CN105788863A - 一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法 - Google Patents

一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105788863A
CN105788863A CN201610121876.0A CN201610121876A CN105788863A CN 105788863 A CN105788863 A CN 105788863A CN 201610121876 A CN201610121876 A CN 201610121876A CN 105788863 A CN105788863 A CN 105788863A
Authority
CN
China
Prior art keywords
polyvinylidene difluoride
nano
preparation
electret
difluoride film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610121876.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105788863B (zh
Inventor
陈钢进
许海东
王振岳
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Taizhou Haotian Industrial Cloth Co ltd
Original Assignee
Hangzhou Dianzi University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hangzhou Dianzi University filed Critical Hangzhou Dianzi University
Priority to CN201610121876.0A priority Critical patent/CN105788863B/zh
Publication of CN105788863A publication Critical patent/CN105788863A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105788863B publication Critical patent/CN105788863B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G7/00Capacitors in which the capacitance is varied by non-mechanical means; Processes of their manufacture
    • H01G7/02Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric
    • H01G7/021Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric having an organic dielectric
    • H01G7/023Electrets, i.e. having a permanently-polarised dielectric having an organic dielectric of macromolecular compounds
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0075Manufacture of substrate-free structures
    • B81C99/008Manufacture of substrate-free structures separating the processed structure from a mother substrate
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B81MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
    • B81CPROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS
    • B81C99/00Subject matter not provided for in other groups of this subclass
    • B81C99/0075Manufacture of substrate-free structures
    • B81C99/0085Manufacture of substrate-free structures using moulds and master templates, e.g. for hot-embossing
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y40/00Manufacture or treatment of nanostructures

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Spectroscopy & Molecular Physics (AREA)
  • Treatments Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)
  • Manufacture Of Macromolecular Shaped Articles (AREA)

Abstract

本发明涉及一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,制备方式包括:(1)将纳米模板清洗烘干后放置到玻璃片上,纳米模板表面设有很多纳米级的凹孔,放置时模板表面朝上;(2)将聚偏氟乙烯溶解形成溶液;(3)将聚偏氟乙烯溶液涂于纳米模板上,放入烤箱烘烤后自然风干,形成聚偏氟乙烯薄膜;(4)将聚偏氟乙烯薄膜与纳米模板分离;(5)在高温下对聚偏氟乙烯薄膜进行电晕极化,极化温度为70℃~200℃,极化时间5‑10分钟。本发明制备的薄膜驻极体表面具有独特的微纳米结构,与模板容易脱离,且该驻极体同时具有静电效应和压电效应。

