％，所述第四透镜的中心厚度为5mm±5％。
在其中一个实施例中，所述第一透镜的第二曲面与第二透镜的第三曲面在光轴上的间距为2mm±5％，所述第二透镜的第四曲面与第三透镜的第五曲面在光轴上的间距为0.5mm±5％，所述第三透镜的第六曲面与第四透镜的第七曲面在光轴上的间距为20mm±5％。
在其中一个实施例中，该光学镜头还包括第五透镜，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜沿入射光线的传输方向依次共光轴排列，所述第五透镜为平面透镜。
在其中一个实施例中，所述第五透镜的中心厚度为3mm±5％。
在其中一个实施例中，所述第五透镜包括作为光入射面的第九曲面和作为光出射面的第十曲面，所述第五透镜的第九曲面与第四透镜的第八曲面在光轴上的间距为2mm±5％。
上述光学镜头应用至激光加工设备的光学系统中，对于采用远红外区的波长作为激光加工的波长，而采用红光波长作为监控波长时，在监控系统中具有更好的成像效果，可保证激光加工质量。
【附图说明】
通过附图中所示的本发明的优选实施例的更具体说明，本发明的上述及其它目的、特征和优势将变得更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分，且并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。
图1是本发明一实施例的光学镜头的结构示意图。
图2是图1所示实施例的光学镜头的细光束像差图。
图3是图1所示实施例的光学镜头的弥散斑图。
图4是图1所示实施例的光学镜头的调制传递函数M.T.F图。
【具体实施方式】
为使本发明的目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。
需要说明的是，本说明书中光的传播方向是从附图的左边向右边传播。透镜的曲率半径的正负以其曲面与主光轴的交点以及该曲面的球心之间的相对位置关系为准，曲面的球心在该交点以左，则曲率半径为负；反之，曲面的球心在该交点以右，则曲率半径为正。另外，位于光学镜头左边的为物方，位于光学镜头右边的为像方。正透镜是指透镜的中心厚度大于边缘厚度的透镜，负透镜是指透镜的中心厚度小于边缘厚度的透镜。
图1为本发明一实施例提供的光学镜头的结构示意图，为了便于说明，仅示出了与本发明相关的部分。该光学镜头包括沿入射光线的传输方向依次共轴排列的第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3及第四透镜L4。
其中，第一透镜L1包括第一曲面S1和第二曲面S2，第二透镜L2包括第三曲面S3和第四曲面S4，第三透镜L3包括第五曲面S5和第六曲面S6，第四透镜L4包括第七曲面S7和第八曲面S8。每个透镜的两个曲面分别作为光入射面和光出射面，第一曲面S1至第八曲面S8沿入射光线传输的方向依次排布。
第一透镜L1为弯月型负透镜。第一透镜L1的第一曲面S1向像方凸出，曲率半径为-27mm。第二曲面S2向像方凸出，曲率半径为-110mm。第一透镜L1的中心厚度d1(即第一透镜L1在光轴上的厚度)为3mm。上述各参数均为期望值，可以理解允许存在一定公差，上述各参数的公差范围为5％，即允许各参数在期望值±5％的范围内变化。在一实施例中，第一透镜L1的材料为Nd1.62∶Vd34(折射率∶色散系数)。
第二透镜L2为弯月型正透镜。第二透镜L2的第三曲面S3向像方凸出，曲率半径为-90mm。第四曲面S4向像方凸出，曲率半径为-30mm。第二透镜L2的中心厚度d3为10mm。第二透镜L2的上述各参数均为期望值，可以理解允许存在一定公差，上述各参数的公差范围为5％，即允许各参数在期望值±5％的范围内变化。在一实施例中，第二透镜L2的材料为Nd1.62∶Vd60。
第三透镜L3为平凸型正透镜。第三透镜L3的第五曲面S5为平面，曲率半径为无穷大(∞)，第六曲面S6向像方凸出，曲率半径为-63mm。第三透镜L3的中心厚度d5为14mm。第三透镜L3的上述各参数均为期望值，可以理解允许存在一定公差，上述各参数的公差范围为5％，即允许各参数在期望值±5％的范围内变化。在一实施例中，第三透镜L3的材料为Nd1.62∶Vd60。
