CN106440827B - 一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法，该控制方法是先通过温控器时间信号控制烤炉夹层风冷降温和水冷降温，使烤炉的温度由350度降至160度；再通过温控器的PID控制风路和水路的流量改变使烤炉内以每分钟降5度的方式降温至80度为止。本发明要解决的技术问题是针对现有技术的不足，提供一种降温曲线平滑、烘烤效率高、产品质量稳定的无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法。

Description

一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法
技术领域
本发明涉及一种烤炉降温控制方法，尤其是涉及一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法。
背景技术
目前对烤炉的降温方式是通过多次手动定值降温，而烤炉内箱空间一定，从而使得烤炉内的温度降低时难以保持温度下降的曲线趋于平滑，通常是温度呈现直线下降而且无法控制，参阅图4中所示，降温曲线曲率较大，温度和时间线性较差，从而影响了烘烤效率和质量。如在晶圆涂料导电层的固化和封装的制程上使用的烤炉,如果快速降温的话会造成晶圆的龟裂的现象和导电层的导电率变差,从而影响产品的质量。所以让降温曲线平滑可以保证产品的良率，避免二次烘烤，提升效率。
发明内容
本发明要解决的技术问题是针对现有技术的上述不足，提供一种降温曲线平滑、烘烤效率高、产品质量稳定的无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法。
为实现上述目的，本发明提供一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法，该控制方法是先通过温控器时间信号控制恒流量的烤炉夹层风冷降温和水冷降温，使烤炉的温度由350度降至160度；再通过温控器的PID控制风路和水路的流量改变使烤炉内以每分钟降5度的方式降温至80度为止。
作为本发明的进一步改进，通过温控器时间信号控制烤炉夹层风冷降温的风路的流量恒定，使烤炉的温度由350度降至210度降温后，如果温度流失过慢，往水管内注入气体加强冷却，使温度由210度降到190度。
作为本发明的更进一步改进，在往水管注入气体后，如果再次出现温度流失过慢，则开启水路，并限制水路的流量是水管最大输出的10％，使温度由190度降到160度。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：利用温控器PID控制可随时改变风路和水路的流量的大小从而控制住温度的流失，改变烤炉内的温度，从而能够有效的让温度曲线趋于平滑，保证烘烤效率和质量；如果温度流失过慢则注入气体加强冷却，从而可进一步使得温度曲线区域平滑，进一步保证烘烤效率和质量；如果在注入气体过程温度流失再次过慢，则开启水路，利用温控器对水路流量的控制，从而可进一步使得温度曲线区域平滑，进一步保证烘烤效率和质量。
通过以下的描述并结合附图，本发明将变得更加清晰，这些附图用于解释本发明的实施例。
附图说明
图1为温控器发送控制信号的组成单元结构示意图；
图2为冷水比例阀结构示意图；
图3为排风马达控制电路接线结构示意图；
图4是传统降温曲线图；
图5是本发明降温曲线图。
具体实施方式
现在参考附图描述本发明的实施例，附图中类似的元件标号代表类似的元件。
如图1至图3所示，本发明的无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法是：先通过温控器REX-PF900时间信号控制恒定流量的烤炉夹层风冷降温，使烤炉的温度由350度降至210度；如果温度流失过慢，则通过水管往烤炉夹层内注入气体10分钟加强冷却，使温度由210度降到190度。在通过水管注入气体后，如果再次出现温度流失过慢，则开启水路，即利用水管通水进入烤炉的夹层，并限制水路的流量是水管最大输出的10％，使温度由190度降到160度。之后，利用温控器REX-PF900的PID对风路的流量改变使烤炉内以每分钟降5度的方式降温至80度为止。
温控器REX-PF900的输出信号通过模拟量输入模块FX2N-2AD和模拟量输出模块FX2N-2DA转换成两路信号分别给冷却水比例阀1和变频器1HP，从而对风路与水路的流量进行控制。
参阅图5所示，是本发明的方法，用于晶圆涂料后固化降温曲线图，可以看出，图中方框内的降温曲线，非常接近线性，降温平滑，大大提高了产品的质量良品率和产能。
以上结合最佳实施例对本发明进行了描述，但本发明并不局限于以上揭示的实施例，而应当涵盖各种根据本发明的本质进行的修改、等效组合。

Claims (2)

1.一种无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法，其特征在于，该控制方法是先通过温控器时间信号控制烤炉夹层风冷降温和水冷降温，使烤炉的温度由350度降至160度；再通过温控器的PID控制风路和水路的流量改变使烤炉内以每分钟降5度的方式降温至80度为止；
通过温控器时间信号控制烤炉夹层风冷降温的风路的流量恒定，使烤炉的温度由350度降至210度降温后，如果温度流失过慢，往水管内注入气体加强冷却，使温度由210度降到190度。
2.如权利要求1所述的无氧化烤炉气水冷降温斜率控制方法，其特征在于：在往水管注入气体后，如果再次出现温度流失过慢，则开启水路，并限制水路的流量是水管最大输出的10％，使温度由190度降到160度。
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