Description

一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法
技术领域
本发明涉及一种聚合物驻极体的制备方法,尤其涉及一种基于表面微纳米结构改性的同时具有静电和压电效应的聚偏氟乙烯薄膜驻极体的形成技术。
背景技术
驻极体是一类含有取向偶极子(冻结或铁电)或准永久空间电荷(表面或体内)的功能电介质材料。驻极体由于可产生持久稳定的静电场,并可能同时具有静电、压电和热释电效应等物理效应而引起了人们的广泛关注。近年来随着微机电系统(MEMS)的发展,MEMS器件中越来越多地融入了驻极体材料。
MEMS器件中驻极体基材微尺寸体现在两个方面:一是薄膜厚度(法向尺寸);二是平面内电场的图形化分布(如驻极体电场的珊型分布)。这不仅要求驻极体材料在有限的体积元内保持非常高的电荷密度,以维持足够的电场强度;而且对材料的结构、尤其是驻极体的充电方法也提出了新的要求。然而,人们发现宏观驻极体基材所具备的优异性能随着材料尺寸的减小将变差,传统的驻极体充电技术已不适用。寻找新型驻极体基材,发展新的驻极体形成方法,已成为该领域的研究热点。
自从1969年Kawai首次报道了聚偏氟乙烯具有工业应用价值的强压电活性及1971年Bergrnan报道了其显著的热释电效应以来,这类铁电聚合物作为传感器芯片材料及在能源工程、环境净化、声电转换和辐射剂量测量等方面得到了广泛的应用。聚偏氟乙烯压电效应本质上源于晶区内偶极子的取向排列,具有良好压电性能的前提是形成分子呈全反式构象的极性β晶型并具有高结晶度。但在一般情况下,聚偏氟乙烯从溶液中或者熔融状态下结晶都只能得到非极性的α晶型。为了获得具有强压电效应的β晶型,常用的制备方法有高压结晶法、单轴热拉伸法和高电场极化法。然而,由于制备技术上的局限性,上述方法没有能最大限度地发挥聚偏氟乙烯强极性的特点。到目前为止,所获材料的压电效应只有理论值的50%左右,而且使用温度较低,80℃已出现明显的退极化。
传统的聚偏氟乙烯驻极体制备时,先量取一定体积的DMF溶剂,边搅拌边加入质量比为15%的聚偏氟乙烯树脂粉末,慢慢加热搅拌使其完全溶解后冷却至室温,得无色透明溶液。然后以平板玻璃为基板,采用提拉法或旋涂法得到薄膜,再采用单轴热拉伸法和高电场极化法获得聚偏氟乙烯驻极体。
该制备方法能够得到厚度较薄的驻极体,然而聚偏氟乙烯作为传统的聚合物压电材料,虽有质地柔韧、工艺性好等优点,但由于较低的使用温度和较小的压电系数(一般只有17-21pC/N),而且,不具有静电效应,在实际使用过程中灵敏度过低,造成驻极体的使用性能达不到理想效果。
发明内容
为了克服现有技术的不足,本发明提供了一种操作简单,可形成同时具有静电效应和压电效应的、具有独特的表面微纳米结构的聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法。
为了达到目的,一种薄膜驻极体的制备方法,其特征在于以下步骤:
(1)将纳米模板清洗烘干后放置到玻璃片上,纳米模板表面设有很多个纳米级的凹孔,放置时模板表面朝上;
(2)将聚偏氟乙烯溶解形成溶液;
(3)将聚偏氟乙烯溶液涂于纳米模板上,放入烤箱烘烤后自然风干,形成薄膜;
(4)将聚偏氟乙烯薄膜与纳米模板分离;
(5)在高温下对驻极体薄膜进行电晕极化,极化温度为70℃~200℃,极化时间5-10分钟。
作为优选,所述的纳米模板采用带铝金属基底的单通多孔阳极氧化铝纳米模板。
作为优选,所述的凹孔孔径为50nm~200nm、孔间距为50nm~200nm、孔深为100nm~200nm。
作为优选,所述聚偏氟乙烯溶液为聚偏氟乙稀溶解在N,N-二甲基甲酰胺中的溶液。
作为优选,聚偏氟乙烯溶液涂于纳米模板采用流延的方法,聚偏氟乙烯薄膜的厚度控制为100nm。
作为优选,所述的聚偏氟乙烯薄膜与纳米模板分离方式采用在缓水流下剥离的方法。
作为优选,所述电晕极化时,电晕电极与聚偏氟乙烯薄膜表面的距离为3cm。
作为优选,所述电晕极化时,极化温度维持在100℃,用10kV的电压充电5min。
上述制备方法所获得聚偏氟乙烯薄膜驻极体同时具有静电和压电效应。
本发明提出的一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,其有益效果体现在:
(1)本发明提出通过对聚偏氟乙烯薄膜表面的微纳米结构改性,改善聚偏氟乙烯薄膜空间电荷存储性能,利用表面空间电荷与体内偶极电荷的协同作用,诱导β晶型的形成,使材料在保持原有压电效应的同时,能产生较强的静电场,使其同时具有静电效应和压电效应,赋予了聚偏氟乙烯新的、独特的物理特性,拓宽了聚偏氟乙烯膜的应用领域。
(2)本发明方法得到聚偏氟乙烯膜实际中容易剥离,不易造成聚偏氟乙烯膜的损坏。
附图说明
图1是本发明单通多孔阳极氧化铝纳米模板结构示意图。
示意图中的标注说明:1、铝金属基底;2、阻挡层;3、凹孔。
具体实施方式
为进一步了解本发明的内容,结合附图和实施例对本发明作进一步说明,但本发明的保护范围并不限于此。
实施例1
参照图1,准备一个带铝金属基底1的单通多孔阳极氧化铝纳米模板和10cm×10cm的厚玻璃片。其中纳米模板表面密集分布有孔径D=50nm,孔间距L=50nm,深度d=100nm的凹孔3,凹孔3与铝金属基底1之间由培养皿状的阻挡层2隔开,宏观上模板是2cm×2cm的正方形,将玻璃片四周用障碍物堆高,整体呈现出培养皿的效果,然后将纳米模版清洗烘干后,表面朝上放在玻璃片正中央等待使用。
称量好2g聚偏氟乙烯放入烧杯中,用25mL量筒取24mL的N,N-二甲基甲酰胺(DMF)待用。将DMF倒入烧杯中与聚偏氟乙烯混合后用膜封好烧杯口,后放入超声波环境中溶解5-10分钟直至聚偏氟乙烯溶解完毕。所得溶液不稳定,容易挥发,后续流延操作应及时。
