CN105928635A - 一种真空镀膜机用测温计 - Google Patents

一种真空镀膜机用测温计 Download PDF

Info

Publication number
CN105928635A
CN105928635A CN201610257765.2A CN201610257765A CN105928635A CN 105928635 A CN105928635 A CN 105928635A CN 201610257765 A CN201610257765 A CN 201610257765A CN 105928635 A CN105928635 A CN 105928635A
Authority
CN
China
Prior art keywords
vacuum coating
bar
measuring probe
coating equipment
thermo detector
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201610257765.2A
Other languages
English (en)
Inventor
陈学兵
王光辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Suzhou Putin's Vacuum Technique Co Ltd
Original Assignee
Suzhou Putin's Vacuum Technique Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Suzhou Putin's Vacuum Technique Co Ltd filed Critical Suzhou Putin's Vacuum Technique Co Ltd
Priority to CN201610257765.2A priority Critical patent/CN105928635A/zh
Publication of CN105928635A publication Critical patent/CN105928635A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K13/00Thermometers specially adapted for specific purposes

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Paints Or Removers (AREA)

Abstract

本发明揭示了一种真空镀膜机用测温计,包括测温计本体、导温条以及测量探头,所述测温计本体设置于真空镀膜机外表面,所述导温条的一端与所述测温计本体连接,所述导温条的另一端与所述测量探头连接,所述测量探头设置于所述真空镀膜机内部,所述导温条外表面包裹设置有一层保温隔热条,所述保温隔热条的切面呈半球形结构设置。本发明结构简单,固定牢靠,可直观的进行温度显示,方便操作,使用效果好。

Description

一种真空镀膜机用测温计
技术领域
本发明涉及一种真空镀膜机用测温计。
背景技术
真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术。在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。在进行真空镀膜过程中,往往伴随着温度的变化,而现有技术中使用的测量温度计是放置于真空镀膜机内部,无法进行直接的观察,使用效果欠佳。
发明内容
本发明的目的在于提供一种结构简单,固定牢靠,可直观的进行温度显示,方便操作,使用效果好的真空镀膜机用测温计。
本发明的技术方案是,一种真空镀膜机用测温计,包括测温计本体、导温条以及测量探头,所述测温计本体设置于真空镀膜机外表面,所述导温条的一端与所述测温计本体连接,所述导温条的另一端与所述测量探头连接,所述测量探头设置于所述真空镀膜机内部,所述导温条外表面包裹设置有一层保温隔热条,所述保温隔热条的切面呈半球形结构设置。
在本发明一个较佳实施例中,所述保温隔热条上还设置有嵌置所述导温条的紧密贴合的嵌槽。
在本发明一个较佳实施例中,所述测量探头上还设置有耐高温吸盘。
本发明所述为一种真空镀膜机用测温计,本发明结构简单,固定牢靠,可直观的进行温度显示,方便操作,使用效果好。
附图说明
图1为本发明一种真空镀膜机用测温计一较佳实施例中的剖视图。
具体实施方式
下面对本发明的较佳实施例进行详细阐述,以使本发明的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解,从而对本发明的保护范围做出更为清楚明确的界定。
本发明所述为一种真空镀膜机用测温计,如图1所示,包括测温计本体1、导温条2以及测量探头3。
所述测温计本体1设置于真空镀膜机外表面。
所述导温条2的一端与所述测温计本体1连接,所述导温条2的另一端与所述测量探头3连接。
所述测量探头3设置于所述真空镀膜机内部。
所述导温条2外表面包裹设置有一层保温隔热条4,所述保温隔热条4的切面呈半球形结构设置。
所述保温隔热条4上还设置有嵌置所述导温条2的紧密贴合的嵌槽。
所述测量探头3上还设置有耐高温吸盘5。
在对需要进行测量的产品时,只需要在测量前将耐高温洗盘固定贴合于真空镀膜机内部,而进行固定时,保温隔热条可有效的起到密封作用,避免出现透气现象,使用效果好。
本发明所述为一种真空镀膜机用测温计,本发明结构简单,固定牢靠,可直观的进行温度显示,方便操作,使用效果好。
以上所述仅为本发明的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本领域的技术人员在本发明所揭露的技术范围内,可不经过创造性劳动想到的变化或替换,都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此,本发明的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。

Claims (3)

1.一种真空镀膜机用测温计,包括测温计本体、导温条以及测量探头,其特征在于:所述测温计本体设置于真空镀膜机外表面,所述导温条的一端与所述测温计本体连接,所述导温条的另一端与所述测量探头连接,所述测量探头设置于所述真空镀膜机内部,所述导温条外表面包裹设置有一层保温隔热条,所述保温隔热条的切面呈半球形结构设置。
2.根据权利要求1所述的真空镀膜机用测温计,其特征在于:所述保温隔热条上还设置有嵌置所述导温条的紧密贴合的嵌槽。
3.根据权利要求1所述的真空镀膜机用测温计,其特征在于:所述测量探头上还设置有耐高温吸盘。
CN201610257765.2A 2016-04-25 2016-04-25 一种真空镀膜机用测温计 Pending CN105928635A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610257765.2A CN105928635A (zh) 2016-04-25 2016-04-25 一种真空镀膜机用测温计

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610257765.2A CN105928635A (zh) 2016-04-25 2016-04-25 一种真空镀膜机用测温计

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105928635A true CN105928635A (zh) 2016-09-07

Family

ID=56836208

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610257765.2A Pending CN105928635A (zh) 2016-04-25 2016-04-25 一种真空镀膜机用测温计

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105928635A (zh)

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1648278A (zh) * 2004-01-29 2005-08-03 三菱日立制铁机械株式会社 真空蒸镀机
CN201729868U (zh) * 2010-05-26 2011-02-02 北京北仪创新真空技术有限责任公司 可倒式真空基片表面测温装置
US20110274838A1 (en) * 2007-08-20 2011-11-10 Novogenio, S.L. System and process for the continuous vacuum coating of a material in web form
CN104746035A (zh) * 2013-12-31 2015-07-01 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 可实时监控晶片温度的升降针系统及磁控溅射设备
CN205152326U (zh) * 2015-11-28 2016-04-13 西北有色金属研究院 一种真空蒸镀装置用测温机构

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1648278A (zh) * 2004-01-29 2005-08-03 三菱日立制铁机械株式会社 真空蒸镀机
US20110274838A1 (en) * 2007-08-20 2011-11-10 Novogenio, S.L. System and process for the continuous vacuum coating of a material in web form
CN201729868U (zh) * 2010-05-26 2011-02-02 北京北仪创新真空技术有限责任公司 可倒式真空基片表面测温装置
CN104746035A (zh) * 2013-12-31 2015-07-01 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 可实时监控晶片温度的升降针系统及磁控溅射设备
CN205152326U (zh) * 2015-11-28 2016-04-13 西北有色金属研究院 一种真空蒸镀装置用测温机构

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10928253B2 (en) Dual-sensor waterproof temperature monitoring probe and associated systems and methods
CN204694378U (zh) 一种热敏电阻的阻温特性检测仪
CN204214566U (zh) 一种温度测量装置
TWI497102B (zh) 內建溫度感應器之空氣游離腔裝置
CN103913635A (zh) 一种高温条件下材料表面电阻率测试系统
US8500327B2 (en) Safety thermometer
US11009401B2 (en) Dual-sensor waterproof temperature monitoring probe and associated systems and methods
WO2015091991A3 (fr) Dispositif de mesure simplifie et procede et outil de fabrication d'un tel dispositif
CN105928635A (zh) 一种真空镀膜机用测温计
CN203940931U (zh) 一种新型快速响应温度传感器
CN206683783U (zh) 双控温保护型温度传感器
CN201798515U (zh) 一种新型测温锅
CN208254669U (zh) 一种快速表面测温ntc温度传感器
CN204043811U (zh) 一种导热系数仪标准测温板
CN208998943U (zh) 一种变压器线圈温度测量装置
CN105509893B (zh) 热成像在线测温方法
CN204269252U (zh) 温度传感器
CN204374119U (zh) 固体动态导热系数测量装置及测量系统
CN203881849U (zh) 一种高温条件下材料表面电阻率测试系统
CN204666612U (zh) 药物溶出仪的温度监控装置
CN102620750A (zh) 低温高湿场合用温湿度传感器
CN207675106U (zh) 一种开关设备手车触头同心度测量装置
CN207730334U (zh) 一种数字显示贴片式温度变送器
CN206132674U (zh) 一种pvc电缆护套出油现象的检测装置
CN204902749U (zh) 冻结管断裂位置定位探头

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20160907

RJ01 Rejection of invention patent application after publication