第四透镜L4为弯月型负透镜。第四透镜L4的第七曲面S7向像方凸出，曲率半径为-55mm。第八曲面S8向像方凸出，曲率半径为-90mm。第四透镜L4的中心厚度d7为5mm。第四透镜L4的上述各参数均为期望值，可以理解允许存在一定公差，上述各参数的公差范围为5％，即允许各参数在期望值±5％的范围内变化。在一实施例中，第四透镜L4的材料为Nd1.5∶Vd62。
另外，发明人对各相邻透镜之间的距离进行了如下设计。具体地，第一透镜L1的出射面(第二曲面S2)与第二透镜L2的入射面(第三曲面S3)在光轴上的间距d2的期望值为2mm，公差为5％，即允许该间距d2在期望值±5％的范围内变化。
第二透镜L2的出射面(第四曲面S4)与第三透镜L3的入射面(第五曲面S5)在光轴上的间距d4的期望值为0.5mm，公差为5％，即允许该间距d4在期望值±5％的范围内变化。
第三透镜L3的出射面(第六曲面S6)与第四透镜L4的入射面(第七曲面S7)在光轴上的间距d6为20mm，公差为5％，即允许该间距d6在期望值±5％的范围内变化。
在一实施例中，该光学透镜还包括第五透镜L5，第一透镜L1、第二透镜L2、第三透镜L3、第四透镜L4及第五透镜L5沿入射光线的传输方向依次共轴排列。
第五透镜L5包括作为光入射面的第九曲面S9和作为光出射面的第十曲面S10。第五透镜L5作为一保护器件，为平面透镜，因此第九曲面S9和第十曲面S10的曲率半径均是无穷大。第五透镜L5的中心厚度d9为3mm。另外，第四透镜L4的第八曲面S8(光出射面)与第五透镜L5的第九曲面S9(光入射面)在光轴上的间距d8为2mm。同样的，上述各参数均为期望值，允许存在一定公差，上述各参数的公差范围同样为5％，即允许各参数在期望值±5％的范围内变化。在一实施例中，第五透镜L5的材料为Nd1.5∶Vd64。
通过以下简列方式对上述实施例的方案进行更清晰的说明：
第一透镜L1
第一曲面S1曲率半径：-27mm
第二曲面S2曲率半径：-110mm
中心厚度：3mm
材料：1.62/34
第二透镜L2
第三曲面S3曲率半径：-90mm
第四曲面S4曲率半径：-30mm
中心厚度：10mm
材料：1.62/60
与第一透镜L1曲面间隔：2mm
第三透镜L3
第五曲面S5曲率半径：∞
第六曲面S6曲率半径：-63mm
中心厚度：14mm
材料：1.62/60
与第二透镜L2曲面间隔：0.5mm
第四透镜L4
第七曲面S7曲率半径：-55mm
第八曲面S8曲率半径：-90mm
中心厚度：5mm
材料：1.5/62
与第三透镜L3曲面间隔：20mm
第五透镜L5
第九曲面S9曲率半径：∞
第十曲面S10曲率半径：∞
中心厚度：3mm
材料：1.5/64
与第四透镜L4曲面间隔：2mm
配备上述光学镜头的光学系统可以采用波长范围1064～660nm的红光或红外光作为光源进行激光加工，且配备了采用红光作为监控光源的CCD监控系统的激光加工设备由于具备该光学镜头，可使CCD成像避免色差，具有较佳的成像效果，从而更好地起到实时监控加工过程的作用。
下面，选用λ＝1064nm的远红外激光和λ＝660nm的可见照明光，并结合图2-图4对具有该光学镜头的激光加工设备的光学效果进行阐述。
该光学镜头的具体参数如下：f＝160mm；Φ＝12mm；打标范围：A＝100*100mm2，其中f为该光学镜头的焦距，Φ为入瞳直径。
如图2所示，是该光学镜头的细光束像差。由图2可看出，该镜头校正色差已达到传统光学物镜的理想校正，像差ΔC≈0.01在焦深之内；
如图3所示，是该镜头的几何像差。校正到了理想水平；
如图4所示，是该镜头的传递函数M.T.F图，已达到甚至超出了一般光学聚焦镜头的水平。
采用上述实施例中的光学镜头，可使工作波段如λ＝1064nm与CCD可见波段λ＝660nm同在一个像面上，这样在整个激光加工过程中，当利用如工作波段λ＝1064nm的激光在打标，它就能如实地反映在CCD的耙面上，从而可监控整个打标的过程，以确保整个打标过程准确无误。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (8)

1.一种光学镜头，其特征在于，包括沿入射光线的传输方向依次共光轴排列的第一透镜、第二透镜、第三透镜和第四透镜，所述第一透镜和第四透镜均为弯月型负透镜，第二透镜为弯月型正透镜，第三透镜为平凸型正透镜；所述第一透镜包括第一曲面和第二曲面、第二透镜包括第三曲面和第四曲面、第三透镜包括第五面和第六曲面、第四透镜包括第七曲面和第八曲面，每个透镜的两个面分别是透镜的光入射面和光出射面，第一至第四曲面、第五面、第六至第八曲面沿入射光线的传输方向依次排布；第一曲面、第二曲面、第三曲面、第四曲面、第六曲面、第七曲面和第八曲面均向入射光线的传输方向凸出；
所述第一曲面的曲率半径为-27mm±5％，所述第二曲面的曲率半径为-110mm±5％，所述第一透镜的中心厚度为3mm±5％。
2.根据权利要求1所述的光学镜头，其特征在于，所述第三曲面的曲率半径为-90mm±5％，所述第四曲面的曲率半径为-30mm±5％，所述第二透镜的中心厚度为10mm±5％。
3.根据权利要求1所述的光学镜头，其特征在于，所述第五面的曲率半径为∞，所述第六曲面的曲率半径为-63mm±5％，所述第三透镜的中心厚度为14mm±5％。
4.根据权利要求1所述的光学镜头，其特征在于，所述第七曲面的曲率半径为-55mm±5％，所述第八曲面的曲率半径为-90mm±5％，所述第四透镜的中心厚度为5mm±5％。
5.根据权利要求1所述的光学镜头，其特征在于，所述第一透镜的第二曲面与第二透镜的第三曲面在光轴上的间距为2mm±5％，所述第二透镜的第四曲面与第三透镜的第五面在光轴上的间距为0.5mm±5％，所述第三透镜的第六曲面与第四透镜的第七曲面在光轴上的间距为20mm±5％。
6.根据权利要求1-5项中任意一项所述的光学镜头，其特征在于，还包括第五透镜，所述第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜及第五透镜沿入射光线的传输方向依次共光轴排列，所述第五透镜为平面透镜。
7.根据权利要求6所述的光学镜头，其特征在于，所述第五透镜的中心厚度为3mm±5％。
8.根据权利要求6所述的光学镜头，其特征在于，所述第五透镜包括作为光入射面的第九面和作为光出射面的第十面，所述第五透镜的第九面与第四透镜的第八曲面在光轴上的间距为2mm±5％。
CN201480078602.7A 2014-09-02 2014-09-02 光学镜头 Active CN106461915B (zh)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/CN2014/085712 WO2016033730A1 (zh) 2014-09-02 2014-09-02 光学镜头

