CN106407486A - 工艺偏差检测电路及方法 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种工艺偏差检测电路及方法，所述电路包括：第一传输路径，用于接收并传输第一使能信号，输出第一传输信号；第二传输路径，用于接收并传输所述第一使能信号，输出第二传输信号；检测单元，用于基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差；其中，所述第一传输路径的工艺偏差敏感度为第一敏感度；所述第二传输路径的工艺偏差敏感度为第二敏感度。

Description

工艺偏差检测电路及方法

技术领域

本发明涉及电子技术领域，尤其涉及一种工艺偏差检测电路及方法。

背景技术

在电路(如集成电路、数模混合集成电路)设计中，为了保证芯片的性能，并且尽量地降低芯片的功耗，通常需要检测出芯片所处的工艺偏差，并根据工艺偏差动态地调整电源电压，从而达到降低功耗的目的。故如何检测及精确的检测出电路的工艺偏差是十分重要的。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例期望提供一种工艺偏差检测电路及方法，以能简便精确够检测出工艺偏差。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：本发明第一方面公开了一种工艺偏差检测电路，所述电路包括：

第一传输路径，用于接收并传输第一使能信号，输出第一传输信号；

第二传输路径，用于接收并传输所述第一使能信号，输出第二传输信号；

检测单元，用于基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差；

其中，所述第一传输路径的工艺偏差敏感度为第一敏感度；

所述第二传输路径的工艺偏差敏感度为第二敏感度。

基于上述方案，所述检测单元包括计数器；

所述计数器包括：

参考时钟信号引脚，用于接收参考时钟；

第一使能引脚，用于接收基于所述第一传输信号形成的第二使能信号，或接收基于所述第二传输信号形成的第三使能信号；

所述计数器，用于基于所述第二使能信号对所述参考时钟进行计数输出第一计数值，或基于所述第三使能信号对所述参考时钟进行计数输出第二计数值；

其中，所述第一计数值和所述第二计数值共同用于表征所述工艺偏差。

基于上述方案，所述检测电路还包括：

异或电路异或电路，用于将所述第一使能信号与所述第一传输信号进行异或处理形成第一异或信号；或用于将所述第一使能信号与所述第二传输信号进行异或处理形成第二异或信号；其中，所述第一异或信号和所述第二异或信号均为异或结果；

与门，用于将所述第一使能信号与所述异或结果进行与处理，形成所述第二使能信号或所述第三使能信号。

基于上述方案，所述检测单元包括模拟信号转换电路；

所述模拟信号转换电路，用于接收所述第一传输信号和所述第二传输信号，并根据所述第一传输信号和第二传输信号的传输时延，输出对应的模拟信号；

所述第一传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模拟信号转换电路输出第一模拟信号；所述第二传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模拟信号转换电路输出第二模拟信号；

所述第一模拟信号和所述第二模拟信号能够共同用于表征所述工艺偏差。

基于上述方案，所述检测单元还包括模数转换器；

所述模数转换器的模拟输入端与所述模拟信号转换电路的输出端相连，用于接收并对所述第一模拟信号或所述第二模拟信号进行模数转换；

所述第一传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模数转换单元输出对应于所述第一模拟信号的第一数字信号；所述第二传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模数转换单元输出对应于所述第二模拟信号的第二数字信号；

所述第一数字信号和所述第二数字信号共同用于表征所述工艺偏差。

基于上述方案，所述第一传输路径和所述第二传输路径均包括M级串联的缓冲器；所述第一传输信号包括M个第一缓冲信号；所述第二传输信号包括M个第二缓冲信号；

所述模拟信号转换电路包括：M个受控电流源及负载电容；

所述第m个受控电流源，用于接收基于第m个所述第一缓冲信号或第m个所述第二缓冲信号形成的控制信号，并根据所述控制信号继续或停止所述负载电容充电；所述m为不大于所述M的整数；其中，所述M不小于1的整数；

所述模数转换器的模拟输入端，与所述负载电容相连，用于将所述负载电容的电容电压转换成对应的数字信号。

基于上述方案，所述检测单元包括时间数字转换器；

所述时间数字信号转换器，用于接收第一传输信号和所述第二传输信号，并输出转换信号；

所述转换信号能够用于表征所述工艺偏差。

基于上述方案，所述时间数字转换电路包括：

N级串联的第三缓冲器，用于接收第一输入信号并对所述第一输入信号进行N级缓冲处理；

N个延迟触发器；

第n个延迟触发器，连接在第n个所述第三缓冲器的输出端，接收所述第二输入信号及已进行n级缓冲处理的第一输入信号，基于所述第二输入信号对所述第一输入信号做延迟触发处理，并输出延迟触发结果；

其中，所述n为不大于N的正整数；所述N为不小于1的整数；

所述第一输入信号为所述第一传输信号，所述第二输入信号为所述第二传输信号；或，所述第一输入信号为所述第二传输信号，所述第二输入信号为所述第一传输信号。

基于上述方案，所述第一传输路径和所述第二传输路径均包括M级串联的缓冲器；

其中，所述M不小于1的整数。

本发明实施例第二方面提供一种工艺偏差检测方法，所述方法包括：

利用第一传输路径接收并传输第一使能信号，输出第一传输信号；

利用第二传输路径接收并传输所述第一使能信号，输出第二传输信号；

基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差；

其中，所述第一传输路径的工艺偏差敏感度为第一敏感度；

所述第二传输路径的工艺偏差敏感度为第二敏感度；

所述第一敏感度不等于所述第二敏感度。

基于上述方案，所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，包括：

接收参考时钟；

接收基于所述第一传输信号形成的第二使能信号或基于所述第二传输信号形成的第三使能信号；

基于所述第二使能信号对所述参考时钟进行计数输出第一计数值，或基于所述第三使能信号对所述参考时钟进行计数输出第二计数值；

其中，所述第一计数值和所述第二计数值共同用于表征所述工艺偏差。

基于上述方案，所述方法还包括：

将所述第一使能信号与所述第一传输信号进行异或处理形成第一异或信号；将所述第一使能信号与所述第二传输信号进行异或处理形成第二异或信号；其中，所述第一异或信号和所述第二异或信号均为异或结果；

将所述第一使能信号与所述异或结果进行与处理，形成所述第二使能信号或所述第三使能信号。

基于上述方案，所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，包括；

接收所述第一传输信号和所述第二传输信号，并根据所述第一传输信号和第二传输信号的传输时延，输出对应的模拟信号；其中，对所述第一传输信号进行模拟信号转换时，输出第一模拟信号；对所述第二传输信号进行模拟信号转换时，输出第二模拟信号；所述第一模拟信号和所述第二模拟信号能够共同用于表征所述工艺偏差。

基于上述方案，所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，还包括；

接收并对所述第一模拟信号或所述第二模拟信号进行模数转换，形成数字信号；其中，所述数字信号包括对应于所述第一模拟信号的第一数字信号及对应于所述第二模拟信号的第二数字信号；

所述第一数字信号和所述第二数字信号共同用于表征所述工艺偏差。

基于上述方案，所述第一传输信号包括M个第一缓冲信号；其中，第m个所述第一缓冲信号是对第m-1个所述第一缓冲信号进行缓冲处理形成的；

所述第二传输信号包括M个第二缓冲信号；其中，第m个所述第二缓冲信号是对第m-1个所述第二缓冲信号进行缓冲处理形成的；

所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，还包括；

根据基于第m个所述第一缓冲信号或第m个所述第二缓冲信号形成的控制信号，继续或停止第m个受控电流源向负载电容充电；，

将所述负载电容的电容电压转换成对应的数字信号；

所述m为不大于所述M的整数；其中，所述M不小于1的整数。

基于上述方案，所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，包括：

对第一传输信号和所述第二传输信号进行时间数字转换处理，并输出转换信号；所述转换信号能够用于表征所述工艺偏差。

基于上述方案，所述对第一传输信号和所述第二传输信号进行时间数字转换处理，并输出转换信号，包括：

接收第一输入信号并对所述第一输入信号进行N级缓冲处理；

基于所述第二输入信号对已进行n级缓冲处理的第一输入信号做延迟触发处理，并输出延迟触发结果；其中，所述n为不大于N的正整数；所述N为不小于1的整数；

所述第一输入信号为所述第一传输信号，所述第二输入信号为所述第二传输信号；或，所述第一输入信号为所述第二传输信号，所述第二输入信号为所述第一传输信号。

基于上述方案，所述利用第一传输路径接收并传输第一使能信号，输出第一传输信号，包括：

利用位于所述第一传输路径上的M级串联的缓冲器对所述第一使能信号进行缓冲处理，形成所述第一传输信号；

所述利用第二传输路径接收并传输所述第一使能信号，输出第二传输信号，包括：

利用位于所述第二传输路径上的M级串联的缓冲器对所述第一使能信号进行缓冲处理，形成所述第二传输信号；

其中，所述M不小于1的整数。

本发明实施例所述的工艺偏差检测电路及方法，通过检测第一传输路径和第二传输路径传输的第一传输信号和第二传输信号的传输时延，能够简便的检测表征所述工艺偏差的信号，从而实现了工艺偏差精确和简便的检测。

附图说明

图1为本发明实施例提供的第一种工艺偏差检测电路的结构示意图；

图2为本发明实施例提供的一种缓冲器的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的第二种工艺偏差检测电路的结构示意图；

图4为图3所示电路的一种工作时序图；

图5为本发明实施例提供的第三种工艺偏差检测电路的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种负载电容的电容电压与充电时间的函数关系图；

图7为本发明实施例提供的第四种工艺偏差检测电路的结构示意图；

图8为本发明实施例提供的所述工艺偏差检测方法的流程示意图。

具体实施方式

以下结合说明书附图及具体实施例对本发明的技术方案做进一步的详细阐述。

电路实施例：

如图1所示，本实施例提供一种工艺偏差检测电路，所述电路包括：

第一传输路径110，用于接收并传输第一使能信号，输出第一传输信号；

第二传输路径120，用于接收并传输所述第一使能信号，输出第二传输信号；

检测单元130，用于基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差；

其中，所述第一传输路径的工艺偏差敏感度为第一敏感度；

所述第二传输路径的工艺偏差敏感度为第二敏感度。

在本实施例中提供了一种检测电路，该检测电路中设置有两条传输路径；这两条传输路径对工艺敏感度可以一样，也可不一样的；即所述第一敏感度可等于或不等于所述第二敏感度。所述第一敏感度和所述第二敏感度中的其中一个为已知的或可忽略不计的；此处的忽略不计为对工艺偏差敏感度小，工艺偏差对其电气性特性的影响可忽略不计，这样的话该敏感度对应的传输路径就可作为另一条传输路径的参考传输路径。

通常所述第一传输路径110和第二传输路径120中的其中一条为工艺敏感度是小于预定阈值，该传输路径可作为工艺偏差检测的参考传输路径。所述预定阈值可为事先预定的值，可为根据模拟仿真或对试验品的检测确定得到的阈值。若工艺偏差敏感度小于所述预定阈值，则表示该条传输路径对工艺偏差不敏感的参考传输路径；且通常参考传输路径由于对工艺偏差的敏感度小，在进行检测可以忽略不计。且对参考传输路径的工艺偏差的忽略不计，对工艺偏差检测精确度一般很小。

当然，所述第一传输路径110和第二传输路径120中的其中一条对工艺敏感度可以是事先通过模拟仿真或对试验品预先知道的，这时，该条传输路径也可以作为上述参考传输路径，用于工艺偏差检测。

在本实施例中还包括检测单元130，所述检测单元130通过检测所述第一传输路径和第二传输路径对信号传输的时延来确定工艺偏差。当不存在工艺偏差时，制作出的所述第一传输路径和所述第二传输路径都应该是按照设计标准，在指定时延将信号传输到指定的电子元器件，由于工艺偏差的存在可能导致制作出的传输路径的阻抗等电气特性发生了改变，从而将导致信号传输时延过大或传输时延过小等问题，故在本实施例中利用所述检测单元通过检测第一传输路径和第二传输路径的传输时延，就能检测出所述工艺偏差。

本实施例所述工艺偏差检测电路可为集成芯片内部电路的组成部分、也可以为印刷电路板上电路的组成部分，这些电路结构中通过增设本实施例中所述工艺偏差检测电路，方便对这些电路结构进行工艺偏差检测，从而能够精确的确定出需要给所述电路结构中对应的电子元器件提供的电源。

在本实施例中所述第一传输路径和所述第二传输路径均包括M级串联的缓冲器；其中，所述M不小于1的整数。譬如所述M为2、3、4、5、7……、20……、30……等值，具体的取值范围根据电路设计的需要来设定。

所述缓冲器能够用于暂时缓冲输入信号，对输入信号做一定延时处理之后，输入对应的输入信号。

如图2所示，本实施例提供一种前述缓冲器的内部结构。所述缓冲器包括一个输入端、一个输出端、两个P沟道金属氧化物半导体场效应晶体管(Positivechannel Metal Oxide Semiconductor，PMOS)及两个N沟道金属氧化物半导体场效应晶体管(Negative channel Metal Oxide Semiconductor，NMOS)。两个所述PMOS分别为图2中的M1和M2；两个所述NMOS分别为图2中的M3和M4。所述缓冲器的输入端连接在M1和M3的栅极。M1和M2的漏极都与电源电压相连。M1的源极与M3的漏极相连，M3的源极接地。M4的漏极与M2的源极相连，M4的源极接地。M2和M4的栅极连接在M3的漏极。M2的源极和M4的漏极与输出端相连。采用如图2所示的缓冲器，具有结构简单及制作成本低廉的特点。

如图1所示，为了方便控制所述检测电路的工作，在所述第一传输路径110设置有第一受控开关K1，在所述第二传输路径120设置有第二受控开关K2，所述第一受控开关K1和第二受控开关K2，能够用于导通或断开所述第一传输路径110和所述第二传输路径120。所述第一受控开关K1和第二受控开关K2可为晶体管或三极管等结构。采用所述晶体管或三极管具有结构简单、成本低等特点。在本实施例中通过所述第一受控开关K1和第二受控开关K2的设置，能够便捷的控制所述工艺偏差检测电路的工作状态。

所述检测单元的电路结构有多种，以下提供几种可选方式。

第一种：

如图3所示，所述检测单元130包括计数器；

所述计数器包括：

参考时钟信号引脚CLK，用于接收参考时钟；

第一使能引脚EN，用于接收基于所述第一传输信号形成的第二使能信号，或接收基于所述第二传输信号形成的第三使能信号；

所述计数器，用于基于所述第二使能信号对所述参考时钟进行计数输出第一计数值，或基于所述第三使能信号对所述参考时钟进行计数输出第二计数值；

其中，所述第一计数值和所述第二计数值共同用于表征所述工艺偏差。

本实施例中所述计数器的参考时钟信号引脚CLK，接收参考时钟。第一使能引脚EN用于接收使能信号。而第一使能引脚接收EN的使能信号是基于第一传输信号形成的第二使能信号或基于第二传输信号形成的第三使能信号。

本实施例中所述计数器用于在所述第二使能信号或所述第三使能信号的作用下，对接收到的时钟信号进行计数。所述计数器具体用于在第二使能信号和第二使能信号使能所述计数器的情况下，每接收到一个所述参考时钟周期就计1。所述第一计数值和第二计数值均为图3中计数器输出的计数结果。

图4为本实施例中利用计数器形成检测单元130的一个时序图。在图4中，标准时延对应的时钟个数P1、时延过大对应的时钟个数P3及时延过小的时钟个数P2。所述P1、P2和P3都可能成为图3所示计数器的计数结果。当然在本实施例中基于第一传输信号和第二传输信号分别形成所述第二使能信号和第三使能信号，这样的所述计数器的结果在一次检测时，仅可能两个计数结果。将其中一个计数结果视为标准时延对应的时钟个数P1进行工艺偏差的确定。

本实施例中所述第二使能信号和所述第三使能信号的形成电路有很多种，以下提供一种简便的实现方式。所述检测电路130还包括：异或电路，用于将所述第一使能信号与所述第一传输信号进行异或处理形成第一异或信号；或用于将所述第一使能信号与所述第二传输信号进行异或处理形成第二异或信号；其中，所述第一异或信号和所述第二异或信号均为异或结果；与门，用于将所述第一使能信号与所述异或结果进行与处理，形成所述第二使能信号或所述第三使能信号。

采用上述异或电路和与门形成所述第二使能信号和第三使能信号具有电路结构简单、器件成本低等特点。

在图3中还包括两个第一受控开关SW11和SW12；两个第二受控开关SW21和SW22。两个第一受控开关分别位于第一传输路径110的两端；两个所述第二受控开关分别位于所述第二传输路径120的两端。这些受控开关均用于控制所述第一传输路径110和第二传输路径120的工作状态。

在后续具体确定工艺偏差时，可以通过比较所述第一计数值和所述第二计数值，确定出所述工艺偏差。

值得注意的是：在本种结构中，若所述第一传输路径110和第二传输路径120均包括M级的缓冲器，所述第一传输信号为第一传输路径110最后一级所述缓冲器的输出信号；所述第二传输信号的为所述第二传输路径120最后一级所述缓冲器的输出信号。

第二种：

所述检测单元130包括模拟信号转换电路。

所述模拟信号转换电路，用于接收所述第一传输信号和所述第二传输信号，并根据所述第一传输信号和第二传输信号的传输时延，输出对应的模拟信号；

所述第一传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模拟信号转换电路输出第一模拟信号；所述第二传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模拟信号转换电路输出第二模拟信号；

所述第一模拟信号和所述第二模拟信号能够共同用于表征所述工艺偏差。

本实施例中将所述第一传输信号转换成模拟信号转换电路，这样的话，就能把具有不同延时的第一传输信号和第二传输信号，转换成第一模拟信号和第二模拟信号。在检测所述工艺偏差时，通过比对所述第一模拟信号和第二模拟信号，就可以知道电路的工艺偏差。所述第一模拟信号和第二模拟信号均可为电压信号或电流信号等。

如图5所示，所述检测单元130还包括模数转换器(Analog-to-DigitalConvertor，ADC)。所述模数转换器的模拟输入端与所述模拟信号转换电路的输出端相连，用于接收并对所述第一模拟信号或所述第二模拟信号进行模数转换；所述第一传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模数转换单元输出对应于所述第一模拟信号的第一数字信号；所述第二传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模数转换单元输出对应于所述第二模拟信号的第二数字信号；所述第一数字信号和所述第二数字信号共同用于表征所述工艺偏差。

在本实施例中为了方便确定所述工艺偏差，不用检测第一模拟信号和第二模拟信号，引入了模式转化器，通过模数转换器ADC直接表征第一数字信号和第二数字信号。通过比较所述第一数字信号和所述第二数字信号，就知道第一传输路径110和第二传输路径120的传输时延，进而确定出工艺偏差。

作为本种结构的进一步限定。所述第一传输路径110和所述第二传输路径120均包括M级串联的缓冲器；所述第一传输信号包括M个第一缓冲信号；所述第二传输信号包括M个第二缓冲信号。本申请实施例中所述缓冲器串联是指前一级缓冲器的输出作为后一级缓冲器的输入，直至到最后一级缓冲器。所述M的取值可为2、3或4等整数。

所述模拟信号转换电路包括：M个受控电流源I及负载电容C；所述第m个受控电流源I，用于接收基于第m个所述第一缓冲信号或第m个所述第二缓冲信号形成的控制信号，并根据所述控制信号继续或停止所述负载电容C充电；所述m为不大于所述M的整数；其中，所述M不小于1的整数。在具体的实现时，M个所述受控电流源可以封装为一个整体，包括M个向负载电容C供电的供电电路。

所述控制信号可采用如图5所示的通过受控开关SW12和受控开关SW22所在的总线，将第一传输路径110或第二传输路径120输出的第一缓冲信号或第二缓冲信号及第一使能信号输入异或电路进行异或处理，异或处理之后形成的异或结果为受控电流与I的控制信号。第一使能信号传输到第一传输路径110的第m个缓冲器时，所述第m个缓冲器输出端的第一缓冲信号为高电平，第一使能信号也为高电平，通过与第一使能信号的异或处理，将形成输出为逻辑低电平的控制信号，该控制信号控制控制第m个受控电源停止向负载电容充电。当然若所述第一使能信号为传输到第m个缓冲器则第m个缓冲器的输出可为逻辑低电平且所述第一使能信号已过了所述第m个缓冲器，则所述第m个缓冲器的输出也为所述逻辑低电平。所述逻辑高电平为相对于参考电平比所述逻辑低电平相对于参考电平的电平高。所述模数转换器的模拟输入端，与所述负载电容C相连，用于将所述负载电容C的电容电压V_Cap转换成对应的数字信号。这里所述电容电压V_Cap即为前述所述第一模拟信号和所述第二模拟信号。

每一个所述受控电路受一个所述第一缓冲器和一个所述第二缓冲器控制，根据所述第一缓冲器或第二缓冲器的输出，确定是否向所述负载电容C充电。在图5所示的电路中，采用时分复用的方式，在不同时间内导通所述第一传输路径110与所述受控电流源I的连接，及所述第二传输路径120与所述受控电流源I的连接。若传输路径传输信号的时延越小，则受控电容接收到所述传输信号的时间越短，则对所述负载电容C充电的时间也就越短，这样从而会影响所述负载电容C最后被停止充电时的电容电压V_Cap；这样的话，所述模数转换器ADC接收到的模拟信号输入就不同，从而将输出不同值的数字信号。

利用本实施例所述的工艺偏差检测电路分别检测所述第一传输路径110和第二传输路径传输的信号作用于所述受控电流源I时，所述模数转换器ADC输出的数字信号，并最终比较这两个数字信号就可以简便精确的检测出所述工艺偏差。

本种检测单元的结构，相对于第一种方式，采用的模拟信号转换电路及模数转换器ADC等结构来进行检测，不用额外引入参考时钟。这样的话，当集成芯片中需要检测多个集成芯片内的元器件附件的工艺偏差时，可以在所述集成芯片中灵活的设置多个本实施例中所述工艺偏差检测电路，而不用考虑在多个工艺偏差检测电路需要采用同样的参考时钟，导致参考时钟限制了检测电路布局或影响集成芯片内部其他功能结构的设置的问题。

图6所示的为图5所述负载电容C的充电时间与电容电压V_Cap的函数关系图。在图6中横轴表示充电时间，纵轴表示充电电容V_Cap。而所述充电时间取决于所述第一传输路径110和所述第二传输路径120上各级缓冲器输出的信号的时延，时延越小，对应的受控电流源I向充电电容充电C充电的时间越短，对形成较大的所述电容电压V_Cap的贡献值就越小。

在图5中同样在所述第一传输路径110的两端设置有第一受控开关SW11和SW12，在所述第二传输路径120的两端设置有第二受控开关SWE21和SW22。第一受控开关用于控制所述第一传输路径110的工作状态，第二受控开关用于控制所述第二传输路径120的工作状态。

在所述检测单元130的第一种结构和第二种结构中，在进行所述工艺偏差检测时，若所述第一受控开关闭合，所述第一传输路径110处于工作状态向所述检测单元130传输信号，在所述第二受控开关处于断开，所述第二传输路径120处于非工作状态，所述检测单元130是基于所述第一传输路径110形成的第一传输信号形成检测结果。若所述第二受控开关闭合，所述第二传输路径120处于工作状态向所述检测单元130传输信号，在所述第一受控开关处于断开，所述第一传输路径110处于非工作状态，所述检测单元130是基于所述第二传输路径120形成的第一传输信号形成检测结果。在后续确定所述工艺偏差时，将这两次的检测结果进行比对等处理，就能精确简便的确定出所述工艺偏差。

值得注意的是：在本种结构中，所述第一传输信号包括M个子信号，分别为每一级所述第一缓冲器的输出结果；所述第二传输信号也包括M个子信号，分别是每一级所述第二缓冲器的输出结果。

本实施例中所述第一缓冲器和所述第二缓冲器的结构可以采用图2中所示的缓冲器，也可以采用其他结构的缓冲器。

第三种：

所述检测单元130包括时间数字转换器(Time-to-Digital Convertor，TDC)；

所述时间数字信号转换器，用于接收第一传输信号和所述第二传输信号，并输出转换信号；所述转换信号能够用于表征所述工艺偏差。

所述第一传输信号和所述第二传输信号中有一个作为所述时间数字信号转换器的采样时钟，另外一个则作为所述时间数字信号转换器的采样信号。若所述第一传输信号与所述第二传输信号的传输时延一致，则所述TDC的转换信号中输出1的个数与输出0的个数相等。若所述第一传输信号和所述第二传输信号的输出延时不一致，则所述TDC的转换信号中输出1的个数与输出0的个数不等。最后在确定所述工艺偏差时，可以根据转换信号中0和1的个数以及0和1的相差个数计算出所述工艺偏差。

