CN106383377A - 一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开来一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。该可调谐珐珀滤波器主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6。本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准印刷电路板加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。

Description

一种电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法

所属领域

本发明属于智能光功能器件领域，主要涉及印刷电路板技术、微加工技术、干涉滤波技术以及电磁驱动技术等。

现有技术

珐珀滤波器是多光束干涉原理的一个重要应用实例，于1897年由法国物理学家C.Fabry和A.Perot提出。基本结构为两块平行放置的玻璃板，中间形成一个腔体，在两块玻璃板靠近腔体的一侧分别镀有部分反射金属膜。驱动镜面移动调整腔长，并且当入射光波的波长为腔长的整数倍时，光波可形成稳定振荡，产生多光束干涉，输出等间隔梳状波形，调节腔体长度即可只输出所需波段的光波。

利用新兴的微机电系统(MEMS)技术可以实现珐珀滤波器的微型化与集成化，具有良好的应用前景。

早在1988年，Jerman等人就报道了一种精确可调的静电驱动式珐珀滤波器(IEEESolid-State Sensor and Actuator Workshop,pp.16-18,1988)。通过两反射镜之间的四组驱动电极来驱动可动反射镜移动；通过两反射镜之间的四组反馈电极感知珐珀腔的倾斜状况，从而对珐珀腔的平行度进行动态调节。为了得到强电场，施加的高电压将击穿空气造成器件损坏；再者，静电驱动存在“下拉”问题，大大限制了可动反射镜的调制范围。1997年，J.Peerlings等人报道了一种基于MEMS技术的热驱动GaAs-AlAs珐珀滤波器(IEEEPhoton.Technol.Lett,vol.9,pp.1235-1237,1997)，其实现方式是通过热电阻加热驱动梁产生热膨胀进而改变腔体长度，停止加热后热膨胀消失，腔体长度即恢复到原来大小，然而热驱动需要较长的加热过程，导致结构响应缓慢，同时功耗也较大。2004年，韩国的H.K.Lee等人报道了一种基于硅微加工技术的电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器(IEEEPhoton.Technol.Lett,vol.16,pp.2087-2089,2004)。金既作为支撑梁结构材料同时又作为线圈，载流线圈在磁场中受到洛伦兹力，从而实现可动镜面平移。然而，该器件制作工艺复杂，较厚的金膜以及多层布拉格反射镜将产生大的应力，影响镜面平整度与两镜面之间的平行度，最终影响器件性能。2008年，E.V.Rodriguez等人报道了一种基于珐珀滤波器的气体检测传感器(AIP Conf.Proc.,pp.611-616,2008)。红外光源发出的光线射入气体样本，然后经过可变光圈和透镜汇聚，射入珐珀滤波器，对压电陶瓷施加三角波电压，驱动珐珀滤波器的可动反射镜移动，改变珐珀腔的腔长，达到滤波效果。热电探测器紧挨着位于珐珀滤波器后面，接受从珐珀滤波器射出的光线。测试结果表明该气体传感器敏感性极佳，但由于采用压电驱动存在制作工艺复杂、成本高、驱动电压大、非线性明显的缺点。2009年，Jason S.Milne等人报道了一种新型静电驱动式珐珀滤波器(J Microelectromech.Syst.,vol.18,pp.905-913,2009)。四根驱动梁和四根支撑梁均匀分布在可动反射镜的四周，支撑梁的两端分别连接可动反射镜和对应驱动梁的中点。金膜电极之间加上电压，驱动梁弯曲，带动支撑梁平移，支撑梁带动反射镜平移。在这个过程中，支撑梁隔离了驱动梁的变形，所以不会引起反射镜变形。然而，该器件制作工艺复杂，工艺条件要求高，多层布拉格反射镜将产生大的应力，影响镜面平整度与两镜面之间的平行度，最终影响器件性能。

2007年，土耳其KOC大学的H.Urey研究小组提出了一种基于FR4材料制作电磁驱动式微机械器件的方法(IEEE,Optical MEMS and Nanophotonics,pp.25-26,Hualien,2007)。FR4材料是目前印刷电路板行业最常用的基板材料之一。相比硅微机械器件，印刷电路板制作工艺具有成熟可靠、价格低、加工周期短、设计和制造的灵活性大等优势。2008年，该研究小组报道了一类基于FR4的电磁驱动式微机械扫描镜(IEEE Photon.Technol.Lett,vol.16,pp.2087-2089,2008)。在FR4基板正反两面的特定位置制作线圈，然后把基板切割成特定形状，形成镜面工作平台、扭转梁。载流线圈在磁场中受到洛伦兹力的作用，从而驱动工作平台扭转。这种驱动方式具有良好的线性，驱动力大。然而，该器件只有一组线圈，工作平台的姿态无法进行微调，导致扫描角度不能精确控制。受此启发，本发明提出了一种基于印刷电路板的微机械可调谐珐珀滤波器。

发明内容

发明目的

为了克服静电驱动的可调谐范围小、驱动电压大，热驱动的响应时间长、功耗大，压电驱动驱动电压大、非线性严重，硅微电磁驱动制作工艺复杂、驱动位移有限、加工成本高，基于FR4材料的电磁驱动扫描镜姿态无法精确控制等技术缺陷，本发明提出了一种基于印刷电路板的电磁驱动式微机械可调谐珐珀滤波器及其制作方法，旨在实现精确调整可动镜面的姿态、提高器件的线性度响应、增加驱动力、增加光学谐振腔的可调谐范围、降低加工难度和成本、缩短加工周期。

技术方案

本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器的结构参阅图1，基本工作原理参阅图2。器件主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6；

所述可动镜面支撑4中间的镜面工作平台通过支撑梁13与四周框架连接；所述第一反射镜8制作在第一薄膜支撑7上之后，固定于可动镜面支撑4中间的镜面工作平台；可动镜面支撑4的四周框架上用标准印刷电路板生产工艺制作线圈6，线圈6由并联的多个子线圈组成；线圈6在永磁铁16的磁场中受到力发生扭转，从而驱动可动镜面支撑4的运动；

所述第二反射镜14制作在第二薄膜支撑15上之后，固定于固定镜面支撑2上；

所述第一反射镜8和第二反射镜14形成珐珀腔；

所述的可动镜面支撑4和固定镜面支撑2是珐珀滤波器的主要工作机构，可选用FR4、PI、PET等材料，它们通过粘接工艺或者螺钉连接与箱体1固连。间隔层3控制可动镜面支撑4与固定镜面支撑2之间的间距；

所述盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、箱体1上分别有盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12。

所述的第一反射镜8和第二反射镜14为半透半反膜，可以为金属反射镜、布拉格反射镜等，构成珐珀腔，光束可以在反射镜间形成多光束干涉。

更进一步的，连接可动镜面支撑4中间镜面工作平台与四周框架的支撑梁13根据需要设计成直梁、蟹臂梁、折叠梁等结构，参阅图4。

更进一步的，所述的第一薄膜支撑7和第二薄膜支撑15根据工作波段要求选择合适的基底材料，如红外波段可选择硅，可见光波段可选择玻璃。

更进一步的，所述的盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12的形状根据使用要求可以为正方形、圆形。

更进一步的，所述的永磁体16的形状可以为长方体、正方体等。

基本工作原理参阅图2，可动镜面支撑的四种设计方案参阅图3。六个永磁体16分别布置在对应的位置上。向子线圈中通入等量的直流电，载流线圈在永磁体的磁场中受到洛伦兹力作用，子线圈发生扭转，多个子线圈共同作用推动可动镜面支撑4向上运动，使得珐珀腔间隙增大，滤波范围改变，同时支撑梁给镜面工作平台一个向下的力，当二力平衡时镜面工作平台停止运动，如图2a所示。向线圈6中通入等量的反向电流，载流线圈6在永磁体16的磁场中受到反向作用力发生扭转，进一步驱动可动镜面支撑4向下运动，使得珐珀腔间隙减小，滤波范围改变，同时支撑梁给镜面工作平台一个向上的力，当二力平衡时镜面工作平台停止运动，如图2b所示。若由于加工及装配误差，导致工作时可动镜面与固定镜面不平行，通过调节相应的子线圈中的电流大小和方向，对可动镜面的姿态进行微调，使可动镜面与固定镜面平行。

单独的可动镜面可以作为扫描镜，通过调节相应的子线圈中的电流大小，对可动镜面的姿态进行微调，精确控制扫描角度。

参阅图5，本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器的制作工艺包括如下基本步骤：

步骤1：参阅图5(a)，首先用标准印刷电路板生产工艺在基板上制作线圈6，之后在基板上加工出支撑梁13、通光孔10，得到可动镜面支撑4。

步骤2：参阅图5(b)，在第一薄膜支撑7上沉积一层金属薄膜或者多层介质薄膜，形成第一反射镜8；

步骤3：参阅图5(c)，把第一薄膜支撑7用粘接工艺固定到可动镜面支撑4的中间的镜面工作平台相应部位；

步骤4：参阅图5(d)，在第二薄膜支撑15上沉积一层金属薄膜或者多层介质薄膜，形成第二反射镜14；

步骤5：参阅图5(e)，在基板上制出通光孔11，得到固定镜面支撑2；

步骤6：参阅图5(f)，把第二薄膜支撑15用粘接工艺固定到固定镜面支撑2的相应部位上；

步骤7：参阅图5(g)，在金属或者工程塑料上加工通光孔12等结构，成为箱体1；

步骤8：参阅图5(h)，在金属或者工程塑料上加工通光孔9等结构，成为盖板5；

步骤9：参阅图5(i)，把装配好的固定镜面支撑2用粘接工艺固定到箱体1上，第二反射镜14朝上；

步骤10：参阅图5(j)，把间隔层3用粘接工艺固定到箱体1的特定位置；

步骤11：参阅图5(k)，将装配好的可动镜面支撑4用粘接工艺固定到间隔层3上，第一反射镜8朝下，与第二反射镜14相对；

步骤12：参阅图5(l)，将永磁体16放入箱体1内的槽中；

步骤13：参阅图5(m)，将盖板5用粘接工艺或者螺钉连接与箱体1固定到一起，形成完整滤波器。

有益效果

本发明提出的基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器具有比静电驱动大的多的可调谐范围，能大幅度增大器件的工作波段；通过调节不同子线圈内电流的大小与方向可以微调器件可动部分，从而克服加工及装配误差，保持上下两镜面平行；同时其制作工艺采用机械加工、标准印刷电路板加工、粘接等工艺，成本低、加工周期短、工艺成熟。本发明将促进微机械可调谐珐珀滤波器在实际系统中的应用推广。

附图说明

图1基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器的基本结构

图2基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器的基本工作原理

图3可动镜面结构图

图4梁的典型结构

图5基于印刷电路板的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器的加工方法其中：1.箱体1；2.固定薄膜支撑2；3.间隔层3；4.可动薄膜支撑4；5.盖板5；6.线圈6；7.第一薄膜支撑7；8.第一反射镜8；9.通光孔9；10.通光孔10；11.通光孔11；12.通光孔12；13.悬臂梁13；14.第二反射镜14；15. 第二薄膜支撑15；16.永磁体16。

具体实施方式

实施例1

本实施例提出的基于FR4材料的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器结构参阅图1，基本工作原理参阅图2。器件主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6；

所述可动镜面支撑4中间的镜面工作平台通过支撑梁13与四周框架连接；所述第一反射镜8制作在第一薄膜支撑7上之后，固定于可动镜面支撑4中间的镜面工作平台；可动镜面支撑4的四周框架上用标准印刷电路板生产工艺制作线圈6，线圈6由并联的四个子线圈组成；线圈6在永磁铁16的磁场中受到力发生扭转，从而驱动可动镜面支撑4的运动；

所述第二反射镜14制作在第二薄膜支撑15上之后，固定于固定镜面支撑2上；

所述第一反射镜8和第二反射镜14形成珐珀腔；

所述的可动镜面支撑4和固定镜面支撑2是珐珀滤波器的主要工作机构，材质为FR4，它们通过粘接工艺或者螺钉连接与箱体1固连。间隔层3控制可动镜面支撑4与固定镜面支撑2之间的间距；

所述盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、箱体1上分别有盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12。

更进一步的，所述的第一反射镜8和第二反射镜14为金反射镜。

更进一步的，所述的第一薄膜支撑7和第二薄膜支撑15的基底材料选择玻璃，工作波长在可见光波段。

更进一步的，所述的盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12的形状为圆形，直径为8mm。

更进一步的，所述的永磁体16的形状为长方体，具体尺寸为8×5×10mm。

基本工作原理参阅图2，可动镜面支撑的四种设计方案参阅图3。六个永磁体16分别布置在对应的位置上。向子线圈中通入等量的直流电，载流线圈在永磁体的磁场中受到洛伦兹力作用，子线圈发生扭转，多个子线圈共同作用推动可动镜面支撑4向上运动，使得珐珀腔间隙增大，滤波范围改变，同时支撑梁给镜面工作平台一个向下的力，当二力平衡时镜面工作平台停止运动，如图2a所示。向线圈6中通入等量的反向电流，载流线圈6在永磁体16的磁场中受到反向作用力发生扭转，进一步驱动可动镜面支撑4向下运动，使得珐珀腔间隙减小，滤波范围改变，同时支撑梁给镜面工作平台一个向上的力，当二力平衡时镜面工作平台停止运动，如图2b所示。若由于加工及装配误差，导致工作时可动镜面与固定镜面不平行，通过调节相应的子线圈中的电流大小和方向，对可动镜面的姿态进行微调，使可动镜面与固定镜面平行。

参阅图5，本实施例提出的FR4材料的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器的制作工艺包括如下基本步骤：

步骤1：参阅图5(a)，用标准印刷电路板生产工艺在厚度为0.2mm的FR4基板上制作10匝线圈，得到线圈6，然后制出支撑梁13、通光孔10等结构，得到可动镜面支撑4。支撑梁的结构选择折叠梁，宽度为1mm；

步骤2：参阅图5(b)，选择玻璃作为第一薄膜支撑7，在第一薄膜支撑7上沉积一层30nm厚的金膜，形成第一反射镜8；

步骤3：参阅图5(c)，将第一薄膜支撑7用粘接工艺固定到可动镜面支撑4的镜面工作平台上；

步骤4：参阅图5(d)，选择玻璃作为第二薄膜支撑15，在第二薄膜支撑15上沉积一层30nm厚的金膜，形成第二反射镜14；

步骤5：参阅图5(e)，在厚度为1mm的FR-4基板上加工出直径为6mm的通光孔11，制成固定镜面支撑2；

步骤6：参阅图5(f)，将第二薄膜支撑15用粘接工艺固定到固定镜面支撑2的镜面工作平台上；

步骤7：参阅图5(g)，在不锈钢板材上加工通光孔12等结构，成为箱体1，通光孔12的直径为8mm；

步骤8：参阅图5(h)，在不锈钢板材上加工通光孔9，成为盖板5，通光孔9的直径为8mm；

步骤9：参阅图5(i)，将装配好的固定镜面支撑2用粘接工艺固定到箱体1上，第二反射镜14朝上；

步骤10：参阅图5(j)，将间隔层3用粘接工艺固定到箱体1的特定位置；

步骤11：参阅图5(k)，将装配好的可动镜面支撑4用粘接工艺固定到间隔层3上，第一反射镜8朝下，与第二反射镜14相对；

步骤12：参阅图5(l)，将永磁体16放入箱体1内的槽中；

步骤13：参阅图5(m)，将盖板5用粘接工艺或者螺钉连接与箱体1固定到一起，形成完整滤波器。

实施例2

本实施例提出的基于PI材料的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器结构参阅图1，基本工作原理参阅图2。器件主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6；

所述可动镜面支撑4中间的镜面工作平台通过支撑梁13与四周框架连接；所述第一反射镜8制作在第一薄膜支撑7上之后，固定于可动镜面支撑4中间的镜面工作平台；可动镜面支撑4的四周框架上用标准印刷电路板生产工艺制作线圈6，线圈6由并联的四个子线圈组成；线圈6在永磁铁16的磁场中受到力发生扭转，从而驱动可动镜面支撑4的运动；

所述第二反射镜14制作在第二薄膜支撑15上之后，固定于固定镜面支撑2上；

所述第一反射镜8和第二反射镜14形成珐珀腔；

所述的可动镜面支撑4和固定镜面支撑2是珐珀滤波器的主要工作机构，材质为PI，它们通过粘接工艺或者螺钉连接与箱体1固连。间隔层3控制可动镜面支撑4与固定镜面支撑2之间的间距；

所述盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、箱体1上分别有盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12。

更进一步的，所述的第一反射镜8和第二反射镜14为布拉格反射镜。

更进一步的，所述的第一薄膜支撑7和第二薄膜支撑15的基底材料选择硅，工作波长在红外波段。

更进一步的，所述的盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12的形状为圆形，直径为8mm。

更进一步的，所述的永磁体16的形状为正方体，具体尺寸为8×8×8mm。

基本工作原理参阅图2，可动镜面支撑的四种设计方案参阅图3。六个永磁体分别布置在对应的位置上。向子线圈中通入等量的直流电，载流线圈在永磁体16的磁场中受到洛伦兹力作用，子线圈发生扭转，多个子线圈共同作用推动可动镜面支撑4向上运动，使得珐珀腔间隙增大，滤波范围改变，同时支撑梁给镜面工作平台一个向下的力，当二力平衡时镜面工作平台停止运动，如图2a所示。向线圈6中通入等量的反向电流，载流线圈6在永磁体16的磁场中受到反向作用力发生扭转，进一步驱动可动镜面支撑4向下运动，使得珐珀腔间隙减小，滤波范围改变，同时支撑梁给镜面工作平台一个向上的力，当二力平衡时镜面工作平台停止运动，如图2b所示。若由于加工及装配误差，导致工作时可动镜面与固定镜面不平行，通过调节相应的子线圈中的电流大小和方向，对可动镜面的姿态进行微调，使可动镜面与固定镜面平行。

参阅图5，本实施例提出的PI材料的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器的制作工艺包括如下基本步骤：

步骤1：参阅图5(a)，用标准印刷电路板生产工艺在厚度为0.1mm的PI基板上制作10匝线圈，得到线圈6，然后制出支撑梁13、通光孔10等结构，得到可动镜面支撑4。支撑梁的结构选择直梁，宽度为1mm；

步骤2：参阅图5(b)，选择硅作为第一薄膜支撑7，在第一薄膜支撑7上沉积多层介质膜，形成第一反射镜8；

步骤3：参阅图5(c)，将第一薄膜支撑7用粘接工艺固定到可动镜面支撑4的镜面工作平台上；

步骤4：参阅图5(d)，选择硅作为第二薄膜支撑15，在第二薄膜支撑15上沉积多层介质膜，形成第二反射镜14；

步骤5：参阅图5(e)，在厚度为1mm的PI基板上直径为6mm的通光孔11，制成固定镜面支撑2；

步骤6：参阅图5(f)，将第二薄膜支撑15用粘接工艺固定到固定镜面支撑2的镜面工作平台上；

步骤7：参阅图5(g)，在尼龙塑料上加工通光孔12等结构，成为箱体1，通光孔12的直径为8mm；

步骤8：参阅图5(h)，在尼龙塑料上加工通光孔9，成为盖板5，通光孔9的直径为8mm；

步骤9：参阅图5(i)，将装配好的固定镜面支撑2用粘接工艺固定到箱体1上，第二反射镜14朝上；

步骤10：参阅图5(j)，将间隔层3用粘接工艺固定到箱体1的特定位置；

步骤11：参阅图5(k)，将装配好的可动镜面支撑4用粘接工艺固定到间隔层3上，第一反射镜8朝下，与第二反射镜14相对；

步骤12：参阅图5(l)，将永磁体16放入箱体1内的槽中；

步骤13：参阅图5(m)，将盖板5用粘接工艺或者螺钉连接与箱体1 固定到一起，形成完整滤波器。

Claims (4)

1.一种电磁驱动式可调谐珐珀滤波器，其特征在于，主要包括箱体1、盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、永磁体16、第一反射镜8、第二反射镜14、线圈6；

所述可动镜面支撑4中间的镜面工作平台通过支撑梁13与四周框架连接；所述第一反射镜8制作在第一薄膜支撑7上之后，固定于可动镜面支撑4中间的镜面工作平台；可动镜面支撑4的四周框架上用标准印刷电路板生产工艺制作线圈6，线圈6由并联的多个子线圈组成；线圈6在永磁铁16的磁场中受到力发生扭转，从而驱动可动镜面支撑4的运动；

所述第二反射镜14制作在第二薄膜支撑15上之后，固定于固定镜面支撑2上；

所述第一反射镜8和第二反射镜14形成珐珀腔；

所述的可动镜面支撑4和固定镜面支撑2与箱体1固连；间隔层3控制可动镜面支撑4与固定镜面支撑2之间的间距；

所述盖板5、可动镜面支撑4、固定镜面支撑2、箱体1上分别有的盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12。

所述的第一反射镜8和第二反射镜14为半透半反膜。

连接可动镜面支撑4中间镜面工作平台与四周框架的支撑梁13根据需要设计成直梁、蟹臂梁、折叠梁等结构，参阅图4。

2.一种如权利要求1所述的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述的盖板通光孔9、可动镜面支撑通光孔10、固定镜面支撑通光孔11、箱体通光孔12的形状为正方形、圆形。

3.一种如权利要求1所述的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器，其特征在于，所述的永磁体16的形状为长方体、正方体等。

4.一种如权利要求1所述的电磁驱动式可调谐珐珀滤波器的制作工艺，其特征在于，包括如下基本步骤：

步骤1：首先用标准印刷电路板生产工艺在基板上制作线圈6，之后在基板上加工出支撑梁13、通光孔10，得到可动镜面支撑4；

步骤2：在第一薄膜支撑7上沉积一层金属薄膜或者多层介质薄膜，形成第一反射镜8；

步骤3：把第一薄膜支撑7用粘接工艺固定到可动镜面支撑4的中间的镜面工作平台相应部位；

步骤4：在第二薄膜支撑15上沉积一层金属薄膜或者多层介质薄膜，形成第二反射镜14；

步骤5：在基板上制出通光孔11，得到固定镜面支撑2；

步骤6：把第二薄膜支撑15用粘接工艺固定到固定镜面支撑2的相应部位上；

步骤7：在金属或者工程塑料上加工通光孔12等、槽结构，成为箱体1；

步骤8：在金属或者工程塑料上加工通光孔9、槽结构，成为盖板5；

步骤9：把装配好的固定镜面支撑2用粘接工艺固定到箱体1上，第二反射镜14朝上；

步骤10：把间隔层3用粘接工艺固定到箱体1的特定位置；

步骤11：将装配好的可动镜面支撑4用粘接工艺固定到间隔层3上，第一反射镜8朝下，与第二反射镜14相对；

步骤12：将永磁体16放入箱体1内的槽中；

步骤13：将盖板5用粘接工艺或者螺钉连接与箱体1固定到一起，形成完整滤波器。