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106461915A CN106461915A (zh) 2017-02-22
CN106461915B true CN106461915B (zh) 2018-04-27

Family

ID=55438980

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201480078602.7A Active CN106461915B (zh) 2014-09-02 2014-09-02 光学镜头

Country Status (5)

Country Link
US (1) US9910252B2 (zh)
JP (1) JP6383863B2 (zh)
CN (1) CN106461915B (zh)
DE (1) DE112014006776B4 (zh)
WO (1) WO2016033730A1 (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108776380B (zh) * 2018-06-01 2021-08-13 戴雅贝森（苏州）科技有限公司 一种复合透镜和光谱仪
CN109633864B (zh) * 2018-12-28 2021-08-17 大族激光科技产业集团股份有限公司 一种用于激光加工的光学镜头、激光加工装置及加工方法

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5642231A (en) * 1994-11-30 1997-06-24 Eastman Kodak Company Compact 3X zoom lens
CN2725917Y (zh) * 2004-06-26 2005-09-14 谢莉 短焦大视场摄像镜头
CN101236303A (zh) * 2007-01-30 2008-08-06 深圳市大族激光科技股份有限公司 激光光场分布整形光学镜头
CN101349800A (zh) * 2007-07-19 2009-01-21 富士能株式会社 图像读取透镜及图像读取装置
CN202119966U (zh) * 2011-04-15 2012-01-18 大立光电股份有限公司 影像撷取镜头
CN103984078A (zh) * 2014-05-30 2014-08-13 深圳市大族激光科技股份有限公司 用于激光光斑与指示光光斑重合的f-theta光学镜头

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2836173B2 (ja) * 1990-03-26 1998-12-14 ミノルタ株式会社 コンパクトなズームレンズ
JP3595374B2 (ja) * 1995-04-14 2004-12-02 ペンタックス株式会社 走査光学系及び走査光学系の球面収差補正方法
JP4197994B2 (ja) 2003-06-19 2008-12-17 コニカミノルタオプト株式会社 撮像装置
CN2725922Y (zh) 2004-06-26 2005-09-14 谢莉 短焦大视场摄像镜头
CN100582853C (zh) 2007-01-30 2010-01-20 深圳市大族激光科技股份有限公司 远心F-theta光学镜头及光学系统
KR101309423B1 (ko) * 2011-11-22 2013-09-23 삼성전기주식회사 초광각 렌즈 모듈

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5642231A (en) * 1994-11-30 1997-06-24 Eastman Kodak Company Compact 3X zoom lens
CN2725917Y (zh) * 2004-06-26 2005-09-14 谢莉 短焦大视场摄像镜头
CN101236303A (zh) * 2007-01-30 2008-08-06 深圳市大族激光科技股份有限公司 激光光场分布整形光学镜头
CN101349800A (zh) * 2007-07-19 2009-01-21 富士能株式会社 图像读取透镜及图像读取装置
CN202119966U (zh) * 2011-04-15 2012-01-18 大立光电股份有限公司 影像撷取镜头
CN103984078A (zh) * 2014-05-30 2014-08-13 深圳市大族激光科技股份有限公司 用于激光光斑与指示光光斑重合的f-theta光学镜头

Also Published As

Publication number Publication date
JP6383863B2 (ja) 2018-08-29
DE112014006776T5 (de) 2017-03-16
JP2017529564A (ja) 2017-10-05
WO2016033730A1 (zh) 2016-03-10
DE112014006776B4 (de) 2019-04-04
US20170219805A1 (en) 2017-08-03
CN106461915A (zh) 2017-02-22
US9910252B2 (en) 2018-03-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN111505832B (zh) 光学组件
US20150370012A1 (en) Imaging apparatus
KR20170016714A (ko) 촬상렌즈
CN105388591B (zh) 大孔径大靶面昼夜型监控镜头及其成像方法
CN103852862A (zh) 一种多功能鱼眼镜头
CN106461917B (zh) 光学镜头
CN106461915B (zh) 光学镜头
CN104570285B (zh) 一种F‑theta光学镜头及激光加工系统
JP6046264B2 (ja) 近赤外線レーザフォーカスレンズ及びレーザ印刷デバイス
JP6019244B2 (ja) 遠赤外線レーザ加工のためのＦθレンズ及びレーザ加工デバイス
CN106415352B (zh) 远心光学镜头
CN203773133U (zh) 一种多功能鱼眼镜头
CN104238071A (zh) 一种F-theta光学镜头及激光加工系统
CN103513427B (zh) 一种产生环形指示光的激光器
CN105573007A (zh) 液晶透镜成像装置和液晶透镜成像方法
CN209560184U (zh) F-θ物镜
CN106537216B (zh) 激光刻线用光学镜头
US9841585B2 (en) Optical lens
CN106660271B (zh) 3d打印机及其采用的镜头模组
CN208126000U (zh) 机器视觉检测镜头
CN209542937U (zh) F-θ物镜
CN106353879B (zh) 光学镜头及具有该光学镜头的激光加工设备
US20170212328A1 (en) Reconnaissance objective lens used for unmanned aircraft
RU2672703C1 (ru) Двухканальная зеркально-линзовая система
CN209560185U (zh) F-θ物镜

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant