CN106290313A - 一种应用于icp光谱的入射光观测位置调节结构 - Google Patents

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Abstract

一种应用于ICP光谱的入射光观测位置调节结构，属于光谱仪入射光观测技术领域。包括：包括：光桶、主体、窗片、第一反射镜、第一反射镜基座、调整块、调整杆、弹簧、偏转轴、转动环、第一限位杆、限位开关、铜套、旋转杆、电机、偏心轴、第二限位杆、调整销、旋转曲柄、轴承、第二反射镜基座、第二反射镜。通过调节结构上的电机运动调整第一反射镜和第二反射镜的位置，通过采集系统实时的监测采集信号的变化，使其找到各元素最佳的光线入射路径，以获得最大的灵敏度，降低仪器的检出限及避免背景干扰。

Description

一种应用于ICP光谱的入射光观测位置调节结构
技术领域
本发明属于光谱仪入射光观测技术领域，特别是提供了一种应用于ICP光谱的入射光观测位置调节结构。
背景技术
电感耦合等离子体光谱仪(ICP光谱仪)利用原子激发发射特征谱线所提供的信息进行元素分析，具有多元素同时、快速、直接测定的优点，在冶金、石油化工、机械制造、金属加工等工业生产中发挥着巨大作用，是材料领域中应用最为广泛的元素分析方法之一。
为使仪器工作在最佳工作条件，仪器的分光系统处于最优性能，保证仪器的灵敏度及避免由于色差及背景干扰影响分析结果，就必须保证等离子体所发射的光线处于最佳的入射位置；而在实际的应用过程中，不同元素在等离子体中心通道的最佳观测位置是不一致的，同时不同的样品也会导致等离子体中心通道的入射光线最佳位置发生变化，所以常需要根据样品的不同、元素的不同调整其最佳的入射位置，以获得最大的灵敏度，降低仪器的检出限及避免背景干扰。
图1是ICP光谱仪现有的透射式光学系统结构示意图。为了保证找到最佳的观测位置,保证仪器的灵敏度及避免背景干扰,可以根据不同基体调整等离子体位置,使其前后、上下移动，然而等离子体的安装载体体积质量较大,移动起来非常复杂，难以保证移动精度；同时透射系统中的透镜针对不同的波长会有不同的成像位置,会造成色差,影响仪器的检测性能。
发明内容
本发明的目的在于提供一种应用于ICP光谱的入射光观测位置调节结构，克服了上述透射式系统存在的技术缺陷；实现了在等离子体固定的同时，通过反射系统的调节来找到最佳位置。
本发明提供一种反射式光学系统结构。如图2所示。同现有技术相比其优势在于首先反射式光学系统保证等离子体光源位置固定不变，保证了等离子体的安装精度，可以根据不同的基体通过电机控制来调整反射系统中的镜子来找到最佳观测位置，体积小且配合简单易于控制；其次反射式光学系统去除了透镜成像这个过程，消除了色差，保证了仪器的性能。
本发明包括：光桶1、主体2、窗片3、第一反射镜4、第一反射镜基座5、调整块6、调整杆7、弹簧8、偏转轴9、转动环10、第一限位杆11、限位开关12、铜套13、旋转杆14、电机15、偏心轴16、第二限位杆17、调整销18、旋转曲柄19、轴承20、第二反射镜基座21、第二反射镜22。
各部件的连接关系为：将铜套13安装在主体2上，调整销18安装在旋转曲柄19上，将旋转杆14依次穿过主体2、旋转曲柄19和弹簧8；电机15固定在主体2上，转动环10安装在电机轴上，将第一限位杆11和偏转轴16固定到转动环10上；限位开关12和轴承20固定在主体2上，偏心轴16的两段分别固定在轴承盒电机轴上，电机15安装到主体2上，限位开关2固定在偏心轴16上；调整杆7与调整块6连接，调整块6固定在旋转轴14上，第一反射镜安4装在第一反射镜基座5上，第二反射镜22安装第二反射镜基座21上，第一反射镜基座5与第二反射镜基座21分别与调整杆7连接。
通过电机带动偏心轴的旋转，通过连接在偏心轴上的调整销使旋转曲柄转动进而带动第一反射镜转动；通过电机带动转动环转动，最终通过带动偏转轴、旋转曲柄和弹簧的作用，使第一反射镜移动。
通过仪器采集系统实时监测采集信号特征的变化，找到各元素最佳的光线入射路径，以获得最大的灵敏度，降低仪器的检出限及避免背景干扰。
附图说明
图1 ICP光谱仪现有的透射式光学系统结构示意图。
图2 ICP光谱仪反射式光学系统结构示意图。
图3反射式ICP光谱的入射光观测位置调节结构。其中：光桶1、主体2、窗片3、第一反射镜4、第一反射镜基座5、调整块6、调整杆7、弹簧8、偏转轴9、转动环10、第一限位杆11、限位开关12、铜套13、旋转杆14、电15、偏心轴16、第二限位杆17、调整销18、旋转曲柄19、轴承20、第二反射镜基座21、第二反射镜22。
具体实施方式
本发明包括：光桶1、主体2、窗片3、第一反射镜4、第一反射镜基座5、调整块6、调整杆7、弹簧8、偏转轴9、转动环10、第一限位杆11、限位开关12、铜套13、旋转杆14、电机15、偏心轴16、第二限位杆17、调整销18、旋转曲柄19、轴承20、第二反射镜基座21、第二反射镜22。
整个调节结构的装配顺序按如下步骤进行。
第一步：将主体2平放在一个工作台上，将铜套13安装在主体2上，然后把旋转杆10按图3所示依次穿过主体2、旋转曲柄19和弹簧8，最后将三者整体安装在主体2上。
第二步：将电机15安装在主体2上，然后将转动环10安装在电机轴上，接着把第一限位杆11安装在转动环10上，把旋转曲柄19调整到适当位置，最后把偏转轴9组装到转动环10上面。
第三步：将限位开关12和轴承20按图3所示组装到主体2上。
第四步：将偏心轴16的两端分别安装在轴承20和电机轴上，再把电机15安装到主体2上，最后把偏心轴16旋转到适当位置，将第二限位杆17固定在偏心轴16上。
第五步：将调整销18连接到旋转曲柄19上。
第六步：将调整杆7安装到调整块6上，把第一反射镜4安装在第一反射镜基座5上，将二者和调整杆7和调整块6的整体连接在一起，最后把四者再整体安装到旋转杆7上。
第七步：将调整杆7安装在主体2上，然后第二反射镜22和第二反射镜基座21组装在一起，把二者整体和调整杆7连接起来。
第八步：将窗片3安装在主体2上，最后把光桶1连接到主体2上，整个调节结构组装完毕。
ICP光谱入射光观测位置调节结构各部件的连接关系按以上步骤组装完毕之后，将其安装到分光系统结构上，在实际应用过程中不同的基体所激发出的等离子体光线，可以通过调节结构上的电机运动调整第一反射镜和第二反射镜的位置，通过采集系统实时的监测采集信号的变化，使其找到最佳的光线入射路径，保证仪器性能始终处于最好状态。

