CN106289072A - 一种亚微米级位移传感器 - Google Patents

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杨向通
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    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness

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Abstract

本发明公开了一种亚微米级位移传感器，包括机体外壳和微型处理器,所述顶端堵头的中心处安装有数据连接装置，所述位移连杆机构的一侧安装有光感元件，所述光感元件上安装有发光源，所述微型处理器安装在机体外壳的内部，所述微型处理器的上方安装有驱动控制器，所述驱动控制器的一侧安装有数据采集装置，所述数据采集装置的一侧安装有限位器，所述限位器的右侧安装有编码器，所述编码器的上方安装有激光发生器。本发明设置有光感元件和激光发生器，因此传感器输出信号为绝对位移值，得出的结果精确可靠可以达到亚微米级，由于光感元件是非接触的，不会对传感器造成任何磨损，可以提高检测的可靠性和使用寿命。

Description

一种亚微米级位移传感器
技术领域
本发明涉及位移传感器设备技术领域，具体为一种亚微米级位移传感器。
背景技术
位移传感器又称为线性传感器，是一种属于金属感应的线性器件，传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在生产过程中，位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。按被测变量变换的形式不同，位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多，包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器、自整角机、电容式位移传感器、电涡流式位移传感器、霍尔式位移传感器等。数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统。这种传感器发展迅速，应用日益广泛。
电位器式位移传感器，位移传感器它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。但是，为实现测量位移目的而设计的电位器，要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。电位器式位移传感器的可动电刷与被测物体相连。
目前的位移传感器在使用过程中存在许多不足之处，磨损程度大，因要输出微弱，测量精度低等问题，因此需要一种亚微米级位移传感器。
发明内容
本发明的目的在于提供一种亚微米级位移传感器，以解决上述背景技术中提出磨损程度大，因要输出微弱，测量精度低的问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种亚微米级位移传感器，包括机体外壳和微型处理器,所述机体外壳的一侧安装有顶端堵头，所述顶端堵头的中心处安装有数据连接装置，所述机体外壳的另一侧安装有防尘罩，所述防尘罩的内部安装有位移连杆机构，所述位移连杆机构的下方安装有主体基座，所述位移连杆机构的一侧安装有光感元件，所述光感元件上安装有发光源，所述微型处理器安装在机体外壳的内部，所述微型处理器的上方安装有驱动控制器，所述驱动控制器的一侧安装有数据采集装置，所述数据采集装置的一侧安装有限位器，所述限位器的右侧安装有编码器，所述编码器的上方安装有激光发生器。
优选的，所述顶端堵头的外侧安装有紧固螺栓。
优选的，所述限位器、数据采集装置、驱动控制器、激光发生器和编码器均与微型处理器电性连接。
优选的，所述发光源和光感元件均设置有两个。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该设备结构科学合理，使用安全方便，具有构简单，输出信号大，测量精度高，磨损低等优点；设置有光感元件和激光发生器，因此传感器输出信号为绝对位移值，即使电源中断、重接，数据也不会丢失，更无须重新归零，由于光感元件是非接触的，就算不断重复检测，也不会对传感器造成任何磨损，可以大大地提高检测的可靠性和使用寿命。
附图说明
图1为本发明的结构示意图；
图2为本发明的内部结构示意图。
图中：1-位移连杆机构；2-防尘罩；3-机体外壳；4-顶端堵头；5-数据连接装置；6-紧固螺栓；7-发光源；8-光感元件；9-主体基座；10-限位器；11-数据采集装置；12-驱动控制器；13-微型处理器；14-激光发生器；15-编码器。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1和图2，本发明提供的一种亚微米级位移传感器实施例：一种亚微米级位移传感器，包括机体外壳3和微型处理器13,机体外壳3的一侧安装有顶端堵头4，顶端堵头4的中心处安装有数据连接装置5，机体外壳3的另一侧安装有防尘罩2，防尘罩2的内部安装有位移连杆机构1，位移连杆机构1的下方安装有主体基座9，位移连杆机构1的一侧安装有光感元件8，光感元件8上安装有发光源7，微型处理器13安装在机体外壳3的内部，微型处理器13的上方安装有驱动控制器12，驱动控制器12的一侧安装有数据采集装置11，数据采集装置11的一侧安装有限位器10，限位器10的右侧安装有编码器15，编码器15的上方安装有激光发生器1，顶端堵头4的外侧安装有紧固螺栓6，限位器10、数据采集装置11、驱动控制器12、激光发生器14和编码器15均与微型处理器13电性连接，发光源7和光感元件8均设置有两个。
工作原理：该亚微米级位移传感器使用时，激光发生器14产生的激光经过发光源7进行工作，传感器输出光源信号为绝对位移值，即使电源中断、重接，数据也不会丢失，更无须重新归零，由于光感元件8与发光源7是非接触的，因此传感器造成任何磨损，之后在数据采集装置11和微型处理器12的计算后，将数据通过数据连接装置5输送到外部设备。
对于本领域技术人员而言，显然本发明不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本发明的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本发明。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本发明的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本发明内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (4)

1.一种亚微米级位移传感器，包括机体外壳(3)和微型处理器(13),其特征在于：所述机体外壳(3)的一侧安装有顶端堵头(4)，所述顶端堵头(4)的中心处安装有数据连接装置(5)，所述机体外壳(3)的另一侧安装有防尘罩(2)，所述防尘罩(2)的内部安装有位移连杆机构(1)，所述位移连杆机构(1)的下方安装有主体基座(9)，所述位移连杆机构(1)的一侧安装有光感元件(8)，所述光感元件(8)上安装有发光源(7)，所述微型处理器(13)安装在机体外壳(3)的内部，所述微型处理器(13)的上方安装有驱动控制器(12)，所述驱动控制器(12)的一侧安装有数据采集装置(11)，所述数据采集装置(11)的一侧安装有限位器(10)，所述限位器(10)的右侧安装有编码器(15)，所述编码器(15)的上方安装有激光发生器(14)。
2.根据权利要求1所述的一种亚微米级位移传感器，其特征在于：所述顶端堵头(4)的外侧安装有紧固螺栓(6)。
3.根据权利要求1所述的一种亚微米级位移传感器，其特征在于：所述限位器(10)、数据采集装置(11)、驱动控制器(12)、激光发生器(14)和编码器(15)均与微型处理器(13)电性连接。
4.根据权利要求1所述的一种亚微米级位移传感器，其特征在于：所述发光源(7)和光感元件(8)均设置有两个。
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Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101963492A (zh) * 2010-09-17 2011-02-02 华中科技大学 基于椭圆柱内反射镜的位移检测装置
CN102060235A (zh) * 2010-12-09 2011-05-18 江苏省特种设备安全监督检验研究院 一种起重机用制动下滑量测试仪
CN202048888U (zh) * 2010-12-19 2011-11-23 西安华科光电有限公司 一种高速位移激光检测系统
CN102506724A (zh) * 2011-12-01 2012-06-20 西安华科光电有限公司 准直激光二维位移测量系统及利用该系统测量导轨的方法
CN103697817A (zh) * 2012-09-27 2014-04-02 中国航空工业第六一八研究所 一种基于复合光栅的新型光位移传感器及其位移补偿方法
CN204228115U (zh) * 2014-04-25 2015-03-25 王明 光电式直线位移传感器
CN204854639U (zh) * 2015-07-27 2015-12-09 南京农业大学 一种激光可伸缩牛羊体尺测量器
US20160076918A1 (en) * 2014-09-15 2016-03-17 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optical linear measurement system and method
CN205245997U (zh) * 2015-12-24 2016-05-18 浙江久正工程检测有限公司 一种位移传感器

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101963492A (zh) * 2010-09-17 2011-02-02 华中科技大学 基于椭圆柱内反射镜的位移检测装置
CN102060235A (zh) * 2010-12-09 2011-05-18 江苏省特种设备安全监督检验研究院 一种起重机用制动下滑量测试仪
CN202048888U (zh) * 2010-12-19 2011-11-23 西安华科光电有限公司 一种高速位移激光检测系统
CN102506724A (zh) * 2011-12-01 2012-06-20 西安华科光电有限公司 准直激光二维位移测量系统及利用该系统测量导轨的方法
CN103697817A (zh) * 2012-09-27 2014-04-02 中国航空工业第六一八研究所 一种基于复合光栅的新型光位移传感器及其位移补偿方法
CN204228115U (zh) * 2014-04-25 2015-03-25 王明 光电式直线位移传感器
US20160076918A1 (en) * 2014-09-15 2016-03-17 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Optical linear measurement system and method
CN204854639U (zh) * 2015-07-27 2015-12-09 南京农业大学 一种激光可伸缩牛羊体尺测量器
CN205245997U (zh) * 2015-12-24 2016-05-18 浙江久正工程检测有限公司 一种位移传感器

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