CN105808770A - 文件管理的方法及装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种文件管理的方法及装置，涉及半导体制造领域，为解决文件查找繁琐不便的问题而发明。本发明的方法包括：对已有的对象文件进行分类；按照类别从属关系将对象文件记录在配置文件中；读取并执行配置文件，在窗口页面中按照目录树结构显示对象文件的文件名，目录树结构包括至少两个文件层级。本发明主要应用于晶圆刻蚀工艺的编辑过程中。

Description

文件管理的方法及装置

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种文件管理的方法及装置。

背景技术

在对晶圆(又称硅片)执行刻蚀工艺时，机械手臂从片盒(Cassette)中取出晶圆，根据工艺流程的需要，将晶圆依次放入到不同的工艺模块(ProcessModule)中进行加工，并将加工后的晶圆放回到片盒中。实际生产过程中，工艺流程的制定是由操作员通过计算机编辑实现的。操作员通过计算机选择不同的工艺配方(Recipe)以及限定晶圆历经不同工艺模块的晶圆路径，计算机根据操作员的编辑结果，通过调度模块(Scheduler)自动生成晶圆的传输序列任务(Job)，机械手臂执行该序列任务，实现晶圆在各工艺模块间的自动化传输，最终完成整个工艺流程。

由此可以看出，编辑工艺流程的过程就是操作员在计算机中选择工艺配方及晶圆路径的过程。示例性的，在图1所示的窗口界面中，操作员在工艺配方窗口中顺序选择加工所需的工艺配方Re1、Re2及Re3，然后在晶圆路径窗口中选择一条加工执行路径RX，由此就可以完成工艺流程的编辑工作。

在上述编辑工艺流程的过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：随着晶圆加工工艺的不断发展，工艺配方及晶圆路径的数量越来越多，同时，不同厂商还会基于不同标准制定不同标准、不同内容的工艺配方及晶圆路径，由此使得工艺配方及晶圆路径的数量进一步增长。对于现有的编辑方式，如果窗口界面仅显示少量工艺配方或晶圆路径，那么操作员查找起来还算容易；但是当工艺配方或晶圆路径的数量较多时，图1视窗显示的列表将过于冗长，操作员需要拖动滚动条翻动查找。扁平化的文件存储及显示方式将使得对象查找过程变得十分繁琐，操作起来费时费力。

发明内容

本发明提供了一种文件管理的方法及装置，能够解决文件查找繁琐不便的问题。

一方面，本发明提供了一种文件管理的方法，方法包括：

对已有的对象文件进行分类，按照类别从属关系将对象文件记录在配置文件中；

读取并执行配置文件，在窗口页面中按照目录树结构显示对象文件的文件名，目录树结构包括至少两个文件层级。

另一方面，本发明还提供了一种文件管理的装置，装置包括：

分类单元，用于对已有的对象文件进行分类；

记录单元，用于按照分类单元得到的类别从属关系将对象文件记录在配置文件中；

处理单元，用于读取并执行记录单元记录的配置文件；

显示单元，用于根据处理单元的执行结果在窗口页面中按照目录树结构显示对象文件的文件名，目录树结构包括至少两个文件层级。

本发明提供的文件管理的方法及装置，能够按照预设规则对编辑成型的工艺配方及晶圆路径(统称为对象文件)进行分类，通过配置文件对对象文件的从属关系进行记录，并通过对配置文件的执行在窗口页面中显示一个分类明确、层级清晰的多级目录树结构。本发明能够使操作员根据文件分类关系逐级纵深查找需要的对象文件，无关分支的对象文件不予显示。与现有技术相比，本发明减少了窗口界面中显示的对象文件数量，便于对对象文件进行快速查找和选择。

同时，基于配置文件自身的特点，本发明还可以在不同计算机之间灵活移植目录树结构，使得一个配置文件可以在同类型设备中实现复用。与现有技术相比，本发明能够减少在不同计算机上编辑相同目录树结构所产生的重复性工作，节省时间的同时进一步消除人工编辑所带来的失误。

上述说明仅是本发明技术方案的概述，为了能够更清楚了解本发明的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本发明的上述和其它目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举本发明的具体实施方式。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本发明的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1示出了现有技术中选择工艺配方文件的窗口示意图；

图2示出了本发明提供的一种方法流程图；

图3示出了本发明提供的一种三级树形结构示意图；

图4示出了本发明提供的一种文件夹结构示意图；

图5示出了本发明提供的一种选择晶圆路径文件的窗口示意图；

图6示出了本发明提供的另一种选择晶圆路径文件的窗口示意图；

图7示出了本发明提供的又一种选择晶圆路径文件的窗口示意图；

图8示出了本发明提供的一种装置框图；

图9示出了本发明提供的另一种装置框图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施例。虽然附图中显示了本公开的示例性实施例，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施例所限制。相反，提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

现有技术中的编辑窗口会显示所有的工艺配方或晶圆路径。以工艺配方为例，编辑窗口中的工艺配方按照简单的排序关系(例如名称字母顺序)进行排列，当大量工艺配方需要在窗口中显示时，操作员就需要借助编辑窗口右侧的滚动条进行拖拽查看，使用起来相当麻烦。由此可见，产生这种问题的原因有二：1、工艺配方的分类层级过于扁平化(实际上无层级之分)；2、所有工艺配方都显示于编辑窗口中。这两个原因导致编辑配方中不得不显示大量的工艺配方。为解决该问题，本发明实施例提供了一种文件管理的方法，如图2所示，该方法包括：

201、对已有的对象文件进行分类。

计算机中存有不同的工艺配方文件及晶圆路径文件，为便于表述，本发明实施例中将工艺配方文件及晶圆路径文件统称为对象文件。计算机按照预设的规则对对象文件进行分类，实际应用中，任何可以从某一维度对不同对象文件进行区分的参数均可以作为对象文件的分类依据。并且在进行分类时，分类依据并不仅局限于一个维度，实际应用中可以依据两个、三个甚至更多个维度的组合对对象文件进行分类。

示例性的，计算机可以以“文件源”和“文件名称”这两个维度的组合进行分类，将操作员A编写的、并且文件名称以“etch”开头的对象文件归为一类，将操作员B编写的、并且文件名称以“txt”开头的对象文件归为另一类。

此外，在分类维度的粒度上，本实施例也不做过多限制，理论上，分类依据的粒度可以无限细化，例如将近一个月内编辑的对象文件归为一类，或者将近一周内编辑的对象文件归为一类，再或者将一天内编辑的对象文件归为一类等。

本实施例中，计算机可以根据预设的分类规则对录入的对象文件自动分类，也可以调用特定接口为操作员提供可以手动分类的窗口界面(例如文件拖拽、选中等)。

202、按照类别从属关系将对象文件记录在配置文件中。

本实施例中，类别从属关系为按照各种分类维度对文件进行逐级分类所形成的上下级从属关系，其中一个分类维度对应一个分类层级。例如在按“名称”分类的层级中，名称1、名称2…名称n对应的工艺配方文件都属于该层级中的并列文件；再例如，对于按照“文件源”和“文件名称”组合的分类层级中，当“文件源”为父层级时，操作员A、操作员B、操作员C及操作员D编辑的工艺配方文件都属于该层级中的并列文件集合，而在操作员A集合的下一层级中，名称1和名称2对应的工艺配方文件为属于操作员A编辑的、按照文件名称分类的下一级并列文件。在多级分类结构中，对象文件按照树形结构进行存储。为便于直观理解，图3给出了一种三级树形结构示意图，通过该图可以看出，每一层级都是在上一层级限定的基础上作进一步划分的，层级越低的文件集合(或对象文件)受到越多分类维度的限定，由此形成包含多个分支部分的树形结构(例如对于最底层的对象文件，其依次受“编辑者”、“名称”及“版本”三个维度限制)。

本实施例仅对分类维度进行示意性说明，不对类别从属关系的层级数量进行限制，但实际应用中，分类层级数量至少为两级。

与现有技术不同的是，本实施例中，对象文件并不是扁平化存储在某个路径上的，而是增加了一个配置文件，将所有对象文件以及反映各对象文件树形结构的类别从属关系记录在该配置文件中。使用配置文件的优势有两点：其一，便于操作员对既定的类别从属关系进行修改，例如在某层级中增加对象文件，或者改动层级关系，操作员在对类别从属关系进行修改时，计算机只需要对配置文件中的特定字段进行修改即可，对象文件的内容及存储路径不受修改影响；其二，便于在不同设备上移植使用，对于同类别计算机，只要对配置文件进行移植就可以实现同一配置文件在其他计算机上的执行，无需操作员在不同计算上重复进行编辑。

203、读取并执行配置文件，在窗口页面中按照目录树结构显示对象文件的文件名。

本步骤中所述的目录树结构即是步骤202中类别从属关系在人机交互层面的表现形式，如前所述，实际应用中类别从属关系至少分为两层，与其对应的，目录树结构同样包括至少两个文件层级。

本实施例所述的目录树结构本质上属于一种逻辑关系，该关系在人机交互界面(例如本案中的窗口界面)中的表现形式可以是文件夹和文件组成的文件层级结构，一个文件夹对应一个分类层级，该文件夹下的每个子文件夹则对应下一级分类层级，而最底层中的内容则为最小粒度的对象文件。

示例性的，图4示出了对应图3所示类别从属关系的文件夹结构，在该文件夹结构中，不同层级的文件夹根据操作员的具体操作展开或收起，对于同一级文件夹而言，除被选中的文件夹展开其对应的下一级文件夹外，其他同级别文件夹不作展开，能够减少窗口界面中的对象内容，便于操作员逐级查找对象文件。

需要说明的是，本实施例中的工艺配方文件及晶圆路径文件仅为示例性说明，实际应用中任何存储于计算机并能够以可视化形态与用户交互的文件均可以通过本实施例进行分类。

与现有技术相比，本实施例提供的文件管理的方法，以文件分类为依据，采用目录树结构对对象文件进行存储和管理，便于操作员逐级查找所需的对象文件；同时采用文件夹结构的显示方式还能够避免显示所选分支之外的其他文件或文件夹，可以大大减少窗口界面中的对象文件数量，使得对象文件的选择更有针对性。此外，本实施例提供的文件管理的方法还以配置文件为实现基础，方便目录树结构的修改和移植，具有较强的易用性。

进一步的，作为对图2步骤201的改进，在本发明的另一改进实施例中，计算机可以以下述任一维度或至少两个维度的组合为依据，对对象文件进行划分。具体的，可供作为分类依据的维度包括：文件属性、文件使用热度、文件关联关系、使用者及使用权限。下面分别对各个维度进行具体说明。

1、文件属性

该文件属性又包括但不仅限于是文件名称、文件类型、编辑时间、文件版本及文件源。

对于文件名称，计算机可以根据对象文件的文件名称将同属于一个文件名称框架下的多个对象文件归类到该文件名称的文件下。示例性的，计算机可以将工艺配方“Etch1”、“Etch2”、“Etch3”和“Etch4”归类到工艺名称为“Etch”的文件夹下；再例如，计算机可以将工艺配方“Dry1”和“Dryclean”归类到工艺名称为“Dry”的文件夹下。

进一步的，本实施例中所述的以文件名称进行分类还包括另一层含义，即按照文件名称中的字母排序进行归类，例如将名称中首字母为“E”的对象文件归类到文件夹“E序”中，或者将名称中仅包含数字或符号的对象文件归类到文件夹“其他”中；再或者，在文件夹“E序”中还可以进一步将文件名称第二个字母为“a”至“m”的对象文件归类到子文件夹“1部”中，将第二个字母为“n”至“z”的对象文件归类到子文件夹“2部”中。

对于文件名称仅由数字组成的对象文件，计算机也可以对名称中数字进行升降序排列，并基于排序结果进行文件分类。例如，对于名称为“1”至“100”的对象文件，计算机可以在对文件名称进行升序排列后，将“1”至“35”的对象文件归类到文件夹“3-1”中，将“36”至“85”的对象文件归类到文件夹“3-2”中，将“86”至“100”的对象文件归类到文件夹“3-3”中。

对于文件类型，计算机可以将不同类型的文件归类到不同文件夹中。本实施例中所述的文件类型含义较广，既包括文件格式，也包括工艺配方或晶圆的类型，还可以包括编辑文件所基于的标准或规范的版本。例如，计算机可以将“txt”格式的对象文件归类到文件夹“txt”下，或者将“干燥”工艺的对象文件归类到文件夹“Dry”下。工艺配方类型包括可以是刻蚀工艺、清扫工艺、沉积工艺或Stable工艺；晶圆类型可以是SOG、Si或SiO2。

对于编辑时间，计算机可以统计各对象文件的创建时间，然后按年、季度、月、周或者日对对象文件进行归类。对于修改过的对象文件，计算机也可以根据其最近一次修改的时间对其重新进行归类。

对于文件版本，计算机可以按照文件的版本号对对象文件进行归类，例如将“Ver1.X”版本的对象文件归为一类，将“Ver2.X”版本的对象文件归为另一类，其中“Ver1.X”代表包括“Ver1.0”、“Ver1.1”、“Ver1.2”在内的一系列版本。

对于文件源，其含义可以是存储路径，例如将C盘ProgramFiles目录下存储的对象文件归类到一个文件夹中，或者，将移动式存储介质中存储的对象文件归类到一个文件夹中。此外，文件源的含义还包括对象文件的开发者，计算机可以将同一个自然人开发者编写的对象文件归类到一个文件夹中，也可以将同一个组织(例如厂商)开发的对象文件归类到一个文件夹中。

实际应用中，不同人员编写对象文件时基于的文件命名规则一般都相同，例如将工艺名称作为配方文件的名称。在这种情况下，仅凭文件名称对相同工艺的不同对象文件进行区分就稍显困难。在本方式中，按照开发者对不同对象进行分类，可以防止对象文件名称的混淆，能够降低操作员选取过程中的出错几率。

2、文件使用热度

在该方式中，计算机可以按照对象文件在一段时间内的使用频率进行分类，例如将一周内使用次数超过30次的对象文件归类到第一文件夹中，将一周内使用次数低于30次、高于20次的对象文件归类到第二文件夹中等。当然，时间段的选取是自定义的，也可以是一个月、一个季度或者一年。

进一步的，计算机还可以对一段时间内使用过的对象文件进行分类，例如将一周内使用过的对象文件归类到第一文件夹中，将一个月内使用过的对象文件归类到第二文件夹中，将一年内使用过的对象文件归类到第三文件夹中。特别的，为便于操作员对对象文件的选取，计算机还可以单独创建一个文件夹，专用于存储最近一次使用过的对象文件。

值得注意的是，在对使用过的对象文件进行分类的方式中，各个文件夹中会重复存储一部分对象文件，例如在上述示例中，第二文件夹中同样会存储第一文件夹中的对象文件。该情况不会对对象文件的选取造成过多干扰，实际应用中允许不同文件夹中重复存储部分对象文件。

需要说明的是，随着操作员的不断操作，计算机需要对对象文件的文件使用热度不断进行更新，并修改目录树结构。实际应用中，计算机可以在操作员每次完成工艺流程的制定后，对目录树结构进行一次更新处理，当然，为节省系统的处理资源，计算机也可以选择在空闲时段或资源闲置时进行更新，或者，按照预设的时间间隔进行更新，例如一天更新一次等。

3、文件关联关系

计算机可以将具有文件关联关系的多个对象文件归类到同一个文件夹中，便于操作员一次性选取。例如在工艺流程上，工艺A和工艺B通常先后相邻执行，那么计算机可以将工艺A和工艺B的工艺配方文件a及工艺配方文件b放在同一个文件夹中，并且相邻排列。

4、使用者

通常，一台计算机可能会有多个操作员使用，不同操作员常用的对象文件一般有所差异。为便于适应操作员的个人使用习惯，计算机也可以针对操作员执行个性化的文件分类策略。示例性的，计算机可以将操作员A使用的对象文件归类到“UserNameA”的文件夹中，将操作员B使用的对象文件归类到“UserNameB”的文件夹中。

5、使用权限

不同级别的操作员能够使用的对象文件一般不尽相同，本方式中，计算机可以按照不同的使用权限对对象文件进行分类，在便于操作员查找的同时，能够保证高权限对象文件的安全性。示例性的，计算机可以按照权限高低将对象文件区分为“一级权限”、“二级权限”和“三级权限”三类，其中一级权限最高，三级权限最低。然后将一级权限的对象文件归类到第一文件夹中，将二级权限的对象文件归类到第二文件夹中，将三级权限的对象文件归类到第三文件夹中。在进行文件选取时，操作员根据自己具有的权限选择相应的文件夹进行使用，高权限使用者有权限查看低权限文件夹，但低权限使用者则没有查看高权限文件夹的权限。

以上对本实施例中涉及的几种分类维度进行了简要说明，实际应用中，计算机可以其中任意一个维度进行分类，也可以多维度组合分类，本实施例对此不作限制。

进一步的，在本发明的另一改进实施例中，配置文件在写好后也可以方便的进行修改。计算机调用特定的应用程序编程接口(ApplicationProgrammingInterface，简称API)向操作员提供人机交互入口，以便操作员手动修改目录树结构中的对象文件。实际应用中，该人机交互入口具体可以是一个包含有相关功能控件的操作界面，界面中呈现有配置文件中记录的目录树结构的图形，和/或顺序排列的对象文件，便于操作员查看修改。

本实施例中所述的修改主要是指对对象文件的增加、删除和调整。其中，增加对象文件包括提供新的对象文件的文件包或链接地址，以及确定新增文件在目录树结构中的具体位置(例如设置在那个文件夹里)；删除对象文件包括目录树结构中某个具体位置上的对象文件从目录树结构中删除；调整对象文件包括调整对象文件在目录树结构中的位置，例如将对象文件从当前文件夹移动到上级文件夹。实际应用中，本实施例中所指的修改也包括对对象文件的内容(例如代码语句)进行修改。

本实施例重点着眼于计算机系统底层介绍方案的实现过程，不对上层界面提供的具体操作方式进行限制。实际应用中，计算机允许用户通过拖拽、双击、选中、长按等不同的操作方式进行修改操作。

当操作员在操作界面进行完修改操作后，计算机通过API接收上层发送的文件处理指令，该文件处理指令中携带有修改对象文件所必须的数据信息，用于指示计算机对目录树结构中的对象文件进行增加、删除或调整操作。计算机根据获取的文件处理指令遍历已有的目录树结构，查找目标对象文件，然后对目标对象文件进行相应处理并根据修改后的目录树结构更新配置文件。

与删除或调整操作不同的是，对于增加对象文件的情况，计算机在目录树结构中遍历的并非是对象文件本身，而是待增加对象文件的目标位置。在查找到该目标位置后，计算机将待增加的对象文件添加到该位置上，完成对象文件的增加。

本实施例中，对象文件的增删改处理是基于配置文件执行的，计算机仅需要对配置文件中的特定字段进行修改即可，无需如现有技术一般需要重新编写整个目录树结构，修改过程简单而快速，能够提高目录树结构的复用性和可移植性。

进一步的，对于增加对象文件的情况，考虑到实际应用中有可能加入目录树结构中已有的对象文件，因此在将新增对象文件加入到目录树结构中之前，计算机还可以进行去重处理。具体的，计算机可以对新增对象文件与已有对象文件的代码语句进行比较，如果两者形式完全相同，或者在功能上实质相同，则计算机认定目录树中已经存在与新增对象文件相同或相似的对象文件，因此计算机将丢弃新增对象文件。但更为简便的是，计算机可以对新增对象文件和已有对象文件的属性信息进行比较，包括对文件名称、版本、文件源等内容中的至少一项的比较，如果比较结果相同，则计算机丢弃新增对象文件。

实际应用中，操作员有时会将在其他计算机上编辑的对象文件拷入到本台计算机中并添加到配置文件中。为减少人工操作的步骤，作为本发明的另一改进实施例，计算机还可以对通过硬件接口接入的外部设备中的对象文件自动进行识别和添加。以U盘、移动硬盘等移动式存储介质为例：计算机建立特定线程对通用串行总线(UniversalSerialBus，简称USB)接口进行监听，当有移动式存储介质插入USB接口时，计算机获得USB接口发送的文件处理指令。基于该指令，计算机对移动式存储介质的存储区域进行扫描，查找可能存在的对象文件并读取之。在获得对象文件后，计算机按照上述实施例的实现方式将该对象文件添加到目录树结构中，并更新配置文件。

实际应用中，计算机对移动式存储介质的扫描需要用户预先授权，计算机可以通过对话框的形式获得用户对扫描行为的授权。

与前述实施例类似的，在将新增对象文件添加到目录树结构中之前，计算机同样需要进行去重处理，其实现方式与前述实施例相同，此处不再赘述。

进一步的，考虑到同一计算机或不同计算机中可能存在不同版本的配置文件，为对不同配置文件进行统一，在本发明的另一改进实施例中，计算机可以将不同的配置文件合并为一个配置文件。具体的，在获得不同配置文件后，计算机建立多个进程/线程，分别对各个配置文件中的代码语句进行读取，找出差别代码段。然后确定一个配置文件作为修改基础(通常可以人为指定)，将差别代码段加入到该配置文件中的对应位置，或替换其中相应的代码段。

实际应用中，针对同一工艺流程的不同配置文件之间，差别可能主要存在于限定具体对象文件的代码语句上。例如，对于文件夹A，配置文件1限定其包含对象文件a和对象文件b，而配置文件2限定文件夹a中包含对象文件b和对象文件c。因此，计算机可以此种情况预设一些代码关键词进行识别，例如对于仅识别限定文件差异的情况，计算机可以优先查找带有诸如“Name＝“xxxxx””或“<ModuleName>xxxxx</ModuleName>”等表示限定文件名称的关键词，其中“xxx”代表文件名称具体内容。

在本发明的另一改进实施例中，为进一步简化操作员选择对象文件的复杂度，计算机还可以在执行图2步骤203之后，当操作员选取了第一对象文件时，根据预设的文件关联关系，自动查找并显示与第一对象文件相关联的第二对象文件，以提示操作员对第二对象文件进行一并选择。

本实施例中，存在文件关联关系的对象文件主要是指需要结合使用的多个工艺配方文件。所述文件关联关系可以由操作员根据需要手动设定，也可以在操作员日常选取的过程中，由计算机自动学习训练得出。

需要说明的是，本实施例中第一对象文件和第二对象文件不限定必须同属一个文件夹。

进一步的，考虑到实际生产过程中，操作员仅凭文件名称可能无法清楚判定对象文件的功能，因此在本发明的另一改进实施例中，计算机可以通过窗口界面显示对象文件的文件内容和/或摘要信息，以方便操作员进行预览。

具体的，在执行完图2步骤203之后，当操作员选定第三对象文件时，计算机预先调取第三对象文件的数据文件，然后通过可调窗口显示第三对象文件的文件内容和/或摘要信息。本实施例中，可调窗口的位置及尺寸可以通过菜单预先设定，或者在显示过程中由操作员通过鼠标箭头、光标等操作焦点拖拽设定。

进一步的，作为对图2所示方式的改进，在本发明的最后一个方法实施例中，为避免工艺配方和晶圆路径的混淆，计算机可以对工艺配方文件和晶圆路径文件独立进行管理。即针对工艺配方文件和晶圆路径文件分别进行分类，并分别建立目录树结构。在上层，通过两个窗口界面分别显示工艺配方和晶圆路径的目录树结构，本实施例不限制两个窗口界面是否分别显示在不同的网页页面中，更为适用于实际的方式是，将两个窗口界面区分左右显示于一个网页页面中，便于操作员查看比对。

与此同时，本实施例同样不作限定的是，计算机可以针对工艺配方文件和晶圆路径文件分别生成各自的配置文件，也可以仅生成一个配置文件，并将两个目录树结构对应的代码段一同写入到该配置文件中。

本发明各实施例中的配置文件具体可以为可扩展标记语言(ExtensibleMarkupLanguage，简称XML)文件或者Properties文件。下面，以晶圆路径文件的XML文件为例，给出图2所示方式的一种应用：

XML文件的内容形式可以如下：

其中，

WaferFlow.xml为配置文件的名称；

<？xmlversion＝"1.0"？>表示该配置文件的版本为Ver1.0版本；

<WaferFlowConfig

xmlns:xsi＝"http://www.w3.org/2001/XMLSchema-instance"

xmlns:xsd＝"http://www.w3.org/2001/XMLSchema">定义了配置文件的名称空间(或者叫做命名空间)；

<WaferFlowList>为晶圆路径文件的列表，即整个目录树结构；

<ModuleWaferFlow>

<ModuleName>PMC1</ModuleName>定义了目录树结构的第一级文件夹名称为PMC1，即该文件夹下的文件归类于PMC类别下；

执行上述XML文件后，晶圆路径文件的窗口界面左侧显示如图5所示的树形文件目录结构。其中，文件夹PMC1下包含wfrPM和wfrEtch1两个子文件夹。窗口界面右侧视窗则以列表形式罗列了wfrPM和wfrEtch1两个子文件夹下的所有晶圆路径文件，操作员可以在右侧视窗中直接选择需要的晶圆路径文件。

如图6所示，操作员点击文件夹wfrPM后，树形文件目录进一步展开下一级子文件夹。下一级子文件夹包含pm12、pmcdechuck、pmtest及pmphc四个晶圆路径文件。窗口界面右侧视窗以列表形式对这四个晶圆路径文件进行罗列。操作员可以在右侧视窗中对文件夹wfrPM中的晶圆路径文件进行选择。

如图7所示，操作员进一步点击文件夹wfrEtch1，文件夹wfrPM收起，文件夹wfrEtch1展开，树形文件目录进一步展开文件夹wfrEtch1的下一级子文件夹。下一级子文件夹包含wfrpm、wfrdryclean、wfr1及wfr2四个晶圆路径文件。窗口界面右侧视窗以列表形式对这四个晶圆路径文件进行罗列。操作员可以在右侧视窗中对文件夹wfrEtch1中的晶圆路径文件进行选择。

在图5至图7中，右侧视窗的右侧还排列显示有不同功能的操作控件，这些控件分为文件夹操作控件和晶圆路径文件操作控件。基于这些控件，操作员可以对树形文件结构中的文件夹层级或者其中的具体文件进行增删改查操作。

进一步的，作为对上述各方法实施例的实现，本发明另一实施例还提供了一种文件管理的装置。如图8所示，该装置包括：分类单元81、记录单元82、处理单元83及显示单元84，其中，

分类单元81，用于对已有的对象文件进行分类；

记录单元82，用于按照分类单元81得到的类别从属关系将对象文件记录在配置文件中；

处理单元83，用于读取并执行记录单元82记录的配置文件；

显示单元84，用于根据处理单元83的执行结果在窗口页面中按照目录树结构显示对象文件的文件名，目录树结构包括至少两个文件层级。

进一步的，分类单元81分类的对象文件为工艺配方文件或晶圆路径文件。

进一步的，分类单元81用于从下述至少一个维度对对象文件进行分类：

文件属性、文件使用热度、文件关联关系、使用者及使用权限。

进一步的，分类单元81对文件属性进一步分类包括：

文件名称、文件类型、编辑时间、文件版本及文件源。

进一步的，如图9所示，该装置进一步包括：

接收单元85，用于接收文件处理指令，文件处理指令用于对目录树结构中的对象文件进行增加、删除或调整操作；

查找单元86，用于根据接收单元85接收的文件处理指令遍历记录单元82记录的目录树结构，查找目标对象文件；

记录单元82，用于对查找单元86查找到的目标对象文件进行相应处理并更新配置文件。

进一步的，如图9所示，该装置进一步包括读取单元87；

接收单元85用于当有移动式存储介质接入时，接收通用串行总线USB接口发送的文件处理指令；

读取单元87，用于在接收单元85接收到文件处理指令后，读取移动式存储介质中存储的对象文件；

记录单元82，用于将读取单元87读取的移动式存储介质中存储的对象文件添加到目录树结构中，并更新配置文件。

进一步的，记录单元82用于将配置文件与其他配置文件进行合并处理。

本实施例提供的文件管理的装置，以文件分类为依据，采用目录树结构对对象文件进行存储和管理，便于操作员逐级查找所需的对象文件；同时采用文件夹结构的显示方式还能够避免显示所选分支之外的其他文件或文件夹，可以大大减少窗口界面中的对象文件数量，使得对象文件的选择更有针对性。此外，本实施例提供的装置还以配置文件为实现基础，方便目录树结构的修改和移植，具有较强的易用性。

实际应用中，图8或图9所示装置可以安装于电脑、笔记本电脑或便携式电脑中，也可安装于手持电子设备或可穿戴电子设备中，本实施例对此不作限制。

在上述实施例中，对各个实施例的描述都各有侧重，某个实施例中没有详述的部分，可以参见其他实施例的相关描述。

可以理解的是，上述方法及装置中的相关特征可以相互参考。另外，上述实施例中的“第一”、“第二”等是用于区分各实施例，而并不代表各实施例的优劣。

所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的系统，装置和单元的具体工作过程，可以参考前述方法实施例中的对应过程，在此不再赘述。

在此提供的算法和显示不与任何特定计算机、虚拟系统或者其它设备固有相关。各种通用系统也可以与基于在此的示教一起使用。根据上面的描述，构造这类系统所要求的结构是显而易见的。此外，本发明也不针对任何特定编程语言。应当明白，可以利用各种编程语言实现在此描述的本发明的内容，并且上面对特定语言所做的描述是为了披露本发明的最佳实施方式。

在此处所提供的说明书中，说明了大量具体细节。然而，能够理解，本发明的实施例可以在没有这些具体细节的情况下实践。在一些实例中，并未详细示出公知的方法、结构和技术，以便不模糊对本说明书的理解。

类似地，应当理解，为了精简本公开并帮助理解各个发明方面中的一个或多个，在上面对本发明的示例性实施例的描述中，本发明的各个特征有时被一起分组到单个实施例、图、或者对其的描述中。然而，并不应将该公开的方法解释成反映如下意图：即所要求保护的本发明要求比在每个权利要求中所明确记载的特征更多的特征。更确切地说，如下面的权利要求书所反映的那样，发明方面在于少于前面公开的单个实施例的所有特征。因此，遵循具体实施方式的权利要求书由此明确地并入该具体实施方式，其中每个权利要求本身都作为本发明的单独实施例。

本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件，以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的所有特征以及如此公开的任何方法或者设备的所有过程或单元进行组合。除非另外明确陈述，本说明书(包括伴随的权利要求、摘要和附图)中公开的每个特征可以由提供相同、等同或相似目的的替代特征来代替。

此外，本领域的技术人员能够理解，尽管在此所述的一些实施例包括其它实施例中所包括的某些特征而不是其它特征，但是不同实施例的特征的组合意味着处于本发明的范围之内并且形成不同的实施例。例如，在下面的权利要求书中，所要求保护的实施例的任意之一都可以以任意的组合方式来使用。

本发明的各个部件实施例可以以硬件实现，或者以在一个或者多个处理器上运行的软件模块实现，或者以它们的组合实现。本领域的技术人员应当理解，可以在实践中使用微处理器或者数字信号处理器(DSP)来实现根据本发明实施例的发明名称(如确定网站内链接等级的装置)中的一些或者全部部件的一些或者全部功能。本发明还可以实现为用于执行这里所描述的方法的一部分或者全部的设备或者装置程序(例如，计算机程序和计算机程序产品)。这样的实现本发明的程序可以存储在计算机可读介质上，或者可以具有一个或者多个信号的形式。这样的信号可以从因特网网站上下载得到，或者在载体信号上提供，或者以任何其他形式提供。

应该注意的是上述实施例对本发明进行说明而不是对本发明进行限制，并且本领域技术人员在不脱离所附权利要求的范围的情况下可设计出替换实施例。在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。本发明可以借助于包括有若干不同元件的硬件以及借助于适当编程的计算机来实现。在列举了若干装置的单元权利要求中，这些装置中的若干个可以是通过同一个硬件项来具体体现。单词第一、第二、以及第三等的使用不表示任何顺序。可将这些单词解释为名称。

Claims (16)

1.一种文件管理的方法，其特征在于，所述方法包括：

对已有的对象文件进行分类，按照类别从属关系将所述对象文件记录在配置文件中；

读取并执行所述配置文件，在窗口页面中按照目录树结构显示所述对象文件的文件名，所述目录树结构包括至少两个文件层级。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述对象文件为工艺配方文件或晶圆路径文件。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述对已有的对象文件进行分类，包括从下述至少一个维度对所述对象文件进行分类：

文件属性、文件使用热度、文件关联关系、使用者及使用权限。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述文件属性包括：

文件名称、文件类型、编辑时间、文件版本及文件源。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括：

接收文件处理指令，所述文件处理指令用于对所述目录树结构中的对象文件进行增加、删除或调整操作；

根据所述文件处理指令遍历所述目录树结构，查找目标对象文件；

对所述目标对象文件进行相应处理并更新所述配置文件。

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述接收文件处理指令，包括：

当有移动式存储介质接入时，接收通用串行总线USB接口发送的文件处理指令；

读取所述移动式存储介质中存储的对象文件；

所述对所述目标对象文件进行相应处理并更新所述配置文件，包括：

将所述移动式存储介质中存储的对象文件添加到所述目录树结构中，并更新所述配置文件。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法进一步包括：

将所述配置文件与其他配置文件进行合并处理。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述在窗口页面中按照目录树结构显示所述对象文件的文件名之后，所述方法进一步包括：

在选定第一对象文件后，根据预设的文件关联关系自动查找并显示与所述第一对象文件关联的第二对象文件。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，在所述在窗口页面中按照目录树结构显示所述对象文件的文件名之后，所述方法进一步包括：

在选定第三对象文件后，通过可调窗口显示所述第三对象文件的文件内容和/或摘要信息；

所述可调窗口的位置及尺寸可以通过菜单预先设定，或者在显示过程中通过操作焦点拖拽设定。

10.一种文件管理的装置，其特征在于，所述装置包括：

分类单元，用于对已有的对象文件进行分类；

记录单元，用于按照所述分类单元得到的类别从属关系将所述对象文件记录在配置文件中；

处理单元，用于读取并执行所述记录单元记录的所述配置文件；

显示单元，用于根据所述处理单元的执行结果在窗口页面中按照目录树结构显示所述对象文件的文件名，所述目录树结构包括至少两个文件层级。

11.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述分类单元分类的对象文件为工艺配方文件或晶圆路径文件。

12.根据权利要求10或11所述的装置，其特征在于，所述分类单元用于从下述至少一个维度对所述对象文件进行分类：

文件属性、文件使用热度、文件关联关系、使用者及使用权限。

13.根据权利要求12所述的装置，其特征在于，所述分类单元对所述文件属性进一步分类包括：

文件名称、文件类型、编辑时间、文件版本及文件源。

14.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包括：

接收单元，用于接收文件处理指令，所述文件处理指令用于对所述目录树结构中的对象文件进行增加、删除或调整操作；

查找单元，用于根据所述接收单元接收的所述文件处理指令遍历所述记录单元记录的所述目录树结构，查找目标对象文件；

所述记录单元，用于对所述查找单元查找到的所述目标对象文件进行相应处理并更新所述配置文件。

15.根据权利要求14所述的装置，其特征在于，所述装置进一步包括读取单元；

所述接收单元用于当有移动式存储介质接入时，接收通用串行总线USB接口发送的文件处理指令；

所述读取单元，用于在所述接收单元接收到所述文件处理指令后，读取所述移动式存储介质中存储的对象文件；

所述记录单元，用于将所述读取单元读取的所述移动式存储介质中存储的对象文件添加到所述目录树结构中，并更新所述配置文件。

16.根据权利要求10所述的装置，其特征在于，所述记录单元用于将所述配置文件与其他配置文件进行合并处理。