Claims (3)

1.一种应用于ICP光谱的入射光观测位置调节结构，其特征在于，包括：光桶、主体、窗片、第一反射镜、第一反射镜基座、调整块、调整杆、弹簧、偏转轴、转动环、第一限位杆、限位开关、铜套、旋转杆、电机、偏心轴、第二限位杆、调整销、旋转曲柄、轴承、第二反射镜基座、第二反射镜；
各部件的连接关系为：将铜套(13)安装在主体(2)上，调整销(18)安装在旋转曲柄(19)上，将旋转杆(14)依次穿过主体(2)、旋转曲柄(19)和弹簧(8)；电机(15)固定在主体(2)上，转动环(10)安装在电机轴上，将第一限位杆(11)和偏转轴(16)固定到转动环(10)上；限位开关(12)和轴承(20)固定在主体(2)上，偏心轴(16)的两段分别固定在轴承盒电机轴上，电机(15)安装到主体(2)上，限位开关2固定在偏心轴(16)上；调整杆(7)与调整块(6)连接，调整块(6)固定在旋转轴(14)上，第一反射镜安(4)装在第一反射镜基座(5)上，第二反射镜(22)安装第二反射镜基座(21)上，第一反射镜基座(5)与第二反射镜基座(21)分别与调整杆(7)连接。
2.根据权利要求1所述的应用于ICP光谱的入射光观测位置调节结构，其特征在于，通过电机带动偏心轴的旋转，通过连接在偏心轴上的调整销使旋转曲柄转动进而带动第一反射镜转动；通过电机带动转动环转动，最终通过带动偏转轴、旋转曲柄和弹簧的作用，使第一反射镜移动。
3.根据权利要求1所述的应用于ICP光谱的入射光观测位置调节结构，其特征在于，通过仪器采集系统实时监测采集信号特征的变化，找到各元素最佳的光线入射路径，以获得最大的灵敏度，降低仪器的检出限及避免背景干扰。
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Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0540951A (ja) * 1991-06-25 1993-02-19 Canon Inc トラツキング用回動ミラー装置
JPH0843311A (ja) * 1994-07-29 1996-02-16 Shimadzu Corp Ｉｃｐ発光分光分析装置および光サンプリング装置
DE69532268T2 (de) * 1994-10-19 2004-05-27 The Perkin-Elmer Corp., Norwalk Spektrometer mit wählbarem Strahlengang des von einer induktiv angeregten Plasmaquelle ausgehenden Lichts
CN101144895A (zh) * 2007-10-11 2008-03-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 反射镜三维调整机构
CN101216590A (zh) * 2008-01-21 2008-07-09 上海微电子装备有限公司 三自由度反射镜调整装置
DE202009014928U1 (de) * 2009-12-30 2010-05-27 Chang, Peter Eine Hochpräzisions-Spiegelmontage
CN103149664A (zh) * 2013-02-21 2013-06-12 海信集团有限公司 反射镜调整装置
JP3185626U (ja) * 2013-06-14 2013-08-22 株式会社島津製作所 Ｉｃｐ発光分析装置
CN104076024A (zh) * 2013-03-28 2014-10-01 日本株式会社日立高新技术科学 Icp发光分光分析装置
CN105005133A (zh) * 2015-06-19 2015-10-28 安徽大学 笼式球型分体式反射镜万向调整结构

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0540951A (ja) * 1991-06-25 1993-02-19 Canon Inc トラツキング用回動ミラー装置
JPH0843311A (ja) * 1994-07-29 1996-02-16 Shimadzu Corp Ｉｃｐ発光分光分析装置および光サンプリング装置
DE69532268T2 (de) * 1994-10-19 2004-05-27 The Perkin-Elmer Corp., Norwalk Spektrometer mit wählbarem Strahlengang des von einer induktiv angeregten Plasmaquelle ausgehenden Lichts
CN101144895A (zh) * 2007-10-11 2008-03-19 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 反射镜三维调整机构
CN101216590A (zh) * 2008-01-21 2008-07-09 上海微电子装备有限公司 三自由度反射镜调整装置
DE202009014928U1 (de) * 2009-12-30 2010-05-27 Chang, Peter Eine Hochpräzisions-Spiegelmontage
CN103149664A (zh) * 2013-02-21 2013-06-12 海信集团有限公司 反射镜调整装置
CN104076024A (zh) * 2013-03-28 2014-10-01 日本株式会社日立高新技术科学 Icp发光分光分析装置
JP3185626U (ja) * 2013-06-14 2013-08-22 株式会社島津製作所 Ｉｃｐ発光分析装置
CN105005133A (zh) * 2015-06-19 2015-10-28 安徽大学 笼式球型分体式反射镜万向调整结构

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
徐金瑞等: "《ICP发射光谱分析》", 31 January 1991 *

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