CN106399974A - 常压化学气相淀积反应腔 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及一种常压化学气相淀积反应腔,包括腔体,所述腔体中内置有导气管及用于支撑晶圆的支撑座,所述腔体的内腔包括上部的反应腔及下部的安装腔,所述导气管及支撑座位于所述反应腔中,支撑座通过支撑杆活动安装于反应腔中,所述支撑杆活动贯穿安装于反应腔与安装腔之间,所述安装腔中安装有与所述支撑杆下端顶靠的凸轮,所述凸轮由安装腔中的电机驱动。本发明实现晶圆的移动式接触反应气体,提高与反应气体的反应均匀性,提高成型薄膜的均匀度。
Description
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,特别涉及晶圆的化学气相淀积反应腔。
背景技术
常压化学气相淀积是指将反应气体置入反应腔中,反应气体扩散至反应腔中的晶圆表面,在晶圆表面附近的反应区发生反应形成薄膜。现有的常压化学反应腔的结构设计不合理,反应气体不能均匀的扩散至晶圆表面,导致形成的薄膜厚度不均匀。
发明内容
针对现有技术存在的上述问题,申请人进行研究及改进,提供一种常压化学气相淀积反应腔。
为了解决上述问题,本发明采用如下方案:
一种常压化学气相淀积反应腔,包括腔体,所述腔体中内置有导气管及用于支撑晶圆的支撑座,所述腔体的内腔包括上部的反应腔及下部的安装腔,所述导气管及支撑座位于所述反应腔中,支撑座通过支撑杆活动安装于反应腔中,所述支撑杆活动贯穿安装于反应腔与安装腔之间,所述安装腔中安装有与所述支撑杆下端顶靠的凸轮,所述凸轮由安装腔中的电机驱动。
本发明的技术效果在于:
本发明实现晶圆的移动式接触反应气体,提高与反应气体的反应均匀性,提高成型薄膜的均匀度。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图中:1、腔体;10、反应腔;11、安装腔;2、支撑座;3、导气管;4、晶圆;5、支撑杆;6、凸轮;7、电机。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。
如图1所示,本实施例的常压化学气相淀积反应腔,包括腔体1,腔体1中内置有导气管3及用于支撑晶圆4的支撑座2,腔体1的内腔包括上部的反应腔10及下部的安装腔11,导气管3及支撑座2位于反应腔10中,支撑座2通过支撑杆5活动安装于反应腔10中,支撑杆5活动贯穿安装于反应腔10与安装腔11之间,安装腔11中安装有与支撑杆5下端顶靠的凸轮6,凸轮6由安装腔11中的电机7驱动。
使用时,将反应气体通过导气管3导入至反应腔10中,启动电机7,电机7带动凸轮6转动,从而带动支撑杆5上下往复升降运动,进而带动支撑座2及晶圆4上下移动,实现晶圆4与反应气体的移动接触,提高接触的均匀度。
以上所举实施例为本发明的较佳实施方式,仅用来方便说明本发明,并非对本发明作任何形式上的限制,任何所属技术领域中具有通常知识者,若在不脱离本发明所提技术特征的范围内,利用本发明所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例,并且未脱离本发明的技术特征内容,均仍属于本发明技术特征的范围内。
Claims (1)
1.一种常压化学气相淀积反应腔,包括腔体(1),所述腔体(1)中内置有导气管(3)及用于支撑晶圆(4)的支撑座(2),其特征在于:所述腔体(1)的内腔包括上部的反应腔(10)及下部的安装腔(11),所述导气管(3)及支撑座(2)位于所述反应腔(10)中,支撑座(2)通过支撑杆(5)活动安装于反应腔(10)中,所述支撑杆(5)活动贯穿安装于反应腔(10)与安装腔(11)之间,所述安装腔(11)中安装有与所述支撑杆(5)下端顶靠的凸轮(6),所述凸轮(6)由安装腔(11)中的电机(7)驱动。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2016
- 2016-10-10 CN CN201610885355.2A patent/CN106399974A/zh active Pending
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