CN105830234A - 太阳能电池的金属结合部和触点的单步形成 - Google Patents

太阳能电池的金属结合部和触点的单步形成 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种制造太阳能电池的方法。所述方法可包括在太阳能电池结构的表面上形成介电区域以及在所述介电区域上形成第一金属层。所述方法还可包括在所述第一金属层上形成第二金属层并且对所述第二金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在所述第一金属层和所述第二金属层之间形成金属结合部以及在所述第一金属层和所述太阳能电池结构之间形成触点。所述方法可包括在所述第一金属层上形成粘合剂层以及在所述粘合剂层上形成第二金属层，其中所述粘合剂层将所述第二金属层机械耦接至所述第一金属层，并且允许所述第二金属层与所述第一金属层之间的电连接。

Description

太阳能电池的金属结合部和触点的单步形成
技术领域
本文所述主题的实施例整体涉及太阳能电池。更具体地讲，所述主题的实施例涉及太阳能电池制造工艺和结构。
背景技术
太阳能电池是熟知的用于将太阳辐射转换成电能的装置。太阳能电池具有正面以及与正面相对的背面，所述正面在正常操作过程中面向太阳以收集太阳辐射。照射在太阳能电池上的太阳辐射产生可用于为外部电路(诸如负载)供电的电荷。外部电路可以通过连接到太阳能电池掺杂区域的金属指来从太阳能电池接收电流。
发明内容
在实施例中，公开了用于制造太阳能电池的方法。该方法可包括在太阳能电池结构的表面上形成介电区域。该方法还可包括在介电区域上形成第一金属层。该方法可包括在第一金属层上形成第二金属层以及对第二金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在第一金属层和第二金属层之间形成金属结合部以及在第一金属层和太阳能电池结构之间形成接触区域。
在实施例中，公开了用于制造太阳能电池的方法。该方法可包括在太阳能电池结构的表面上形成介电区域。该方法还可包括在介电区域上形成第一金属层。该方法可包括在第一金属层上形成粘合剂层以及在粘合剂层上形成第二金属层，其中粘合剂层将第二金属层机械耦接至第一金属层，并且允许第二金属层与第一金属层之间的电连接。
在实施例中，公开了使用上述方法中任一种制造的太阳能电池。
本领域的普通技术人员在阅读包括附图和权利要求书的本发明全文之后，本公开的这些和其他特征对于他们而言将是显而易见的。
附图说明
当结合以下附图考虑时，通过参见具体实施方式和权利要求书可以更完全地理解所述主题，其中在所有附图中，类似的附图标记是指类似的元件。
图1为根据一些实施例的制造太阳能电池的示例性方法的流程示意图；
图2为太阳能电池结构上的第一金属层和第二金属层的横截面；
图3为根据一些实施例的局部加热第二金属层的横截面；
图4为根据一些实施例的形成金属结合部的横截面；
图5为根据一些实施例的形成触点的横截面；
图6为根据本发明公开的技术制造的示例性太阳能电池的横截面；
图7为根据一些实施例的金属层的例子的示意性平面图；
图8为根据一些实施例的制造太阳能电池的另一种示例性方法的流程示意图；
图9为根据一些实施例的在第一金属层上形成的粘合剂层的横截面；
图10为根据一些实施例的在粘合剂层上形成的第二金属层的横截面；
图11为根据本发明公开的技术制造的另一个示例性太阳能电池的横截面；
图12为根据本发明公开的技术制造的又一个示例性太阳能电池的横截面；
图13为根据一些实施例的制造太阳能电池的又一种示例性方法的流程示意图；
图14为根据一些实施例的在第一金属层上形成的粘合剂层的横截面；
图15为根据一些实施例的在粘合剂层上形成的第二金属层的横截面；
图16为根据一些实施例的金属结合部、触点和固化粘合剂层的横截面；
图17为根据一些实施例的形成图案化金属层的横截面；
图18为根据本发明公开的技术制造的示例性太阳能电池的横截面；并且
图19为根据本发明公开的技术制造的又一个示例性太阳能电池的横截面。
具体实施方式
以下具体实施方式本质上只是例证性的，并非意图限制所述主题的实施例或此类实施例的应用和用途。如本文所用，词语“示例性”意指“用作例子、实例或举例说明”。本文描述为示例性的任何实施未必理解为相比其他实施优选的或有利的。此外，并不意图受前述技术领域、背景技术、发明内容或以下具体实施方式中提出的任何明示或暗示的理论的约束。
本说明书包括对“一个实施例”或“实施例”的提及。短语“在一个实施例中”或“在实施例中”的出现不一定是指同一实施例。特定的特征、结构或特性可以任何与本公开一致的合适方式加以组合。
术语。以下段落提供存在于本公开(包括所附权利要求书)中的术语的定义和/或背景：
“包含”。该术语是开放式的。如在所附权利要求书中所用，该术语并不排除另外的结构或步骤。
“被配置为”。各种单元或组件可被描述或主张成“被配置为”执行一项或多项任务。在这样的背景下，“被配置为”用于通过指示该单元/组件包括在操作期间执行一项或多项那些任务的结构而暗示结构。因此，即使当指定的单元/组件目前不在操作(例如，未开启/激活)时，也可将该单元/组件说成是被配置为执行任务。详述某一单元/电路/组件“被配置为”执行一项或多项任务明确地意在对该单元/组件而言不援用35U.S.C.§112第六段。
如本文所用的“第一”、“第二”等这些术语用作其之后的名词的标记，而并不暗示任何类型的顺序(例如，空间、时间和逻辑等)。例如，提及“第一”太阳能电池并不一定暗示该太阳能电池为某一序列中的第一个太阳能电池；相反，术语“第一”用于区分该太阳能电池与另一个太阳能电池(例如，“第二”太阳能电池)。
“耦接”–以下描述是指“耦接”在一起的元件或节点或特征。如本文所用，除非另外明确指明，否则“耦接”意指一个元件/节点/特征直接或间接连接至另一个元件/节点/特征结构(或直接或间接与其连通)，并且不一定是机械耦接。
此外，以下描述中还仅为了参考的目的使用了某些术语，因此这些术语并非意图进行限制。例如，诸如“上部”、“下部”、“上方”或“下方”等术语是指附图中提供参考的方向。诸如“正面”、“背面”、“后面”、“侧面”、“外侧”和“内侧”等术语描述在一致但任意的参照系内组件的某些部分的取向和/或位置，通过参考描述所讨论组件的文字和相关的附图可以清楚地了解这些取向和/或位置。这样的术语可以包括上面具体提及的词语、它们的衍生词语以及类似意义的词语。
虽然为了易于理解依据太阳能电池描述了本公开的很多内容，但本发明所公开的技术和结构同样适用于其他半导体结构(例如，一般而言的硅晶片)。
金属区域的形成，诸如正负母线及触指到太阳能电池上掺杂区域的形成，可能是具有挑战性的工序。本文所公开的技术和结构改善了相关制造工艺的精度、吞吐量以及成本。
在本发明中，提供了许多具体细节，诸如结构和方法的例子，以提供对实施例的全面理解。然而，本领域的技术人员将会认识到，这些实施例可在没有所述具体细节中的一者或多者的情况下实施。在其他情况下，未示出或描述熟知的细节，以避免实施例的方面模糊不清。
图1示出太阳能电池的示例性制造方法的实施例的流程图。在各种实施例中，图1的方法可包括与图示相比额外的(或更少的)框。例如，在一个实施例中，部分移除特定区域上的介电区域，框104，可能不被执行。图1的方法还可在具有N型掺杂区域和P型掺杂区域的太阳能电池结构上执行。需注意，图1的方法可在太阳能电池制造期间以单元级执行，或者在太阳能电池与其他太阳能电池连接或一起封装时以模块级执行。
如102所示，可在太阳能电池结构的表面上形成介电区域，该介电区域也可称为介电层。在实施例中，可在太阳能电池结构的N型掺杂区域和P型掺杂区域上方形成介电区域。在一个实施例中，介电区域是通过毯覆式沉积形成的连续共形层。在实施例中，介电区域可通过例如丝网印刷、旋涂或通过沉积和图案化形成，使得介电区域为不连续的。在实施例中，介电区域可包括氮化硅、氧化硅、氧氮化硅、氧化铝、无定形硅或多晶硅。
在104处，介电区域可部分移除以暴露/形成接触区域。在实施例中，接触区域可允许触点(诸如欧姆触点)的形成。在实施例中，在特定区域上部分移除介电区域，其中特定区域在太阳能电池结构的N型掺杂区域或P型掺杂区域上方对准。如上所述，需注意，在一些实施例中，可能不执行框104，并且因此可能不部分移除介电区域。
在106处，可在介电区域上形成第一金属层。在一个实施例中，第一金属层是通过毯覆式沉积形成的连续共形层。在另一个实施例中，第一金属层为非连续的(例如，以特定图案印刷或者沉积并且随后蚀刻到特定图案中)。在实施例中，形成金属层可包括执行物理气相沉积、丝网印刷、烧结、镀覆或激光转印工艺。在实施例中，第一金属层也可称为晶种金属层。在实施例中，形成第一金属层可包括将晶种金属层沉积在介电区域上。在实施例中，第一金属层可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，第一金属层可为图案化金属层，诸如第一图案化金属层。在实施例中，第一图案化金属层可设置、沉积或对准在介电区域上。
如108所示，可在第一金属层上形成第二金属层。在一个实施例中，第二金属层是通过毯覆式沉积形成的连续共形层。在实施例中，第二金属层可包括金属箔。在实施例中，第二金属层可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，第二金属层可为图案化金属层，诸如第二图案化金属层(例如，图案化金属箔)。在实施例中，第二图案化金属层可设置、沉积或对准在介电区域上。
在110处，可在单一工艺中形成金属结合部和触点。在实施例中，在单一工艺中形成金属结合部和触点包括对第二金属层的特定区域进行局部加热。在实施例中，对第二金属层的特定区域进行局部加热允许从第二金属层至第一金属层和第二金属层两者之间的特定区域的热传递，并且随后，热量进一步通过第一金属层传递至第一金属层和介电区域之间的特定区域，从而形成触点。在实施例中，所形成的金属结合部可将第二金属层电耦接并且机械耦接至第一金属层。在实施例中，触点可将第一金属层电耦接并且机械耦接至太阳能电池结构。
在一个实施例中，局部加热包括将激光束导向到第二金属层上。在实施例中，将激光束导向到第二金属层上可将第二金属层焊接至第一金属层。在实施例中，激光束可具有在1纳秒至10毫秒范围内的脉冲持续时间。在实施例中，激光束可使用连续波(CW)激光器或脉冲激光器生成。在实施例中，激光束具有在100纳米至12微米范围内的波长。在实施例中，激光束可导向到金属箔上，以形成具有晶种金属层的金属结合部，并且进一步在晶种金属层和太阳能电池结构之间形成欧姆触点。在实施例中，金属结合部和欧姆触点与太阳能电池结构的特定区域对准。在实施例中，太阳能电池的特定区域可对准至P型掺杂区域或N型掺杂区域。在实施例中，第二金属层或金属箔可为图案化金属箔(例如，呈指状物图案，诸如交叉指状物图案)。在实施例中，图案化金属箔可设置在晶种金属层上。需注意，在一些实施例中，可使用不基于激光的焊接技术在单一工艺中形成金属结合部和触点。在实施例中，可在局部加热之前以交叉图案移除第一金属层和第二金属层的部分。
可针对多个太阳能电池执行上述实施例。例如，在一个实施例中，可将金属箔(例如，对应于和/或包括多个电池的触指)对准并置于第一太阳能电池和第二太阳能电池上。随后可根据图1的方法将金属箔耦接至第一太阳能电池和第二太阳能电池两者。
图2至图7为剖视图，它们示意性地示出根据本公开实施例的制造太阳能电池的方法。
参照图2，示出了制造工艺期间的太阳能电池，该太阳能电池包括设置在第一金属层230上的第二金属层232，其中第一金属层230设置在太阳能电池结构200上。在实施例中，第一金属层230可具有在1至5微米范围内的厚度，例如第一金属层230可在大约1至2微米的范围内。在实施例中，第二金属层232可具有在1至100微米(例如，金属箔)范围内的厚度，例如第二金属层232可为大约50微米。如图所示，太阳能电池结构200可包括硅基板208、第一掺杂区域210或第二掺杂区域212以及介电区域220。图2的太阳能电池还可包括被构造为在太阳能电池正常工作期间朝向太阳的正面204以及与正面204相对的背面202。如上所述，第一金属层230或第二金属层232可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，介电区域220可包括氮化硅、氧化硅、氧氮化硅、氧化铝、无定形硅或多晶硅。在实施例中，第一掺杂区域210或第二掺杂区域212可包括硅基板208的P型掺杂区域或N型掺杂区域。
图3示出了对第二金属层232进行局部加热。在实施例中，可使用来自激光源260的激光束262对第二金属层232的特定区域执行局部加热。在实施例中，可使用电子束对第二金属层232的特定区域执行局部加热。随后，来自激光束262的热量264被传递至第二金属层232。在实施例中，可使用电流计、扫描台或使用常规的光学对接和控制设备、系统和工艺将激光束262导向至第二金属层232。
参照图4，示出了金属结合部242的形成。在实施例中，将来自激光束262的热量264通过第二金属层232传递至第一金属层230和第二金属层232之间的区域，从而形成金属结合部242，其中金属结合部242允许第一金属层230和第二金属层232之间的电连接。在实施例中，第二金属层可由于热量264而部分移除或熔化，如图4所示。在实施例中，金属结合部242可将第二金属层232机械耦接至第一金属层230。
图5示出了触点240的形成。在实施例中，将来自激光束262的热量264通过第一金属层230进一步传递至第一金属层230和掺杂区域210、212之间的区域，其中热量264形成触点240，从而允许第一金属层230和掺杂区域210、212之间的电连接。如上所述，触点240可为欧姆触点。在实施例中，在上述工艺期间，介电区域220可不分离，从而允许第一金属层230与掺杂区域210、212之间的电连接基本上完整(例如，连续)，其中介电区域220在第一金属层230与掺杂区域210、212之间。在实施例中，触点240可将第一金属层230机械耦接至太阳能电池结构200。
在实施例中，图3、图4和图5所示的步骤可全部在单一工艺中执行。在单一工艺中可包括改变用于执行工艺的工具(例如，激光器)的特性。例如，初始激光脉冲可为较高功率脉冲，以执行结合部中的一者，然后改变至较低功率脉冲以形成另一结合部。除功率之外的激光器特性/配置变化可包括脉冲持续时间、脉冲形状、波长等。在单个工艺中执行图3至图5的步骤时，可移除多个制造步骤，即，以单独地形成金属结合部和欧姆触点，从而改善太阳能电池制造效率并降低成本。
参照图6，示出了在图3至图5中执行的单步工艺之后的太阳能电池。图6的太阳能电池可包括被构造为在太阳能电池正常工作期间朝向太阳的正面204以及与正面相对的背面202。如图所示，太阳能电池可包括太阳能电池结构200。太阳能电池结构200可包括硅基板208、第一掺杂区域210和第二掺杂区域212以及介电区域220。在实施例中，介电区域220可形成在两个触点240之间。太阳能电池结构200通过触点240，诸如欧姆触点，耦接至第一金属层230。在实施例中，触点240可将第一金属层230机械耦接至太阳能电池结构200。第一金属层230通过金属结合部242耦接至第二金属层232。在实施例中，金属结合部242可将第二金属层232机械耦接至第一金属层230。由第一金属层230和第二金属层232构成的触指以间距234分开。需注意，以间距234的电连接可允许电短路并且可能对太阳能电池的性能有害。可通过激光烧蚀工艺或蚀刻工艺形成间隙或间距234，从而从第一金属层230和第二金属层232移除过量金属。在实施例中，第一掺杂区域和第二掺杂区域可分别为P型掺杂区域和N型掺杂区域。在实施例中，介电区域220可被图案化，使得一些区域在第一金属层230下方不具有介电区域。在实施例中，第一金属层230可具有在1至5微米范围内的厚度，例如第一金属层230可在大约1至2微米的范围内。在实施例中，第二金属层232可具有在1至100微米(例如，金属箔)范围内的厚度，例如第二金属层232可为大约50微米。
图7示出了示例性金属层250、252。在实施例中，金属层230、232(来自上图2至图6)可以金属条250形成，如图所示。在实施例中，可使用多个金属条250形成交叉图案。在实施例中，交叉图案可包括正触指、负触指、正母线和负母线。在实施例中，金属层230、232可以圆形或点式图案252形成。对金属层230、232可形成的图案没有任何限制，并且图7仅仅示出了可使用的一些可能图案。示出了太阳能电池的正面204和背面202以供参考。
参照图8，示出了太阳能电池的另一种示例性制造方法的实施例的流程图。在各种实施例中，图8的方法可包括与图示相比额外的(或更少的)框。图8的方法还可在具有N型掺杂区域和P型掺杂区域的太阳能电池结构上执行。与上述类似，图8的方法可在太阳能电池制造期间以单元级执行，或者在太阳能电池与其他太阳能电池连接或一起封装时以模块级执行。
如302所示，可在太阳能电池结构的表面上形成介电区域，该介电区域也可称为介电层。在实施例中，可在太阳能电池结构的N型掺杂区域和P型掺杂区域上方形成介电区域。在一个实施例中，介电区域是通过毯覆式沉积形成的连续共形层。介电区域可通过例如丝网印刷、旋涂或通过沉积和图案化形成，使得介电区域为不连续的。在实施例中，介电区域可包括氮化硅、氧化硅、氧氮化硅、氧化铝、无定形硅或多晶硅。在实施例中，介电区域可部分移除以暴露/形成接触区域。在实施例中，接触区域可允许触点(诸如欧姆触点)的形成。在实施例中，在特定区域上部分移除介电区域，其中特定区域在太阳能电池结构的N型掺杂区域或P型掺杂区域上方对准。如上所述，需注意，在一些实施例中，可能不部分移除介电区域。
在304处，可在介电区域上形成第一金属层。在一个实施例中，第一金属层是通过毯覆式沉积形成的连续共形层。在另一个实施例中，第一金属层为非连续的(例如，以特定图案印刷或者沉积并且随后蚀刻到特定图案中)。在实施例中，形成金属层可包括执行物理气相沉积、丝网印刷、烧结、镀覆或激光转印工艺。在实施例中，第一金属层也可称为晶种金属层。在实施例中，第一金属层可包括金属箔。在实施例中，形成第一金属层可包括将晶种金属层沉积在介电区域上。在实施例中，第一金属层可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，第一金属层可包括图案化金属层，诸如第一图案化金属层。在实施例中，第一图案化金属层可设置、沉积或对准在介电区域上。
在306处，可在第一金属层上形成粘合剂层，并且在一些实施例中，另外可在介电区域上形成粘合剂层(例如，填充图案化第一金属层之间的间隙)。在实施例中，可通过例如丝网印刷、喷墨印刷、旋涂、浇注、层合或通过沉积和图案化来形成粘合剂层。在实施例中，可通过化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)方法来形成粘合剂层。在实施例中，粘合剂层可为绝缘粘合剂层。在实施例中，粘合剂层可为均匀的低粘度粘合剂层。在实施例中，可将粘合剂层图案化，要么是在其形成时图案化，要么是形成然后图案化(例如，蚀刻)。在实施例中，形成粘合剂层可包括形成导电粘合剂层。在实施例中，形成粘合剂层可包括形成各向异性导电粘合剂层。
如308所示，可在粘合剂层上形成第二金属层。在一个实施例中，第二金属层是通过毯覆式沉积形成的连续共形层。在实施例中，粘合剂层可提供结构支撑，从而将第二金属层机械耦接至第一金属层，并且还可允许第二金属层与第一金属层电连接。在实施例中，第二金属层可包括金属箔。在实施例中，第二金属层可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，第二金属层可包括图案化金属层，诸如第二图案化金属层(例如，图案化金属箔)。需注意，在实施例中，形成第一金属层可包括上文所述的框中的任何一者。使用图案化粘合剂层可允许使用直接物理气相沉积(PVD)工艺形成第二金属层。在实施例中，可在第二金属层的形成之后固化粘合剂层。在实施例中，形成第二金属层可包括在粘合剂层上形成金属箔。在实施例中，可通过向第二金属层施加压力(例如，通过真空、辊、橡胶扫帚等)来执行第一金属层和第二金属层之间的直接接触。
与上述类似，可形成金属结合部和触点。在实施例中，金属结合部和触点可单独形成或在如上所述的单步工艺中形成。
可针对多个太阳能电池执行上述实施例。例如，在一个实施例中，可将金属箔(例如包括多个电池的触指)对准并设置在第一太阳能电池和第二太阳能电池上。然后可将金属箔耦接至第一太阳能电池和第二太阳能电池两者。另外，可针对各种类型的太阳能电池执行上述内容，诸如正面接触太阳能电池和背面接触太阳能电池。
图9至图12为剖视图，它们示意性地示出根据本公开实施例的制造太阳能电池的方法。除非下文另外指明，否则用来指图9至图12中的组件的数字标记类似于用来指以上图2至图7中的组件或特征的数字标记，不同的是标号增加了200。
图9示出了上述制造工艺期间的太阳能电池。图9的太阳能电池包括在第一金属层430上形成的粘合剂层470，其中第一金属层430设置在太阳能电池结构400上。在实施例中，可通过丝网印刷、喷墨印刷、旋涂、浇注、层合或通过沉积(CVD或PVD)和图案化来形成粘合剂层470。如图所示，太阳能电池结构400可包括硅基板408、第一掺杂区域410或第二掺杂区域412以及介电区域420。在实施例中，第一金属层430也可称为晶种金属层。在实施例中，形成第一金属层430可包括将晶种金属层沉积在介电区域420上。在实施例中，第一金属层430可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，第一金属层430可包括图案化金属层，诸如第一图案化金属层(例如，图案化金属箔)。在实施例中，形成第一金属层430可包括将图案化金属层设置在介电区域420上，所述金属层430由间隙474分开，其中间隙474可分开正触指和负触指。在实施例中，可执行激光烧蚀工艺以形成图案化金属层。在实施例中，可通过激光烧蚀或蚀刻来形成间隙474。在实施例中，介电区域420可包括氮化硅、氧化硅、氧氮化硅、氧化铝、无定形硅或多晶硅。在实施例中，第一掺杂区域410或第二掺杂区域412可包括硅基板408的P型掺杂区域或N型掺杂区域。如上所述，粘合剂层470可为绝缘粘合剂层。在实施例中，粘合剂层470可为均匀的低粘度粘合剂层。在实施例中，粘合剂层470可为图案化粘合剂层。在实施例中，形成粘合剂层470可包括形成各向异性导电粘合剂层。
图10示出了设置在粘合剂层470上的第二金属层432。在实施例中，粘合剂层470可提供结构支撑，从而将第二金属层432机械耦接至第一金属层430。在实施例中，第二金属层432可包括金属箔。在实施例中，第二金属层432可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，第二金属层432可包括图案化金属层，诸如第二图案化金属层。在实施例中，形成第二金属层432可包括在粘合剂层470上设置图案化金属层。在实施例中，可在第二金属层432形成之后固化粘合剂层470。在实施例中，形成第二金属层432可包括在粘合剂层470上形成金属箔。如果设置有图案化粘合剂层，诸如图10中的470处所示，实施例可包括在形成第二金属层432之前固化图案化粘合剂层。在实施例中，形成图案化粘合剂层可允许使用直接物理气相沉积(PVD)工艺形成第二金属层432。在实施例中，图案化粘合剂层可形成为使得可在图案化粘合剂层内允许开口，以便第二金属层432接触第一金属层430，从而进一步允许与所述的PVD工艺类似的实施例在第一金属层430上形成第二金属层432。另外，图案化粘合剂层可允许第二金属层432与第一金属层430电连接。在实施例中，粘合剂层470可固化以形成固化粘合剂层。在实施例中，形成第二金属层432可包括在粘合剂层470上形成金属箔。在实施例中，可通过向第二金属层432施加压力来执行第一金属层430和第二金属层432之间的直接接触。
参照图11，示出了在图9和图10中执行的工艺之后的太阳能电池。图11的太阳能电池可包括被构造为在太阳能电池正常工作期间朝向太阳的正面404以及与正面相对的背面402。如图所示，图11的太阳能电池包括太阳能电池结构400。太阳能电池结构400可包括硅基板408、第一掺杂区域410和第二掺杂区域412以及介电区域420。太阳能电池结构400通过触点440，诸如欧姆触点，耦接至第一金属层430。在实施例中，触点440可将第一金属层430机械耦接至太阳能电池结构400。第一金属层430通过金属结合部442耦接至第二金属层432。在实施例中，金属结合部442可将第二金属层432机械耦接至第一金属层430。由第一金属层430和第二金属层432构成的触指被分开474。以间距474的任何电连接均可允许电短路并且对太阳能电池的性能有害。可通过蚀刻工艺或经由激光烧蚀工艺来形成间隙或间距474，其中可从第一金属层430和第二金属层432移除过量金属。在实施例中，第一掺杂区域410和第二掺杂区域412可为P型掺杂区域和N型掺杂区域。图11的太阳能电池包括金属结合部442和触点440。在实施例中，可使用激光焊接工艺单独地形成或在如上所述的单步工艺中形成金属结合部442和触点440。在实施例中，触点440可为欧姆触点。在实施例中，可使用上述方法中的任一种来形成金属结合部442和触点440。在实施例中，介电区域420可被图案化，使得一些区域在第一金属层430下方不具有介电区域。在实施例中，第一金属层430可具有在1至5微米范围内的厚度，例如第一金属层430可在大约1至2微米的范围内。在实施例中，第二金属层432可具有在1至100微米(例如，金属箔)范围内的厚度，例如第二金属层432可为大约50微米。
图12示出了在图9和图10中执行的工艺之后的另一个太阳能电池。图12的太阳能电池可包括被构造为在太阳能电池正常工作期间朝向太阳的正面404以及与正面相对的背面402。如图所示，太阳能电池可包括太阳能电池结构400。太阳能电池结构400可包括硅基板408、第一掺杂区域410和第二掺杂区域412以及介电区域420。在一个实施例中，第一金属层431由多个金属颗粒构成。在实施例中，多个金属颗粒包括铝颗粒。在实施例中，太阳能电池结构400可通过触点440，诸如欧姆触点，耦接至第一金属层431。在实施例中，触点440可将第一金属层431机械耦接至太阳能电池结构400。在一个实施例中，第一金属层431与第二金属层432电连接，其中粘合剂层，诸如固化粘合剂层472，允许在没有金属结合部或焊接的情况下的电连接。在实施例中，粘合剂层472可将第二金属层432机械耦接至第一金属层430。由第一金属层430和第二金属层432构成的触指被分开474。以间距474的任何电连接均可允许电短路并且对太阳能电池的性能有害。可通过激光烧蚀工艺或通过蚀刻形成间隙或间距474，从而从第一金属层430和第二金属层432移除过量金属。在实施例中，第一掺杂区域410和第二掺杂区域412可分别为P型掺杂区域和N型掺杂区域。在实施例中，介电区域420可被图案化，使得一些区域在第一金属层430下方不具有介电区域。在实施例中，第一金属层431可具有在1至5微米范围内的厚度，例如第一金属层431可在大约1至2微米的范围内。在实施例中，第二金属层432可具有在1至100微米(例如，金属箔)范围内的厚度，例如第二金属层432可为大约50微米。
需注意，虽然图9至图12的例子示出了第一金属层在粘合剂层和第一金属层的顶部上形成第二金属层之前被图案化，但在其他实施例中，可在粘合剂层和第一金属层的顶部上形成第二金属层。在各种实施例中，图案化可发生在形成第一金属层之后、形成第一金属层和粘合剂层之后、形成所有三个层之后或工艺中的多个阶段处(例如，形成第一金属层之后，并且随后也在形成粘合剂层和第二金属层之后)。
参照图13，示出了太阳能电池的又一种示例性制造方法的实施例的流程图。在各种实施例中，图13的方法可包括与图示相比额外的(或更少的)框。例如，在一个实施例中，无需执行部分移除介电区域，框504。图13的方法还可在具有N型掺杂区域和P型掺杂区域的太阳能电池结构上执行。与上述类似，图13的方法可在太阳能电池制造期间以单元级执行，或者在太阳能电池与其他太阳能电池连接或一起封装时以模块级执行。
如502所示，可在太阳能电池结构的表面上形成介电区域，该介电区域也可称为介电层。在实施例中，可在太阳能电池结构的N型掺杂区域和P型掺杂区域上方形成介电区域。在一个实施例中，介电区域是通过毯覆式沉积形成的连续共形层。可通过上述方法中的任一种来形成介电区域，诸如丝网印刷、旋涂或通过沉积和图案化，使得介电区域为不连续的。在实施例中，介电区域可包括氮化硅、氧化硅、氧氮化硅、氧化铝、无定形硅或多晶硅。在实施例中，可从介电区域中部分移除介电区域，从而形成接触区域。在实施例中，接触区域可允许触点(诸如欧姆触点)的形成。
在504处，介电区域可部分移除以暴露/形成接触区域。在实施例中，接触区域可允许触点(诸如欧姆触点)的形成。在实施例中，在特定区域上部分移除介电区域，其中特定区域在太阳能电池结构的N型掺杂区域或P型掺杂区域上方对准。如上所述，需注意，在一些实施例中，可能不执行框504，并且因此可能不部分移除介电区域。
在506处，可在介电区域上形成第一金属层。在实施例中，第一金属层为第一图案化金属层，并且第一图案化金属层可设置在介电区域上。需注意，在一个实施例中，金属层可在其施加/形成之后被图案化，而在其他实施例中，金属层可以特定图案施加。在一个实施例中，第一金属层是通过毯覆式沉积形成的连续共形层。在实施例中，形成金属层可包括执行物理气相沉积、丝网印刷、烧结、镀覆或激光转印工艺。在实施例中，第一金属层也可称为晶种金属层。在实施例中，形成第一金属层可包括将晶种金属层沉积在介电区域上。在实施例中，第一金属层可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，可执行激光烧蚀工艺或蚀刻以形成第一图案化金属层。
在508处，可在第一金属层上以及在介电区域上形成粘合剂层。在实施例中，粘合剂层可为绝缘粘合剂层。在实施例中，可通过例如丝网印刷、喷墨印刷、旋涂、浇注、层合或通过沉积和图案化来形成粘合剂层。在实施例中，可通过化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)方法来形成粘合剂层。在实施例中，粘合剂层可为均匀的低粘度粘合剂层。在实施例中，粘合剂层可为图案化粘合剂层。在实施例中，形成粘合剂层可包括形成导电粘合剂层。在实施例中，形成粘合剂层可包括形成各向异性导电粘合剂层。在实施例中，粘合剂层可提供另外的结构支撑，诸如将第二金属层机械耦接至第一金属层。
如510所示，可在粘合剂层上形成第二金属层。在实施例中，粘合剂层可提供结构支撑，从而将第二金属层机械耦接至第一金属层。在一个实施例中，第二金属层是通过毯覆式沉积形成的连续共形层。在实施例中，第二金属层可包括金属箔。在实施例中，第二金属层可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，可在第二金属层的形成之后固化粘合剂层。在实施例中，形成第二金属层可包括在粘合剂层上形成金属箔。
在512处，可通过对第二金属层上的特定区域进行局部加热来形成金属结合部和触点。在实施例中，对第二金属层的特定区域进行局部加热允许从第二金属层至第一金属层和第二金属层两者之间的特定区域的热传递，从而形成金属结合部。随后，热量可进一步通过第一金属层传递至第一金属层和介电区域之间的特定区域，从而形成触点。在实施例中，局部加热包括将激光束导向到第二金属层上。在实施例中，可使用上述方法中的任一种单独地或在单步工艺中形成金属结合部和触点。在实施例中，所形成的金属结合部可将第二金属层电耦接并且机械耦接至第一金属层。在实施例中，触点可将第一金属层电耦接并且机械耦接至太阳能电池结构。
在514处，来自第二金属层的金属可被部分移除以形成第二图案化金属层。在实施例中，粘合剂层，或绝缘粘合剂层，保护太阳能电池结构在所述部分移除工艺期间免受损坏。在实施例中，可使用激光烧蚀工艺从第二金属层移除过量金属。在实施例中，粘合剂层吸收来自激光束的过量激光辐射，从而保护介电区域和太阳能电池结构免受损坏。在实施例中，粘合剂层可为不被激光损坏的隔热层，以及介于第一金属层和第二金属层之间的电绝缘层。在实施例中，可使用蚀刻工艺移除过量金属。
可针对多个太阳能电池执行上述实施例。例如，在一个实施例中，可将金属箔(例如包括多个电池的触指)对准并设置在第一太阳能电池和第二太阳能电池上。然后可将金属箔耦接至第一太阳能电池和第二太阳能电池两者。另外，可针对各种类型的太阳能电池执行上述内容，诸如正面接触太阳能电池和背面接触太阳能电池。
图14至图19为剖视图，它们示意性地示出根据本公开实施例的制造太阳能电池的方法。除非下文另外指明，否则用来指图14至图19中的组件的数字标记类似于用来指以上图9至图12中的组件或特征的数字标记，不同的是标号增加了200。
图14示出了上述制造工艺期间的太阳能电池。图14的太阳能电池包括在第一金属层630和介电区域620上形成的粘合剂层670，其中第一金属层630设置在太阳能电池结构600上。在实施例中，可通过丝网印刷、喷墨印刷、旋涂、浇注、层合或通过沉积(CVD或PVD)和图案化来形成粘合剂层670。如图所示，太阳能电池结构600可包括硅基板608、第一掺杂区域610或第二掺杂区域612以及介电区域620。在实施例中，第一金属层630也可称为晶种金属层。在实施例中，形成第一金属层630可包括将晶种金属层沉积在介电区域620上。在实施例中，第一金属层630可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，第一金属层630可包括图案化金属层，诸如第一图案化金属层。在实施例中，形成第一金属层630可包括在介电区域620上设置图案化金属层。在实施例中，可执行激光烧蚀工艺以形成图案化金属层。在实施例中，介电区域620可包括氮化硅、氧化硅、氧氮化硅、氧化铝、无定形硅或多晶硅。在实施例中，第一掺杂区域610或第二掺杂区域612可包括硅基板608的P型掺杂区域或N型掺杂区域。如上所述，粘合剂层670可为绝缘粘合剂层。在实施例中，粘合剂层670可为均匀的低粘度粘合剂层。在实施例中，形成粘合剂层670可包括形成各向异性导电粘合剂层。
参照图15，示出了设置在粘合剂层670上的第二金属层632。在实施例中，粘合剂层670可提供结构支撑，从而将第二金属层632机械耦接至第一金属层630。在实施例中，第二金属层632可包括金属箔。在实施例中，第二金属层632可包括金属，诸如但不限于铜、锡、铝、银、金、铬、铁、镍、锌、钌、钯或铂，以及它们的合金。在实施例中，可在第二金属层632形成之后固化680粘合剂层670。在实施例中，固化可包括对粘合剂层670进行加热。在实施例中，固化可形成固化粘合剂层672，如图16所示。在实施例中，形成第二金属层632可包括在粘合剂层670上形成金属箔。在实施例中，可通过向第二金属层632施加压力来执行第一金属层630和第二金属层632之间的直接接触。
图16示出了固化粘合剂层672、金属结合部642和触点640。在实施例中，金属结合部642和触点640可单独形成或在如上所述的单步工艺中形成。
参照图17，来自第二金属层632的金属可被部分移除以形成第二图案金属化层。在实施例中，粘合剂层、固化粘合剂层672或绝缘粘合剂层保护太阳能电池结构600在部分移除第二金属层632的所述工艺期间免受损坏。在实施例中，可使用激光烧蚀工艺从第二金属层632移除过量金属。在实施例中，粘合剂层或固化粘合剂层672吸收来自激光源660的激光束662的过量激光辐射，从而保护介电区域620和太阳能电池结构600免受损坏。在实施例中，粘合剂层可为隔热层(即不被激光损坏，如图所示)，以及电绝缘层。
图18示出了在图14至图17中执行的工艺之后的太阳能电池。图18的太阳能电池可包括被构造为在太阳能电池正常工作期间朝向太阳的正面604以及与正面相对的背面602。如图所示，图18的太阳能电池包括太阳能电池结构600。太阳能电池结构600可包括硅基板608、第一掺杂区域610和第二掺杂区域612以及介电区域620。太阳能电池结构600通过触点640，诸如欧姆触点，耦接至第一金属层630。在实施例中，触点640可将第一金属层630机械耦接至太阳能电池结构600。第一金属层630通过金属结合部642耦接至第二金属层632。在实施例中，金属结合部642可将第二金属层632机械耦接至第一金属层630。由第一金属层630和第二金属层632构成的触指被分开。粘合剂层，诸如固化粘合剂层672，可介于触指和相反极性的电绝缘触指之间。在实施例中，第一掺杂区域610和第二掺杂区域612可为P型掺杂区域和N型掺杂区域。图18的太阳能电池包括金属结合部642和触点640。在实施例中，可使用激光焊接工艺单独地形成或在如上所述的单步工艺中形成金属结合部642和触点440。在实施例中，触点640可为欧姆触点。在实施例中，介电区域620可被图案化，使得一些区域在第一金属层630下方不具有介电区域。在实施例中，第一金属层630可具有在1至5微米范围内的厚度，例如第一金属层630可在大约1至2微米的范围内。在实施例中，第二金属层632可具有在1至100微米(例如，金属箔)范围内的厚度，例如第二金属层632可为大约50微米。
参照图19，示出了在图14至图17中执行的工艺之后的另一个太阳能电池。图19的太阳能电池可包括被构造为在太阳能电池正常工作期间朝向太阳的正面604以及与正面相对的背面602。如图所示，太阳能电池可包括太阳能电池结构600。太阳能电池结构600可包括硅基板608、第一掺杂区域610和第二掺杂区域612以及介电区域620。在一个实施例中，第一金属层631由多个金属颗粒构成。在实施例中，多个金属颗粒可包括铝颗粒。在实施例中，太阳能电池结构600可通过触点640，诸如欧姆触点，耦接至第一金属层631。在实施例中，触点640可将第一金属层630机械耦接至太阳能电池结构600。在一个实施例中，第一金属层631与第二金属层632电连接，其中粘合剂层，诸如固化粘合剂层672，允许在没有金属结合部或焊接的情况下的电连接。在实施例中，粘合剂层可将第二金属层632机械耦接至第一金属层630。由第一金属层630和第二金属层632构成的触指被分开。粘合剂层，诸如固化粘合剂层672，可为相反极性的电绝缘触指。在实施例中，第一掺杂区域610和第二掺杂区域612可为P型掺杂区域和N型掺杂区域。在实施例中，介电区域620可被图案化，使得一些区域在第一金属层631下方不具有介电区域。在实施例中，第一金属层631可具有在1至5微米范围内的厚度，例如第一金属层631可在大约1至2微米的范围内。在实施例中，第二金属层632可具有在1至100微米(例如，金属箔)范围内的厚度，例如第二金属层632可为大约50微米。
可针对多个太阳能电池(例如，包括多个电池的触指)执行上述实施例。另外，可针对各种类型的太阳能电池执行上述内容，诸如正面接触太阳能电池和背面接触太阳能电池。
虽然前面的详细描述已给出了至少一个示例性实施例，但应当理解，存在许多变型形式。还应当理解，本文中所描述的一个或多个示例性实施例并不旨在以任何方式限制要求保护的主题的范围、适用性或构型。相反，前面的详细描述将为本领域的技术人员提供实施所述一个或多个实施例的便利的操作路径图。应当理解，可在不脱离权利要求书所限定的范围(其包括提交本专利申请时已知的等同物和可预知的等同物)的情况下对元件的功能和布置方式进行多种改变。
在实施例中，制造太阳能电池的方法涉及在太阳能电池结构的表面上形成介电区域，在介电区域上形成第一金属层，在第一金属层上形成第二金属层，以及对第二金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在第一金属层和第二金属层之间形成金属结合部以及在第一金属层和太阳能电池结构之间形成触点。
在一个实施例中，局部加热包将激光束导向到第二金属层上。
在一个实施例中，导向激光束包括导向具有在1纳秒至10毫秒范围内的脉冲持续时间的激光束。
在一个实施例中，导向激光束包括使用选自连续波(CW)激光器和脉冲激光器的激光器。
在一个实施例中，激光束包括在100纳米至12微米范围内的波长。
在一个实施例中，在形成第一金属层之前，该方法涉及部分移除与第一金属层和太阳能电池结构之间的触点相对应的区域中的介电区域。
在一个实施例中，部分移除介电区域包括执行激光烧蚀工艺。
在一个实施例中，形成触点包括在第一金属层和太阳能电池结构之间形成欧姆触点。
在一个实施例中，形成第一金属层包括执行选自物理气相沉积、丝网印刷、镀覆、烧结和激光转印的方法。
在一个实施例中，形成第一金属层包括将晶种金属层沉积在介电区域上。
在一个实施例中，形成第二金属层包括将图案化金属层设置在第一金属层上。
在一个实施例中，形成第二金属层包括在第一金属层上设置金属箔。
在一个实施例中，在对第二金属层的特定区域进行局部加热之前，该方法进一步涉及以交叉图案部分移除第一金属层和第二金属层的部分。
在实施例中，制造太阳能电池的方法涉及在太阳能电池结构的表面上形成介电区域，在介电区域、N型掺杂区域和P型掺杂区域上形成第一金属层，在第一金属层上形成第二金属层，以及将激光束导向到第二金属层的特定区域上，其中导向激光束包括在第一金属层和第二金属层之间形成金属结合部以及在第一金属层和太阳能电池结构之间形成欧姆接点。
在一个实施例中，导向激光束包括导向具有在1纳秒至10毫秒范围内的脉冲持续时间的激光束。
在一个实施例中，在形成第一金属层之前，该方法涉及部分移除与第一金属层和太阳能电池结构之间的欧姆触点相对应的区域中的介电区域。
在一个实施例中，部分移除介电区域包括执行激光烧蚀工艺。
在实施例中，制造太阳能电池的方法涉及在太阳能电池结构的表面上形成介电区域，部分移除太阳能电池结构的特定区域上的介电区域，在介电区域上形成第二金属层，将金属箔设置在晶种金属层上，以及将激光束导向到金属箔上，其中导向激光束包括在晶种金属层和金属箔之间形成金属结合部以及在晶种金属层和太阳能电池结构之间形成欧姆触点，所述金属结合部和欧姆触点与太阳能电池结构的特定区域对准。
在一个实施例中，部分移除介电区域包括执行激光烧蚀工艺。
在一个实施例中，设置金属箔包括将图案化金属箔设置在晶种金属层上。
在实施例中，制造太阳能电池的方法，该方法涉及在太阳能电池结构的表面上形成介电区域，在介电区域上形成第一金属层，在第一金属层上形成粘合剂层，以及在粘合剂层上形成第二金属层；其中粘合剂层将第二金属层机械耦接至第一金属层，并且允许第二金属层与第一金属层之间的电连接。
在一个实施例中，该方法进一步涉及在形成第一金属层之前，部分移除介电区域以形成接触区域。
在一个实施例中，形成第一金属层包括执行选自物理气相沉积、丝网印刷、烧结、镀覆和激光转印的方法。
在一个实施例中，形成第一金属层包括将晶种金属层沉积在介电区域上。
在一个实施例中，形成粘合剂层包括形成绝缘粘合剂层。
在一个实施例中，形成粘合剂层包括形成低粘度粘合剂层。
在一个实施例中，形成粘合剂层包括形成图案化粘合剂层。
在一个实施例中，形成图案化粘合剂层包括固化图案化粘合剂层。
在一个实施例中，形成第二金属层包括使用直接物理气相沉积(PVD)工艺在第一金属层上形成第二金属层。
在一个实施例中，形成粘合剂层包括形成导电粘合剂层。
在一个实施例中，形成粘合剂层包括固化粘合剂层。
在一个实施例中，形成第二金属层包括在粘合剂层上设置金属箔。
在一个实施例中，该方法进一步涉及在第二金属层上施加压力，其中所施加压力允许第一金属层和第二金属层之间的直接接触。
在一个实施例中，该方法进一步涉及对第二金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在第二金属层和第一金属层之间形成金属结合部。
在一个实施例中，局部加热包括执行激光焊接工艺。
在一个实施例中，在介电区域上形成第一金属层包括形成第一图案化金属层。
在一个实施例中，该方法进一步涉及从第二金属层部分移除金属，其中粘合剂层保护太阳能电池结构在所述部分移除期间免受损坏。
在一个实施例中，从第二金属层部分移除金属包括执行激光烧蚀工艺。
在实施例中，制造太阳能电池的方法涉及在太阳能电池结构的表面上形成介电区域，在介电区域上形成第一图案化金属层，在第一图案化金属层上形成绝缘粘合剂层，在绝缘粘合剂层上形成第二图案化金属层，其中绝缘粘合剂层将第二图案化金属层机械耦接至第一图案化金属层，并且对第二图案化金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在第二图案化金属层和第一图案化金属层之间形成金属结合部。
在实施例中，制造太阳能电池的方法涉及在太阳能电池结构的表面上形成介电区域，部分移除介电区域以形成接触区域，在介电区域上形成第一图案化金属层，在第一图案化金属层和介电区域上形成绝缘粘合剂层，在绝缘粘合剂层上形成第二金属层，其中绝缘粘合剂层将第二金属层机械耦接至第一图案化金属层。该方法进一步涉及对第二金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在第二金属层和第一图案化金属层之间形成金属结合部以及在第一金属层和太阳能电池结构之间的接触区域内形成欧姆触点，以及从第二金属层部分移除金属，其中移除金属形成第二图案化金属层，并且绝缘粘合剂层保护太阳能电池结构在所述部分移除期间免受损坏。

Claims (40)

1.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：
在太阳能电池结构的表面上形成介电区域；
在所述介电区域上形成第一金属层；
在所述第一金属层上形成第二金属层；以及
对所述第二金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在所述第一金属层和所述第二金属层之间形成金属结合部以及在所述第一金属层和所述太阳能电池结构之间形成触点。
2.根据权利要求1所述的方法，其中局部加热包括将激光束导向到所述第二金属层上。
3.根据权利要求2所述的方法，其中导向激光束包括导向具有在1纳秒至10毫秒范围内的脉冲持续时间的激光束。
4.根据权利要求2所述的方法，其中导向激光束包括使用选自由连续波(CW)激光器和脉冲激光器构成的组中的激光器。
5.根据权利要求2所述的方法，其中所述激光束包括在100纳米至12微米范围内的波长。
6.根据权利要求1所述的方法，其中在形成第一金属层之前，部分移除与所述第一金属层和所述太阳能电池结构之间的所述触点相对应的区域中的所述介电区域。
7.根据权利要求6所述的方法，其中部分移除所述介电区域包括执行激光烧蚀工艺。
8.根据权利要求1所述的方法，其中形成触点包括在所述第一金属层和所述太阳能电池结构之间形成欧姆触点。
9.根据权利要求1所述的方法，其中形成第一金属层包括执行选自由物理气相沉积、丝网印刷、镀覆、烧结和激光转印所构成的组中的方法。
10.根据权利要求1所述的方法，其中形成第一金属层包括将晶种金属层沉积在所述介电区域上。
11.根据权利要求1所述的方法，其中形成第二金属层包括将图案化金属层设置在所述第一金属层上。
12.根据权利要求1所述的方法，其中形成第二金属层包括在所述第一金属层上设置金属箔。
13.根据权利要求1所述的方法，其中在对所述第二金属层的特定区域进行局部加热之前，以交叉图案部分移除所述第一金属层和所述第二金属层的部分。
14.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：
在太阳能电池结构的表面上形成介电区域；
在所述介电区域、N型掺杂区域和P型掺杂区域上形成第一金属层；
在所述第一金属层上形成第二金属层；以及
将激光束导向到所述第二金属层的特定区域上，其中导向所述激光束包括在所述第一金属层和所述第二金属层之间形成金属结合部以及在所述第一金属层和所述太阳能电池结构之间形成欧姆触点。
15.根据权利要求14所述的方法，其中导向激光束包括导向具有在1纳秒至10毫秒范围内的脉冲持续时间的激光束。
16.根据权利要求14所述的方法，其中在形成第一金属层之前，部分移除与所述第一金属层和所述太阳能电池结构之间的所述欧姆触点相对应的区域中的所述介电区域。
17.根据权利要求16所述的方法，其中部分移除所述介电区域包括执行激光烧蚀工艺。
18.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：
在太阳能电池结构的表面上形成介电区域；
部分移除所述太阳能电池结构的特定区域上的所述介电区域；
在所述介电区域上形成晶种金属层；
将金属箔设置在所述晶种金属层上；以及
将激光束导向到所述金属箔上，其中导向所述激光束包括在所述晶种金属层和所述金属箔之间形成金属结合部以及在所述晶种金属层和所述太阳能电池结构之间形成欧姆触点，所述金属结合部和所述欧姆触点与所述太阳能电池结构的所述特定区域对准。
19.根据权利要求18所述的方法，其中部分移除所述介电区域包括执行激光烧蚀工艺。
20.根据权利要求18所述的方法，其中设置金属箔包括将图案化金属箔设置在所述晶种金属层上。
21.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：
在太阳能电池结构的表面上形成介电区域；
在所述介电区域上形成第一金属层；
在所述第一金属层上形成粘合剂层；以及
在所述粘合剂层上形成第二金属层；其中所述粘合剂层将所述第二金属层机械耦接至所述第一金属层，并且允许所述第二金属层与所述第一金属层之间的电连接。
22.根据权利要求21所述的方法，其中还包括：
在形成第一金属层之前，部分移除所述介电区域以形成接触区域。
23.根据权利要求21所述的方法，其中形成第一金属层包括执行选自由物理气相沉积、丝网印刷、烧结、镀覆和激光转印所构成的组中的方法。
24.根据权利要求21所述的方法，其中形成第一金属层包括将晶种金属层沉积在所述介电区域上。
25.根据权利要求21所述的方法，其中形成粘合剂层包括形成绝缘粘合剂层。
26.根据权利要求21所述的方法，其中形成粘合剂层包括形成低粘度粘合剂层。
27.根据权利要求21所述的方法，其中形成粘合剂层包括形成图案化粘合剂层。
28.根据权利要求27所述的方法，其中形成图案化粘合剂层包括固化所述图案化粘合剂层。
29.根据权利要求28所述的方法，其中形成所述第二金属层包括使用直接物理气相沉积(PVD)工艺在所述第一金属层上形成所述第二金属层。
30.根据权利要求21所述的方法，其中形成粘合剂层包括形成导电粘合剂层。
31.根据权利要求21所述的方法，其中形成粘合剂层包括固化所述粘合剂层。
32.根据权利要求21所述的方法，其中形成第二金属层包括在所述粘合剂层上设置金属箔。
33.根据权利要求21所述的方法，还包括在所述第二金属层上施加压力，其中所施加压力允许所述第一金属层和所述第二金属层之间的直接接触。
34.根据权利要求21所述的方法，还包括对所述第二金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在所述第二金属层和所述第一金属层之间形成金属结合部。
35.根据权利要求34所述的方法，其中局部加热包括执行激光焊接工艺。
36.根据权利要求21所述的方法，其中在所述介电区域上形成第一金属层包括形成第一图案化金属层。
37.根据权利要求21所述的方法，还包括从所述第二金属层部分移除金属，其中所述粘合剂层保护所述太阳能电池结构在所述部分移除期间免受损坏。
38.根据权利要求37所述的方法，其中从所述第二金属层部分移除金属包括执行激光烧蚀工艺。
39.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：
在太阳能电池结构的表面上形成介电区域；
在所述介电区域上形成第一图案化金属层；
在所述第一图案化金属层上形成绝缘粘合剂层；
在所述绝缘粘合剂层上形成第二图案化金属层；其中所述绝缘粘合剂层将所述第二图案化金属层机械耦接至所述第一图案化金属层；以及
对所述第二图案化金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在所述第二图案化金属层和所述第一图案化金属层之间形成金属结合部。
40.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括：
在太阳能电池结构的表面上形成介电区域；
部分移除所述介电区域以形成接触区域；
在所述介电区域上形成第一图案化金属层；
在所述第一图案化金属层和所述介电区域上形成绝缘粘合剂层；
在所述绝缘粘合剂层上形成第二金属层；其中所述绝缘粘合剂层将所述第二金属层机械耦接至所述第一图案化金属层；
对所述第二金属层的特定区域进行局部加热，其中加热包括在所述第二金属层和所述第一图案化金属层之间形成金属结合部以及在所述第一金属层和所述太阳能电池结构之间的所述接触区域内形成欧姆触点；以及
从所述第二金属层部分移除金属，其中移除金属形成第二图案化金属层，并且所述绝缘粘合剂层保护所述太阳能电池结构在所述部分移除期间免受损坏。
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