CN106199270B - 一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法 - Google Patents

一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106199270B
CN106199270B CN201610556735.1A CN201610556735A CN106199270B CN 106199270 B CN106199270 B CN 106199270B CN 201610556735 A CN201610556735 A CN 201610556735A CN 106199270 B CN106199270 B CN 106199270B
Authority
CN
China
Prior art keywords
resonator
frequency
capacitance
dynamic
series
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201610556735.1A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106199270A (zh
Inventor
王艳
谌海云
刘�东
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Southwest Petroleum University
Original Assignee
Southwest Petroleum University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Southwest Petroleum University filed Critical Southwest Petroleum University
Priority to CN201610556735.1A priority Critical patent/CN106199270B/zh
Publication of CN106199270A publication Critical patent/CN106199270A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106199270B publication Critical patent/CN106199270B/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01RMEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Measurement Of Resistance Or Impedance (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

本发明公开一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法,包括以下步骤,A、测量谐振器的相频曲线图,并找到相频曲线图中的零相位点,即得到并联谐振角频率ωa和串联谐振角频率ωr;B、谐振器串联一个电容CL,并测量其相频曲线图,得到串联电容CL后的并联谐振角频率ωA和串联谐振角频率ωR;C、通过上述四个频率值和公式得到谐振器的静态电容C0、动态电容C1、动态电感L1和动态电阻R1。本发明与通常方法近似计算得到的L1、C1、C0相比,本方法计算的L1、C1、C0没有理论误差,同时本方法还得到了R1,从而实现了通过频率测量所有等效参数。

