CN106406373A - 新型流体调压装置及其流体调压方法 - Google Patents

新型流体调压装置及其流体调压方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106406373A
CN106406373A CN201610914610.1A CN201610914610A CN106406373A CN 106406373 A CN106406373 A CN 106406373A CN 201610914610 A CN201610914610 A CN 201610914610A CN 106406373 A CN106406373 A CN 106406373A
Authority
CN
China
Prior art keywords
fluid
pressure
vacuum generator
outlet
voltage regulation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610914610.1A
Other languages
English (en)
Inventor
黎科
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hangzhou Fuya Technology Co Ltd
Original Assignee
Hangzhou Fuya Technology Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hangzhou Fuya Technology Co Ltd filed Critical Hangzhou Fuya Technology Co Ltd
Priority to CN201610914610.1A priority Critical patent/CN106406373A/zh
Publication of CN106406373A publication Critical patent/CN106406373A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D16/00—Control of fluid pressure
    • G05D16/20—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means
    • G05D16/2006—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means
    • G05D16/2013—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means
    • G05D16/2026—Control of fluid pressure characterised by the use of electric means with direct action of electric energy on controlling means using throttling means as controlling means with a plurality of throttling means
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K17/00—Safety valves; Equalising valves, e.g. pressure relief valves
    • F16K17/20—Excess-flow valves
    • F16K17/22—Excess-flow valves actuated by the difference of pressure between two places in the flow line
    • F16K17/24—Excess-flow valves actuated by the difference of pressure between two places in the flow line acting directly on the cutting-off member
    • F16K17/28—Excess-flow valves actuated by the difference of pressure between two places in the flow line acting directly on the cutting-off member operating in one direction only
    • F16K17/30—Excess-flow valves actuated by the difference of pressure between two places in the flow line acting directly on the cutting-off member operating in one direction only spring-loaded

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Fluid Mechanics (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)

Abstract

本发明涉及一种新型流体调压装置及其流体调压方法，包括调压元件和真空发生器，在真空发生器的排出口的管路上设置了反馈回路，反馈回路将真空发生器的排出口的流体压力反馈给调压元件，反馈回路控制调压元件；真空发生器包括供给口、排出口和吸附口，调压元件的输出端通过管路与真空发生器的供给口相连通，真空发生器的排出口通过反馈回路与调压元件相连通，吸附口与一流体源相连通。本发明通过真空发生器的抽吸作用从系统其他回路中补充新的流体，使得流经调压装置的流量增大，从而达到降低流体调压装置的能量损耗作用，产生一定的节能效果，同时，使得新型流体调压装置的稳压特性优于传统的流体调压装置。

Description

新型流体调压装置及其流体调压方法
技术领域
本发明属于流体传动技术领域，特别涉及一种新型流体调压装置及其流体调压方法。
背景技术
在现有的液压系统或气动系统中，常常用到调压装置，例如减压阀。人们又常常忽视了调压装置的能耗问题，其实减压阀的能耗是流体系统中最高的几个元件之一。以气动系统为例，典型的气动系统通常由空压机01、空气调质单元02、管路系统03、流体调压装置04(例如：减压阀)和末端的气动负载05。如图1所示，空压机01消耗电能来产生高压空气(压力达到0.7~1.0 MPa)；高压空气流经调质单元02后成为干燥、清洁的常温空气，并通过管路系统03被输送至气动负载05(例如：吸附器或气缸)；高压空气在进入气动负载之前，减压阀04将气流的压力降低至负载所需的工作压力并保持其稳定。上述的每一个环节都存在着能量的损耗，其中，减压阀的减压过程的能耗尤为突出。如何降低像减压阀之类的流体调压装置的能耗是本发明关注的问题点。此外，流体调压装置04(例如：减压阀)的稳压效果会随着输出流量的增大而变差，如何改善流体调压装置的稳压特性也是本发明关注的问题点。
另一方面，真空发生器一般设置有供给口、排出口和吸附口。真空发生器的惯用用途是用于产生真空。例如，在吸附口处连接橡胶吸盘，橡胶吸盘和被吸附的工件的表面围成一个封闭空间；真空发生器抽吸该空间内的空气从而使该空间形成真空；真空会施加一个吸附力在工件上，将工件吸起。真空发生器的排出口处的压力越高，吸附口的真空度就会减弱，进而导致橡胶吸盘的吸附力减弱。因此，人们在使用真空发生器时，通常会使排出口处于大气开放状态。
发明内容
本发明所要解决的技术问题在于，提供一种新型流体调压装置及其流体调压方法，对现有的调压装置采用简单的方法进行结构改进，通过降低流入流体调压装置的调压单元的流量，有效地降低流体调压装置的能量损耗，获得节能的有益效果，同时，改善流体调压装置的稳压特性。
本发明是这样实现的，提供一种新型流体调压装置，包括通过管路相互连通的调压元件和真空发生器，所述真空发生器包括供给口、吸附口和排出口，所述调压元件的输出端通过管路与真空发生器的供给口相连通，所述真空发生器的排出口与工作负载或其他元件连接，所述吸附口与一流体源相连通，所述流体源为储存有流体的空间或者其它存有流体的管路。
进一步地，在所述真空发生器的排出口的管路上设置了反馈回路，所述真空发生器的排出口的流体压力通过反馈回路以引入调压元件，所述调压元件根据反馈回路所反馈来的流体压力控制调压元件的输出压力和流量，所述调压元件输出端的流体压力小于或等于调压元件输入端的流体压力。
本发明的创造性设计和有益效果如下所述：
（1）真空发生器的惯用用途是用于产生真空。人们在使用真空发生器时，通常会使排出口处于大气开放状态，使吸附口处于负压状态。而本发明将真空发生器的排出口与其他流体负载相连接，使得真空发生器的排出口输出压力远远高于大气压的流体，也就是说，本发明的排出口能排出具有做功能力的流体。此外，我们还需要真空发生器的排出口的压力状态和输出流量必须能够随着负载的变化而变化。不仅如此，我们还需要真空发生器发挥吸入额外的流体流量的作用。为了实现以上功能，我们采取的创造性技术手段是：在真空发生器的供给口输入高压流体，同时，使吸附口始终处于大气压状态；为了适应排出口的负载流量和压力的变化，我们还在真空发生器的供给口处连接调压元件，用于设定真空发生器的供给口的压力和流量。
（2）真空发生器是一种具有流阻特性的元件，也就是说，真空发生器自身会产生压力损失和能量损耗。因此，通常，人们会根据常识认为，在调压元件的后面增加了一个真空发生器，就相当于在气动回路里增加了流阻，从而就会导致更大的能量损耗，根本不可能产生节能效果。其实这种想法是一种偏见。本发明的新型流体调压装置包含调压元件和真空发生器，与传统的流体调压装置相比，多了一个真空发生器。对于传统的流体调压装置而言，所有的能量损耗都产生在调压元件上。而对于新型流体调压装置而言，真空发生器的流阻增加调压元件的输出端的压力，这就降低了调压元件的输入端和输出端两端的压差，这能够大幅降低了调压元件的能量损耗。此外，真空发生器虽然自身产生了能量损耗，但是，真空发生器消耗能量的同时从吸附口吸入了额外的流体。那么，在向流体负载输出相同流量的情况下，这就降低了流经调压元件的流量，这也能够大幅降低调压元件的能量损耗。总而言之，本发明的新型流体调压装置分配了一部分的能量损耗到真空发生器上，产生了降低调压元件的压力损失和流量的两个作用，这两个作用能够降低调压元件的能量损耗，且能量损耗的降幅远远大于真空发生器所消耗的能量。因此，新型流体调压装置能够实现大幅节能的效果。
（3）如（2）所述，真空发生器从吸附口吸入了额外的流体，这就降低了流经调压元件的流体流量，从而降低了调压元件的开度。换句话说，在向后端的流体负载输出相同流量的情况下，新型流体调压装置的调压元件的开度小于传统流体调压装置的调压元件的开度。这意味着，新型流体调压装置的调压元件的开度所对应的输出流量调节范围更大。
（4）当本发明采用具有反馈回路的流体调压装置的时候，新型流体调压装置的排出口的压力会变得更稳定。因为调压元件的开度会改变调压元件内部的一些部件（例如，主阀的复位弹簧）的输出力，进而影响流体调压装置的输出压力的大小，所以，调压元件的开度变化越大，流体调压装置的稳压效果就越差。在输出相同的流量的情况下，新型流体调压装置的调压元件的开度小于传统的流体调压装置，因此，新型流体调压装置的稳压性能更好。
