CN105926027A - 耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺 - Google Patents

耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺 Download PDF

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张少杰
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
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Abstract

耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，属于不锈钢电解抛光工艺技术领域。具体步骤为：首先对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1；对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干。从而得到表面光亮且具有较高的耐腐蚀性能，采用临界点蚀温度测试(CPT)，观察工件随温度升高表面耐腐蚀性能变化，温度可达到80℃。本发明耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺可有效提高工件的耐腐蚀性能，本发明可得到光亮美观的电抛表面，且电解抛光深度强，耐腐蚀性能优异，电解抛光后可在温度较高且具有腐蚀性的环境中保持光泽长久不变。

Description

耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺
技术领域
本发明属于不锈钢电解抛光工艺技术领域，特别是涉及一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺。适于IC装配晶圆加工及处理，环境要求耐腐蚀和外观要求较高的环境。
背景技术
耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，有其特别的重要性。不锈钢电解抛光工艺由于其特殊性能在工业生产中有着广泛的应用，IC领域中对不锈钢电解抛光工艺能要求越来越高，由于IC装配晶圆加工及处理环境要求具有较高的耐腐蚀和温度管控，因此开发具有较高耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，提高设备性能及使用寿命有重要意义。
发明内容
针对上述存在的技术问题，本发明提供一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，通过对不锈钢材料工件进行电解抛光处理，控制电解抛光过程中溶液浓度，反应温度，反应电压，阴阳极板面积比例，钝化控制等。从而得到具有较高的耐腐蚀性能的光亮美观金属表面，采用临界点蚀温度测试(CPT)，温度可达到80℃。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
本发明一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，包括如下步骤：
(1)对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1；
(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；
(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干；
(4)对步骤(3)处理后的工件进行临界点蚀温度测试测试，观察工件随温度升高耐腐蚀性能变化，观察其临界点蚀温>80℃，因此具有较高耐腐蚀性能。
进一步地，所述不锈钢材料工件选择316/316L不锈钢材料。
进一步地，所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1
进一步地，所述电解抛光的溶液为40％wt磷酸、50％wt硫酸及10％wt浓缩液电解抛光药水，过程工艺参数为：温度：50-60℃，恒定电压：8-12V，电解抛光：40-120s，电流密度控制在5-7A/dm2。
进一步地，所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/3-1/5。
进一步地，所述钝化在50％硝酸中进行，钝化温度20-30℃，钝化时间60-75min。
本发明的有益效果为：
1.本发明耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺可有效提高工件的耐腐蚀性能，对工件进行临界点蚀温度测试(CPT)，观察其临界点蚀温可达到80℃。
2.本发明耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，可得到光亮美观金属表面，且电解抛光深度强，耐腐蚀性能优异，电解抛光后可在温度较高且具有腐蚀性的环境中保持光泽长久不变。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明进行详细描述。
实施例1：本发明一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，包括如下步骤：
(1)选择316/316不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1；
(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；
(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干；
(4)对步骤(3)处理后的工件进行CPT测试，观察其临界点蚀温>80℃。
所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理，要求Ra<0.1
所述电解抛光的溶液为40％wt磷酸、50％wt硫酸及10％wt浓缩液电解抛光药水，过程工艺参数为：温度：55℃，恒定电压：10V，电解抛光：80s，电流密度控制在6A/dm2。
所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/4。
所述钝化在50％硝酸中进行，钝化温度25℃，钝化时间70min。
实施例2：本例与实施例1不同的是：本例中所述电解抛光的过程工艺参数为：温度：50℃，恒定电压：8V，电解抛光：40s，电流密度控制在5A/dm2。
所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/3。
所述钝化在50％硝酸中进行，钝化温度20℃，钝化时间60min。
实施例3：本例与实施例1不同的是：本例中所述电解抛光的过程工艺参数为：温度：60℃，恒定电压：12V，电解抛光：120s，电流密度控制在7A/dm2。
所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/5。
所述钝化在50％硝酸中进行，钝化温度30℃，钝化时间75min。

Claims (6)

1.一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于：包括如下步骤：
(1)对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理，要求Ra＜0.1；
(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理，即：将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净，保湿放入电抛槽后，立刻通电，进行电解抛光；
(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后，取出清洗吹干；
(4)对步骤(3)处理后的工件进行临界点蚀温度测试测试，观察工件随温度升高耐腐蚀性能变化，观察其临界点蚀温＞80℃，因此具有较高耐腐蚀性能。
2.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于：所述不锈钢材料工件选择316/316L不锈钢材料。
3.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于：所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理，要求Ra＜0.1。
4.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于：所述电解抛光的溶液为40％wt磷酸、50％wt硫酸及10％wt浓缩液电解抛光药水，过程工艺参数为：温度：50-60℃，恒定电压：8-12V，电解抛光：40-120s，电流密度控制在5-7A/dm2。
5.按照权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于：所述电抛槽的阴极为钛板，阴极极板面积为零件面积的1/3-1/5。
6.按照权利要求1所述的耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺，其特征在于：所述钝化在50％硝酸中进行，钝化温度20-30℃，钝化时间60-75min。
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