CN106269767A - 集成电路生产车间用抽尘系统 - Google Patents

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CN106269767A
CN106269767A CN201610881575.8A CN201610881575A CN106269767A CN 106269767 A CN106269767 A CN 106269767A CN 201610881575 A CN201610881575 A CN 201610881575A CN 106269767 A CN106269767 A CN 106269767A
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Inventor
吕耀安
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Beijing informed investment home intellectual property rights Operation Co., Ltd.
Original Assignee
WUXI HI-NANO TECHNOLOGY Co Ltd
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area

Abstract

本发明涉及一种集成电路生产车间用抽尘系统，包括多个设置于电路板操作台下方的抽吸装置，多个抽吸装置之间相互级联，并共同连接总控制器；所述抽吸装置包括通过纵横梁支撑的抽吸板，所述抽吸板上均布有微抽吸孔，位于微抽吸孔的下方，所述纵横梁的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管，所述抽吸管的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸管上设有独立的控制阀并连接吸尘设备，抽吸管的正下方设有灰尘传感器，所述灰尘传感器与总控制器连接。本发明采用地面抽吸方式，对集中靠近地面的灰尘进行抽吸，其抽吸效果好，效率高；采用灰尘传感器检测，实现自动抽吸，无需人工控制。

Description

集成电路生产车间用抽尘系统
技术领域
本发明涉及集成电路的生产车间相关技术领域，特别涉及集成电路生产车间的除尘系统。
背景技术
集成电路的生产车间，必须保证无尘、无菌环境。现有的车间中，采用墙壁及顶部抽尘、换气系统，由于灰尘主要产生于人体脚部及靠近地面的位置，这种抽尘换气方式，对保证车间的无尘环境的效果不佳。
发明内容
针对现有技术存在的上述问题，申请人进行研究及改进，提供一种集成电路生产车间用抽尘系统，采用地面抽吸灰尘的方式，提高灰尘的抽吸效果。
为了解决上述问题，本发明采用如下方案：
一种集成电路生产车间用抽尘系统，包括多个设置于电路板操作台下方的抽吸装置，多个抽吸装置之间相互级联，并共同连接总控制器；所述抽吸装置包括通过纵横梁支撑的抽吸板，所述抽吸板上均布有微抽吸孔，位于微抽吸孔的下方，所述纵横梁的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管，所述抽吸管的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸管上设有独立的控制阀并连接吸尘设备，抽吸管的正下方设有灰尘传感器，所述灰尘传感器与总控制器连接。
本发明的技术效果在于：
本发明采用地面抽吸方式，对集中靠近地面的灰尘进行抽吸，其抽吸效果好，效率高；采用灰尘传感器检测，实现自动抽吸，无需人工控制。
附图说明
图1为本发明的结构示意图。
图2为本发明中抽吸装置的结构图。
图中：1、纵横梁；100、抽吸装置；2、抽吸板；3、微抽吸孔；4、抽吸管；5、灰尘传感器；6、总控制器。
具体实施方式
下面结合附图对本发明的具体实施方式作进一步说明。
如图1、图2所示，本实施例的集成电路生产车间用抽尘系统，包括多个设置于电路板操作台下方的抽吸装置100，多个抽吸装置100之间相互级联，并共同连接总控制器6；抽吸装置100包括通过纵横梁1支撑的抽吸板2，抽吸板2上均布有微抽吸孔3，位于微抽吸孔3的下方，纵横梁1的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管4，抽吸管4的管壁上设有吸尘孔，抽吸管4上设有独立的控制阀并连接吸尘设备，抽吸管4的正下方设有灰尘传感器5，灰尘传感器5与总控制器6连接。
本发明采用地面抽吸方式，对集中靠近地面的灰尘进行抽吸，其抽吸效果好，效率高；采用灰尘传感器检测，实现自动抽吸，无需人工控制。
以上所举实施例为本发明的较佳实施方式，仅用来方便说明本发明，并非对本发明作任何形式上的限制，任何所属技术领域中具有通常知识者，若在不脱离本发明所提技术特征的范围内，利用本发明所揭示技术内容所作出局部改动或修饰的等效实施例，并且未脱离本发明的技术特征内容，均仍属于本发明技术特征的范围内。

Claims (1)

1.一种集成电路生产车间用抽尘系统，其特征在于：包括多个设置于电路板操作台下方的抽吸装置(100)，多个抽吸装置(100)之间相互级联，并共同连接总控制器(6)；所述抽吸装置(100)包括通过纵横梁(1)支撑的抽吸板(2)，所述抽吸板(2)上均布有微抽吸孔(3)，位于微抽吸孔(3)的下方，所述纵横梁(1)的支撑空隙中间隔安装有多根抽吸管(4)，所述抽吸管(4)的管壁上设有吸尘孔，所述抽吸管(4)上设有独立的控制阀并连接吸尘设备，抽吸管(4)的正下方设有灰尘传感器(5)，所述灰尘传感器(5)与总控制器(6)连接。
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