CN105884211A - 一种镀膜玻璃的除膜方法及除膜设备 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种镀膜玻璃的除膜方法及除膜设备，具体是说，本发明采用激光对镀膜玻璃进行划线除膜，解决了化学蚀刻污染环境的问题；同时，由于高速振镜工作范围有限，本发明通过软件配合CCD传感器，将整块镀膜玻璃划分为至少两个除膜区域，通过CCD传感器获取除膜区域的图像并设置均匀的定位点，并使软件实时获知位移路径上的定位点，在对下一个除膜区域进行除膜时，先对上一个除膜区域中临近两除膜区域交界处的部分进行重叠除膜，而重叠除膜的位移路径则可根据在先记录的已经除膜过区域内的位移路径上的定位点获知，从而使得除膜线更加连贯，消除了两个除膜区域交界处产生的拼接线或拼接痕迹，解决了大幅面镀膜玻璃蚀刻的拼接问题。

Description

一种镀膜玻璃的除膜方法及除膜设备

技术领域

本发明涉及镀膜玻璃处理技术领域，具体是一种镀膜玻璃的除膜方法及除膜设备。

背景技术

镀膜玻璃是在玻璃表面涂覆一层或多层金属、金属氧化物或其他物质或者把金属离子迁移到玻璃的表面层中，使其改变玻璃对阳光、热能的辐射率、放射率、吸收率以及透过率等性能或赋予玻璃表面导电、自洁等特殊性能，使之成为无色或者有色的一层薄膜以形成具有新功能的玻璃产品。

根据镀膜玻璃的制造工艺，可分为在线镀膜玻璃和离线镀膜玻璃两种，本发明属于离线镀膜玻璃领域。

其中离线low-E镀膜玻璃是由多层膜层构成，是采用磁控溅射镀膜技术生产的，其功能层主要为银层，由于银层特别容易氧化，所以普通的离线low-E镀膜玻璃不能进行加热操作，只能是镀膜后立即合成中空玻璃使用。

随着技术不断进步，近年来出现了可钢化low-E镀膜玻璃，国内几家比较大的采用磁控溅射技术的玻璃镀膜厂家可以生产这种可钢化low-E镀膜玻璃。所述产品比较适合于高档建筑幕墙玻璃。但是上述膜层结构不能经受烘弯工序，烘弯后会导致低辐射性能下降、透过率发生变化；有的膜层结构的可见光透过率不能满足汽车玻璃、特别是前风挡玻璃的要求；所以这些可钢化镀膜玻璃产品不能用于制造夹层玻璃，特别是不能用于制造汽车前风挡玻璃。

最近，在可钢化Low-E镀膜技术基础上，又出现了一种新型低辐射镀膜玻璃，那就是可烘弯低辐射镀膜玻璃，应用到汽车玻璃、特别是前风挡玻璃。

然而，在实际应用中，上述可烘弯低辐射镀膜玻璃的表面并不需要或者并不能全部覆盖/涂敷Low-E膜层。一方面，Low-E膜层中的红外反射层可能干涉电磁波信号的透过，如ETC、GPS、RF等；另一方面将Low-E膜层镀在玻璃板的外边缘区域容易造成膜层的腐蚀，也是不提倡的。也就是说，镀在玻璃表面的部分区域的镀膜膜层是需要除掉的。

通常采用磨轮打磨、喷砂等工艺来进行除膜操作；但这些工艺容易造成玻璃划伤或者影响玻璃的外观；再或者采用化学蚀刻的方式来进行除膜操作，但容易造成环境污染，工序也繁多，效率比较低。

发明内容

本发明克服了上述现有技术中所存在的不足，提供了一种可以避免环境污染、工序简单、速度快、可实现自动化生产的镀膜玻璃的除膜方法及除膜设备，本发明采用激光对镀膜玻璃进行划线除膜，解决了化学蚀刻污染环境的问题；同时，由于高速振镜工作范围有限，本发明通过软件配合CCD传感器，将整块镀膜玻璃划分为至少两个除膜区域，在对下一个除膜区域进行除膜时，先对上一个除膜区域中临近两除膜区域交界处的部分进行重叠除膜，使得除膜线更加连贯，消除了两个除膜区域交界处产生的拼接线或拼接痕迹，解决了大幅面镀膜玻璃蚀刻的拼接问题。

本发明的技术方案是这样实现的：

一种镀膜玻璃的除膜方法，包括一个利用激光聚焦方法在膜层上形成损伤点的过程，还包括一个在膜层上移动激光聚焦点的过程，其中，在激光于膜层上形成第一个损伤点之前，先将整块镀膜玻璃划分为至少两个除膜区域，然后对每个除膜区域设定高速振镜的位移路径范围；在高速振镜按照设定的位移路径进行移动除膜时，通过CCD传感器获取当前除膜区域的图像，通过软件在图像上设置多个均匀的定位点，并通过软件捕捉高速振镜位移路径范围内的定位点；当对下一个除膜区域进行除膜时，控制激光聚焦点穿过两个除膜区域的交界处，并对上一个除膜区域临近所述交界处的位移路径结合定位点重叠除膜，而该除膜区的除膜则重复上一个除膜区域的除膜过程。

作为优选，上一个除膜区域临近所述交界处的重叠除膜的位移路径的大小为0.5～3mm。可以根据实际需要进行软件设定。

作为优选，上一个除膜区域临近所述交界处的重叠除膜的位移路径的大小为1mm或2mm。

作为优选，高速振镜的位移路径范围为网格线或多条平行线。采用激光蚀刻方式进行划线，每刻一条线就形成一个导电线，可接收无线信号。

作为优选，将镀膜玻璃放置在一个玻璃输送平台上，通过玻璃输送平台调整镀膜玻璃位置，在镀膜玻璃的上方设置高速振镜系统，利用反射镜分别将来自激光源的激光射向所述的高速振镜系统，利用高速振镜系统在小于或等于150×150mm的平面区域在膜层上移动激光聚焦点。

作为优选，将高速振镜系统设置在独立的Z向运动部件上，所述的Z向运动部件设置在一X向运动部件上，X向运动部件又设置在一Y向运动部件上，通过移动X向运动部件或Y向运动部件，来改变高速振镜系统的位置，进而移动激光聚焦点。

为了提高加工效率与蚀刻速度，作为优选，包括至少两个Z向运动部件，每个Z向运动部件均连接至同一X向运动部件，每个Z向运动部件上设置一套高速振镜系统，通过移动X向运动部件、Y向运动部件和Z向运动部件，来改变高速振镜系统的位置，进而移动激光聚焦点对镀膜玻璃的不同部位进行除膜。

为了提高加工效率与蚀刻速度，作为优选，采用两个以上的高速振镜偏转两路以上激光，来控制激光聚焦点的位置，然后在每个除膜区域分别设定一个高速振镜的位移路径范围；所述的高速振镜各自完成每个除膜区域的除膜作业。

为了进一步提高加工效率与蚀刻速度，作为优选，通过计数器记录除膜数据，通过CCD捕捉除膜区域的图像与范围，由软件实时分析剩余的除膜区域，当剩余的除膜区域不足以由所有高速振镜共同完成作业时，软件自动获取未完区域内的剩余除膜数据，由离剩余除膜区域最近的高速振镜单独作业完成剩余部分的除膜作业。

作为优选，所述的除膜区域可以划分为多个规则或不规则的除膜分区，在划分不规则除膜分区时，先框选第一块除膜分区，再依次框选所需作业的下一个除膜分区，直至完成所有除膜分区的划分。采用此方法，使得可以手动分割不规则的除膜分区，解决了以往规则分区、规则移动振镜或玻璃进行除膜所浪费的时间。

作为优选，每个除膜分区的除膜顺序可以根据需要由人工进行编排，高速振镜结合位移路径按照除膜顺序移动使激光聚焦点对相应的除膜分区进行除膜。从而可以进一步满足除膜的多样化需求，提高除膜效率。

作为优选，软件赋予定位点相应的坐标，在断电或系统重启后，可手动输入已完成的大致除膜点数，高速振镜即移动至记忆的上次所处的坐标位置，以进入下一步除膜。此方法可以在电脑断电或设备断电时，记录除膜数据，在电脑或设备重启时方便还未除膜完的产品进行继续除膜，以节约时间提高效率，并且不浪费产品。

一种基于上述方法的除膜设备，包括玻璃输送平台，移动定位机构、CCD传感器及高速振镜系统，其中，所述的移动定位机构包括X向移动台和Y向移动台，所述的X向移动台与Y向移动台相连，CCD传感器设置在玻璃输送平台上方，Y向移动台两端架设于玻璃输送平台两侧，所述的高速振镜系统设置在X向移动台上。

作为优选，玻璃输送平台两侧各设有一Y向直线电机，Y向移动台两端在Y向直线电机作用下沿Y向直线电机导轨移动；在Y向移动台上设有X向直线电机，X向移动台在X向直线电机作用下沿X向直线电机导轨移动。直线电机具有结构紧凑、功率损耗小、快移速度高、加速度高、高速度的优势，直线电机通过直接驱动负载的方式，可以实现从高速到低速等不同范围的高精度位置定位控制。直线电机的动子初级和定子次级之间无直接接触，定子及动子均为刚性部件，从而保证直线电机运动的静音性以及整体机构核心运动部件的高刚性。本发明通过高速振镜系统与直线电机进行配合，提高了加工速度，效率大幅提高，并且噪音小，工作安全可靠，寿命长。

作为优选，还包括Z向移动台，Z向移动台连接X向移动台，所述的高速振镜系统设置在Z向移动台上。通过Z向移动台带动高速振镜系统上下移动，以调节激光的焦距。

作为优选，Z向移动台与一个驱动机构连接，所述的驱动机构均由丝杆螺母副和伺服电机连接构成，任意一个所述的伺服电机均与一个控制器连接。

作为优选，所述的高速振镜系统包括高速振镜、反射镜与激光源，激光源发出的激光经反射镜偏转至高速振镜，高速振镜的激光出射方向与Z向移动台的运动轨迹平行。

作为优选，所述的玻璃输送平台为大理石平台，在大理石平台上设有多条沿Y向设置的凹槽，在Y向设置的凹槽内设有传动轮，在传动轮上绕设有用于输送玻璃的皮带。传动轮可在电机的作用下转动，使皮带带动玻璃进行输送。

作为优选，在玻璃输送平台上设有玻璃定位组件，在大理石平台上设有多条横竖交叉的沿X向设置的凹槽和沿Y向设置的凹槽，玻璃定位组件包括多个分布在X向设置的凹槽和Y向设置的凹槽内的沿横向、纵向运动的定位件。定位件沿水平方向运动可以夹住玻璃，而定位件向下运动则是为了在玻璃输送时不妨碍到玻璃，而在需要夹住玻璃时向上运动。

作为优选，所述的定位件连接有沿纵向方向推动的第一气缸，所述的第一气缸又连接有沿横向推动的第二气缸。

采用了上述技术方案的本发明的原理及有益效果是：

本发明采用激光对镀膜玻璃进行划线除膜，解决了化学蚀刻污染环境的问题；同时，由于高速振镜工作范围有限，本发明通过软件配合CCD传感器，将整块镀膜玻璃划分为至少两个除膜区域，通过CCD传感器获取除膜区域的图像并设置均匀的定位点，并使软件实时获知位移路径上的定位点，在对下一个除膜区域进行除膜时，先对上一个除膜区域中临近两除膜区域交界处的部分进行重叠除膜，而重叠除膜的位移路径则可根据在先记录的已经除膜过区域内的位移路径上的定位点获知，从而使得除膜线更加连贯，消除了两个除膜区域交界处产生的拼接线或拼接痕迹，解决了大幅面镀膜玻璃蚀刻的拼接问题。

再进一步说，本发明的除膜设备采用直线电机，直线电机具有结构紧凑、功率损耗小、快移速度高、加速度高、高速度的优势，直线电机通过直接驱动负载的方式，可以实现从高速到低速等不同范围的高精度位置定位控制。直线电机的动子初级和定子次级之间无直接接触，定子及动子均为刚性部件，从而保证直线电机运动的静音性以及整体机构核心运动部件的高刚性。本发明通过高速振镜系统与直线电机进行配合，不仅使得高速振镜移动过程中保持稳定，使得激光聚焦点不产生晃动，还提高了加工速度，效率大幅提高，并且噪音小，工作安全可靠，寿命长。