如图7所示，所述时间数字转换电路TDC包括：

N级串联的第三缓冲器，用于接收第一输入信号并对所述第一输入信号进行N级缓冲处理。

N个延迟触发器；

第n个延迟触发器，连接在第n个所述第三缓冲器的输出端，接收进行了n级缓冲处理的第一输入信号及第二输入信号，基于所述第二输入信号对所述第一输入信号做延迟触发处理，并输出延迟触发结果；

其中，所述n为不大于N的正整数；所述N为不小于1的整数；

所述第一输入信号为所述第一传输信号，所述第二输入信号为所述第二传输信号；或，所述第一输入信号为所述第二传输信号，所述第二输入信号为所述第一传输信号。

所述N个触发器依次是：Q0、Q1、Q2……QN-1及QN。所述N个延迟触发器在所述第一输入信号和所述第二输入信号的作用下，每一个所述延迟触发器将在其输出端Q输出为0或1的所述延迟触发结果。N个所述延迟触发结果共同组成了所述转换信号。通过统计所述时间数字转换器TDC内N个延迟触发器的所述延迟触发结果中的0或1的个数，从而能够确定工艺偏差。

所述第三缓冲器的具体结构均可以采用如图2中所示结构，也可以采用现有技术中其他的缓冲器。总之所述缓冲器用于对信号进行缓冲延时处理。

显然本实施例所述第三种检测单元130，检测形成的一次转换信号，就能表征出工艺偏差；相对前述两种方法具有检测响应速度快的特点。同样，本种方式中的所述检测电路130仅需输入一个第一使能信号即可，不用引入参考时钟等信号，具有结构简单及信号输入简单的特点。

本种结构中，图7所示的结果中，采用所述第一输入信号为第二传输信号，所述第二输入信号为所述第二传输信号。

和所述第二输入信号采用的

方法实施例：

如图8所示，本实施例提供一种工艺偏差检测方法，所述方法包括：

步骤S110：利用第一传输路径接收并传输第一使能信号，输出第一传输信号；

步骤S120：利用第二传输路径接收并传输所述第一使能信号，输出第二传输信号；

步骤S130：基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差；

其中，所述第一传输路径的工艺偏差敏感度为第一敏感度；

所述第二传输路径的工艺偏差敏感度为第二敏感度。

本实施例所述方法能够应用于前述电路实施例中所述的工艺偏差检测电路中，所述第一传输路径和所述第二传输路径中的一个作为另一个的参考传输路径。而通常所述参考传输路径的工艺偏差敏感度已知或可忽略不计，这样通过两个传输路径形成的第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，就能简便精确的测量出所述工艺偏差。

所述步骤S130可包括多种实现方式，以下介绍三种可选方式：

方式一：

所述步骤S130可包括：

接收参考时钟；

接收基于所述第一传输信号形成的第二使能信号或基于所述第二传输信号形成的第三使能信号；

基于所述第二使能信号对所述参考时钟进行计数输出第一计数值，或基于所述第三使能信号对所述参考时钟进行计数输出第二计数值；

其中，所述第一计数值和所述第二计数值共同用于表征所述工艺偏差。

此处所述的步骤S130可应用于如图3所示的电路中，通过所述计数器，基于第二使能信号和第三使能信号对接收的参考时钟周期进行计数，从而获得将第一传输信号和第二传输信号的传输时延，转换成对所述参考时钟周期的第一计数值和第二计数值。在后续计算所述工艺偏差时，可通过比对所述第一计数值和所述第二计数值，确定出所述工艺偏差。

本实施例所述的确定所述工艺偏差的方法，具有实现简单及实现电路结构简单的特点。

所述方法还包括：

将所述第一使能信号与所述第一传输信号进行异或处理形成第一异或信号；将所述第一使能信号与所述第二传输信号进行异或处理形成第二异或信号；其中，所述第一异或信号和所述第二异或信号均为异或结果；

将所述第一使能信号与所述异或结果进行与处理，形成所述第二使能信号或所述第三使能信号。

此处，进一步限定了如何根据第一传输信号和第二传输信号，分别形成所述第二使能信号和第三使能信号。

本实施例所述异或处理可以采用逻辑电路异或电路来实现。所述与处理可以采用逻辑电路与门来实现。

基于所述第一传输信号和第二传输信号形成所述第二使能信号和所述第三使能信号的方法还有多种，不局限于上述任意一种，此处就不再一一进行描述了。

方式二：

所述步骤S130也可包括；

接收所述第一传输信号和所述第二传输信号，并根据所述第一传输信号和第二传输信号的传输时延，输出对应的模拟信号；其中，对所述第一传输信号进行模拟信号转换时，输出第一模拟信号；对所述第二传输信号进行模拟信号转换时，输出第二模拟信号；所述第一模拟信号和所述第二模拟信号能够共同用于表征所述工艺偏差。

所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，可能相同也可能不同，在本实施例中，将所述第一传输信号和第二传输信号对应转换成模拟信号。此处的模拟信号可包括电压信号和电流信号。所述模拟信号可以用电流表或电压表等能够检测模拟信号的检测器件检测到，检测到的所述模拟信号可用于表征所述工艺偏差。

当然在具体实现，本实施例中不是直接测量第一传输信号和第二传输信号的传输时延，例如通过计时器件分别计量第一传输信号和第二传输信号达到的时间，通过到达时间差表征所述工艺偏差。这样方式虽然可以实现表征工艺偏差的参数的测量，但是要求所述计时器件的灵敏度和精确度高，就当前的计时仪表的性能，可能实现较为困难。但是不排除后续随着技术的发展，利用所述计时器件也能简易的测量出表征所述工艺偏差的参数。故结合前述电路实施例，所述检测单元130还可以包括计时器等计时器件。而在本实施例中为了实现检测简便，将第一传输信号和第二传输信号通过模拟信号转换，转换成电压或电流等模拟信号，简化了测量。结合前述电路实施例可知，所述检测单元130还可包括测量所述模拟信号的检测仪表等结构。

具体地，所述步骤S130还包括；

接收并对所述第一模拟信号或所述第二模拟信号进行模数转换，形成数字信号；其中，所述数字信号包括对应于所述第一模拟信号的第一数字信号及对应于所述第二模拟信号的第二数字信号；

所述第一数字信号和所述第二数字信号共同用于表征所述工艺偏差。

在本实施例中进一步简化处理，还将所述第一模拟信号和第二模拟信号机型模数转换处理，这样输出的结果直接为数字信号。所述数字信号方便进行比对处理等操作，确定出所述工艺偏差。

进行所述模数转换可以采用模数转换器ADC来进行。

作为本实施例中的进一步改进，所述第一传输信号包括M个第一缓冲信号；其中，第m个所述第一缓冲信号是对第m-1个所述第一缓冲信号进行缓冲处理形成的；所述第二传输信号包括M个第二缓冲信号；其中，第m个所述第二缓冲信号是对第m-1个所述第二缓冲信号进行缓冲处理形成的。

即所述步骤S110可包括：对所述第一使能信号进行M级缓冲处理，形成包括M个第一缓冲信号的第一传输信号；且将第m-1个所述第一缓冲信号输入进行第m级缓冲处理形成所述第m个所述第一缓冲信号。

所述步骤S120可包括：对所述第一使能信号进行M级缓冲处理，形成包括M个第二缓冲信号的第二传输信号；且将第m-1个所述第二缓冲信号输入进行第m级缓冲处理形成所述第m个所述第二缓冲信号。

这样的话，所述步骤S130还包括；

根据基于第m个所述第一缓冲信号或第m个所述第二缓冲信号形成的控制信号，控制第m个受控电流源向负载电容充电；

将所述负载电容的电容电压转换成对应的数字信号；

所述m为不大于所述M的整数；其中，所述M不小于1的整数。

通常所述第m个受控电流源在接收到所述第一缓冲信号后，所述第m个受控电流源停止向所述负载电容供电，这样的话，所述第m个受控电流源向所述负载电容供电的时间就短，这样就会导致所述负载电容的电容电压较小。

在本实施例中利用第一缓冲信号和第二缓冲信号，在不同的时间点分别作为所述受控电流源的控制信号，通过向所述负载电容，实现将第一传输信号和第二传输信号转换成对应的模拟信号。为了方便检测，将在所述第一传输信号和第二传输信号分别控制下形成的负载电容的电容电压作为模拟信号进行模数转换形成对应的数字信。后续通过比对所述第一数字信号和所述第二数字信号等处理，可以精确计算出所述工艺偏差。

本方式所述的方法可以应用于如图5所示的电路中。

方式三：

所述步骤S130可包括：

对第一传输信号和所述第二传输信号进行时间数字转换处理，并输出转换信号；所述转换信号能够用于表征所述工艺偏差。

在本实施例中所述时间数字转换处理可为由时间数字转换器TDC进行处理操作。将所述第一传输信号和第二传输信号的传输时延，通过时间数字转换处理，利用转换信号来表征所述工艺偏差，同样具有实现简单的特点。

在本方式中，所述步骤S130可具体包括：

接收第一输入信号并对所述第一输入信号进行N级缓冲处理；

基于所述第二输入信号对已进行n级缓冲处理的第一输入信号做延迟触发处理，并输出延迟触发结果；其中，所述n为不大于N的正整数；所述N为不小于1的整数；

所述第一输入信号为所述第一传输信号，所述第二输入信号为所述第二传输信号；或，所述第一输入信号为所述第二传输信号，所述第二输入信号为所述第一传输信号。

在本方式中可以利用缓冲器做所述缓冲处理，所述缓冲器可如图2所示的缓冲器。可以利用所述延时触发器做所述延时触发处理。N个所述延时触发器形成的延时触发结果作为所述转换结果。

在本方式中优选为所述第二传输路径作为所述参考传输路径，所述第一传输路径作为所述检测路径。

本方式中所述的方法能够应用于图7所示的工艺偏差检测电路中。

本实施例提供例一种有别于方式一和方式二的另一种表征工艺偏差的参数的检测方法，同样具有实现简单的特点，且具有检测速度快的特点。

在方式一和方式三中，所述步骤S110可包括：利用位于所述第一传输路径上的M级串联的缓冲器对所述第一使能信号进行缓冲处理，形成所述第一传输信号。所述步骤S120可包括利用位于所述第二传输路径上的M级串联的缓冲器对所述第一使能信号进行缓冲处理，形成所述第二传输信号；其中，所述M不小于1的整数。

以上结合上述任意实施例提供三个具体示例：

示例一：

在应用场景中如果有参考时钟及计数器，可以采用如图3为计数器实现工艺偏差的检测。

检测电路包括第一传输路径110、第二传输路径120、一个异或电路，一个与门以及一个计数器。

通过控制受控开关SW11、SW12、SW21和SW22来选择第一使能信号传输的路径。

第一步：首先选择第一传输路径110，第一使能信号与第一传输路径110的输出信号经过异或电路及与门组成的逻辑，作为计数器的使能信号。当计数器的使能信号为高电平，并且高电平并未传输到第一传输路径110的输出A端时，计数器的EN端为高，计数器开始并持续计数；当使能信号的高电平传输到第一传输路径110的输出A端时，计数器的EN端为低，计数器停止并保持计数结果。

假设第一传输路径110的时延受工艺偏差影响很小，因此第一传输路径110的计数器计数结果将保持一个稳定值。以第一传输路径110的计数结果作为参考。

第二步：

选择第二传输路径120，并且重复相同的计数操作得到第二传输路径120的计数结果。当计数器的使能信号为高电平，并且高电平并未传输到第二传输路径120的输出B端时，计数器的EN端为高，计数器开始并持续计数；当使能信号的高电平传输到第二传输路径120的输出B端时，计数器的EN端为低，计数器停止并保持计数结果。假设第二传输路径120的传输延时对工艺偏差很敏感，因此第二传输路径120的计数器计数结果在不同的工艺偏差下会有很大差别。第三步：

将两个传输路径的计数结果作比较，从而检测出当前的工艺偏差。

值得注意的是：本示例中所述第一步和第二步的顺序可颠倒。

示例二：

如果应用场景中有ADC，并且允许使用电容、充电电流源等模拟模块，则可以采用如图5所示的ADC就行所述工艺偏差的检测。

在图5中还包括的电子元器件有：一个或门，充电电流源，一个负载电容，受控开关及ADC。

利用图5所示的电路可以采用以下方法进行工艺偏差检测：

第一步：

通过受控开关SW11和SW12的导通，通过第一传输路径110进行第一使能信号的传输。第一传输路径110中的每一级缓冲器的输出均汇集到A端，将A端的每个输出均经过反相器，并与使第一能信号做异或处理后，作为充电电流源的充电控制信号，控制其对负载电容的充电电流大小与充电时间。所述每一级缓冲器的输出即为前述实施例中所述第一缓冲信号。各级缓冲器的输出信号与第一使能信号进行异或处理之后，作为所述受控电流源的控制信号。

当第一使能信号的正向脉冲传输到最后一级缓冲器时，充电电流源上的所有控制信号均为低，充电使能关闭，V_Cap电压保持。因此，第一传输路径110的延时越长，负载电容上面的电压V_Cap越高。V_Cap电压最后经ADC输出转化为数字信号。

第二步：

同样通过受控开关SW21和SW22的导通和关闭，控制第二传输路径120进行所述第一使能信号的传输。第二传输路径120中的每一级缓冲器的输出均汇集到B端，将B端的每个输出均经过反相器，并与使第一能信号做与非处理后，作为充电电流源的充电控制信号，控制其对负载电容的充电电流大小与充电时间。所述每一级缓冲器的输出即为前述实施例中所述第二缓冲信号。

第三步：

通过比较两次ADC的输出判断工艺的偏差。这里的所述ADC的输出即包括所述第一数字信号和所述第二数字信号。有一点需要注意的是，在导通第二传输路径120之前，需要先关闭开关SW3，对负载电容进行彻底放电；否则会影响结果的精确性。

值得注意的是：本示例中的所述第一步和第二步同样可颠倒。在示例一和示例二中第一传输路径110上可仅设置一个所述受控开关，所述第二传输路径120上也可以仅设置一个所述受控开关。

示例三：

本示例中利用TDC组成检测电路。如图7所示，所述TDC主要包括缓冲器和延时触发器。所述延时触发器可为D触发器。

第一步：

将所述第一使能信号同时输入第一传输路径110和第二传输路径120；所述第一传输路径110的输出作为TDC内部触发器的时钟，而第二传输路径120的输出，输入TDC的缓冲器中，作为TDC中D触发器的输入信号。TDC中D触发器的Q端输出结果作为检测电路最终输出结果。此处的输出结果即为前述的转换信号。

输出结果存在以下三种情形：

第一种：tDELAY1＝tDELAY2，TDC输出结果中一半为1，一半为0；所述tDELAY1表示第一传输路径110传输的第一传输信号的时延；所述tDELAY2表示第二传输路径120传输的第二传输信号的时延。

第二种：tDELAY1>tDELAY2，TDC的输出结果中1比0多。

第三种：tDELAY1<tDELAY2时，TDC的输出结果中1比0少。

最后可根据TDC的输出结果中1的个数和0的个数确定出所述工艺偏差。

在本申请所提供的几个实施例中，应该理解到，所揭露的设备和方法，可以通过其它的方式实现。以上所描述的设备实施例仅仅是示意性的，例如，所述单元的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，如：多个单元或组件可以结合，或可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另外，所显示或讨论的各组成部分相互之间的耦合、或直接耦合、或通信连接可以是通过一些接口，设备或单元的间接耦合或通信连接，可以是电性的、机械的或其它形式的。

上述作为分离部件说明的单元可以是、或也可以不是物理上分开的，作为单元显示的部件可以是、或也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，也可以分布到多个网络单元上；可以根据实际的需要选择其中的部分或全部单元来实现本实施例方案的目的。

另外，在本发明各实施例中的各功能单元可以全部集成在一个处理模块中，也可以是各单元分别单独作为一个单元，也可以两个或两个以上单元集成在一个单元中；上述集成的单元既可以采用硬件的形式实现，也可以采用硬件加软件功能单元的形式实现。

本领域普通技术人员可以理解：实现上述方法实施例的全部或部分步骤可以通过程序指令相关的硬件来完成，前述的程序可以存储于一计算机可读取存储介质中，该程序在执行时，执行包括上述方法实施例的步骤；而前述的存储介质包括：移动存储设备、只读存储器(ROM，Read-Only Memory)、随机存取存储器(RAM，Random Access Memory)、磁碟或者光盘等各种可以存储程序代码的介质。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (18)

1.一种工艺偏差检测电路，其特征在于，所述电路包括：

第一传输路径，用于接收并传输第一使能信号，输出第一传输信号；

第二传输路径，用于接收并传输所述第一使能信号，输出第二传输信号；

检测单元，用于基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差；

其中，所述第一传输路径的工艺偏差敏感度为第一敏感度；

所述第二传输路径的工艺偏差敏感度为第二敏感度。

2.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，

所述检测单元包括计数器；

所述计数器包括：

参考时钟信号引脚，用于接收参考时钟；

第一使能引脚，用于接收基于所述第一传输信号形成的第二使能信号，或接收基于所述第二传输信号形成的第三使能信号；

所述计数器，用于基于所述第二使能信号对所述参考时钟进行计数输出第一计数值，或基于所述第三使能信号对所述参考时钟进行计数输出第二计数值；

其中，所述第一计数值和所述第二计数值共同用于表征所述工艺偏差。

3.根据权利要求2所述的电路，其特征在于，

所述检测电路还包括：

异或电路异或电路，用于将所述第一使能信号与所述第一传输信号进行异或处理形成第一异或信号；或用于将所述第一使能信号与所述第二传输信号进行异或处理形成第二异或信号；其中，所述第一异或信号和所述第二异或信号均为异或结果；

与门，用于将所述第一使能信号与所述异或结果进行与处理，形成所述第二使能信号或所述第三使能信号。

4.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，

所述检测单元包括模拟信号转换电路；

所述模拟信号转换电路，用于接收所述第一传输信号和所述第二传输信号，并根据所述第一传输信号和第二传输信号的传输时延，输出对应的模拟信号；

所述第一传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模拟信号转换电路输出第一模拟信号；所述第二传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模拟信号转换电路输出第二模拟信号；

所述第一模拟信号和所述第二模拟信号能够共同用于表征所述工艺偏差。

5.根据权利要求4所述的电路，其特征在于，

所述检测单元还包括模数转换器；

所述模数转换器的模拟输入端与所述模拟信号转换电路的输出端相连，用于接收并对所述第一模拟信号或所述第二模拟信号进行模数转换；

所述第一传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模数转换单元输出对应于所述第一模拟信号的第一数字信号；所述第二传输信号作用于所述模拟信号转换电路时，所述模数转换单元输出对应于所述第二模拟信号的第二数字信号；

所述第一数字信号和所述第二数字信号共同用于表征所述工艺偏差。

6.根据权利要求5所述的电路，其特征在于，

所述第一传输路径和所述第二传输路径均包括M级串联的缓冲器；所述第一传输信号包括M个第一缓冲信号；所述第二传输信号包括M个第二缓冲信号；

所述模拟信号转换电路包括：M个受控电流源及负载电容；

所述第m个受控电流源，用于接收基于第m个所述第一缓冲信号或第m个所述第二缓冲信号形成的控制信号，并根据所述控制信号继续或停止所述负载电容充电；所述m为不大于所述M的整数；其中，所述M不小于1的整数；

所述模数转换器的模拟输入端，与所述负载电容相连，用于将所述负载电容的电容电压转换成对应的数字信号。

7.根据权利要求1所述的电路，其特征在于，

所述检测单元包括时间数字转换器；

所述时间数字信号转换器，用于接收第一传输信号和所述第二传输信号，并输出转换信号；

所述转换信号能够用于表征所述工艺偏差。

8.根据权利要求7所述的电路，其特征在于，

所述时间数字转换电路包括：

N级串联的第三缓冲器，用于接收第一输入信号并对所述第一输入信号进行N级缓冲处理；

N个延迟触发器；

第n个延迟触发器，连接在第n个所述第三缓冲器的输出端，接收所述第二输入信号及已进行n级缓冲处理的第一输入信号，基于所述第二输入信号对所述第一输入信号做延迟触发处理，并输出延迟触发结果；

其中，所述n为不大于N的正整数；所述N为不小于1的整数；

所述第一输入信号为所述第一传输信号，所述第二输入信号为所述第二传输信号；或，所述第一输入信号为所述第二传输信号，所述第二输入信号为所述第一传输信号。

9.根据权利要求1至5和7至8任一项所述的电路，其特征在于，

所述第一传输路径和所述第二传输路径均包括M级串联的缓冲器；

其中，所述M不小于1的整数。

10.一种工艺偏差检测方法，其特征在于，所述方法包括：

利用第一传输路径接收并传输第一使能信号，输出第一传输信号；

利用第二传输路径接收并传输所述第一使能信号，输出第二传输信号；

基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差；

其中，所述第一传输路径的工艺偏差敏感度为第一敏感度；

所述第二传输路径的工艺偏差敏感度为第二敏感度；

所述第一敏感度不等于所述第二敏感度。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，

所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，包括：

接收参考时钟；

接收基于所述第一传输信号形成的第二使能信号或基于所述第二传输信号形成的第三使能信号；

基于所述第二使能信号对所述参考时钟进行计数输出第一计数值，或基于所述第三使能信号对所述参考时钟进行计数输出第二计数值；

其中，所述第一计数值和所述第二计数值共同用于表征所述工艺偏差。

12.根据权利要求11所述的方法，其特征在于，

所述方法还包括：

将所述第一使能信号与所述第一传输信号进行异或处理形成第一异或信号；将所述第一使能信号与所述第二传输信号进行异或处理形成第二异或信号；其中，所述第一异或信号和所述第二异或信号均为异或结果；

将所述第一使能信号与所述异或结果进行与处理，形成所述第二使能信号或所述第三使能信号。

13.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，

所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，包括；

接收所述第一传输信号和所述第二传输信号，并根据所述第一传输信号和第二传输信号的传输时延，输出对应的模拟信号；其中，对所述第一传输信号进行模拟信号转换时，输出第一模拟信号；对所述第二传输信号进行模拟信号转换时，输出第二模拟信号；所述第一模拟信号和所述第二模拟信号能够共同用于表征所述工艺偏差。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，

所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，还包括；

接收并对所述第一模拟信号或所述第二模拟信号进行模数转换，形成数字信号；其中，所述数字信号包括对应于所述第一模拟信号的第一数字信号及对应于所述第二模拟信号的第二数字信号；

所述第一数字信号和所述第二数字信号共同用于表征所述工艺偏差。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，

所述第一传输信号包括M个第一缓冲信号；其中，第m个所述第一缓冲信号是对第m-1个所述第一缓冲信号进行缓冲处理形成的；

所述第二传输信号包括M个第二缓冲信号；其中，第m个所述第二缓冲信号是对第m-1个所述第二缓冲信号进行缓冲处理形成的；

所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，还包括；

根据基于第m个所述第一缓冲信号或第m个所述第二缓冲信号形成的控制信号，继续或停止第m个受控电流源向负载电容充电；

将所述负载电容的电容电压转换成对应的数字信号；

所述m为不大于所述M的整数；其中，所述M不小于1的整数。

16.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，

所述基于所述第一传输信号和所述第二传输信号的传输时延，检测工艺偏差，包括：

对第一传输信号和所述第二传输信号进行时间数字转换处理，并输出转换信号；所述转换信号能够用于表征所述工艺偏差。

17.根据权利要求16所述的方法，其特征在于，

所述对第一传输信号和所述第二传输信号进行时间数字转换处理，并输出转换信号，包括：

接收第一输入信号并对所述第一输入信号进行N级缓冲处理；

基于所述第二输入信号对已进行n级缓冲处理的第一输入信号做延迟触发处理，并输出延迟触发结果；其中，所述n为不大于N的正整数；所述N为不小于1的整数；

所述第一输入信号为所述第一传输信号，所述第二输入信号为所述第二传输信号；或，所述第一输入信号为所述第二传输信号，所述第二输入信号为所述第一传输信号。

18.根据权利要求10至14和16至17任一项所述的方法，其特征在于，

所述利用第一传输路径接收并传输第一使能信号，输出第一传输信号，包括：

利用位于所述第一传输路径上的M级串联的缓冲器对所述第一使能信号进行缓冲处理，形成所述第一传输信号；

所述利用第二传输路径接收并传输所述第一使能信号，输出第二传输信号，包括：

利用位于所述第二传输路径上的M级串联的缓冲器对所述第一使能信号进行缓冲处理，形成所述第二传输信号；

其中，所述M不小于1的整数。