CN106066562B - 具有扩展的角覆盖范围的检查系统 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种具有扩展的角覆盖范围的检查系统。检查系统具有扩展的角覆盖范围，检查系统可包括线条相机；第一曲面镜；第二曲面镜；位于第一镜和物体之间的第一聚焦透镜；位于第二镜和物体之间的第二聚焦透镜；配置成朝着第一曲面镜引导第一光束的第一部分并朝着第一聚焦透镜引导第一光束的第二部分的第一光源；配置成朝着第二曲面镜引导第二光束的第一部分并朝着第二聚焦透镜引导第二光束的第二部分的第二光源。

Description

具有扩展的角覆盖范围的检查系统
发明背景
本申请要求2015年4月21日提交的美国临时专利序列号62/150,310的优先权，其通过引用并入本文。
相关申请
检查和计量系统需要所检查的物品的足够照明。
存在对于获得照明的扩展的角覆盖范围的不断增长的需要，即，来自被照射的物品的入射光可由成像系统从大范围的表面角以及扩散和粗糙表面反射和收集。特别重要的例子是印刷电路板(PCB)层或其它电路例如晶圆，其铜信号线具有梯形剖面或其具有例如凸起和微坑的其他三维(3D)特征。
当前的照明光学器件布置和设置没有实现对梯形剖面和3D特征的这种陡斜率的令人满意的角覆盖范围。因此，存在对于实现最大扩展的角覆盖范围的本发明特别重要的需要，以便提供这样的非平坦特征的更好的照明。
概述
根据本发明的实施方式，可提供具有扩展的角覆盖范围的检查系统，检查系统可包括线条相机；第一曲面镜；第二曲面镜；位于第一镜和物体之间的第一聚焦透镜；位于第二镜和物体之间的第二聚焦透镜；配置成朝着第一曲面镜引导第一光束的第一部分并朝着第一聚焦透镜引导第一光束的第二部分的第一光源；配置成朝着第二曲面镜引导第二光束的第一部分并朝着第二聚焦透镜引导第二光束的第二部分的第二光源；其中第一曲面镜配置成反射第一光束的第一部分以沿着第一角范围照射到物体的区域上；其中第二曲面镜配置成反射第二光束的第一部分以沿着第二角范围照射到物体的区域上；其中第一聚焦透镜配置成聚焦第一光束的第二部分以沿着第三角范围照射到物体的区域上；其中第二聚焦透镜配置成聚焦第二光束的第二部分聚焦以沿着第四角范围照射到物体的区域上；其中第一角范围、第二角范围、第三角范围和第四角范围彼此不同；以及其中相机配置成检测在相机的视场内并从物体的区域反射的收集到的光。
物体的区域可具有细长形状并可平行于相机的视场。
第一光源后面跟着的可以是用于沿着可实质上平行于相机的视场的纵轴的平面扩展第一光束的第一光束扩展器。
第一光源后面跟着的可以是用于控制第一和第三角范围的第一光束整形器。
在第一角范围和第三角范围之间可以没有角间隙。
在第二角范围和第四角范围之间可以没有角间隙。
相机具有光轴；其中第一和第三角范围可位于光轴的一侧处，以及其中第二和第四角范围可位于光轴的另一侧处。
在第一曲面镜和第二曲面镜之间可以有间隙；以及其中相机可配置成检测穿过间隙的光。
检查系统可包括第三曲面镜、分束器和第三光源；其中第三光源可配置成朝向第三曲面镜引导第三光束；其中第三曲面镜可配置成朝着分束器反射第三光束；其中分束器可配置成引导第三光束穿过间隙并朝着物体的区域沿着第五角范围引导第三光束。
第一和第二曲面镜可以是椭圆或球面镜；其中第一和第二聚焦镜可以是菲涅耳镜或柱面镜；以及其中第一和第二光源可以是暗场光源。
根据本发明的实施方式，可提供用于检查物体的方法，该方法可包括由第一光束的第一部分照射第一曲面镜；由第一光束的第二部分照射第一聚焦透镜；由第二光束的第一部分照射第二曲面镜；由第二光束的第二部分照射第二聚焦透镜；由第一曲面镜反射第一光束的第一部分以沿着第一角范围照射到物体的区域上；由第二曲面镜反射第二光束的第一部分以沿着第二角范围照射到物体的区域上；由第一聚焦透镜聚焦第一光束的第二部分以沿着第三角范围照射到物体的区域上；由第二聚焦透镜聚焦第二光束的第二部分以沿着第四角范围照射到物体的区域上；其中第一角范围、第二角范围、第三角范围和第四角范围彼此不同；以及由相机检测可在相机的视场内并可从物体的区域反射的收集到的光。
物体的区域可具有细长形状并可平行于相机的视场。
该方法可包括沿着可实质上平行于相机的视场的纵轴的平面扩展第一光束。
该方法可包括对第一光束整形用于控制第一和第三角范围。
在第一角范围和第三角范围之间可以没有角间隙。
在第二角范围和第四角范围之间可以没有角间隙。
相机具有光轴；其中第一和第三角范围可位于光轴的一侧处，以及其中第二和第四角范围可位于光轴的另一侧处。
在第一曲面镜和第二曲面镜之间可以有间隙；以及其中收集到的光穿过间隙。
该方法可包括使用第三光束照射第三曲面镜；由第三曲面镜朝着分束器反射第三光束；由分束器引导第三光束穿过间隙以沿着第五角范围照射到物体的区域上。
第一和第二曲面镜可以是椭圆或球面镜；其中第一和第二聚焦镜可以是菲涅耳镜或柱面镜；以及其中第一和第二光源可以是暗场光源。
发明的简要描述
从以下结合附图的详细描述中将会更充分理解和认识本发明，其中：
图1示出根据本发明的实施方式的检查系统；
图2示出根据本发明的实施方式的图1的检查系统的一部分；
图3示出根据本发明的实施方式的图1的检查系统的一部分；
图4示出根据本发明的实施方式的图1的检查系统的一部分；
图5示出根据本发明的实施方式的图1的检查系统的一部分；
图6示出当根据本发明的各种实施方式照射圆顶时得到的覆盖区域；以及
图7示出根据本发明的实施方式的方法。
发明的详细描述
因为实现本发明的装置大多是由本领域技术人员已知的电子部件和电路组成，因此，为了理解和认识本发明的基本概念且为了不使本发明的教导混淆或从本发明的教导分散注意，相对于如上所示被视为必要的程度将不会在任何更大程度上解释电路细节。
在下面的说明书中，将参考本发明的实施方式的特定例子描述本发明。然而，将明显的是，可在其中做出各种修改和变化而不偏离如在所附权利要求中阐述的更宽的精神和范围。
暗场光源是使用具有照明光束光轴的照明光束来照射物体的光源。照明光束光轴不同于对物体成像的相机的相机光轴。照明光束光轴和相机光轴关于物体的法线不是对称的。
亮场光源是使用具有照明光束光轴的照明光束来照射物体的光源。照明光束光轴可与相机光轴相同。可选地，照明光束光轴和相机光轴可彼此不同，而关于物体的法线是对称的。
在下面的文本中，提到了第一光束的第一和第二部分。第一光束的第一和第二部分等效于两个不同的光束。
在下面的文本中，提到了第二光束的第一和第二部分。第二光束的第一和第二部分等效于两个不同的光束。
检查系统在使用比现有技术的系统更少的光源的同时得到了扩展的角覆盖范围。
在本领域中已知的一些线照明系统利用椭圆、球面或其它镜面表面来将照射光聚焦在被检查的物品上。
所提出的检查系统通过使用例如一个或多个聚焦透镜(柱面透镜和/或一个或多个菲涅耳透镜)的光学组件来扩展这样的检查系统的可得到的角覆盖范围，该光学组件位于照明路径中并通过将未被利用的光束向着被检查的元件引导通过光学组件来扩展角覆盖范围。在现有技术的检查系统中未利用的光束不照射物体或将以未被相机捕获的方式照射物体。
检查系统的光学组件可包括光束整形器，例如但不限于用于控制照明光束的角覆盖范围的快门或挡光板。
光束整形器可具有可调节的透明度(例如可以是LCD屏幕)和/或可根据照明的所需角覆盖范围或应用手动地或自动地移动。可使用来自分析生成图像的图像处理器(在图1中表示为17)的反馈来控制光束整形器的手动或自动移动。这控制切向的角覆盖范围的扩展。
检查系统包括可形成额外的照明路径的光学组件，这些额外的照明路径收集来自照明源的光并在陡角下将它聚焦在被检查的元件上，否则在没有光学组件的情况下其将不被覆盖。因此，极大地提高了有效的角覆盖范围。
光学组件可被校准并对准，以便得到具有均匀的细长光和角分布的最佳切向角覆盖范围。
为了扩展矢状角覆盖范围(在从图1的平面延伸的平面内，例如在Y-Z平面内)，可使用具有侧镜的菲涅耳分束器或微棱镜阵列(4A和4B)。
图1示出检查系统100，其包括：
a.机械元件，例如用于支承物体2的桌子1。
b.第一和第二光源，例如暗场光源3A和3B。
c.第一、第二和第三光束扩展器，例如菲涅耳分束器或微棱镜阵列4A、4B和4C。这些光束扩展器扩展在Y-Z平面内的亮场和暗场角覆盖范围。
d.第一和第二光束整形器，例如盖或挡光板5A和5B。
e.第一和第二聚焦透镜，例如柱面或菲涅耳透镜6A和6B。
f.第一、第二和第三曲面镜，例如椭圆或球面镜7A、7B和7C。
g.检查透镜8。
h.相机9。
i.第三光源，例如亮场光源15。
j.分束器11。
光学组件90可包括下面的光学部件中的至少一些：第一、第二和第三光束扩展器，第一、第二和第三曲面镜，第一和第二光束整形器，第一和第二聚焦透镜，第一、第二和第三光源。需要注意的是，亮场光源后面跟着的也可以是光束整形器。
右边的暗场光源3a后面跟着菲涅耳分束器或微棱镜阵列4a，其后面跟着挡光板5A。来自暗场光源3A的光(第一光束10)穿过菲涅耳分束器或微棱镜阵列4A，穿过由挡光板5A形成的孔。第一光束的第一部分(11)被引导朝向右边的椭圆或球面镜7A(参考WO 2007/023487)并被引导朝向物体2。第一光束的第二部分(12)穿过柱面或菲涅耳透镜6A并也被引导朝向物体2。
左边的暗场光源3B后面跟着菲涅耳分束器或微棱镜阵列4B，其后面跟着挡光板5B。来自暗场光源3B的光(第二光束20)穿过菲涅耳分束器或微棱镜阵列4B，穿过由挡光板5B形成的孔。光的第一部分(21)被引导朝向右边的椭圆或球面镜7B并被引导朝向物体2。第二光束的第二部分(22)穿过柱面或菲涅耳透镜6B并也被引导朝向物体2。
来自亮场光源15的光穿过菲涅耳分束器或微棱镜阵列4C，朝着上面的椭圆或球面镜7C传播，被引导朝向分束器11并被引导穿过在右椭圆镜或球面镜7A和左椭圆或球面镜7B之间的空间(间隙)并照射在物体2的直立元件上。
来自直立元件的光穿过在右椭圆镜或球面镜7A和左椭圆或球面镜7B之间的空间，穿过分束器11和检查透镜8并照射在相机9上。
右和左柱面或菲涅耳透镜6A和6B收集不被引导朝向直立元件的光线，并经由在缺少右和左柱面或菲涅耳透镜6A和6B的情况下不被覆盖的“低”角照射直立元件。
此外，在4A、4B和4C中的菲涅耳分束器或微棱镜阵列可由具有不同的光学特性的一个或多个菲涅耳分束器或微棱镜阵列代替或与具有不同的光学特性的一个或多个菲涅耳分束器或微棱镜阵列组合、或被重新定位，使得将得到如应用所需的不同的角覆盖范围特性。配置的这种变化可由系统自动地或手动地执行。
图1和图2还示出：
a.第一光束的第一部分11沿着第一角范围第一_AR 31照射在物体的区域上。
b.第二光束的第一部分21沿着第二角范围第二_AR 32照射在物体的区域上。
c.第一光束的第二部分12沿着第三角范围第三_AR 33照射在物体的区域上。
d.第二光束的第二部分22沿着第四角范围第四_AR 34照射在物体的区域上。第四角范围例如可在54和87度之间扩展。
第一和第二角范围例如可在8和54度之间、在所述范围的子集之间或在实质上与所述范围相同(例如高达10％的偏差)的范围之间扩展。
第三和第四角范围例如可在54和87度之间、在所述范围的子集之间或在实质上与所述范围相同(例如高达10％的偏差)的范围之间扩展。
在图1和2中，第一和第三角范围可在物体的右边形成连续的角范围，而第二和第四角范围可在物体的左边形成连续的角范围。
在第一和第三角范围之间和/或在第二和第四角范围之间可以有间隙。
在图1和2中，系统被示为照射物体的边缘，且由相机9收集的光可从使用第一光束的第二部分12对物体2的照射而产生。当物体的照射部分被定向在其它角处时，相机9可收集从由第三光束对物体的照射、从第二光束和/或第一光束的第一部分产生的光。
例如并参考图2，水平表面27将朝着相机9反射亮场光束。倾斜表面29将朝着相机9反射第二光束的第一和/或第二部分(取决于倾斜表面29的斜率)。倾斜表面28将朝着相机9反射第一光束的第一和/或第二部分(取决于倾斜表面28的斜率)。
图3示出根据本发明的实施方式当在有和没有菲涅耳分束器或微棱镜阵列(4A、4B和4C)的情况下扫描金属圆顶时得到的覆盖区域。
在图3中，角覆盖范围代表由某个光源产生的光，光一旦照射圆顶就被相机9收集。
金属圆顶(凸起81)位于Y-X平面内并沿着X轴使用平行于X轴的光线82被扫描。
图像91示出在没有菲涅耳分束器或微棱镜阵列(4A、4B和4C)的情况下得到的覆盖区域。
在图像91中：
a.亮场光的角覆盖范围由区21代表。
b.由第一光束(来自暗场光源3A)的第一部分得到的角覆盖范围由区22A代表。
c.由第二光束(来自暗场光源3B)的第一部分得到的角覆盖范围由区22B代表。
d.由第一光束(来自暗场光源3A)的第二部分得到的角覆盖范围由区23A代表。
e.由第二光束(来自暗场光源3B)的第二部分得到的角覆盖范围由区23B代表。
图像92示出在具有菲涅耳分束器或微棱镜阵列(4A、4B和4C)的情况下得到的覆盖区域。
在图像91中：
a.亮场光的角覆盖范围由区23代表。
b.由第一光束(来自暗场光源3A)的第一部分得到的角覆盖范围由区32A代表。
c.由第二光束(来自暗场光源3B)的第一部分得到的角覆盖范围由区32B代表。
d.由第一光束(来自暗场光源3A)的第二部分得到的角覆盖范围由区33A代表。
e.由第二光束(来自暗场光源3B)的第二部分得到的角覆盖范围由区33B代表。
菲涅耳分束器或微棱镜阵列(4A、4B和4C)的使用扩展了沿着Y轴的角覆盖范围。
清楚地是，根据本发明，切向(沿着X轴)和矢状(沿着Y轴)二者的角覆盖范围都明显提高了。
图4和图5示出根据本发明的实施方式的检查系统100的一部分。
这些图示出第一和第二暗场光源(光纤)3A和3B、第一和第二椭圆或球面镜7A和7B。这些图还将第一和第二柱面或菲涅耳透镜6A和6B中的每个示为由三个间隔开的透镜形成，透镜61A、62A和63A形成透镜6A，且透镜61B、62B和63B形成透镜6B。
图6示出根据本发明的实施方式的透镜61A、62A、63A、61B、62B和63B及其支承和对准结构。
支承和对准结构包括框架70和多个固定和对准元件，例如螺钉71。
图7示出根据本发明的实施方式的方法200。
方法200可从步骤210开始，从不同的角范围照射物体---一个区域接着另一区域地扫描物体。
步骤210可包括对于物体的不同区域重复下面的步骤：
a.由第一光束的第一部分照射(211)第一曲面镜。
b.由第一光束的第二部分照射(212)第一聚焦透镜。
c.由第二光束的第一部分照射(213)第二曲面镜。
d.由第二光束的第二部分照射(214)第二聚焦透镜。
e.由第一曲面镜反射(221)第一光束的第一部分以沿着第一角范围照射到物体的区域上。
f.由第一聚焦透镜聚焦(222)第一光束的第二部分以沿着第三角范围照射到物体的区域上。
g.由第二曲面镜反射(223)第二光束的第一部分以沿着第二角范围照射到物体的区域上。以及
h.由第二聚焦透镜聚焦(224)第二光束的第二部分以沿着第四角范围照射到物体的区域上。
第一角范围、第二角范围、第三角范围和第四角范围彼此不同。
步骤221、222、223和224分别跟随步骤211、212、213和214。
步骤210后面跟着的可以是由相机检测在相机的视场内并从物体的区域反射的收集到的光的步骤240。
物体的区域可具有细长形状并可平行于相机的视场。
步骤240后面跟着的可以是处理来自相机的检测信号的步骤250。处理可由图像处理器执行并可在物体的检查期间来执行。
步骤210可包括沿着实质上平行于相机的视场的纵轴的平面扩展第一光束的步骤231。
步骤210可包括沿着实质上平行于相机的视场的纵轴的平面扩展第二光束的步骤232。
步骤210可包括对第一光束整形用于控制第一和第三角范围的步骤233。
步骤210可包括对第一光束整形用于控制第一和第三角范围的步骤234。
步骤231和232可以在步骤211和212之前。
步骤233和234可以在步骤213和214之前。
在第一角范围和第三角范围之间可以没有角间隙。但是这样的间隙可存在。
在第二角范围和第四角范围之间可以没有角间隙。但是这样的间隙可存在。
相机具有光轴。第一和第三角范围可位于光轴的一侧处，而第二和第四角范围可位于光轴的另一侧处。
在第一曲面镜和第二曲面镜之间可以有间隙。(步骤240的)收集到的光可穿过间隙。
步骤210可包括使用第三光束照射第三曲面镜的步骤215以及由第三曲面镜朝着分束器反射第三光束并由分束器引导第三光束穿过间隙以沿着第五角范围照射在物体的区域上的步骤225。
方法200可由图1的系统100执行。
可提供用于使用如上所示的系统检查被检查的物品的方法。该方法可包括使用图1的系统照亮样本、收集来自物体的光以及产生检测信号。
此外，本领域中的技术人员将认识到，在上面所述的操作的功能之间的边界仅仅是说明性的。多个操作的功能可组合成单个操作，和/或单个操作的功能可分布在额外的操作中。而且，可选的实施方式可包括特定操作的多个实例，且在各种其它实施方式中可改变操作的顺序。
因此，应理解，本文所描绘的体系结构仅仅是示例性的，以及事实上可实现完成相同的功能的许多其它体系结构。在抽象但仍然明确的意义上，完成相同功能的部件的任何布置实际上是“相关的”，使得期望功能被完成。因此，在本文中组合来完成特定功能的任意两个部件可被看作彼此“相关”，使得期望功能被完成，而不考虑体系结构或中间部件。同样，如此相关的任意两个部件也可被示为彼此“可操作地连接”或“可操作地耦合”以完成期望功能。
然而，其它修改、变化和替代也是可能的。说明书和附图相应地在说明性意义上而不是在限制性意义上被看待。
词语“包括”并不排除存在权利要求中所列出的元件或步骤以外的其它元件或步骤。应理解，这样使用的术语在适当的情况下是可互换的，使得本文所述的本发明的实施方式例如能够在除了本文所示或是其他方式所述的方位以外的其它方位上操作。
此外，如本文使用的术语“一(a)”或“一(an)”被定义为一个或多于一个。此外，在权利要求中的引导短语例如“至少一个”和“一个或多个”的使用不应被解释为暗示了由不定冠词“一(a)”或“一(an)”对另一权利要求元素的引入将包含这种引入的权利要求元素的任何特定权利要求限制到只包含一个这样的元素的发明，即使同一权利要求包括引导短语“至少一个”或“一个或多个”以及不定冠词例如“一(a)”或“一(an)”。同理适用于定冠词的使用。除非另有规定，术语例如“第一”和“第二”用于任意地区分开这样的术语所描述的元素。
因此，这些术语并不一定旨在指示这样的元素的时间或其他优先次序。某些度量在相互不同的权利要求中被列举的不争事实并不指示这些度量的组合不能被有利地使用。

Claims (20)

1.一种检查系统，其具有扩展的角覆盖范围，所述检查系统包括：
线条相机；
第一曲面镜；
第二曲面镜；
第一聚焦透镜，其位于所述第一曲面镜和物体之间；
第二聚焦透镜，其位于所述第二曲面镜和所述物体之间；
第一光源，其配置成朝着所述第一曲面镜引导第一光束的第一部分并且朝着所述第一聚焦透镜引导所述第一光束的第二部分；
第二光源，其配置成朝着所述第二曲面镜引导第二光束的第一部分并且朝着所述第二聚焦透镜引导所述第二光束的第二部分；
其中，所述第一曲面镜配置成反射所述第一光束的所述第一部分以沿着第一角范围照射到所述物体的区域上；
其中，所述第二曲面镜配置成反射所述第二光束的所述第一部分以沿着第二角范围照射到所述物体的所述区域上；
其中，所述第一聚焦透镜配置成使所述第一光束的所述第二部分聚焦以沿着第三角范围照射到所述物体的所述区域上；
其中，所述第二聚焦透镜配置成使所述第二光束的所述第二部分聚焦以沿着第四角范围照射到所述物体的所述区域上；
其中，所述第一角范围、所述第二角范围、所述第三角范围和所述第四角范围彼此不同；以及
其中，所述线条相机配置成检测在所述线条相机的视场内且从所述物体的所述区域反射的收集到的光。
2.如权利要求1所述的检查系统，其中，所述物体的所述区域具有细长形状并平行于所述线条相机的所述视场。
3.如权利要求1所述的检查系统，其中，所述第一光源后面跟着第一光束扩展器，所述第一光束扩展器用于沿着实质上平行于所述线条相机的所述视场的纵轴的平面扩展所述第一光束。
4.如权利要求1所述的检查系统，其中，所述第一光源后面跟着用于控制所述第一角范围和所述第三角范围的第一光束整形器。
5.如权利要求1所述的检查系统，其中，在所述第一角范围和所述第三角范围之间没有角间隙。
6.如权利要求1所述的检查系统，其中，在所述第二角范围和所述第四角范围之间没有角间隙。
7.如权利要求1所述的检查系统，其中，所述线条相机具有光轴；其中所述第一角范围和所述第三角范围位于所述光轴的一侧处，以及其中所述第二角范围和所述第四角范围位于所述光轴的另一侧处。
8.如权利要求1所述的检查系统，其中，在所述第一曲面镜和所述第二曲面镜之间有间隙；以及其中所述线条相机配置成检测穿过所述间隙的光。
9.如权利要求8所述的检查系统，包括第三曲面镜、分束器和第三光源；其中所述第三光源配置成朝着所述第三曲面镜引导第三光束；其中所述第三曲面镜配置成朝着所述分束器反射所述第三光束；其中所述分束器配置成引导所述第三光束穿过所述间隙并朝着所述物体的所述区域沿着第五角范围引导所述第三光束。
10.如权利要求1所述的检查系统，其中，所述第一曲面镜和所述第二曲面镜是椭圆镜或球面镜；其中所述第一聚焦透镜和所述第二聚焦透镜是菲涅耳镜或柱面镜；以及其中所述第一光源和所述第二光源是暗场光源。
11.一种用于检查物体的方法，所述方法包括：
由第一光束的第一部分照射第一曲面镜；
由所述第一光束的第二部分照射第一聚焦透镜；
由第二光束的第一部分照射第二曲面镜；
由所述第二光束的第二部分照射第二聚焦透镜；
由所述第一曲面镜反射所述第一光束的所述第一部分以沿着第一角范围照射到所述物体的区域上；
由所述第二曲面镜反射所述第二光束的所述第一部分以沿着第二角范围照射到所述物体的区域上；
由所述第一聚焦透镜聚焦所述第一光束的所述第二部分以沿着第三角范围照射到所述物体的所述区域上；
由所述第二聚焦透镜聚焦所述第二光束的所述第二部分以沿着第四角范围照射到所述物体的所述区域上；
其中，所述第一角范围、所述第二角范围、所述第三角范围和所述第四角范围彼此不同；以及
由相机检测在所述相机的视场内并从所述物体的所述区域反射的收集到的光。
12.如权利要求11所述的方法，其中，所述物体的所述区域具有细长形状并平行于所述相机的所述视场。
13.如权利要求11所述的方法，包括沿着实质上平行于所述相机的所述视场的纵轴的平面扩展所述第一光束。
14.如权利要求11所述的方法，包括对所述第一光束整形来控制所述第一角范围和所述第三角范围。
15.如权利要求11所述的方法，其中，在所述第一角范围和所述第三角范围之间没有角间隙。
16.如权利要求11所述的方法，其中，在所述第二角范围和所述第四角范围之间没有角间隙。
17.如权利要求11所述的方法，其中，所述相机具有光轴；其中所述第一角范围和所述第三角范围位于所述光轴的一侧处，以及其中所述第二角范围和所述第四角范围位于所述光轴的另一侧处。
18.如权利要求11所述的方法，其中，在所述第一曲面镜和所述第二曲面镜之间有间隙；以及其中所述收集到的光穿过所述间隙。
19.如权利要求18所述的方法，包括使用第三光束照射第三曲面镜；由所述第三曲面镜朝着分束器反射所述第三光束；由所述分束器引导所述第三光束穿过所述间隙以沿着第五角范围照射到所述物体的所述区域上。
20.如权利要求11所述的方法，其中，所述第一曲面镜和所述第二曲面镜是椭圆镜或球面镜；其中所述第一聚焦透镜和所述第二聚焦透镜是菲涅耳镜或柱面镜；以及其中所述第一光源和所述第二光源是暗场光源。
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Application publication date: 20161102

Assignee: Kang Dai image technology program Limited Hong Kong Company

Assignor: CAMTEK Ltd.

Contract record no.: X2020990000122

Denomination of invention: Inspection System Having An Expanded Angular Coverage

License type: Exclusive License

Record date: 20200319

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