附图说明

图1为本发明除膜设备的立体结构示意图；

图2为本发明除膜设备另一角度的立体结构示意图；

图3为实施例中定位件的驱动结构示意图。

具体实施方式

本发明的具体实施方式如下：

实施例：一种镀膜玻璃的除膜方法，包括一个利用激光聚焦方法在膜层上形成损伤点的过程，还包括一个在膜层上移动激光聚焦点的过程，其中，在激光于膜层上形成第一个损伤点之前，先将整块镀膜玻璃划分为至少两个除膜区域，然后对每个除膜区域设定高速振镜的位移路径范围；在高速振镜按照设定的位移路径进行移动除膜时，通过CCD传感器获取当前除膜区域的图像，通过软件在图像上设置多个均匀的定位点，比如在150×150mm的区域内设置1000个均匀的定位点，并通过软件捕捉高速振镜位移路径范围内的定位点；当对下一个除膜区域进行除膜时，控制激光聚焦点穿过两个除膜区域的交界处，并对上一个除膜区域临近所述交界处的位移路径结合定位点重叠除膜，而该除膜区的除膜则重复上一个除膜区域的除膜过程；因为划线时已对经过的定位点作了记录，因此，在重叠除膜时可以通过记忆的定位点结合位移路径进行精确定位，使激光聚焦点遵循之前划过的痕迹进行补偿划线。

进一步说，高速振镜的位移路径范围为网格线或多条平行线，简单说，就是在镀膜玻璃上划线，软件控制上一个除膜区域临近所述交界处的重叠除膜的位移路径的大小为1mm，当然也可以根据实际需要设置为0.5mm或其它参数。

具体的说，将镀膜玻璃放置在一个玻璃输送平台上，通过玻璃输送平台调整镀膜玻璃位置，在镀膜玻璃的上方设置高速振镜系统，利用反射镜分别将来自激光源的激光射向所述的高速振镜系统，因高速振镜工作范围有限，利用高速振镜系统在小于或等于150×150mm的平面区域在膜层上移动激光聚焦点；当对当前除膜区域作业完成后，移至下一个除膜区域进行作业，两个除膜区域间会存在拼接痕迹，因此通过上述方法进行消除，解决了大幅面玻璃除膜拼接的问题，使划线连贯。

将高速振镜系统设置在独立的Z向运动部件上，所述的Z向运动部件设置在一X向运动部件上，X向运动部件又设置在一Y向运动部件上，通过移动X向运动部件或Y向运动部件，来改变高速振镜系统的位置，进而移动激光聚焦点；Z向运动部件的运动可以调节高速振镜与玻璃表面的间距，进而调节激光的焦距。

再进一步说，为了提高工作效率，采用两个以上的高速振镜偏转两路以上激光，来控制激光聚焦点的位置，然后在每个除膜区域分别设定一个高速振镜的位移路径范围；所述的高速振镜各自完成每个除膜区域的除膜作业；也就是说包括至少两个Z向运动部件，每个Z向运动部件均连接至同一X向运动部件，每个Z向运动部件上设置一套高速振镜系统，通过移动X向运动部件、Y向运动部件和Z向运动部件，来改变高速振镜系统的位置，进而移动激光聚焦点对镀膜玻璃的不同部位进行除膜。

在作业过程中，通过计数器记录除膜数据，通过CCD捕捉除膜区域的图像与范围，由软件实时分析剩余的除膜区域，当剩余的除膜区域不足以由所有高速振镜共同完成作业时，软件自动获取未完区域内的剩余除膜数据，由离剩余除膜区域最近的高速振镜单独作业完成剩余部分的除膜作业。

再进一步说，所述的除膜区域可以划分为多个规则或不规则的除膜分区，在划分不规则除膜分区时，先框选第一块除膜分区，再依次框选所需作业的下一个除膜分区，直至完成所有除膜分区的划分。采用此方法，使得可以手动分割不规则的除膜分区，解决了以往规则分区、规则移动振镜或玻璃进行除膜所浪费的时间。

同时，每个除膜分区的除膜顺序可以根据需要由人工进行编排，高速振镜结合位移路径按照除膜顺序移动使激光聚焦点对相应的除膜分区进行除膜。从而可以进一步满足除膜的多样化需求，提高除膜效率。

而在除膜过程中，会有断电及设备死机的可能，本发明在激光除膜控制系统软件中配备了续航模块，在激光除膜时，该续航模块记忆每个除膜区域中各个定位点的X、Y、Z轴的坐标数据及已完成的除膜点数。此方法可以在电脑断电或设备断电重启后，方便还未作业完的产品进行续雕，以节约时间提高效率，并且不浪费产品。

而在断电或除膜系统重启后，可手动输入已完成的大致除膜点数，根据续雕模块记忆的数据，高速振镜即移动至记忆的上次所处的坐标位置，以进入下一步除膜玻璃。

一种上述方法的除膜设备，如图1、2所示，包括玻璃输送平台1，移动定位机构、CCD传感器2及高速振镜系统，其中，所述的移动定位机构包括X向移动台3和Y向移动台4，所述的X向移动台3与Y向移动台4相连，CCD传感器2设置在玻璃输送平台1上方，具体的说，CCD传感器2设置在Y向移动台4上靠近高速振镜系统的位置，Y向移动台4两端架设于玻璃输送平台1两侧，所述的高速振镜系统设置在X向移动台3上；X向移动台是指沿X向移动的工作台，Y向移动台是指沿Y向移动的工作台。

具体的说，玻璃输送平台1两侧各设有一Y向直线电机5，Y向直线电机5是指沿Y方向布置，Y向移动台4两端在两个Y向直线电机5作用下沿Y向直线电机导轨6移动；在Y向移动台4上设有X向直线电机7，X向直线电机7是指沿X向布置，X向移动台3在X向直线电机7作用下沿X向直线电机导轨8移动。

再进一步说，还包括Z向移动台9，Z向移动台9连接X向移动台3，所述的高速振镜系统设置在Z向移动台9上；Z向移动台9与一个驱动机构连接，所述的驱动机构均由丝杆螺母副(未图示)和伺服电机(未图示)连接构成，任意一个所述的伺服电机均与一个控制器连接。

所述的高速振镜系统包括高速振镜10、反射镜与激光源11，激光源11发出的激光经反射镜偏转至高速振镜10，高速振镜10的激光出射方向与Z向移动台9的运动轨迹平行。

所述的玻璃输送平台1为大理石平台，X向移动台3和Y向移动台4也均为大理石材质制成，在大理石平台上设有多条横竖交叉的沿X向设置的凹槽15和沿Y向设置的凹槽12，在大理石平台上设有多条沿Y向设置的凹槽12，在Y向设置的凹槽12内设有传动轮13，在传动轮13上绕设有用于输送玻璃的皮带14。

在玻璃输送平台1上设有玻璃定位组件，玻璃定位组件包括多个分布在X向设置的凹槽15和Y向设置的凹槽12内的沿横向、纵向运动的定位件16。

如图3所示，所述的定位件16连接有沿纵向方向推动的第一气缸17，所述的第一气缸17又连接有沿横向推动的第二气缸18。

作业时，将镀膜玻璃放置在玻璃输送平台1上，由皮带输送到位，玻璃边缘处临近的定位块向上伸出，并横向平移运动，将镀膜玻璃进行横向固定，使其保持稳定；调节Z向移动台9使激光焦距处于设定范围，此时，再移动X向移动台3与Y向移动台4，按照上述方法进行除膜作业。

Claims (20)

1.一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：包括一个利用激光聚焦方法在膜层上形成损伤点的过程，还包括一个在膜层上移动激光聚焦点的过程，其中，在激光于膜层上形成第一个损伤点之前，先将整块镀膜玻璃划分为至少两个除膜区域，然后对每个除膜区域设定高速振镜的位移路径范围；在高速振镜按照设定的位移路径进行移动除膜时，通过CCD传感器获取当前除膜区域的图像，通过软件在图像上设置多个均匀的定位点，并通过软件捕捉高速振镜位移路径范围内的定位点；当对下一个除膜区域进行除膜时，控制激光聚焦点穿过两个除膜区域的交界处，并对上一个除膜区域临近所述交界处的位移路径结合定位点重叠除膜，而该除膜区的除膜则重复上一个除膜区域的除膜过程。

2.根据权利要求1所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：上一个除膜区域临近所述交界处的重叠除膜的位移路径的大小为0.5～3mm。

3.根据权利要求2所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：上一个除膜区域临近所述交界处的重叠除膜的位移路径的大小为1mm或2mm。

4.根据权利要求1所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：高速振镜的位移路径范围为网格线或多条平行线。

5.根据权利要求1所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：将镀膜玻璃放置在一个玻璃输送平台上，通过玻璃输送平台调整镀膜玻璃位置，在镀膜玻璃的上方设置高速振镜系统，利用反射镜分别将来自激光源的激光射向所述的高速振镜系统，利用高速振镜系统在小于或等于150×150mm的平面区域在膜层上移动激光聚焦点。

6.根据权利要求5所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：将高速振镜系统设置在独立的Z向运动部件上，所述的Z向运动部件设置在一X向运动部件上，X向运动部件又设置在一Y向运动部件上，通过移动X向运动部件或Y向运动部件，来改变高速振镜系统的位置，进而移动激光聚焦点。

7.根据权利要求6所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：包括至少两个Z向运动部件，每个Z向运动部件均连接至同一X向运动部件，每个Z向运动部件上设置一套高速振镜系统，通过移动X向运动部件、Y向运动部件和Z向运动部件，来改变高速振镜系统的位置，进而移动激光聚焦点对镀膜玻璃的不同部位进行除膜。

8.根据权利要求1所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：采用两个以上的高速振镜偏转两路以上激光，来控制激光聚焦点的位置，然后在每个除膜区域分别设定一个高速振镜的位移路径范围；所述的高速振镜各自完成每个除膜区域的除膜作业。

9.根据权利要求8所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：通过计数器记录除膜数据，通过CCD捕捉除膜区域的图像与范围，由软件实时分析剩余的除膜区域，当剩余的除膜区域不足以由所有高速振镜共同完成作业时，软件自动获取未完区域内的剩余除膜数据，由离剩余除膜区域最近的高速振镜单独作业完成剩余部分的除膜作业。

10.根据权利要求1所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：所述的除膜区域可以划分为多个规则或不规则的除膜分区，在划分不规则除膜分区时，先框选第一块除膜分区，再依次框选所需作业的下一个除膜分区，直至完成所有除膜分区的划分。

11.根据权利要求10所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：每个除膜分区的除膜顺序可以根据需要由人工进行编排，高速振镜结合位移路径按照除膜顺序移动使激光聚焦点对相应的除膜分区进行除膜。

12.根据权利要求1所述的一种镀膜玻璃的除膜方法，其特征是：软件赋予定位点相应的坐标，在断电或系统重启后，可手动输入已完成的大致除膜点数，高速振镜即移动至记忆的上次所处的坐标位置，以进入下一步除膜。

13.一种基于权利要求1所述方法的除膜设备，其特征是：包括玻璃输送平台，移动定位机构、CCD传感器及高速振镜系统，其中，所述的移动定位机构包括X向移动台和Y向移动台，所述的X向移动台与Y向移动台相连，CCD传感器设置在玻璃输送平台上方，Y向移动台两端架设于玻璃输送平台两侧，所述的高速振镜系统设置在X向移动台上。

14.根据权利要求13所述的除膜设备，其特征是：玻璃输送平台两侧各设有一Y向直线电机，Y向移动台两端在Y向直线电机作用下沿Y向直线电机导轨移动；在Y向移动台上设有X向直线电机，X向移动台在X向直线电机作用下沿X向直线电机导轨移动。

15.根据权利要求13所述的除膜设备，其特征是：还包括Z向移动台，Z向移动台连接X向移动台，所述的高速振镜系统设置在Z向移动台上。

16.根据权利要求15所述的除膜设备，其特征是：Z向移动台与一个驱动机构连接，所述的驱动机构均由丝杆螺母副和伺服电机连接构成，任意一个所述的伺服电机均与一个控制器连接。

17.根据权利要求15所述的除膜设备，其特征是：所述的高速振镜系统包括高速振镜、反射镜与激光源，激光源发出的激光经反射镜偏转至高速振镜，高速振镜的激光出射方向与Z向移动台的运动轨迹平行。

18.根据权利要求13所述的除膜设备，其特征是：所述的玻璃输送平台为大理石平台，在大理石平台上设有多条沿Y向设置的凹槽，在Y向设置的凹槽内设有传动轮，在传动轮上绕设有用于输送玻璃的皮带。

19.根据权利要求13所述的除膜设备，其特征是：在玻璃输送平台上设有玻璃定位组件，在大理石平台上设有多条横竖交叉的沿X向设置的凹槽和沿Y向设置的凹槽，玻璃定位组件包括多个分布在X向设置的凹槽和Y向设置的凹槽内的沿横向、纵向运动的定位件。

20.根据权利要求19所述的除膜设备，其特征是：所述的定位件连接有沿纵向方向推动的第一气缸，所述的第一气缸又连接有沿横向推动的第二气缸。