Description

一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法
技术领域
本发明属于电子技术领域,特别涉及一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法。
背景技术
石英晶体的等效电路可以用BVD(Butterworth-Van Dyke)模型表示。目前有一些方法可以计算石英晶体的等效参数,最常用的是串联负载电容法。
石英晶体的BVD等效电路模型如图1所示,其中L1、C1和R1分别是石英晶体谐振器的动态电感、动态电容和动态电阻,C0是石英晶体谐振器的静态电容。目前一般常用的串联负载电容法是通过测试不带串联电容的串联谐振频率fr和加了串联电容后的串联谐振频率fR,根据公式进行近似计算得到C1和C0。现有的测量石英晶体等效参数的方法,理论上都有近似,只适合于高Q值的谐振器。并且不能测量全部4个参数L1、C1、R1和C0
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种不存在任何的近似,即使在Q值低的情况下也不会出现理论误差,而且可以测量全部4个参数的石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是:一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法,包括以下步骤,
A、测量谐振器的相频曲线图,并找到图中的零相位点,即得到并联谐振角频率ωa和串联谐振角频率ωr
B、谐振器串联一个电容CL,并测量其相频曲线图,得到串联电容CL后的并联谐振角频率ωA和串联谐振角频率ωR
C、通过上述四个频率值和下式得到谐振器的静态电容C0、动态电容C1、动态电感L1和动态电阻R1
式中:CL为串联电容,单位F;
C0为静态电容,单位F
C1为动态电容,单位F;
L1为动态电感,单位H;
R1为动态电阻,单位Ω。
进一步的是,所述谐振器可以是石英,也可以是声表面波(SAW)、钽酸锂等多种可等效为BVD模型的压电谐振器。
进一步的是,所述谐振器可以为任一种可等效为BVD模型的压电谐振器。
发明的有益效果是:与通常方法近似计算得到的L1、C1、C0相比,本方法得到的L1、C1、C0没有理论误差,同时本方法还得到了R1,从而实现了通过频率测量所有等效参数;这也可使得石英晶体微天平(QCM)的测量从单一测量频率发展到测量等效参数;本方法不仅没有理论误差,而且待测量是频率,有摆脱大型仪器的潜力。
附图说明
图1是串电容后的谐振器的BVD等效电路模型图;
图2是本发明实施例的仿真框图;
图3是本发明实施例实测的相频曲线图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。
本发明的一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法,包括以下步骤,
A、首先定义ωa为并联谐振角频率,ωr为串联谐振角频率,通过网络分析仪实测出谐振器的相频曲线图,找到相频曲线图中的零相位点,即得到并联谐振角频率ωa和串联谐振角频率ωr
B、然后再在谐振器串联一个电容CL后,根据图1可将其转换为等效电路,并定义ωA为串联电容后并联谐振角频率,ωR为串联电容后串联谐振角频率;
C、再通过网络分析仪实测出串联电容CL后谐振器的相频曲线图,再在相频曲线图中找到零相位点,得到串联电容CL后的并联谐振角频率ωA和串联谐振角频率ωR
D、根据如下的谐振器的谐振频率计算公式和串联电容后振荡器等效参数的计算公式:
其中还包括以下公式进行求解:
然后将上述五个计算公式联立求解可得到谐振器的静态电容C0、动态电容C1、动态电感L1和动态电阻R1的计算公式:
式中:CL为串联电容,单位F;
C0为静态电容,单位F;
C1为动态电容,单位F;
L1为动态电感,单位H;
R1为动态电阻,单位Ω;
E、最后将步骤A中得到并联谐振角频率ωa、串联谐振角频率ωr和步骤C中串联电容CL后得到的并联谐振角频率ωA、串联谐振角频率ωR这四个值带入步骤D中得到的谐振器静态电容C0、动态电容C1、动态电感L1和动态电阻R1的计算公式,即可得到静态电容C0、动态电容C1、动态电感L1和动态电阻R1
其中谐振器可以是石英晶体谐振器,也可以是声表面波(SAW)、钽酸锂等多种BVD模型的谐振器。
实施例1
利用ADS(Advanced Design system)软件进行了仿真实验,仿真框图如图2所示。将仿真频率带入上述联立求解得到的四个公式,可得到计算结果如表1。
表1
CL(pF) R1(Ω) L1(mH) C1(fF) C0(pF)
10 62.2976 8.7948 0.2001 3.2055
实施例2
利用安捷伦E5062A网络分析仪实测出了一个石英晶体谐振器的相频曲线图,如图3所示。将实测谐振频率带入上述联立求解得到的四个公式,可得到计算结果如表2所示,
表2
CL(pF) R1(Ω) L1(mH) C1(fF) C0(pF)
1.8 98.463 1457.87 0.173756 3.50666
利用以往的近似计算方法即下式计算得到的参数如表3,
表3
R1(Ω) L1(mH) C1(fF) C0(pF)
未知 1450.69 0.174616 3.53763
实验结果表明,本方法计算的L1、C1、C0与通常方法计算的L1、C1、C0是基本一致的,这符合在高Q情况下的预期,同时本方法还得到了R1,从而实现了通过频率测量所有等效参数。可使得石英晶体微天平(QCM)的测量从单一测量频率发展到测量等效参数。本方法不仅没有理论误差,而且待测量是频率,有摆脱大型仪器的潜力。

Claims (2)

1.一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法,其特征在于,包括以下步骤,
A、测量谐振器的相频曲线图,并找到相频曲线图中的零相位点,即得到并联谐振角频率ωa和串联谐振角频率ωr
B、谐振器串联一个电容CL,并测量其相频曲线图,得到串联电容CL后的并联谐振角频率ωA和串联谐振角频率ωR
C、通过上述四个频率值和下式得到谐振器的静态电容C0、动态电容C1、动态电感L1和动态电阻R1
式中:CL为串联电容,单位F;
C0为静态电容,单位F;
C1为动态电容,单位F;
L1为动态电感,单位H;
R1为动态电阻,单位Ω。
2.根据权利要求1所述的一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法,其特征在于,所述谐振器可以是石英,也可以是声表面波、钽酸锂多种可等效为BVD模型的压电谐振器。
CN201610556735.1A 2016-07-15 2016-07-15 一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法 Expired - Fee Related CN106199270B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610556735.1A CN106199270B (zh) 2016-07-15 2016-07-15 一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610556735.1A CN106199270B (zh) 2016-07-15 2016-07-15 一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106199270A CN106199270A (zh) 2016-12-07
CN106199270B true CN106199270B (zh) 2018-08-17

Family

ID=57474370

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610556735.1A Expired - Fee Related CN106199270B (zh) 2016-07-15 2016-07-15 一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106199270B (zh)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109586679B (zh) 2018-11-21 2021-11-16 电子科技大学 一种压电谐振器等效电参数及谐振频率的测量方法
CN112394232B (zh) * 2020-11-18 2024-05-10 刘�东 一种压电晶体、电感器等效参数以及电容容值测量方法
CN113779927B (zh) * 2021-08-12 2023-12-01 华中科技大学 一种石英晶体谐振器等效电路参数确定方法及装置