进一步地，在所述真空发生器的吸附口与流体源之间设置有单向阀，使得流体只能向真空发生器的吸附口方向流动。
进一步地，所述调压元件为减压阀，所述减压阀包括先导阀和主阀，所述先导阀控制主阀阀口的开度，所述主阀通过管路与真空发生器的供给口相连通，所述真空发生器的排出口的流体压力通过反馈回路以引入减压阀的先导阀。
本发明还提供了一种流体调压方法，采用如前述的新型流体调压装置，从所述调压元件的输出端流出的高压流体流入真空发生器的供给口并流向真空发生器的排出口的过程中，能够在真空发生器的吸附口处产生抽吸作用，从流体源中吸入流体补充到真空发生器的排出口，增加了真空发生器的排出口的流出流体流量和流体压力，实现了流量增幅的效果，同时，真空发生器的排出口的流出流体的压力大于大气压，所排出的压力流体具有做功能力。该流体调压方法还能够增大输出流量的调节范围。
与现有流体调压装置和技术相比，本发明的新型流体调压装置及其流体调压方法，在所述真空发生器的排出口处上设置有反馈回路，反馈回路将真空发生器的排出口处的压力引入调压元件。真空发生器的抽吸作用从吸附口吸入新的流体，使得新型流体调压装置的输出流量增大。换句话说，在流体调压装置的输出流量相同的情况下，新型流体调压装置的输入流量小于现有的流体调压装置，从而达到降低流体调压装置的能量损耗作用，产生一定的节能效果。同时，设置有反馈回路的新型流体调压装置的输出压力（即真空发生器的排出口处的压力）变得很稳定。此外，在向负载输出相同的流量的情况下，因为新型流体调压装置的真空发生器吸入了额外流量，所以降低了流经调压元件的流量，也就是说，调压元件的开度减小了，这能够使排出口的压力更接近设定的压力值，新型流体调压装置的稳压效果更好。
附图说明
图1为现有技术中一典型的气动系统示意图；
图2为本发明一较佳实施例的结构原理示意图；
图3为本发明一较佳实施例的结构原理示意图；
图4为本发明一较佳实施例的结构示意图；
图5为图4中真空发生器的结构原理示意图。
具体实施方式
为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
请参照图2所示，本发明新型流体调压装置的较佳实施例，包括通过管路1相互连通的调压元件2和真空发生器3。所述真空发生器3包括供给口5、排出口6和吸附口7，如图5所示。所述调压元件2的输出端通过管路1与真空发生器3的供给口5相连通。以压缩空气作为流体进行说明。根据压缩空气的流动特性可知，如果调压元件2的出口压力和入口压力的比值小于0.5，那么调压元件2会处于雍塞状态，所表现出来的特点是：在调压元件2的入口压力一定的情况下（在实际的气动回路中，调压元件2的入口压力就是压缩机的输出压力，通常会保持恒定的高压状态），流经调压元件2的流量正比于调压元件2的主阀开度。对于单个调压元件2（即传统的流体调压装置）而言，开度为0%时对应的流体调压装置的输出流量是0，开度为100%时对应的流体调压装置的输出流量是Q。那么，图2所示的调压元件2后面接入真空发生器3，情况则变为：调压元件2的开度为0%时对应的流体调压装置的输出流量是0，开度为100%时对应的流体调压装置的输出流量是Q+△Q。△Q是真空发生器3吸入的流量。显然，通过增设真空发生器3能够扩大流体调压装置的流量调节范围，这是第一个有益效果。接下来，我们来考虑流体调压装置输出一定流量的情况，本发明的新型流体调压装置能够起到节能的效果。通常，人们会根据常识认为，在调压元件2的后面增加了一个真空发生器3，就相当于在气动回路里增加了流阻，从而就会导致更大的能量损耗，根本不可能产生节能效果。其实这种想法是一种偏见。本发明的新型流体调压装置包含调压元件2和真空发生器3，与传统的流体调压装置相比，多了一个真空发生器3。对于传统的流体调压装置而言，所有的能量损耗都产生在调压元件上。而对于本发明的新型流体调压装置而言，真空发生器3的流阻增加调压元件2的出口端的压力，这就降低了调压元件2的入口端和出口端两端的压差，这能够大幅降低了调压元件2的能量损耗。此外，真空发生器3虽然自身产生了能量损耗，但是，真空发生器3消耗能量的同时从吸附口7吸入了额外的流体，这就降低了流经调压元件2的流量，这也能够大幅降低调压元件2的能量损耗。总而言之，本发明的新型流体调压装置分配了一部分的能量损耗到真空发生器3上，产生了降低调压元件2的压力损失和流量的两个作用，这两个作用能够降低调压元件2的能量损耗，且能量损耗的降幅远远大于真空发生器3所消耗的能量。因此，新型流体调压装置能够实现大幅节能的效果。还有，真空发生器3的供给口5连接高压流体，吸附口7保持大气开放状态，就能够在排出口6输出压力大于大气压的流体，这样的流体具有做功能力，能够驱动流体负载。
