CN106082687B - 一种玻璃减薄方法及减薄装置 - Google Patents
一种玻璃减薄方法及减薄装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106082687B CN106082687B CN201610439556.XA CN201610439556A CN106082687B CN 106082687 B CN106082687 B CN 106082687B CN 201610439556 A CN201610439556 A CN 201610439556A CN 106082687 B CN106082687 B CN 106082687B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- glass
- platform
- thinned
- thinning device
- corrosive liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
本发明涉及平板显示器玻璃基板减薄技术领域,尤其涉及一种玻璃减薄方法及减薄装置。本发明提供了一种玻璃减薄方法,包括以步骤S1,提供一待减薄的玻璃;S2,采用酸性腐蚀液对所述玻璃的待减薄面腐蚀,在对所述玻璃进行腐蚀的同时,利用与所述玻璃相对运动的摩擦机构对所述玻璃的待减薄面进行刮平。本发明提供的玻璃减薄方法可以去除玻璃表面的杂质以及污点,减少玻璃表面的凹陷,保证玻璃厚度减薄的均一性,玻璃表面平整。
Description
技术领域
本发明涉及平板显示器玻璃基板减薄技术领域,尤其涉及一种玻璃减薄方法及减薄装置。
背景技术
玻璃生产过程中,需要进行减薄工艺处理。目前最常用的方法为槽式酸蚀减薄处理工艺,在整个酸蚀过程中,玻璃要在贮药池中与药液进行充分反应。在生产超薄玻璃(小于0.3mm)时,由于浸泡时间久,玻璃上原有的划痕会被放大形成凹坑,这些凹坑的存在影响了显示效果。另外,由于浸泡时间长,玻璃在减薄溶液中容易发生掉片情况,且厚度精度难以控制,在流片时容易产生裂片或跑偏。
发明内容
(一)要解决的技术问题
本发明要解决的技术问题是如何降低玻璃减薄过程中玻璃表面产生的缺陷。
(二)技术方案
为了解决上述技术问题,本发明提供了一种玻璃减薄方法,包括以下步骤:
S1,提供一待减薄的玻璃;
S2,采用酸性腐蚀液对所述玻璃的待减薄面腐蚀,在对所述玻璃进行腐蚀的同时,利用与所述玻璃相对运动的摩擦机构对所述玻璃的待减薄面进行刮平。
根据本发明,在执行所述步骤S2前,利用去离子水对所述玻璃进行清洗,并将抗酸膜贴附在与所述玻璃的待减薄面相反的一面。
根据本发明,还包括步骤S3,利用清水清洗所述玻璃。
根据本发明,还包括步骤S4,利用弱碱溶液清洗所述玻璃。
根据本发明,所述玻璃通过将与所述玻璃的待减薄面相反的一面采用真空吸附或双面胶贴附的方式固定。
根据本发明,所述玻璃固定后,在所述玻璃的侧边缘设置挡板。
本发明提供了一种用于上述玻璃减薄方法的玻璃减薄装置,包括用于固定玻璃的平台、设于所述平台上方的摩擦机构以及腐蚀液提供机构,所述腐蚀液提供机构用于为所述平台的工作面提供腐蚀液环境;还包括动力机构,所述动力机构用于驱动所述摩擦机构和/或所述平台在与所述平台的工作面平行的平面内运动。
根据本发明,所述腐蚀液提供机构为腐蚀槽,所述平台设于所述腐蚀槽内。
根据本发明,所述腐蚀液提供机构为设于所述平台上方的喷淋装置,所述喷淋装置用于向所述平台的工作面喷洒腐蚀液。
根据本发明,所述腐蚀液提供机构为与所述摩擦机构连接的输送导管,所述摩擦机构靠近所述平台的一面设有出液孔,所述输送导管通过设于摩擦机构内部的连通通道与所述出液孔连通,用于向所述出液孔提供腐蚀液。
根据本发明,所述平台的上表面与水平面之间设有夹角。
根据本发明,所述动力机构包括用于驱动所述平台旋转的第一转动驱动机构,和/或用于驱动所述摩擦机构旋转的第二转动驱动机构。
根据本发明,所述动力机构包括用于驱动所述平台直线运动的第一水平驱动机构,和/或用于驱动所述摩擦机构直线运动的第二水平驱动机构。
根据本发明,所述平台上设有用于检测所述玻璃厚度的厚度检测器。
根据本发明,所述摩擦机构为毛刷或刮板。
根据本发明,所述平台上设有加热装置。
(三)有益效果
本发明的上述技术方案与现有技术相比具有如下优点:本发明提供的玻璃减薄的方法在利用酸性腐蚀液减薄玻璃的同时,摩擦机构对其表面进行刮平,可以去除玻璃表面的杂质以及污点,减少玻璃表面的凹陷,保证玻璃厚度减薄的均一性,玻璃表面平整,尤其是对于避免玻璃由0.5mm减薄至0.2mm以下的过程中缺陷的产生有良好的效果。并且表面凹陷少且平整的玻璃用于显示器时,显示和出光效果好。
附图说明
图1是本发明实施例一提供的玻璃减薄方法的流程图;
图2是本发明实施例二提供的玻璃减薄装置的结构示意图;
图3是本发明实施例三提供的玻璃减薄装置的结构示意图;
图4是本发明实施例四提供的玻璃减薄装置的结构示意图。
图中:1:平台;2:腐蚀槽;3:玻璃;4:摩擦机构;5:挡板;6:喷淋装置;7:输送导管;8:出液孔;9:连通通道。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本发明的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
实施例一
如图1所示,本发明实施例提供的一种玻璃减薄方法,包括以下步骤:
S1,提供一待减薄的玻璃;具体地,本实施例中在对玻璃进行腐蚀前,利用去离子水对玻璃进行清洗,前期对玻璃进行清洗能够去除玻璃表面杂质。然后将抗酸膜贴附在与玻璃的待减薄面相反的一面,对与待减薄面相反的一面进行保护,避免腐蚀到玻璃表面的图案。
S2,采用酸性腐蚀液对玻璃的待减薄面腐蚀,在对玻璃进行腐蚀的同时,利用与玻璃相对运动的摩擦机构对玻璃的待减薄面进行刮平。优选地,本实施例中的玻璃通过将与玻璃的待减薄面相反的一面采用真空吸附或双面胶贴附的方式固定,从而便于摩擦机构对玻璃的待减薄面进行刮平。进一步地,为防止在减薄过程中玻璃的侧边缘产生毛边,玻璃固定后在玻璃的侧边缘设置挡板。
具体地,本实施例中还包括步骤S3,在玻璃减薄完成后利用清水清洗玻璃。并且还包括步骤S4,清水清洗玻璃后利用弱碱溶液清洗玻璃,弱碱溶液优选为质量百分比浓度为5~10%的氢氧化钠溶液。玻璃减薄完成后进行清洗防止残留的酸液对玻璃造成损伤。
本发明提供的玻璃减薄的方法在利用酸性腐蚀液减薄玻璃的同时,摩擦机构对其表面进行刮平,可以去除玻璃表面的杂质以及污点,减少玻璃表面的凹陷,保证玻璃厚度减薄的均一性,玻璃表面平整,尤其是对于避免玻璃由0.5mm减薄至0.2mm以下的过程中缺陷的产生有良好的效果。并且表面凹陷少且平整的玻璃用于显示器时,显示和出光效果好。
实施例二
如图2所示,本发明实施例还提供了一种用于上述玻璃减薄方法的玻璃减薄装置,包括用于固定玻璃3的平台1、设于平台1上方的摩擦机构4以及腐蚀液提供机构,本实施例中腐蚀液提供机构为腐蚀槽2,平台1设于腐蚀槽2内,本实施例中摩擦机构4为毛刷或刮板,毛刷优选为涤纶纤维、乙烯基酯树脂、不饱和聚酯树脂、工程塑料或橡胶中的一种或多种。本实施例的玻璃减薄装置还包括动力机构,动力机构用于驱动摩擦机构4和/或平台1在与平台1的工作面平行的平面内运动。使用时,将玻璃3固定在平台1上,腐蚀槽2内的腐蚀液没过玻璃3的上表面,使摩擦机构4与玻璃3的上表面相接触,摩擦机构4与平台1相对运动时,摩擦机构4就可以实现对玻璃3减薄面的刮平。本实施例提供的玻璃减薄装置玻璃3浸泡在腐蚀槽2内,玻璃3在被腐蚀减薄的同时,摩擦机构4除去减薄面的杂质和污点以及玻璃3表面的凹陷,保证了玻璃3表面的平整。
具体地,本实施例中的动力机构可以包括用于驱动平台1旋转的第一转动驱动机构,动力机构也可以包括用于驱动摩擦机构4旋转的第二转动驱动机构,本实施例中动力机构优选为同时包括用于驱动平台1旋转的第一转动驱动机构和用于驱动摩擦机构4旋转的第二转动驱动机构,第一转动驱动机构与第二转动驱动机构驱动平台1与摩擦机构4朝相反的方向旋转。需要说明的是,本发明的动力机构并不仅限于驱动摩擦机构4和/或平台1在与平台1的工作面平行的平面内相对旋转,也可以是相对直线运动等其他周期性运动。比如动力机构为用于驱动平台1直线运动的第一水平驱动机构,或用于驱动摩擦机构4直线运动的第二水平驱动机构,或同时包括用于驱动平台1直线运动的第一水平驱动机构和用于驱动摩擦机构4直线运动的第二水平驱动机构。
进一步地,本实施例中的平台1上设有用于检测玻璃3厚度的厚度检测器。设置厚度检测器可以实时监控玻璃3厚度,控制产出玻璃3的厚度,保证出货的均一性。
进一步地,本实施例中平台1的上表面设有真空吸盘,在真空吸盘内部设有密闭的抽气孔道以及与抽气孔道相通的真空缓冲腔体,通过抽气孔道与真空缓冲腔体形成密闭腔室,在与外接真空泵源断开情况下维持真空吸盘与平板玻璃之间的真空度在整个减薄过程中吸附住平板玻璃。采用真空吸盘直接吸附待减薄玻璃3,使得玻璃3的固定以及拆卸操作更加简单。
进一步地,本实施例中平台1上设有加热装置。平台1上设置加热装置可以实现对腐蚀液的加热,使得腐蚀液对玻璃的腐蚀加快,提高减薄效率。
进一步地,本实施例中平台1的工作面上还设有多个设于玻璃放置位置的侧边缘的挡板5,多个挡板5围设而成的空间与待减薄玻璃3的形状大小相匹配,用于防止在减薄过程中玻璃3的侧边缘产生毛边。优选地,本实施例中挡板5与平台1滑动连接。使用时可以根据待减薄玻璃3的大小不同而移动挡板6的位置。挡板5也可以与平台1的上表面采用粘接的方式连接。
实施例三
本实施例三与实施例二相同的技术内容不重复描述,实施例二公开的内容也属于本实施例三公开的内容,本实施例三是对具体特征腐蚀液提供机构的进一步优化:如图3所示,腐蚀液提供机构为设于平台1上方的喷淋装置6,喷淋装置6用于向平台1的工作面喷洒腐蚀液。使用时,将玻璃3固定在平台1上,喷淋装置将腐蚀液喷淋到玻璃3的上表面,使摩擦机构4与玻璃3的上表面相接触,摩擦机构4与平台1相对运动时,摩擦机构4就可以实现对玻璃3减薄面的刮平。本实施例提供的玻璃减薄装置玻璃3在喷淋腐蚀液的冲刷下减薄,玻璃3在被腐蚀减薄的同时,摩擦机构4除去减薄面的杂质和污点以及玻璃3表面的凹陷,保证了玻璃3表面的平整。本实施例提供的玻璃减薄装置中各位置的腐蚀液浓度均匀,节省腐蚀液。
进一步地,本实施例中平台1的上表面与水平面之间设有夹角。平台1上表面与水平面之间设置夹角有利于腐蚀液的排出,防止剩余腐蚀液对减薄玻璃的损伤。
实施例四
本实施例四与实施例二相同的技术内容不重复描述,实施例二公开的内容也属于本实施例四公开的内容,本实施例四是对具体特征腐蚀液提供机构的进一步优化:如图4所示,本实施例中腐蚀液提供机构为与摩擦机构4连接的输送导管7,摩擦机构4靠近平台1的一面设有出液孔8,输送导管7通过设于摩擦机构4内部的连通通道9与出液孔8连通,用于向出液孔8提供腐蚀液。使用时腐蚀液通过输送导管7输送至摩擦机构4的出液孔8处,进而流到玻璃的待减薄面,腐蚀液仅由出液孔8流至玻璃的待减薄面,可以使得腐蚀液得到更充分地利用,减少废液的产生。
进一步地,本实施例中平台1的上表面与水平面之间设有夹角。平台1上表面与水平面之间设置夹角有利于腐蚀液的排出,防止剩余腐蚀液对减薄玻璃的损伤。
最后应说明的是:以上实施例仅用以说明本发明的技术方案,而非对其限制;尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明,本领域的普通技术人员应当理解:其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换;而这些修改或者替换,并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。
Claims (14)
1.一种用于玻璃减薄方法的玻璃减薄装置,其特征在于:
所述方法包括以下步骤:
S1,提供一待减薄的玻璃;
S2,采用酸性腐蚀液对所述玻璃的待减薄面腐蚀,在对所述玻璃进行腐蚀的同时,利用与所述玻璃相对运动的摩擦机构对所述玻璃的待减薄面进行刮平;
所述装置包括用于固定玻璃的平台、腐蚀液提供机构以及设于所述平台上方的摩擦机构,所述腐蚀液提供机构用于为所述平台的工作面提供腐蚀液环境;
还包括动力机构,所述动力机构用于驱动所述摩擦机构和/或所述平台在与所述平台的工作面平行的平面内运动;
所述玻璃固定后,在所述玻璃的侧边缘设置挡板。
2.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:在执行所述步骤S2前,利用去离子水对所述玻璃进行清洗,并将抗酸膜贴附在与所述玻璃的待减薄面相反的一面。
3.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:还包括步骤S3,利用清水清洗所述玻璃。
4.根据权利要求3所述的玻璃减薄装置,其特征在于:还包括步骤S4,利用弱碱溶液清洗所述玻璃。
5.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述玻璃通过将与所述玻璃的待减薄面相反的一面采用真空吸附或双面胶贴附的方式固定。
6.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述腐蚀液提供机构为腐蚀槽,所述平台设于所述腐蚀槽内。
7.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述腐蚀液提供机构为设于所述平台上方的喷淋装置,所述喷淋装置用于向所述平台的工作面喷洒腐蚀液。
8.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述腐蚀液提供机构为与所述摩擦机构连接的输送导管,所述摩擦机构靠近所述平台的一面设有出液孔,所述输送导管通过设于摩擦机构内部的连通通道与所述出液孔连通,用于向所述出液孔提供腐蚀液。
9.根据权利要求7或8所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述平台的上表面与水平面之间设有夹角。
10.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述动力机构包括用于驱动所述平台旋转的第一转动驱动机构,和/或用于驱动所述摩擦机构旋转的第二转动驱动机构。
11.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述动力机构包括用于驱动所述平台直线运动的第一水平驱动机构,和/或用于驱动所述摩擦机构直线运动的第二水平驱动机构。
12.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述平台上设有用于检测所述玻璃厚度的厚度检测器。
13.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述摩擦机构为毛刷或刮板。
14.根据权利要求1所述的玻璃减薄装置,其特征在于:所述平台上设有加热装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610439556.XA CN106082687B (zh) | 2016-06-17 | 2016-06-17 | 一种玻璃减薄方法及减薄装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610439556.XA CN106082687B (zh) | 2016-06-17 | 2016-06-17 | 一种玻璃减薄方法及减薄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106082687A CN106082687A (zh) | 2016-11-09 |
CN106082687B true CN106082687B (zh) | 2019-02-22 |
Family
ID=57236922
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610439556.XA Active CN106082687B (zh) | 2016-06-17 | 2016-06-17 | 一种玻璃减薄方法及减薄装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106082687B (zh) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107244811A (zh) * | 2017-06-30 | 2017-10-13 | 安徽新创智能科技有限公司 | 一种液晶玻璃的减薄方法及装置 |
CN109238903B (zh) * | 2018-12-04 | 2024-02-06 | 苏州市职业大学 | 一种刺绣抗起毛性能检测装置及检测评价方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006027911A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Nishiyama Stainless Chem Kk | ガラス板表面の研磨方法、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板、及びフラットパネルディスプレイ |
CN1955132A (zh) * | 2005-08-12 | 2007-05-02 | 智圆技术株式会社 | 用于蚀刻玻璃衬底的设备 |
CN101633563A (zh) * | 2008-07-22 | 2010-01-27 | 光捷国际股份有限公司 | 一种光学玻璃蚀刻装置及方法 |
CN104230173A (zh) * | 2013-06-17 | 2014-12-24 | 株式会社太星技研 | 钢化玻璃加工系统 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6413156B1 (en) * | 1996-05-16 | 2002-07-02 | Ebara Corporation | Method and apparatus for polishing workpiece |
CN1266065C (zh) * | 2003-09-08 | 2006-07-26 | 财团法人工业技术研究院 | 一种利用可重复使用的屏蔽进行玻璃蚀刻的方法 |
-
2016
- 2016-06-17 CN CN201610439556.XA patent/CN106082687B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006027911A (ja) * | 2004-07-12 | 2006-02-02 | Nishiyama Stainless Chem Kk | ガラス板表面の研磨方法、フラットパネルディスプレイ用ガラス基板、及びフラットパネルディスプレイ |
CN1955132A (zh) * | 2005-08-12 | 2007-05-02 | 智圆技术株式会社 | 用于蚀刻玻璃衬底的设备 |
CN101633563A (zh) * | 2008-07-22 | 2010-01-27 | 光捷国际股份有限公司 | 一种光学玻璃蚀刻装置及方法 |
CN104230173A (zh) * | 2013-06-17 | 2014-12-24 | 株式会社太星技研 | 钢化玻璃加工系统 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106082687A (zh) | 2016-11-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20200164411A1 (en) | Vibration cleaning device, method and system | |
CN106082687B (zh) | 一种玻璃减薄方法及减薄装置 | |
CN104829140A (zh) | 一种电子产品玻璃显示屏的防眩光加工方法 | |
CN102646616A (zh) | 基板清洗装置及方法、显示装置的制造装置及其制造方法 | |
CN206997305U (zh) | 一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置 | |
CN202527408U (zh) | 自动超声波清洗机 | |
CN107244811A (zh) | 一种液晶玻璃的减薄方法及装置 | |
CN103359949A (zh) | Tft玻璃基板单面蚀刻的方法 | |
CN208928696U (zh) | 一种触摸屏蚀刻机用清洗装置 | |
CN203955646U (zh) | 晶圆清洗装置 | |
CN102615589B (zh) | 一种使用抛光盘接引盘的抛光系统和方法 | |
CN203803846U (zh) | 晶圆清洗刷和晶圆清洗装置 | |
CN204503642U (zh) | 一种实验室小型球体玻璃器皿快速清洗装置 | |
CN204400822U (zh) | 玻璃基板减薄装置 | |
CN104496193B (zh) | 一种酸刻蚀石英摆片挠性梁设备 | |
CN109127580A (zh) | 一种金属板镀膜前的清洁系统 | |
CN204834563U (zh) | 干法刻蚀设备 | |
CN203707094U (zh) | 一种晶圆边缘清洗装置 | |
CN107413690A (zh) | 一种用于不同粗糙度和尺寸的蓝宝石晶片表面清洗装置和方法 | |
CN205200001U (zh) | 清洗线上的辅助清洗设备 | |
KR20090070735A (ko) | 유체 분사 장치 및 그 세척 방법 | |
CN208213892U (zh) | 一种液晶面板光罩离心式旋转清洗装置 | |
CN208270408U (zh) | 一种导光板清洗检测一体机 | |
CN202606445U (zh) | 带有清洗位的洗板机 | |
CN208960509U (zh) | 一种超声波清洗设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |