CN106292184A - 一种防止光阻凝聚装置 - Google Patents

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    • G03F7/00Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
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Abstract

一种防止光阻凝聚装置。属于光阻涂覆装置。光阻在光阻桶底部的凝聚物及残渣会进入管路,影响下一桶新光阻使用效果。防止光阻凝聚装置包括光阻管路(1)、光阻桶(2)和转动装置,转动装置包括支撑箱体(3)、滚轴(4)、电机(5)和电源(6),电机(5)和电源(6)安装在支撑箱体(3)内,电源(6)连接电机(5),电机(5)与滚轴(4)的一端固定,滚轴(4)另一端位于支撑箱体(3)外部;滚轴(4)和光阻桶(2)的中轴线平行设置,且滚轴(4)和光阻桶(2)的外壁之间相接触,滚轴(4)为光阻桶(2)提供转动动力。本发明具有将所盛装的光阻充分混合的作用,输入涂覆机中使用时观感光滑无暇。

Description

一种防止光阻凝聚装置
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种防止光阻凝聚装置。
背景技术
光阻,亦称为光阻剂,是一个用在许多工业制程上的光敏材料。像是光刻技术,可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。目前涂覆机使用的CF BM光阻含碳量较高,容易产生凝聚,回温后48小时内若不能使用完则将报废,不进行回冰动作。光阻回冰回温到运输到机台,光阻桶都处于直立状态,光阻残渣及固含量高的碳化合物会沉积于桶底。
目前CF厂内光阻回温好的光阻直接上机台进行使用,桶底沉淀物会打入光阻管内,涂布时会产生微观缺陷。
光阻桶内装有光阻23L左右,机台使用时将管子插到桶底,确保光阻充分利用,切换光阻桶使用时光阻底部凝聚物及残渣会进入管路,影响下一桶新光阻使用效果。
发明内容
针对上述现有技术中的问题,本申请提出了一种防止光阻凝聚装置。
防止光阻凝聚装置包括:光阻管路和光阻桶,光阻管路的一端位于光阻桶内的底部,光阻管路的另一端伸出光阻桶外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体、滚轴、电机和电源,电机和电源安装在支撑箱体内,电源连接电机,电机与滚轴的一端固定,滚轴另一端位于支撑箱体外部;
滚轴和光阻桶的中轴线平行设置,且滚轴和光阻桶的外壁之间相接触,滚轴为光阻桶提供转动动力。
在一个实施例中,包括:光阻管路和光阻桶,光阻管路的一端位于光阻桶内的底部,光阻管路的另一端伸出光阻桶外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体、两根滚轴、两个电机和电源,电机和电源安装在支撑箱体内,电源分别连接两个电机,每个电机分别与一根滚轴的一端固定,滚轴另一端位于支撑箱体外部;两根滚轴之间平行设置,滚轴和光阻桶的中轴线平行设置,位于支撑箱体外部的两根滚轴的外壁同时与光阻桶的外壁相接触,且两根滚轴的转动方向互逆、转速不同,为光阻桶提供转动动力;优选地,两根滚轴中轴线之间的距离小于光阻桶的直径。
优选地,防止光阻凝聚装置包括:光阻管路和光阻桶,光阻管路的一端位于光阻桶内的底部,光阻管路的另一端伸出光阻桶外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体、两根滚轴、两个电机和电源,电机和电源安装在支撑箱体内,电源分别连接两个电机,每个电机分别与一根滚轴的一端固定,滚轴另一端位于支撑箱体外部;
两根滚轴之间平行设置,滚轴和光阻桶的中轴线平行设置,位于支撑箱体外部的两根滚轴的外壁同时与光阻桶的外壁相接触,且两根滚轴的转动方向互逆、转速不同,为光阻桶提供转动动力;且两根滚轴中轴线之间的距离小于光阻桶的直径。
光阻桶内壁上还具有搅拌结构,优选地,搅拌结构为一组搅拌叶,搅拌叶固定在光阻桶下半部分的内壁上;且搅拌叶形成的搅拌叶组在光阻桶内壁上的排列方式为螺旋形。
优选地,防止光阻凝聚装置包括:光阻管路和光阻桶,光阻管路的一端位于光阻桶内的底部,光阻管路的另一端伸出光阻桶外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体、两根滚轴、两个电机和电源,电机和电源安装在支撑箱体内,电源分别连接两个电机,每个电机分别与一根滚轴的一端固定,滚轴另一端位于支撑箱体外部;
两根滚轴之间平行设置,滚轴和光阻桶的中轴线平行设置,位于支撑箱体外部的两根滚轴的外壁同时与光阻桶的外壁相接触,且两根滚轴的转动方向互逆、转速不同,为光阻桶提供转动动力;且两根滚轴中轴线之间的距离小于光阻桶的直径;
光阻桶内壁上还具有搅拌结构,搅拌结构为两根的搅拌杆,搅拌杆两端固定在光阻桶下半部分的内壁上;且两根搅拌杆交叉固定。
上述技术特征可以各种适合的方式组合或由等效的技术特征来替代,只要能够达到本发明的目的。
有益效果:
本发明的组成包括光阻管路、光阻桶和转动装置,光阻管路插入光阻桶内用于供给涂覆机光阻,当转动装置包括支撑箱体、两根滚轴、两个电机和电源时,电机和电源安装在支撑箱体内,每个电机上安装滚轴,电源分别连接两个电机并供电,滚轴另一端位于支撑箱体外部,滚轴之间平行设置,滚轴和光阻桶的外壁相接触。控制两根滚轴的转动方向互逆、转速不同,为光阻桶提供充足的转动动力,光阻桶的转动携带内容盛装的光阻进行混合。
光阻桶内壁上还具有搅拌结构,搅拌结构为一组搅拌叶或搅拌杆,当光阻桶随着滚轴转动时,还能依靠光阻桶内的搅拌叶或搅拌杆二次搅拌光阻,使光阻更加充分,提高涂覆效果。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中:
图1显示了本发明具体实施方式一涉及的结构示意图;
图2显示了本发明具体实施方式二涉及的结构示意图;
图3显示了本发明具体实施方式三和五涉及的光阻桶内部搅拌叶螺旋排列的结构示意图;
图4显示了本发明具体实施方式四和六涉及的光阻桶内部搅拌杆交叉设置的结构示意图,
图5显示了本发明具体实施方式八涉及的光阻桶内部具有三根搅拌杆的结构示意图。
在附图中,相同的部件使用相同的附图标记,1为光阻管路,2为光阻桶,3为支撑箱体,4为滚轴,5为电机,6为电源,7为搅拌叶,8为搅拌杆。附图并未按照实际的比例。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
具体实施方式一:
本实施方式的防止光阻凝聚装置,如图1所示,其组成包括:光阻管路1和光阻桶2,光阻管路1的一端位于光阻桶2内的底部,光阻管路1的另一端伸出光阻桶2外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体3、滚轴4、电机5和电源6,电机5和电源6安装在支撑箱体3内,电源6连接电机5,电机5与滚轴4的一端固定,滚轴4另一端位于支撑箱体3外部;
滚轴4和光阻桶2的中轴线平行设置,且滚轴4和光阻桶2的外壁之间相接触,滚轴4为光阻桶2提供转动动力。
机台使用时将管子插到桶底,确保光阻充分利用,切换光阻桶使用时光阻底部凝聚物及残渣不会进入管路,更换下一桶新光阻时不会影响光组使用效果。涂覆后产品表面光滑无暇。
具体实施方式二:
本实施方式的防止光阻凝聚装置,如图2所示,其组成包括:光阻管路1和光阻桶2,光阻管路1的一端位于光阻桶2内的底部,光阻管路1的另一端伸出光阻桶2外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体3、两根滚轴4、两个电机5和电源6,电机5和电源6安装在支撑箱体3内,电源6分别连接两个电机5,每个电机5分别与一根滚轴4的一端固定,滚轴4另一端位于支撑箱体3外部;
两根滚轴4之间平行设置,滚轴4和光阻桶2的中轴线平行设置,位于支撑箱体3外部的两根滚轴4的外壁同时与光阻桶2的外壁相接触,且两根滚轴4的转动方向互逆、转速不同,为光阻桶2提供转动动力;且两根滚轴4中轴线之间的距离小于光阻桶2的直径。
具体实施方式三:
本实施方式的防止光阻凝聚装置,如图1和图3所示,其组成包括:光阻管路1和光阻桶2,光阻管路1的一端位于光阻桶2内的底部,光阻管路1的另一端伸出光阻桶2外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体3、滚轴4、电机5和电源6,电机5和电源6安装在支撑箱体3内,电源6连接电机5,电机5与滚轴4的一端固定,滚轴4另一端位于支撑箱体3外部;
滚轴4和光阻桶2的中轴线平行设置,且滚轴4和光阻桶2的外壁之间相接触,滚轴4为光阻桶2提供转动动力;
光阻桶2内壁上还具有搅拌结构,当光阻桶随着滚轴转动时,还能依靠光阻桶内的搅拌结构二次搅拌光阻,使光阻更加充分,提高涂覆效果。
具体实施方式四:
本实施方式的防止光阻凝聚装置,如图1和图3所示,其组成包括:光阻管路1和光阻桶2,光阻管路1的一端位于光阻桶2内的底部,光阻管路1的另一端伸出光阻桶2外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体3、滚轴4、电机5和电源6,电机5和电源6安装在支撑箱体3内,电源6连接电机5,电机5与滚轴4的一端固定,滚轴4另一端位于支撑箱体3外部;
滚轴4和光阻桶2的中轴线平行设置,且滚轴4和光阻桶2的外壁之间相接触,滚轴4为光阻桶2提供转动动力;
光阻桶2内壁上还具有搅拌结构,搅拌结构为一组搅拌叶7,搅拌叶7固定在光阻桶下半部分的内壁上;且搅拌叶7形成的搅拌叶组在光阻桶2内壁上的排列方式为螺旋形。当光阻桶随着滚轴转动时,还能依靠光阻桶内的搅拌结构二次搅拌光阻,使光阻更加充分,提高涂覆效果。
具体实施方式五:
本实施方式的防止光阻凝聚装置,如图1和图4所示,其组成包括:光阻管路1和光阻桶2,光阻管路1的一端位于光阻桶2内的底部,光阻管路1的另一端伸出光阻桶2外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体3、滚轴4、电机5和电源6,电机5和电源6安装在支撑箱体3内,电源6连接电机5,电机5与滚轴4的一端固定,滚轴4另一端位于支撑箱体3外部;
滚轴4和光阻桶2的中轴线平行设置,且滚轴4和光阻桶2的外壁之间相接触,滚轴4为光阻桶2提供转动动力;
光阻桶2内壁上还具有搅拌结构,搅拌结构为两根交叉设置的搅拌杆8,且每根搅拌杆8的两端都固定在光阻桶2下半部分的内壁上。当光阻桶随着滚轴转动时,还能依靠光阻桶内的搅拌结构二次搅拌光阻,使光阻混合更加充分,提高涂覆效果。
具体实施方式六:
本实施方式的防止光阻凝聚装置,如图1和图3所示,其组成包括:光阻管路1和光阻桶2,光阻管路1的一端位于光阻桶2内的底部,光阻管路1的另一端伸出光阻桶2外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体3、两根滚轴4、两个电机5和电源6,电机5和电源6安装在支撑箱体3内,电源6分别连接两个电机5,每个电机5分别与一根滚轴4的一端固定,滚轴4另一端位于支撑箱体3外部;
两根滚轴4之间平行设置,滚轴4和光阻桶2的中轴线平行设置,位于支撑箱体3外部的两根滚轴4的外壁同时与光阻桶2的外壁相接触,且两根滚轴4的转动方向互逆、转速不同,为光阻桶2提供转动动力;且两根滚轴4中轴线之间的距离小于光阻桶2的直径。
光阻桶2内壁上还具有搅拌结构,搅拌结构为一组搅拌叶7,搅拌叶7固定在光阻桶下半部分的内壁上;且搅拌叶7形成的搅拌叶组在光阻桶2内壁上的排列方式为螺旋形。当光阻桶随着滚轴转动时,还能依靠光阻桶内的搅拌结构二次搅拌光阻,使光阻更加充分,提高涂覆效果。
具体实施方式七:
本实施方式的防止光阻凝聚装置,如图2和图4所示,其组成包括:光阻管路1和光阻桶2,光阻管路1的一端位于光阻桶2内的底部,光阻管路1的另一端伸出光阻桶2外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体3、两根滚轴4、两个电机5和电源6,电机5和电源6安装在支撑箱体3内,电源6分别连接两个电机5,每个电机5分别与一根滚轴4的一端固定,滚轴4另一端位于支撑箱体3外部;
两根滚轴4之间平行设置,滚轴4和光阻桶2的中轴线平行设置,位于支撑箱体3外部的两根滚轴4的外壁同时与光阻桶2的外壁相接触,且两根滚轴4的转动方向互逆、转速不同,为光阻桶2提供转动动力;且两根滚轴4中轴线之间的距离小于光阻桶2的直径。
光阻桶2内壁上还具有搅拌结构,搅拌结构为两根交叉设置的搅拌杆8,且每根搅拌杆8的两端都固定在光阻桶2下半部分的内壁上。当光阻桶随着滚轴转动时,还能依靠光阻桶内的搅拌结构二次搅拌光阻,使光阻更加充分,提高涂覆效果。
具体实施方式八:
本实施方式的防止光阻凝聚装置,如图2和图5所示,其组成包括:光阻管路1和光阻桶2,光阻管路1的一端位于光阻桶2内的底部,光阻管路1的另一端伸出光阻桶2外部,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体3、两根滚轴4、两个电机5和电源6,电机5和电源6安装在支撑箱体3内,电源6分别连接两个电机5,每个电机5分别与一根滚轴4的一端固定,滚轴4另一端位于支撑箱体3外部;
两根滚轴4之间平行设置,滚轴4和光阻桶2的中轴线平行设置,位于支撑箱体3外部的两根滚轴4的外壁同时与光阻桶2的外壁相接触,且两根滚轴4的转动方向互逆、转速不同,为光阻桶2提供转动动力;且两根滚轴4中轴线之间的距离小于光阻桶2的直径。
光阻桶2内壁上还具有搅拌结构,所述搅拌结构为三根搅拌杆8,搅拌杆8一端固定在桶底中心处,另一端固定在光阻桶2下半部分的内壁上,且三根搅拌杆8在光阻桶2内壁上的固定点之间的间隔相同;当光阻桶随着滚轴转动时,还能依靠光阻桶内的搅拌结构二次搅拌光阻,使光阻更加充分,提高涂覆效果。
虽然在本文中参照了特定的实施方式来描述本发明,但是应该理解的是,这些实施例仅仅是本发明的原理和应用的示例。因此应该理解的是,可以对示例性的实施例进行许多修改,并且可以设计出其他的布置,只要不偏离所附权利要求所限定的本发明的精神和范围。应该理解的是,可以通过不同于原始权利要求所描述的方式来结合不同的从属权利要求和本文中所述的特征。还可以理解的是,结合单独实施例所描述的特征可以使用在其他所述实施例中。

Claims (10)

1.一种防止光阻凝聚装置,其组成包括:光阻管路(1)和光阻桶(2),光阻管路(1)的一端位于光阻桶(2)内的底部,光阻管路(1)的另一端伸出光阻桶(2)外部,其特征在于,所述防止光阻凝聚装置还包括转动装置,转动装置包括支撑箱体(3)、滚轴(4)、电机(5)和电源(6),电机(5)和电源(6)安装在支撑箱体(3)内,电源(6)连接电机(5),电机(5)与滚轴(4)的一端固定,滚轴(4)另一端位于支撑箱体(3)外部;
滚轴(4)和光阻桶(2)的中轴线平行设置,且滚轴(4)和光阻桶(2)的外壁之间相接触,滚轴(4)为光阻桶(2)提供转动动力。
2.根据权利要求1所述的防止光阻凝聚装置,其特征在于:所述的滚轴(4)和电机(5)的数量分别为两根,位于支撑箱体(3)外部的两根滚轴(4)的外壁同时与光阻桶(2)的外壁相接触,且两根滚轴(4)的转动方向互逆、转速不同,为光阻桶(2)提供转动动力。
3.根据权利要求2所述的防止光阻凝聚装置,其特征在于:所述的两根滚轴(4)之间平行设置。
4.根据权利要求2或3所述的防止光阻凝聚装置,其特征在于:所述的两根滚轴(4)中轴线之间的距离小于光阻桶(2)的直径。
5.根据权利要求2或3所述的防止光阻凝聚装置,其特征在于:所述光阻桶(2)内壁上还具有搅拌结构。
6.根据权利要求5所述的防止光阻凝聚装置,其特征在于:所述搅拌结构为一组搅拌叶(7),搅拌叶(7)固定在光阻桶下半部分的内壁上。
7.根据权利要求6所述的防止光阻凝聚装置,其特征在于:所述搅拌叶(7)形成的搅拌叶组在光阻桶(2)内壁上的排列方式为螺旋形。
8.根据权利要求7所述的防止光阻凝聚装置,其特征在于:所述搅拌叶(7)的数量为5-8个。
9.根据权利要求5所述的防止光阻凝聚装置,其特征在于:所述搅拌结构为两根交叉设置的搅拌杆(8),且每根搅拌杆(8)的两端都固定在光阻桶2下半部分的内壁上。
10.根据权利要求5所述的防止光阻凝聚装置,其特征在于:所述搅拌结构为三根搅拌杆(8),每根搅拌杆(8)的一端固定在桶底中心处,另一端固定在光阻桶(2)下半部分的内壁上,且三根搅拌杆(8)在光阻桶(2)内壁上的固定点之间的间隔相同。
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