CN105926027A - 耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺 - Google Patents
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Abstract
耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,属于不锈钢电解抛光工艺技术领域。具体步骤为:首先对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理,要求Ra<0.1;对洁净工件直接进行电解抛光处理,即:将手动抛光后的工件脱脂清洗干净,保湿放入电抛槽后,立刻通电,进行电解抛光;电抛光亮的工件进行钝化后,取出清洗吹干。从而得到表面光亮且具有较高的耐腐蚀性能,采用临界点蚀温度测试(CPT),观察工件随温度升高表面耐腐蚀性能变化,温度可达到80℃。本发明耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺可有效提高工件的耐腐蚀性能,本发明可得到光亮美观的电抛表面,且电解抛光深度强,耐腐蚀性能优异,电解抛光后可在温度较高且具有腐蚀性的环境中保持光泽长久不变。
Description
技术领域
本发明属于不锈钢电解抛光工艺技术领域,特别是涉及一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺。适于IC装配晶圆加工及处理,环境要求耐腐蚀和外观要求较高的环境。
背景技术
耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,有其特别的重要性。不锈钢电解抛光工艺由于其特殊性能在工业生产中有着广泛的应用,IC领域中对不锈钢电解抛光工艺能要求越来越高,由于IC装配晶圆加工及处理环境要求具有较高的耐腐蚀和温度管控,因此开发具有较高耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,提高设备性能及使用寿命有重要意义。
发明内容
针对上述存在的技术问题,本发明提供一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,通过对不锈钢材料工件进行电解抛光处理,控制电解抛光过程中溶液浓度,反应温度,反应电压,阴阳极板面积比例,钝化控制等。从而得到具有较高的耐腐蚀性能的光亮美观金属表面,采用临界点蚀温度测试(CPT),温度可达到80℃。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的:
本发明一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,包括如下步骤:
(1)对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理,要求Ra<0.1;
(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理,即:将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净,保湿放入电抛槽后,立刻通电,进行电解抛光;
(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后,取出清洗吹干;
(4)对步骤(3)处理后的工件进行临界点蚀温度测试测试,观察工件随温度升高耐腐蚀性能变化,观察其临界点蚀温>80℃,因此具有较高耐腐蚀性能。
进一步地,所述不锈钢材料工件选择316/316L不锈钢材料。
进一步地,所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理,要求Ra<0.1
进一步地,所述电解抛光的溶液为40%wt磷酸、50%wt硫酸及10%wt浓缩液电解抛光药水,过程工艺参数为:温度:50-60℃,恒定电压:8-12V,电解抛光:40-120s,电流密度控制在5-7A/dm2。
进一步地,所述电抛槽的阴极为钛板,阴极极板面积为零件面积的1/3-1/5。
进一步地,所述钝化在50%硝酸中进行,钝化温度20-30℃,钝化时间60-75min。
本发明的有益效果为:
1.本发明耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺可有效提高工件的耐腐蚀性能,对工件进行临界点蚀温度测试(CPT),观察其临界点蚀温可达到80℃。
2.本发明耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,可得到光亮美观金属表面,且电解抛光深度强,耐腐蚀性能优异,电解抛光后可在温度较高且具有腐蚀性的环境中保持光泽长久不变。
具体实施方式
下面结合实施例对本发明进行详细描述。
实施例1:本发明一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,包括如下步骤:
(1)选择316/316不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理,要求Ra<0.1;
(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理,即:将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净,保湿放入电抛槽后,立刻通电,进行电解抛光;
(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后,取出清洗吹干;
(4)对步骤(3)处理后的工件进行CPT测试,观察其临界点蚀温>80℃。
所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理,要求Ra<0.1
所述电解抛光的溶液为40%wt磷酸、50%wt硫酸及10%wt浓缩液电解抛光药水,过程工艺参数为:温度:55℃,恒定电压:10V,电解抛光:80s,电流密度控制在6A/dm2。
所述电抛槽的阴极为钛板,阴极极板面积为零件面积的1/4。
所述钝化在50%硝酸中进行,钝化温度25℃,钝化时间70min。
实施例2:本例与实施例1不同的是:本例中所述电解抛光的过程工艺参数为:温度:50℃,恒定电压:8V,电解抛光:40s,电流密度控制在5A/dm2。
所述电抛槽的阴极为钛板,阴极极板面积为零件面积的1/3。
所述钝化在50%硝酸中进行,钝化温度20℃,钝化时间60min。
实施例3:本例与实施例1不同的是:本例中所述电解抛光的过程工艺参数为:温度:60℃,恒定电压:12V,电解抛光:120s,电流密度控制在7A/dm2。
所述电抛槽的阴极为钛板,阴极极板面积为零件面积的1/5。
所述钝化在50%硝酸中进行,钝化温度30℃,钝化时间75min。
Claims (6)
1.一种耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,其特征在于:包括如下步骤:
(1)对不锈钢材料工件进行手动抛光打磨处理,要求Ra<0.1;
(2)对洁净工件直接进行电解抛光处理,即:将步骤(1)中手动抛光后的工件脱脂清洗干净,保湿放入电抛槽后,立刻通电,进行电解抛光;
(3)将步骤(2)电抛光亮的工件进行钝化后,取出清洗吹干;
(4)对步骤(3)处理后的工件进行临界点蚀温度测试测试,观察工件随温度升高耐腐蚀性能变化,观察其临界点蚀温>80℃,因此具有较高耐腐蚀性能。
2.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,其特征在于:所述不锈钢材料工件选择316/316L不锈钢材料。
3.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,其特征在于:所述电解抛光前经过手动抛光打磨处理,要求Ra<0.1。
4.如权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,其特征在于:所述电解抛光的溶液为40%wt磷酸、50%wt硫酸及10%wt浓缩液电解抛光药水,过程工艺参数为:温度:50-60℃,恒定电压:8-12V,电解抛光:40-120s,电流密度控制在5-7A/dm2。
5.按照权利要求1所述耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,其特征在于:所述电抛槽的阴极为钛板,阴极极板面积为零件面积的1/3-1/5。
6.按照权利要求1所述的耐腐蚀性不锈钢电解抛光工艺,其特征在于:所述钝化在50%硝酸中进行,钝化温度20-30℃,钝化时间60-75min。
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Applications Claiming Priority (1)
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