CN105806205B - 测量光阻膜厚的方法 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种测量光阻膜厚的方法，所述方法包括：A)随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测探针划过的每个位置的光阻的膜厚；B)识别探针划过的每个位置的光阻的颜色；C)输出以识别的光阻的颜色来表示对应光阻的膜厚的膜厚曲线；D)根据所述膜厚曲线确定各颜色光阻的膜厚。在根据本发明示例性实施例的测量光阻膜厚的方法中，通过将膜厚曲线中各种颜色的光阻的膜厚曲线段表示为各自的颜色，显示膜厚曲线时同步显示光阻的颜色，方便测量人员直接辨别各段光阻的颜色，可提高薄膜测量仪的手动测量以及设置菜单时的准确性和效率。

Description

测量光阻膜厚的方法
技术领域
本发明总体说来涉及显示屏制造技术领域，更具体地讲，涉及一种测量光阻膜厚的方法。
背景技术
高精细和超薄化是当今显示屏技术的发展趋势，而超薄化要求对光阻的膜厚进行严格地管控。显示屏中的彩色滤光片(CF)一般通过依次将黑色矩阵(BM)、红色(R)、绿色(G)、蓝色(B)、保护膜(OC)、间隙粒子(PS)的光阻材料涂布于基板上，经过曝光、显影和后烘后形成图形。R、G、B的光阻的膜厚一般通过薄膜测量仪(SP,Surface Profile)测量得出，并反馈给涂布机(Coater)进行管控。
在彩色滤光片的生产过程中，需要手动测量以及设置薄膜测量仪的菜单。例如，在涂布机设备调整阶段，需要手动测量检查设备的涂布能力；在生产阶段，针对不同产品的膜厚异常玻璃，需要手动量测异常范围的膜厚数据，判断异常的原因；在设置菜单的阶段，需要手动测量第一片基板，通过记录此片基板手动测量的动作，实现后续基板的自动测量。
在手动测量或者在设置薄膜测量仪的菜单时，测量涂有BM后的基板，测量人员需要根据探针落针点和测量顺序来判断薄膜测量仪显示的膜厚曲线中的各段曲线分别表示哪种颜色的光阻的膜厚。但是，在测量过程中，探针测量的速度比较快，如果没有记住探针落针点和测量顺序，测量人员很难在得出的膜厚曲线中快速判断出各段曲线分别表示哪种颜色的光阻的膜厚。
因此，在现有的测量光阻膜厚的方法中，用户不便于在膜厚曲线中快速判断出各段曲线分别表示哪种颜色的光阻的膜厚。
发明内容
本发明的示例性实施例在于提供一种测量光阻膜厚的方法，以解决在现有的测量光阻膜厚的方法中用户不便于在膜厚曲线中快速判断出各段曲线分别表示哪种颜色的光阻的膜厚的问题。
根据本发明示例性的实施例提供一种测量光阻膜厚的方法，包括：A)随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测探针划过的每个位置的光阻的膜厚；B)识别探针划过的每个位置的光阻的颜色；C)输出以识别的光阻的颜色来表示对应光阻的膜厚的膜厚曲线；D)根据所述膜厚曲线确定各颜色光阻的膜厚。
可选地，在所述方法中，步骤A)包括：随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测与探针相连接的互感线圈输出的电压信号，将所述电压信号转换为数字信号，其中，所述数字信号指示探针划过的每个位置的光阻的膜厚。
可选地，在所述方法中，步骤B)包括：通过图像传感器拍摄所述探针划过的每个位置的光阻的图像，基于拍摄的图像识别出探针划过的每个位置的光阻的颜色。
可选地，在所述方法的步骤D)中，所述膜厚曲线由各颜色光阻的膜厚曲线段按各颜色光阻的涂布方向组成，其中，在步骤D)中，通过以下步骤来确定任意一种颜色的光阻的膜厚：在所述膜厚曲线的任意一种颜色光阻的膜厚曲线段中确定两个基准点；确定所述膜厚曲线段中的第一个升起或降下的膜边；根据所述膜边确定所述任意一种颜色的光阻的上表面与基板的上表面之间的段差的低点和高点；获取所述段差的低点和高点之间的高度差，并将所述高度差作为所述任意一种颜色的光阻的膜厚。
在根据本发明示例性实施例的测量光阻膜厚的方法中，通过将膜厚曲线中各种颜色的光阻的膜厚曲线段表示为各自的颜色，显示膜厚曲线时同步显示光阻的颜色，方便测量人员直接辨别各段光阻的颜色，可提高薄膜测量仪的手动测量以及设置菜单时的准确性和效率。
附图说明
图1示出根据本发明示例性实施例的测量光阻膜厚的方法的流程图；
图2示出根据本发明示例性实施例的膜厚曲线的示意图；
图3示出根据本发明示例性实施例的基于膜厚曲线确定蓝色的光阻的膜厚的示意图。
具体实施方式
现在将详细地描述本发明的示例性实施例，本发明的示例性实施例的示例示出在附图中。下面通过参照附图描述实施例来解释本发明。然而，本发明可以以许多不同的形式实施，而不应被解释为局限于在此阐述的示例性实施例。相反，提供这些实施例使得本公开将是彻底的和完整的，并且这些实施例将把本发明的范围充分地传达给本领域技术人员。
图1示出根据本发明示例性实施例的测量光阻膜厚的方法的流程图。根据本发明示例性实施例的测量光阻膜厚的方法可被实现在各种可测量光阻膜厚设备(例如，薄膜测量仪)中。
参考图1，在步骤S10，随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测探针划过的每个位置的光阻的膜厚。
具体说来，由于基板上各种颜色光阻的膜厚不一样，探针在划动过程中会上下运动，可通过检测所述运动的幅度确定光阻的膜厚。例如，可将探针与互感线圈相连接，探针的上下运动将带动互感线圈的电压变化。相应地，步骤S10可包括：随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测与探针相连接的互感线圈输出的电压信号，将所述电压信号转换为数字信号，其中，所述数字信号可指示探针划过的每个位置的光阻的膜厚。
例如，对于一个像素单元由红色、绿色和蓝色三个子像素组成的显示屏，在制作过程中，一般将红色、绿色和蓝色的光阻以预定顺序交替均匀地涂布在基板上，每个颜色的光阻涂布的面积一般相同，因此，在步骤S10中，所述探针每划过一定的距离，光阻的颜色会发生变化。
在步骤S20，识别探针划过的每个位置的光阻的颜色。
这里，可通过各种可识别光阻颜色的方法来识别探针划过的每个位置的光阻的颜色。例如，可通过图像传感器拍摄所述探针划过的每个位置的光阻的图像，基于拍摄的图像识别出探针划过的每个位置的光阻的颜色。这里，所述图像传感器可以是用于实现所述测量光阻膜厚的方法的薄膜测量仪上设置的侧视镜头相机。具体说来，可将所述侧视镜头相机的镜头对准基板之后，实时地拍摄探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动的图像，识别图像中探针所在位置的颜色，即可得到探针划过的每个位置的光阻的颜色。如上文所述，由于所述探针每划过一定的距离，光阻的颜色才会发生变化，也可以通过将探针当前位置的颜色与上一位置的颜色进行对比来确定当前位置的颜色，这样可以减少数据处理量。
在步骤S30，输出以识别的光阻的颜色来表示对应光阻的膜厚的膜厚曲线。这里，所述膜厚曲线可指示探针划过的位置的光阻的膜厚变化情况，且所述膜厚曲线可由各颜色光阻的膜厚曲线段按各颜色光阻的涂布方向形成。由于探针每划过一定的距离，光阻的颜色才会发生变化，对于一个像素单元由红色、绿色和蓝色三个子像素组成的显示屏，所述膜厚曲线可由红色光阻的膜厚曲线段、绿色光阻的膜厚曲线段、蓝色光阻的膜厚曲线段循环交替组成。
图2示出根据本发明示例性实施例的膜厚曲线的示意图。图2中的膜厚曲线由红色光阻的膜厚曲线段、绿色光阻的膜厚曲线段、蓝色光阻的膜厚曲线段循环交替组成，其中，红色光阻的膜厚曲线段201表示红色的光阻的膜厚变化情况，绿色光阻的膜厚曲线段202表示绿色的光阻的膜厚变化情况，蓝色光阻的膜厚曲线段203表示蓝色的光阻的膜厚变化情况。
在步骤S40，根据所述膜厚曲线确定各颜色光阻的膜厚。这里，由于所述膜厚曲线由各颜色光阻的膜厚曲线段组成，因此，在步骤S40可基于各颜色光阻的膜厚曲线段来确定对应颜色光阻的膜厚。
具体说来，在步骤S40中，针对任意一种颜色的光阻，可通过以下步骤来确定所述任意一种颜色的光阻的膜厚：在膜厚曲线的所述任意一种颜色的膜厚曲线段中确定两个基准点；确定两个基准点之间的曲线段中的第一个升起或降下的膜边，即确定图形解析的初始位置；根据所述膜边确定所述任意一种颜色的光阻的上表面与基板的上表面之间的段差的低点和高点；获取所述段差的低点和高点之间的高度差，并将所述高度差作为所述任意一种颜色的光阻的膜厚。这里，可将所述两个基准点中的一个基准点作为所述低点。
这里，还可针对所有颜色的光阻，统一在膜厚曲线中确定两个基准点以及段差的低点。
图3示出根据本发明示例性实施例的基于膜厚曲线确定蓝色的光阻的膜厚的示意图。如图3所示，在膜厚曲线中蓝色光阻的膜厚曲线段203中确定两个基准点A、B，确定膜厚曲线段203中的第一个升起的膜边C，根据所述膜边C确定蓝色的光阻的上表面与基板的上表面之间的段差的低点D(在本示例中，将基准点A作为低点D)和高点E(膜厚曲线段203中在膜边C之后的最高点)；获取所述段差的低点D和高点E之间的高度差(这里，所述高度差是指低点D和高点E在竖直方向上的高度差)，并将所述高度差作为蓝色的光阻的膜厚。
本领域技术人员可以理解，还可根据图3所示的方式来确定其他颜色的光阻的膜厚。
在根据本发明示例性实施例的测量光阻膜厚的方法中，通过将膜厚曲线中各种颜色的光阻的膜厚曲线段表示为各自的颜色，显示膜厚曲线时同步显示光阻的颜色，方便测量人员直接辨别各段光阻的颜色，可提高薄膜测量仪的手动测量以及设置菜单时的准确性和效率。
尽管已经参照其示例性实施例具体显示和描述了本发明，但是本领域的技术人员应该理解，在不脱离权利要求所限定的本发明的精神和范围的情况下，可以对其进行形式和细节上的各种改变。

Claims (4)

1.一种测量光阻膜厚的方法，其特征在于，包括：
A、随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测探针划过的每个位置的光阻的膜厚；
B、识别探针划过的每个位置的光阻的颜色；
C、输出已识别的光阻的颜色来表示对应光阻的膜厚的膜厚曲线；
D、根据所述膜厚曲线确定各颜色光阻的膜厚。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤A包括：随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测与探针相连接的互感线圈输出的电压信号，将所述电压信号转换为数字信号，其中，所述数字信号指示探针划过的每个位置的光阻的膜厚。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤B包括：通过图像传感器拍摄所述探针划过的每个位置的光阻的图像，基于拍摄的图像识别出探针划过的每个位置的光阻的颜色。
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述膜厚曲线由各颜色光阻的膜厚曲线段按各颜色光阻的涂布方向组成，其中，在步骤D中，通过以下步骤来确定任意一种颜色的光阻的膜厚：
在所述膜厚曲线的任意一种颜色光阻的膜厚曲线段中确定两个基准点；
确定所述膜厚曲线段中的第一个升起或降下的膜边；
根据所述膜边确定所述任意一种颜色的光阻的上表面与基板的上表面之间的段差的低点和高点；
获取所述段差的低点和高点之间的高度差，并将所述高度差作为所述任意一种颜色的光阻的膜厚。
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Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106370117A (zh) * 2016-10-14 2017-02-01 武汉华星光电技术有限公司 光阻膜厚测量方法及光阻膜厚测量装置
CN106707392B (zh) * 2016-12-07 2019-02-01 友达光电（昆山）有限公司 彩色滤光片及其膜层厚度测量方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102049732A (zh) * 2010-08-30 2011-05-11 清华大学 一种硅片边缘膜厚测量方法
RU2419068C2 (ru) * 2009-07-08 2011-05-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский государственный университет им. А.М. Горького" Способ измерения толщины и устройство для его осуществления
CN103727888A (zh) * 2013-12-27 2014-04-16 深圳市华星光电技术有限公司 彩色滤色片膜厚测量方法及装置
CN105115432A (zh) * 2015-09-01 2015-12-02 武汉华星光电技术有限公司 一种涂布膜厚的检测系统及方法

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007010475A (ja) * 2005-06-30 2007-01-18 Jfe Steel Kk 膜厚測定装置及び方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
RU2419068C2 (ru) * 2009-07-08 2011-05-20 Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Уральский государственный университет им. А.М. Горького" Способ измерения толщины и устройство для его осуществления
CN102049732A (zh) * 2010-08-30 2011-05-11 清华大学 一种硅片边缘膜厚测量方法
CN103727888A (zh) * 2013-12-27 2014-04-16 深圳市华星光电技术有限公司 彩色滤色片膜厚测量方法及装置
CN105115432A (zh) * 2015-09-01 2015-12-02 武汉华星光电技术有限公司 一种涂布膜厚的检测系统及方法

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