请参照图3所示，本发明新型流体调压装置的另一较佳实施例，包括通过管路1相互连通的调压元件2和真空发生器3。在所述真空发生器3的排出口6的管路1上设置了反馈回路4，反馈回路4将真空发生器3的排出口6的流体压力反馈给与调压元件2，所述调压元件2根据反馈回路4所反馈来的流体压力控制调压元件2的输出压力和流量。这构成一个压力闭环控制回路，所达到的控制效果是使新型流体调压装置的输出压力（也就是真空发生器的排出口处的压力）保持稳定。所述调压元件2输出端的流体压力小于或等于调压元件2输入端的流体压力。本发明的新型流体调压装置的排出口6的压力稳定效果比传统的流体调压装置好。因为真空发生器3从吸附口7吸入了额外的流体，这就降低了流经调压元件2的流体流量，从而降低了调压元件2的开度。调压元件2的开度会改变调压元件2内部的一些部件（例如，主阀的复位弹簧）的输出力，进而影响流体调压装置的输出压力的大小，所以，调压元件2的开度变化越小，流体调压装置的稳压效果就越好。显然，在输出相同的流量的情况下，新型流体调压装置的调压元件2的开度小于传统的流体调压装置，因此，本发明的新型流体调压装置的稳压效果更好。
所述真空发生器3的排出口6的流体压力通过反馈回路4以引入调压元件2，所述吸附口7与一流体源8相连通。所述流体源8为储存有流体的空间或者其它存有流体的管路。在所述真空发生器3的吸附口7与流体源8相连通的管路上设置有单向阀9，使得流体只能向真空发生器3的吸附口7方向流动。
请参照图4所示，在本实施例中，所述调压元件2为减压阀。所述减压阀包括先导阀201和主阀202，所述先导阀201控制主阀202阀口的开度，所述主阀202通过管路1与真空发生器3的供给口5相连通，所述真空发生器3的排出口6通过反馈回路4引入减压阀的先导阀201。
与传统的减压阀相比，本实施例在真空发生器3的排出口6的出口压力一定的情况下，产生流量增幅效果，而且流量增幅效果随着负载流量的增加而增大，具有良好的节能效果。同时，本实施例还具有稳定输出压力的功能，并且压力稳定效果比传统的流体调压装置好。因为真空发生器3从吸附口7吸入了额外的流体，这就降低了流经主阀202的流体流量，从而降低了主阀202的开度。主阀202的开度的减小使得主阀202的复位弹簧203的压缩量减小，于是，复位弹簧203通过主阀202作用在膜片204上的力就会变小。根据上部的先导阀201的工作原理，复位弹簧203作用在膜片204上的力越小，压力设定弹簧205的压缩量的变化就越小，那么，流体调压装置的输出压力就越接近设定压力，即流体调压装置的稳压效果就越好。
本发明还提供了一种流体调压方法，采用如前述的新型流体调压装置，从所述调压元件的输出端流出的高压流体流入真空发生器3的供给口5并流向排出口6的过程中，能够在真空发生器3的吸附口7的时候产生抽吸作用，从流体源中吸入流体补充到排出口6，增加了排出口6的流体流量和流体压力，实现了流量增幅的效果。在流体调压装置的输出流量相同的情况下，新型流体调压装置的输入流量小于现有的流体调压装置，因此降低了流体调压装置的能量损耗，同时，真空发生器的排出口的压力流体的压力大于大气压，所输出的压力流体具有做功能力。该流体调压方法还能够增大输出流量的调节范围。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种新型流体调压装置，其特征在于，包括通过管路相互连通的调压元件和真空发生器，所述真空发生器包括供给口、吸附口和排出口，所述调压元件的输出端通过管路与真空发生器的供给口相连通，所述真空发生器的排出口与工作负载或其他元件连接，所述吸附口与一流体源相连通，所述流体源为储存有流体的空间或者其它存有流体的管路。
2.如权利要求1所述的新型流体调压装置，其特征在于，在所述真空发生器的排出口的管路上设置了反馈回路，所述真空发生器的排出口的流体压力通过反馈回路以引入调压元件，所述调压元件根据反馈回路所反馈来的流体压力控制调压元件的输出压力和流量，所述调压元件输出端的流体压力小于或等于调压元件输入端的流体压力。
3.如权利要求1或2所述的新型流体调压装置，其特征在于，在所述真空发生器的吸附口与流体源之间设置有单向阀。
4.如权利要求2所述的新型流体调压装置，其特征在于，所述调压元件为减压阀，所述减压阀包括先导阀和主阀，所述先导阀控制主阀阀口的开度，所述主阀通过管路与真空发生器的供给口相连通，所述真空发生器的排出口的流体压力通过反馈回路引入减压阀的先导阀。
5.一种流体调压方法，其特征在于，采用如权利要求1或2所述的新型流体调压装置，从所述调压元件的输出端流出的流体流入真空发生器的供给口并流向真空发生器的排出口的过程中，能够在真空发生器的吸附口处产生抽吸作用，从流体源中吸入流体补充到真空发生器的排出口，增加了真空发生器的排出口的流出流体流量和流体压力，实现了流量增幅的效果，同时输出具有做功能力的压力流体。
CN201610914610.1A 2016-10-21 2016-10-21 新型流体调压装置及其流体调压方法 Pending CN106406373A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610914610.1A CN106406373A (zh) 2016-10-21 2016-10-21 新型流体调压装置及其流体调压方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610914610.1A CN106406373A (zh) 2016-10-21 2016-10-21 新型流体调压装置及其流体调压方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN106406373A true CN106406373A (zh) 2017-02-15

Family

ID=58012110

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610914610.1A Pending CN106406373A (zh) 2016-10-21 2016-10-21 新型流体调压装置及其流体调压方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106406373A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111364957A (zh) * 2020-04-09 2020-07-03 中国石油天然气股份有限公司 一种小型化恒流配水结构及其检测装置
CN111831021A (zh) * 2019-04-17 2020-10-27 上海航天能源股份有限公司 压强控制装置以及调压系统
CN111831020A (zh) * 2019-04-17 2020-10-27 上海航天能源股份有限公司 调压系统

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1239164A2 (en) * 2001-02-06 2002-09-11 Norgren Automotive Inc. Vacuum control apparatus for maintaining the operating condition of a vacuum responsive device during loss and resumption of power
CN1380685A (zh) * 2001-04-12 2002-11-20 松下电器产业株式会社 等离子体处理装置及等离子体处理方法
CN2713189Y (zh) * 2004-07-07 2005-07-27 浙江工业大学 组合真空发生器
CN2809298Y (zh) * 2005-04-08 2006-08-23 浙江工业大学 节能型并联真空发生器
CN101311341A (zh) * 2008-03-17 2008-11-26 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于多晶硅铸锭工艺的真空压力连续控制方法及其控制系统
CN102133733A (zh) * 2011-01-06 2011-07-27 清华大学 一种用于cmp多腔室的气压控制系统
CN103527527A (zh) * 2013-10-14 2014-01-22 苏州斯尔特微电子有限公司 串联式真空发生器
CN104266803A (zh) * 2014-10-16 2015-01-07 歌尔声学股份有限公司 气密检测系统以及气密检测方法
EP2191148B1 (de) * 2007-12-20 2015-08-12 FESTO AG & Co. KG Vakuumerzeugervorrichtung und verfahren zu ihrem betreiben
CN205103673U (zh) * 2015-10-28 2016-03-23 上海烟草集团有限责任公司 吸阻测试单元的吸阻测试头转动控制组件
CN105598945A (zh) * 2016-03-29 2016-05-25 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种微颗粒的取放装置
CN105757008A (zh) * 2016-04-15 2016-07-13 南通宏大机电制造有限公司 一种真空发生器
CN105840597A (zh) * 2016-03-22 2016-08-10 华中科技大学 一种适用于柔性电子制备的多功能气压控制系统

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1239164A2 (en) * 2001-02-06 2002-09-11 Norgren Automotive Inc. Vacuum control apparatus for maintaining the operating condition of a vacuum responsive device during loss and resumption of power
CN1380685A (zh) * 2001-04-12 2002-11-20 松下电器产业株式会社 等离子体处理装置及等离子体处理方法
CN2713189Y (zh) * 2004-07-07 2005-07-27 浙江工业大学 组合真空发生器
CN2809298Y (zh) * 2005-04-08 2006-08-23 浙江工业大学 节能型并联真空发生器
EP2191148B1 (de) * 2007-12-20 2015-08-12 FESTO AG & Co. KG Vakuumerzeugervorrichtung und verfahren zu ihrem betreiben
CN101311341A (zh) * 2008-03-17 2008-11-26 中国电子科技集团公司第四十八研究所 一种用于多晶硅铸锭工艺的真空压力连续控制方法及其控制系统
CN102133733A (zh) * 2011-01-06 2011-07-27 清华大学 一种用于cmp多腔室的气压控制系统
CN103527527A (zh) * 2013-10-14 2014-01-22 苏州斯尔特微电子有限公司 串联式真空发生器
CN104266803A (zh) * 2014-10-16 2015-01-07 歌尔声学股份有限公司 气密检测系统以及气密检测方法
CN205103673U (zh) * 2015-10-28 2016-03-23 上海烟草集团有限责任公司 吸阻测试单元的吸阻测试头转动控制组件
CN105840597A (zh) * 2016-03-22 2016-08-10 华中科技大学 一种适用于柔性电子制备的多功能气压控制系统
CN105598945A (zh) * 2016-03-29 2016-05-25 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种微颗粒的取放装置
CN105757008A (zh) * 2016-04-15 2016-07-13 南通宏大机电制造有限公司 一种真空发生器

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111831021A (zh) * 2019-04-17 2020-10-27 上海航天能源股份有限公司 压强控制装置以及调压系统
CN111831020A (zh) * 2019-04-17 2020-10-27 上海航天能源股份有限公司 调压系统
CN111364957A (zh) * 2020-04-09 2020-07-03 中国石油天然气股份有限公司 一种小型化恒流配水结构及其检测装置
CN111364957B (zh) * 2020-04-09 2024-03-01 中国石油天然气股份有限公司 一种小型化恒流配水结构及其检测装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106406373A (zh) 新型流体调压装置及其流体调压方法
CN102072529B (zh) 一种使用可变容压缩机的空调器及其控制方法
US9938981B2 (en) Compressor circuit for a pneumatic control device of a motor vehicle
US7445660B2 (en) Method for operating gas generators in tandem
JP2015143522A (ja) 圧縮機の制御方法
CN1699808A (zh) 滑阀式先导型超高压气动比例减压阀
CN2806924Y (zh) 锥阀式先导型超高压气动比例减压阀
CN108939820A (zh) 一种真空变压吸附制氧系统及方法
CN108800314B (zh) 压力自适应节能降噪变风量空调系统及其控制方法
CN206488498U (zh) 一种冷水机组
CN102012127A (zh) 一种空调器及空调器的控制方法
CN108302081A (zh) 一种气缸运动缓冲控制装置
CN110921636A (zh) 节能型模块式变压吸附制氮系统及其控制流程
CN113623186B (zh) 含有磁悬浮或空气悬浮风机及真空泵的真空脱附制氧系统
CN106438546B (zh) 一种稳压先导式溢流阀
CN109751219A (zh) 一种控制包括真空发生器的真空系统
CN102364183A (zh) 节能型全功能调节阀
CN206160577U (zh) 一种热气旁通卸载膨胀阀
CN115419831A (zh) 一种降低低压氮压机蒸汽消耗的装置
CN100371236C (zh) 还原炉组氢气回收净化稳压装置
CN210159889U (zh) 减压装置和具有其的点胶控制器
CN204816984U (zh) 一种单晶硅装片台供蜡装置
CN204786747U (zh) 一种循环风机组结构
CN209539616U (zh) 驱动控制电路和电器设备
CN216554675U (zh) 一种可实现变速节能控制的平衡气缸系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination