CN106040323A - 一种微流控气体阻尼器及调节方法 - Google Patents

一种微流控气体阻尼器及调节方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种微流控气体阻尼器及调节方法，包括上层基片、水平薄膜、中层基片和下层基片。上层基片包含有进气流道、上控制流道和出气流道，中层基片包含有直通流道和垂直薄膜，下层基片包含有下控制流道。其利用水平薄膜和垂直薄膜受气体压迫产生弹性变形来吸收气压的冲击并截流直通流道中的气体流量，以降低微流控系统中气体压力的波动，达到稳定系统工作压力的目的。本发明无需外部设备控制，可自行稳定波动的气体压力，具有体积小、成本低、易集成等优点，在微流控领域中需要提供恒定工作压力和流体流量的场所具有广泛的应用价值。

Description

一种微流控气体阻尼器及调节方法
技术领域
本发明涉及一种微流控气体阻尼器，属于生物医疗、微流控芯片技术等领域。
背景技术
微流控技术作为一种有效的微流体和生物粒子操纵手段，目前已广泛应用于生化分析、生物医疗与诊断等领域。在绝大多数微流控应用中，平稳的工作压力非常重要，它直接影响到微流控芯片在实际应用中的功能表现。例如，在利用微流控惯性分选技术实现细胞精确分选和分析时，需要提供非常精确的样品流量来使生物细胞在迪恩流作用下实现高效聚焦和分离，而精确的样品流量和稳定的驱动压力是直接相关的。因此，如何在微流控芯片的微流道内实现稳定的工作压力和精确的样品流量操控成为微流控技术研究的一个关键课题。
就目前而言，常用的方法是使用工业设备或商业仪器来输出平稳的工作压力，如使用精密注射泵、气压控制器、压力流量传感器等直接或间接提供稳定的工作气压和精密的流体流量输出。然而，这些设备和仪器过大的外观体积和昂贵的价格成本并不利于实现微流控芯片的低成本化和微型化集成。近年来，也有一些文献报道采用微流控技术来获取稳定的工作压力和样品流量，如液体静压力驱动、电渗流驱动、毛细管作用力、离心力驱动等。虽然这些技术有效的实现了微流道内连续的样品驱动和流体传输，然而对外部设备的依赖性、对样品类型和容量的限制直接影响了这些技术在微流控芯片上的普适性和集成性。更为重要的，这些技术所能达到的压力稳定性并不足以满足高稳定性、高精度要求的微流控应用。随着多层软光刻技术的提出和推广应用，有一些文献报道采用微泵和微阀技术来实现精确的压力和流量控制。主动式的微阀和微泵需要外部设备控制，不适用于低成本集成。被动式微阀和微泵虽然可以实现稳定的流量控制，但是不能对系统工作压力进行调节，因此也不能适用于需要有稳定工作压力的应用场合。
发明内容
发明目的：为了克服现有技术中存在的不足，本发明提供一种微流控气体阻尼器及调节方法。该气体阻尼器体积小、易于集成、控制简单，可以满足集成微流控系统中稳定工作压力调节和精确流量控制的需求。
技术方案：为实现上述目的，本发明采用的技术方案为：
一种微流控气体阻尼器，包括由上到下依次设置的上层基片(1)、中层基片(3)和下层基片(4)。所述上层基片(1)上设置有进气流道(8)、上控制流道(5)和出气流道(9)。所述中层基片(3)上设置有直通流道(7)。所述下层基片(4)上设置有下控制流道(6)，其中：
所述上控制流道(5)包括第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)。所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)、下控制流道(6)、直通流道(7)的进气端均与进气流道(8)连通，而所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)以及下控制流道(6)的出气端均与直通流道(7)连通。同时所述第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)的出气端相对设置，所述第一上控制流支道(51)、下控制流道(6)的出气端相对设置。所述直通流道(7)的出气端与出气流道(9)的进气端连通。
所述直通流道(7)与第一上控制流支道(51)出气端的连接处设置有第一弹性阻尼薄膜(21)，所述直通流道(7)与下控制流道(6)出气端的连接处设置有第二弹性阻尼薄膜(22)。所述直通流道(7)与第二上控制流支道(52)出气端的连接处设置有第一垂直薄膜(101)，所述直通流道(7)与第三上控制流支道(53)出气端的连接处设置有第二垂直薄膜(102)。
进一步地：还包括一个以上的中间气压波动调节机构，所述中间气压波动调节机构包括中间上控制流道和中间下控制流道，所述中间上控制流道包括中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道。所述中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道、中间下控制流道的进气端分别与直通流道(7)连通。而所述中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道、中间下控制流道的出气端也分别与直通流道(7)连通。所述中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道的出气端相对设置，所述中间第一上控制流支道、中间下控制流道的出气端相对设置。
所述直通流道与中间第一上控制流支道出气端的连接处设置有中间第一弹性阻尼薄膜，所述直通流道(7)与中间下控制流道出气端的连接处设置有中间第二弹性阻尼薄膜。所述直通流道(7)与第二上控制流支道出气端的连接处设置有中间第一垂直薄膜，所述直通流道(7)与中间第三上控制流支道出气端的连接处设置有中间第二垂直薄膜。
进一步地：所述上层基片(1)、中层基片(3)之间设置有第一水平薄膜(210)。所述第一水平薄膜(210)上设置有第一通孔(211)、第二通孔(212)、第三通孔(213)、第四通孔(214)、第六通孔、第七通孔、第八通孔、第九通孔。所述进气流道(8)与直通流道(7)之间通过第一通孔(211)连通，所述出气流道(9)与直通流道(7)之间通过第四通孔(214)连通。所述第二上控制流支道(52)与直通流道(7)之间通过第二通孔(212)连通，第三上控制流支道(53)与直通流道(7)之间通过第三通孔(213)连通。所述中间第二上控制流支道的进气端与直通流道(7)之间通过第六通孔连通，而中间第二上控制流支道的出气端与直通流道(7)之间通过第七通孔连通。所述中间第三上控制流支道的进气端与直通流道(7)之间通过第八通孔连通，而中间第三上控制流支道的出气端与直通流道(7)之间通过第九通孔连通。而所述第一弹性阻尼薄膜(21)、中间第一弹性阻尼薄膜为第一水平薄膜(210)的一部分。
进一步地：所述中层基片(3)和下层基片(4)之间设置有第二水平薄膜(220)，所述第二水平薄膜(220)设置有第五通孔(221)、第十通孔和第十一通孔，所述下控制流道(6)与进气流道(8)之间通过第五通孔(221)连通。所述中间下控制流道的进气端与直通流道(7)之间通过第十通孔连通，而中间下控制流道的出气端与直通流道(7)之间通过第十一通孔连通。所述第二弹性阻尼薄膜(22)、中间第二弹性阻尼薄膜为第二水平薄膜(220)的一部分。
优选的：所述第一上控制流支道(51)、下控制流道(6)的出气端分别设置于直通流道(7)的上下两个侧面，记为第一、第二水平侧面。所述第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)的出气端分别设置于直通流道(7)的左右两个侧面，记为第一、第二竖直侧面。
优选的：第一水平侧面、第一竖直侧面、第二水平侧面、第二竖直侧面首尾相互连接围成一个矩形的四个面。
优选的：所述上层基片(1)、中层基片(3)和下层基片(4)材质为聚二甲基硅氧烷、塑料、玻璃中的一种。
优选的：所述第一水平薄膜(210)、第二水平薄膜(220)、第一垂直薄膜(101)和第二垂直薄膜(102)的材质为有机聚合物弹性薄膜。
一种微流控气体阻尼器的调节方法：外部气体由进气流道(8)进入，分别进入上控制流道(5)、直通流道(7)和下控制流道(6)内，在上控制流道(5)内的气体在分别进入第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)内。进入第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)和下控制流道(6)的气体依次对第一弹性阻尼薄膜(21)、第一垂直薄膜(101)、第二垂直薄膜(102)和第二弹性阻尼薄膜(22)施压。第一弹性阻尼薄膜(21)、第二弹性阻尼薄膜(22)、第一垂直薄膜(101)和第二垂直薄膜(102)产生弹性变形降低了直通流道(7)内气体的气压波动。
有益效果：本发明提供的一种微流控气体阻尼器及调节方法，相比现有技术，具有以下有益效果：
1.本发明提出的微流控气体阻尼器，采用多层架构的方式，在气体通路的四个平面上均设置了弹性薄膜，利用弹性薄膜在受气体压迫时产生弹性变形来吸收气压的冲击并减小气体压力的波动，从而达到气体阻尼的效果。目前，在微流控领域尚未有微型气体阻尼器的报道。当微流控系统需要提供稳定的气压源时，常用的处理方法是利用商业仪器或工业用调压阀来实现气体压力的调节。而这些仪器和调压阀体积大、成本高，不利于微流控系统的低成本、微型化集成。为解决这一关键问题，本发明首次提出一种微流控气体阻尼器，用于实现微流控系统中气体压力的自动调节，从而为以后集成低成本微流控芯片提供解决方案。因此本发明无需外部设备控制，可自行稳定波动的气体压力，具有体积小、成本低、易集成等优点，在微流控领域中需要提供恒定工作压力和流体流量的场所具有广泛的应用价值。
2.通过设置有一个以上的中间气压波动调节机构，使得气体经过一个以上的中间气压波动调节机构多次的压力调节，进而使得气体气压更稳定。
附图说明
图1是微流控气体阻尼器的外观俯视图；
图2是微流控气体阻尼器在A-A方向上的结构剖视图；
图3是微流控气体阻尼器在B-B方向上的结构剖视图；
图4是在不稳定的气源压力下分别使用微流控气体阻尼器与不使用阻尼器时的气体压力变化曲线；
图5是直通流道与下控制流道和上控制流道连接结构示意图。
其中，1为上层基片，101为第一垂直薄膜，102为第二垂直薄膜，21为第一弹性阻尼薄膜，210为第一水平薄膜，211为第一通孔，212为第二通孔，213为第三通孔，214为第四通孔，22为第二弹性阻尼薄膜，220为第二水平薄膜，221为第五通孔，3为中层基片，4为下层基片，5为上控制流道，51为第一上控制流支道，52为第二上控制流支道，53为第三上控制流支道，6为下控制流道，7为直通流道,8为进气流道，9为出气流道。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
一种微流控气体阻尼器，利用水平薄膜和垂直薄膜受气体压迫产生弹性变形来吸收气压的冲击并截流直通流道中的气体流量，以降低微流控系统中气体压力的波动，达到稳定系统工作压力的目的，如图1-3所示，包括由上到下依次设置的上层基片1、中层基片3和下层基片4。所述上层基片1上设置有进气流道8、上控制流道5和出气流道9。所述中层基片3上设置有直通流道7。所述下层基片4上设置有下控制流道6，其中：
所述上控制流道5包括第一上控制流支道51、第二上控制流支道52、第三上控制流支道53。所述第一上控制流支道51、第二上控制流支道52、第三上控制流支道53、下控制流道6、直通流道7的进气端均与进气流道8连通，而所述第一上控制流支道51、第二上控制流支道52、第三上控制流支道53以及下控制流道6的出气端均与直通流道7连通。同时所述第二上控制流支道52、第三上控制流支道53的出气端相对设置，所述第一上控制流支道51、下控制流道6的出气端相对设置。所述直通流道7的出气端与出气流道9的进气端连通。
如图5所示，所述直通流道7与第一上控制流支道51出气端的连接处设置有第一弹性阻尼薄膜21，所述直通流道7与下控制流道6出气端的连接处设置有第二弹性阻尼薄膜22。所述直通流道7与第二上控制流支道52出气端的连接处设置有第一垂直薄膜101，所述直通流道7与第三上控制流支道53出气端的连接处设置有第二垂直薄膜102。
还包括一个以上的中间气压波动调节机构，所述中间气压波动调节机构包括中间上控制流道和中间下控制流道，所述中间上控制流道包括中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道。所述中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道、中间下控制流道的进气端分别与直通流道7连通。而所述中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道、中间下控制流道的出气端也分别与直通流道7连通。所述中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道的出气端相对设置，所述中间第一上控制流支道、中间下控制流道的出气端相对设置。
所述直通流道与中间第一上控制流支道出气端的连接处设置有中间第一弹性阻尼薄膜，所述直通流道7与中间下控制流道出气端的连接处设置有中间第二弹性阻尼薄膜。所述直通流道7与第二上控制流支道出气端的连接处设置有中间第一垂直薄膜，所述直通流道7与中间第三上控制流支道出气端的连接处设置有中间第二垂直薄膜。
所述上层基片1、中层基片3之间设置有第一水平薄膜210。所述第一水平薄膜210上设置有第一通孔211、第二通孔212、第三通孔213、第四通孔214、第六通孔、第七通孔、第八通孔、第九通孔。所述进气流道8与直通流道7之间通过第一通孔211连通，所述出气流道9与直通流道7之间通过第四通孔214连通。所述第二上控制流支道52与直通流道7之间通过第二通孔212连通，第三上控制流支道53与直通流道7之间通过第三通孔213连通。所述中间第二上控制流支道的进气端与直通流道7之间通过第六通孔连通，而中间第二上控制流支道的出气端与直通流道7之间通过第七通孔连通。所述中间第三上控制流支道的进气端与直通流道7之间通过第八通孔连通，而中间第三上控制流支道的出气端与直通流道7之间通过第九通孔连通。而所述第一弹性阻尼薄膜21、中间第一弹性阻尼薄膜为第一水平薄膜210的一部分。
所述中层基片3和下层基片4之间设置有第二水平薄膜220，所述第二水平薄膜220设置有第五通孔221、第十通孔和第十一通孔，所述下控制流道6与进气流道8之间通过第五通孔221连通。所述中间下控制流道的进气端与直通流道7之间通过第十通孔连通，而中间下控制流道的出气端与直通流道7之间通过第十一通孔连通。所述第二弹性阻尼薄膜22、中间第二弹性阻尼薄膜为第二水平薄膜220的一部分。
所述第一上控制流支道51、下控制流道6的出气端分别设置于直通流道7的上下两个侧面，记为第一、第二水平侧面。所述第二上控制流支道52、第三上控制流支道53的出气端分别设置于直通流道7的左右两个侧面，记为第一、第二竖直侧面。
第一水平侧面、第一竖直侧面、第二水平侧面、第二竖直侧面首尾相互连接围成一个矩形的四个面。
所述上层基片1、中层基片3和下层基片4材质为聚二甲基硅氧烷、塑料、玻璃中的一种。
所述第一水平薄膜210、第二水平薄膜220、第一垂直薄膜101和第二垂直薄膜102的材质为有机聚合物弹性薄膜，具有很好的弹性。
一种微流控气体阻尼器的调节方法：外部气体由进气流道8进入，分别进入上控制流道5、直通流道7和下控制流道6内，在上控制流道5内的气体在分别进入第一上控制流支道51、第二上控制流支道52、第三上控制流支道53内。进入第一上控制流支道51、第二上控制流支道52、第三上控制流支道53和下控制流道6的气体依次对第一弹性阻尼薄膜21、第一垂直薄膜101、第二垂直薄膜102和第二弹性阻尼薄膜22施压。第一弹性阻尼薄膜21、第二弹性阻尼薄膜22、第一垂直薄膜101和第二垂直薄膜102产生弹性变形降低了直通流道7内气体的气压波动。
各基片内微流道的加工可以通过光刻工艺、激光加工、3D打印等微加工工艺来实现；弹性薄膜可以通过旋涂聚二甲基硅氧烷的方式来获得，本实施例中制备的水平薄膜和垂直薄膜的厚度间于5-20μm之间，即第一水平薄膜210、第二水平薄膜220、第一垂直薄膜101和第二垂直薄膜102的厚度分别在5-20μm之间；各基片和薄膜在实现紧密贴合时，可利用氧等离子处理的工艺使各层之间的贴合面改性以实现不可逆键合，也可以利用溶剂辅助处理的方法或胶接工艺等技术来实现各基片与薄膜的封装；基片内微流道的对齐操作通过在基片上制作定位孔，并制备精密工装利用基片上的定位孔来实现精密对齐装配。最终，本实施例中获得的微流控气体阻尼器的空间外观尺寸为10x8x5mm3,其直接起气体阻尼作用的部分尺寸仅为200x100x50μm3。制得的微流控气体阻尼器可以实现气体压力在1MPa以下的恒定气压调节。
微流控气体阻尼器的阻尼效果验证：将制备的微流控气体阻尼器安装在一个波动的气压源的气体通路上，阻尼器的出气流道利用软管接入一个密闭的装有去离子水的罐体内，罐体底部插入一根引流管并接到一块微流控芯片的入口。为监控去离子水驱动气压的变化，在罐体内插入一个气压传感器。实验测得的气压变化曲线如图4所示。当系统内安装有微流控气体阻尼器时，去离子水罐内的压力变得非常平稳，测得的气压稳定在19.7-21.5kPa之间。而未安装阻尼器时，罐内的气压在24.1-87kPa之间剧烈波动。由此可见，本发明提出的微流控气体阻尼器具有很好的气体阻尼效果，且可以自动实现稳定的压力调节。
本发明提出的微流控气体阻尼器可直接安装于气压源的下方，亦可安装在微流控系统中的气体通路中。外部气体由阻尼器的进气流道进入，分别进入上控制流道、直通流道和下控制流道内。由于气体压力在上、下控制流道的水平和垂直方向分别对水平薄膜和垂直薄膜施压，因此，水平薄膜和垂直薄膜将瞬间产生弹性变形。一方面，薄膜变形导致的气压阻尼和减振效应减弱了气压的波动；另一方面，薄膜的变形还导致直通流道的截面积减小，使得直通流道内气体的阻力增大，从而也起到降低气压波动的效果。因此，当剧烈波动的脉冲气压经过阻尼器时，压力的波动将及时被阻尼器所消除，最终输出了稳定的气体压力用于微流控应用。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出：对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种微流控气体阻尼器，其特征在于：包括由上到下依次设置的上层基片(1)、中层基片(3)和下层基片(4)；所述上层基片(1)上设置有进气流道(8)、上控制流道(5)和出气流道(9)；所述中层基片(3)上设置有直通流道(7)；所述下层基片(4)上设置有下控制流道(6)，其中：
所述上控制流道(5)包括第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)；所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)、下控制流道(6)、直通流道(7)的进气端均与进气流道(8)连通，而所述第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)以及下控制流道(6)的出气端均与直通流道(7)连通；同时所述第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)的出气端相对设置，所述第一上控制流支道(51)、下控制流道(6)的出气端相对设置；所述直通流道(7)的出气端与出气流道(9)的进气端连通；
所述直通流道(7)与第一上控制流支道(51)出气端的连接处设置有第一弹性阻尼薄膜(21)，所述直通流道(7)与下控制流道(6)出气端的连接处设置有第二弹性阻尼薄膜(22)；所述直通流道(7)与第二上控制流支道(52)出气端的连接处设置有第一垂直薄膜(101)，所述直通流道(7)与第三上控制流支道(53)出气端的连接处设置有第二垂直薄膜(102)。
2.根据权利要求1所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：还包括一个以上的中间气压波动调节机构，所述中间气压波动调节机构包括中间上控制流道和中间下控制流道，所述中间上控制流道包括中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道；所述中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道、中间下控制流道的进气端分别与直通流道(7)连通；而所述中间第一上控制流支道、中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道、中间下控制流道的出气端也分别与直通流道(7)连通；所述中间第二上控制流支道、中间第三上控制流支道的出气端相对设置，所述中间第一上控制流支道、中间下控制流道的出气端相对设置；
所述直通流道与中间第一上控制流支道出气端的连接处设置有中间第一弹性阻尼薄膜，所述直通流道(7)与中间下控制流道出气端的连接处设置有中间第二弹性阻尼薄膜；所述直通流道(7)与第二上控制流支道出气端的连接处设置有中间第一垂直薄膜，所述直通流道(7)与中间第三上控制流支道出气端的连接处设置有中间第二垂直薄膜。
3.根据权利要求3所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：所述上层基片(1)、中层基片(3)之间设置有第一水平薄膜(210)；所述第一水平薄膜(210)上设置有第一通孔(211)、第二通孔(212)、第三通孔(213)、第四通孔(214)、第六通孔、第七通孔、第八通孔、第九通孔；所述进气流道(8)与直通流道(7)之间通过第一通孔(211)连通，所述出气流道(9)与直通流道(7)之间通过第四通孔(214)连通；所述第二上控制流支道(52)与直通流道(7)之间通过第二通孔(212)连通，第三上控制流支道(53)与直通流道(7)之间通过第三通孔(213)连通；所述中间第二上控制流支道的进气端与直通流道(7)之间通过第六通孔连通，而中间第二上控制流支道的出气端与直通流道(7)之间通过第七通孔连通；所述中间第三上控制流支道的进气端与直通流道(7)之间通过第八通孔连通，而中间第三上控制流支道的出气端与直通流道(7)之间通过第九通孔连通；而所述第一弹性阻尼薄膜(21)、中间第一弹性阻尼薄膜为第一水平薄膜(210)的一部分。
4.根据权利要求3所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：所述中层基片(3)和下层基片(4)之间设置有第二水平薄膜(220)，所述第二水平薄膜(220)设置有第五通孔(221)、第十通孔和第十一通孔，所述下控制流道(6)与进气流道(8)之间通过第五通孔(221)连通；所述中间下控制流道的进气端与直通流道(7)之间通过第十通孔连通，而中间下控制流道的出气端与直通流道(7)之间通过第十一通孔连通；所述第二弹性阻尼薄膜(22)、中间第二弹性阻尼薄膜为第二水平薄膜(220)的一部分。
5.根据权利要求1所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：所述第一上控制流支道(51)、下控制流道(6)的出气端分别设置于直通流道(7)的上下两个侧面，记为第一、第二水平侧面；所述第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)的出气端分别设置于直通流道(7)的左右两个侧面，记为第一、第二竖直侧面。
6.根据权利要求5所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：第一水平侧面、第一竖直侧面、第二水平侧面、第二竖直侧面首尾相互连接围成一个矩形的四个面。
7.根据权利要求1所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：所述上层基片(1)、中层基片(3)和下层基片(4)材质为聚二甲基硅氧烷、塑料、玻璃中的一种；所述第一水平薄膜(210)、第二水平薄膜(220)、第一垂直薄膜(101)和第二垂直薄膜(102)的材质为有机聚合物弹性薄膜。
8.根据权利要求1所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：第一水平薄膜(210)、第二水平薄膜(220)、第一垂直薄膜(101)和第二垂直薄膜(102)的厚度分别在5-20μm。
9.根据权利要求1所述的微流控气体阻尼器，其特征在于：调节的气体压力在1MPa以下。
10.一种基于权利要求1-9任一所述的微流控气体阻尼器的调节方法，其特征在于：外部气体由进气流道(8)进入，分别进入上控制流道(5)、直通流道(7)和下控制流道(6)内，在上控制流道(5)内的气体在分别进入第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)内；进入第一上控制流支道(51)、第二上控制流支道(52)、第三上控制流支道(53)和下控制流道(6)的气体依次对第一弹性阻尼薄膜(21)、第一垂直薄膜(101)、第二垂直薄膜(102)和第二弹性阻尼薄膜(22)施压；第一弹性阻尼薄膜(21)、第二弹性阻尼薄膜(22)、第一垂直薄膜(101)和第二垂直薄膜(102)产生弹性变形降低了直通流道(7)内气体的气压波动。
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