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0319506A (ja) * 1989-06-16 1991-01-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 水晶発振回路
CN101419262A (zh) * 2008-10-10 2009-04-29 南京信息工程大学 石英晶体振荡器的在线检测系统
CN106134453B (zh) * 2011-12-22 2014-07-09 北京遥测技术研究所 一种石英谐振器阻抗特性参数的测量系统
CN105183981A (zh) * 2015-09-06 2015-12-23 北京长峰微电科技有限公司 一种单端对声表面波谐振器等效参数的提取方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7088192B2 (en) * 2003-03-31 2006-08-08 Toyo Communication Equipment Co., Ltd. Inverter oscillator circuit

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0319506A (ja) * 1989-06-16 1991-01-28 Matsushita Electric Ind Co Ltd 水晶発振回路
CN101419262A (zh) * 2008-10-10 2009-04-29 南京信息工程大学 石英晶体振荡器的在线检测系统
CN106134453B (zh) * 2011-12-22 2014-07-09 北京遥测技术研究所 一种石英谐振器阻抗特性参数的测量系统
CN105183981A (zh) * 2015-09-06 2015-12-23 北京长峰微电科技有限公司 一种单端对声表面波谐振器等效参数的提取方法

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
"单端对声表面波谐振器测试方法研究";方强等;《声学技术》;20130831;第32卷(第4期);第193-196页 *
"石英晶体谐振器电参模型及其对测量精度的影响";李东等;《天津大学学报》;19991130;第32卷(第6期);第761-784页 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN106199270A (zh) 2016-12-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN109586679B (zh) 一种压电谐振器等效电参数及谐振频率的测量方法
CN106199270B (zh) 一种石英晶体谐振器等效电路参数的测量方法
CN106712738B (zh) 根据频率响应要求设计声微波滤波器的方法
Wang et al. The determination of the optimal length of crystal blanks in quartz crystal resonators
CN111578966B (zh) 一种基于lms算法的半球谐振子特征参数辨识方法
Hempel et al. Quartz crystal resonator sensors under lateral field excitation—A theoretical and experimental analysis
Feld et al. Advances in nonlinear measurement & modeling of bulk acoustic wave resonators
Segovia-Fernandez et al. Impact of metal electrodes on the figure of merit (k t 2· Q) and spurious modes of contour mode AlN resonators
Uzunov et al. Extraction of modified butterworth—Van Dyke model of FBAR based on FEM analysis
CN113779927B (zh) 一种石英晶体谐振器等效电路参数确定方法及装置
Wang et al. Low TCF lithium tantalate contour mode resonators
Hagelauer et al. Improved modeling of bulk acoustic wave resonators and filters
Bai et al. The simulation of resonant mode and effective electromechanical coupling coefficient of lithium niobate crystal with different orientations
Huang et al. Design analysis of miniature quartz resonator using two-dimensional finite element model
CN206056613U (zh) 一种体声波传感器读出电路
CN105183981B (zh) 一种单端对声表面波谐振器等效参数的提取方法
Peng et al. Frequency-dependent equivalent modelling of broadband air-coupled transducers
Constantinescu et al. Circuit models for power BAW resonators-set-up and implementation
CN116341448A (zh) 一种基于de算法的压电陶瓷电气等效电路建模方法
Molinero et al. Analyzing the 2nd Harmonic Emissions of a BAW Resonator Undergoing Lateral Mode Excitation
KR102335050B1 (ko) mBVD 모델의 파라미터를 결정하는 방법
Sidek et al. Design and fabrication of Surface Acoustic Wave resonators on Lithium Niobate
Yong et al. Eigen-frequency and frequency response calculation of piezoelectric resonator parameters
He et al. Longitudinal wave resonant frequency calculation and verification of the bulk acoustic resonator
Ventura et al. Analysis of SAW transducer having aperiodic multi-electrode cells using a coupled FEM/BIE numerical model

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20180817

Termination date: 20210715

CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee