CN106088673B - 一种安装有回流风扇的超净间 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种安装有回流风扇的超净间，包括设置于超净间前端的入风端、设置于超净间后端的回流端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置有左右通透的储物区，储物区中放置有储物架；超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所述门同时还作为出风口；所述回流端的入风口设置在门的左右两侧，回流端的出风口与所述走风通道相连接；所述入风端设置有多个风扇单元；所述回流端的走风通道的连接处设置有汇流风扇。本发明设置了回流风扇，使得超净间中的空气循环效率加快，可有效增加超净间中，尤其是储物区的洁净等级。

Description

一种安装有回流风扇的超净间
技术领域
本发明涉及半导体制成技术，具体涉及一种安装有回流风扇的超净间。
背景技术
超净间用于制药工业或者半导体制成工业，在制作晶圆、TFT或者LCD时，都需要使用超净间，超净间最主要的作用在于控制产品所接触的大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造。现有的超净间的问题主要在，气体的流通仅仅依靠入风口和出风口的对流效应，气体循环效率较低。
发明内容
在现有技术的基础上，本发明公开了一种一种安装有回流风扇的超净间。
本发明的技术方案如下：
一种安装有回流风扇的超净间，包括设置于超净间前端的入风端、设置于超净间后端的回流端和设置于超净间内侧左右边的走风通道；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道，操作通道的两侧设置有起重设备；在所述起重设备和所述走风通道之间设置有左右通透的储物区，储物区中放置有储物架；超净间后端还设置有用于供操作员出入的门；所述门同时还作为出风口；所述回流端的入风口设置在门的左右两侧，回流端的出风口与所述走风通道相连接；所述入风端设置有多个风扇单元；所述回流端的走风通道的连接处设置有汇流风扇。
本发明的有益技术效果是：
本发明设置了回流风扇，使得超净间中的空气循环效率加快，可有效增加超净间中，尤其是储物区的洁净等级。
附图说明
图1是本发明的示意图。
具体实施方式
图1是本发明的示意图。如图1所示，本发明的超净间包括设置于超净间前端的入风端1、设置于超净间后端的回流端2和设置于超净间内侧左右边的走风通道3；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道4，操作通道4的两侧设置有起重设备5；在起重设备5和走风通道3之间设置有左右通透的储物区7，储物区7中放置有储物架8；超净间后端还设置有用于供操作员出入的门9；门9同时还作为出风端；回流端2的入风口设置在门9的左右两侧，回流端2的出风口与走风通道3相连接。入风端1设置有多个风扇单元10。回流端2和走风通道3相连接处安装有回流风扇11。
操作员由门9进入超净间，并进入操作通道4，进行工作，起重设备5可根据操作员的指示，由储物区7中的储物架8之上拿取或者放下相关设备，帮助操作员工作。洁净风由入风端1的风扇单元10吹出，经由走风通道3吹出，在走风通道3中时，一部分风还向侧边吹入储物区7，经过储物架8，由操作通道4吹出，最后所有的风均吹向门9的方向，但有一部分风从门9的左右两侧的回流端2的入风口吹入，被回流风扇11带动，再次吹向储物架8，则储物区7的洁净程度增高。
以上所述的仅是本发明的优选实施方式，本发明不限于以上实施例。可以理解，本领域技术人员在不脱离本发明的精神和构思的前提下直接导出或联想到的其他改进和变化，均应认为包含在本发明的保护范围之内。

Claims (1)

1.一种安装有回流风扇的超净间，包括设置于超净间前端的入风端(1)、设置于超净间后端的回流端(2)和设置于超净间内侧左右边的走风通道(3)；超净间左右两侧的中轴线上设置有操作通道(4)，操作通道(4)的两侧设置有起重设备(5)；在所述起重设备(5)和所述走风通道(3)之间设置有左右通透的储物区(7)，储物区(7)中放置有储物架(8)；其特征在于，超净间后端还设置有用于供操作员出入的门(9)；所述门(9)同时还作为出风口；所述回流端(2)的入风口设置在门(9)的左右两侧，回流端(2)的出风口与所述走风通道(3)相连接；所述入风端(1)设置有多个风扇单元(10)；所述回流端(2)的走风通道(3)的连接处设置有汇流风扇(11)。
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