室温25℃下,立即将上述待用溶液涂覆于玻璃片上的纳米模板上,使溶液完全覆盖模板并且覆盖大部分玻璃片的面积,确保流延结果得到的膜比较均匀,并且控制流延得到的薄膜厚度为100nm。得到的样品放入60℃烤箱中烘烤90分钟后取出样品,自然风干两天。
两天后小心将黏在一起的模板与流延得到的聚偏氟乙烯膜从玻璃片上剥离,之后小心将模板与所需膜分离。必要时,在缓水流下更方便揭膜。将所得膜清洗烘干等待注极。
将制备好的纳米化聚偏氟乙烯薄膜放在充电电晕放电样品盘上注极。其中,电晕极化注极条件为:在保持温度为100℃的情况下,用10kV的电压充电5min,然后保持电压不变使温度降至室温,电晕电极与样品表面的距离为3cm。
电晕充电结束后即得到表面纳米化的聚偏氟乙烯驻极体样品。
实施例2
参照图1,所述纳米模板表面密集分布凹孔孔径D=100nm,孔间距L=100nm,深度d=100nm,所形成聚偏氟乙烯薄膜驻极体的表面微纳米结构与实施例1略有不同,其余制备方法均与实施例1相同。
实施例3
参照图1,所述纳米模板表面密集分布凹孔孔径D=150nm,孔间距L=100nm,深度d=100nm,所形成聚偏氟乙烯薄膜驻极体的表面微纳米结构与实施例1略有不同,其余制备方法均与实施例1相同。
实施例4
参照图1,所述纳米模板表面密集分布凹孔孔径D=200nm,孔间距L=200nm,深度d=150nm,所形成聚偏氟乙烯薄膜驻极体的表面微纳米结构与实施例1略有不同,其余制备方法均与实施例1相同。
效果实施例
将实施例1-4得到的聚偏氟乙烯薄膜驻极体进行静电效应和压电效应测试,测试结果如下表1:表1
实施例1 实施例2 实施例3 实施例4
纳米模板孔径 50nm 100nm 150nm 200nm
表面电场(MV/cm) 85 120 78 65
压电系数(pC/N) 33 64 31 26
以上示意性的对本发明的实施方式进行了描述,该描述没有限制性,附图中所示的也只是本发明的实施方案之一,实际的结构并不局限于此。所以本领域的普通技术人员受其启发,在不脱离本发明创造宗旨的情况下,不经创造性的设计出与该技术方案相似的结构方式及实施例,均应属于本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,其特征在于以下步骤:
(1)将纳米模板清洗烘干后放置到玻璃片上,纳米模板表面设有很多纳米级的凹孔,放置时模板表面朝上;
(2)将聚偏氟乙烯材料溶解形成聚偏氟乙烯溶液;
(3)将聚偏氟乙烯溶液涂于纳米模板上,放入烤箱烘烤后自然风干,形成聚偏氟乙烯薄膜;
(4)将聚偏氟乙烯薄膜与纳米模板分离;
(5)在高温下对聚偏氟乙烯薄膜进行电晕极化,极化温度为70℃~200℃,极化时间5-10分钟。
2.根据权利要求1所述的一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述的纳米模板采用带铝金属基底的单通多孔阳极氧化铝纳米模板。
3.根据权利要求1所述的一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述的凹孔孔径为50nm~200nm、孔间距为50nm~200nm、孔深为100nm~200nm。
4.根据权利要求1所述的一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述聚偏氟乙烯溶液为聚偏氟乙烯溶解在N,N-二甲基甲酰胺中的溶液。
5.根据权利要求1所述的一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:聚偏氟乙烯溶液涂于纳米模板采用流延的方法,聚偏氟乙烯薄膜的厚度控制为100nm。
6.根据权利要求1所述的一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述的聚偏氟乙烯薄膜与纳米模板分离方式采用在缓水流下剥离的方法。
7.根据权利要求1所述的一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述电晕极化时,电晕电极与聚偏氟乙烯薄膜表面的距离为3cm。
8.根据权利要求1所述的一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法,其特征在于:所述电晕极化时,极化温度维持在100℃,用10kV的电压充电5min。
CN201610121876.0A 2016-02-29 2016-02-29 一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法 Active CN105788863B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610121876.0A CN105788863B (zh) 2016-02-29 2016-02-29 一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610121876.0A CN105788863B (zh) 2016-02-29 2016-02-29 一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105788863A true CN105788863A (zh) 2016-07-20
CN105788863B CN105788863B (zh) 2018-06-12

Family

ID=56387953

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610121876.0A Active CN105788863B (zh) 2016-02-29 2016-02-29 一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105788863B (zh)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106684433A (zh) * 2016-12-08 2017-05-17 长兴天晟能源科技有限公司 锂离子电池用负极浆料粘结剂的添加剂及其制备方法
CN106816631A (zh) * 2017-01-11 2017-06-09 长兴天晟能源科技有限公司 一种锂离子电池用电解液安全添加剂的制备方法
CN106848402A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 长兴天晟能源科技有限公司 一种锂离子电池用高温自阻断电解液
CN106848403A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 长兴天晟能源科技有限公司 一种锂离子电池用电解液安全添加剂
CN106848401A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 长兴天晟能源科技有限公司 一种锂离子电池用高温自阻断电解液的制备方法
CN106848400A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 长兴天晟能源科技有限公司 一种高安全锂离子电池用电解液及锂离子电池
CN107611253A (zh) * 2016-10-25 2018-01-19 王开安 高分子极化膜及电子器件
CN108063183A (zh) * 2017-11-30 2018-05-22 西安交通大学 一种基于纳米压印制备封闭多孔压电驻极体俘能器的方法
CN112606509A (zh) * 2020-12-16 2021-04-06 昆山微电子技术研究院 一种自极化复合驻极体-压电薄膜、其制备方法及压电薄膜传感器

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1785748A1 (en) * 2005-11-10 2007-05-16 C.R.F. Società Consortile per Azioni Anti-reflection nano-metric structure based on anodised porous alumina and method for production thereof
CN101147239A (zh) * 2003-12-19 2008-03-19 北卡罗来纳大学查珀尔希尔分校 使用软或压印光刻法制备隔离的微米-和纳米-结构的方法
US20100060109A1 (en) * 2008-09-04 2010-03-11 University Of Massachusetts Nanotubes, nanorods and nanowires having piezoelectric and/or pyroelectric properties and devices manufactured therefrom
CN102415106A (zh) * 2009-04-24 2012-04-11 拜尔材料科学股份公司 生产电-机换能器的方法
CN103682081A (zh) * 2012-09-14 2014-03-26 纳米新能源(唐山)有限责任公司 压电驻极体薄膜及其制备方法
CN104587839A (zh) * 2014-12-30 2015-05-06 西安建筑科技大学 一种直通孔滤膜及其制备方法

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101147239A (zh) * 2003-12-19 2008-03-19 北卡罗来纳大学查珀尔希尔分校 使用软或压印光刻法制备隔离的微米-和纳米-结构的方法
EP1785748A1 (en) * 2005-11-10 2007-05-16 C.R.F. Società Consortile per Azioni Anti-reflection nano-metric structure based on anodised porous alumina and method for production thereof
US20100060109A1 (en) * 2008-09-04 2010-03-11 University Of Massachusetts Nanotubes, nanorods and nanowires having piezoelectric and/or pyroelectric properties and devices manufactured therefrom
CN102415106A (zh) * 2009-04-24 2012-04-11 拜尔材料科学股份公司 生产电-机换能器的方法
CN103682081A (zh) * 2012-09-14 2014-03-26 纳米新能源(唐山)有限责任公司 压电驻极体薄膜及其制备方法
CN104587839A (zh) * 2014-12-30 2015-05-06 西安建筑科技大学 一种直通孔滤膜及其制备方法

Cited By (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107611253A (zh) * 2016-10-25 2018-01-19 王开安 高分子极化膜及电子器件
CN107611253B (zh) * 2016-10-25 2021-07-20 王开安 高分子极化膜及电子器件
CN106684433A (zh) * 2016-12-08 2017-05-17 长兴天晟能源科技有限公司 锂离子电池用负极浆料粘结剂的添加剂及其制备方法
CN106684433B (zh) * 2016-12-08 2018-11-30 长兴天晟能源科技有限公司 锂离子电池用负极浆料粘结剂的添加剂及其制备方法
CN106816631A (zh) * 2017-01-11 2017-06-09 长兴天晟能源科技有限公司 一种锂离子电池用电解液安全添加剂的制备方法
CN106848402A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 长兴天晟能源科技有限公司 一种锂离子电池用高温自阻断电解液
CN106848403A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 长兴天晟能源科技有限公司 一种锂离子电池用电解液安全添加剂
CN106848401A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 长兴天晟能源科技有限公司 一种锂离子电池用高温自阻断电解液的制备方法
CN106848400A (zh) * 2017-01-11 2017-06-13 长兴天晟能源科技有限公司 一种高安全锂离子电池用电解液及锂离子电池
CN108063183A (zh) * 2017-11-30 2018-05-22 西安交通大学 一种基于纳米压印制备封闭多孔压电驻极体俘能器的方法
CN108063183B (zh) * 2017-11-30 2019-07-12 西安交通大学 一种基于纳米压印制备封闭多孔压电驻极体俘能器的方法
CN112606509A (zh) * 2020-12-16 2021-04-06 昆山微电子技术研究院 一种自极化复合驻极体-压电薄膜、其制备方法及压电薄膜传感器

Also Published As

Publication number Publication date
CN105788863B (zh) 2018-06-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105788863A (zh) 一种聚偏氟乙烯薄膜驻极体的制备方法
Yu et al. Superflexible and lead-free piezoelectric nanogenerator as a highly sensitive self-powered sensor for human motion monitoring
CN108063183B (zh) 一种基于纳米压印制备封闭多孔压电驻极体俘能器的方法
CN103682081B (zh) 压电驻极体薄膜及其制备方法
Balpande et al. Design and low cost fabrication of green vibration energy harvester
CN104734564A (zh) 一种全叉指电极微型压电厚膜振动能量收集器及其制作方法
Joseph et al. Leveraging innate piezoelectricity of ultra-smooth silk thin films for flexible and wearable sensor applications
CN106876577B (zh) Dast柔性复合压电材料及其制备方法
CN105968392A (zh) 一种高含量聚偏氟乙烯压电β相的制备方法
TW201418047A (zh) 壓電薄膜及其製造方法
US20190109275A1 (en) Method of promoting electric output of piezoelectric/conductive hybrid polymer
CN102569641A (zh) 具有压电系数d31的压电驻极体功能膜的制备方法
Zhao et al. Thickness effect on electrical properties of Pb (Zr0. 52Ti0. 48) O3 thick films embedded with ZnO nanowhiskers prepared by a hybrid sol–gel route
US9024510B1 (en) Compliant electrode and composite material for piezoelectric wind and mechanical energy conversions
CN107512909A (zh) 一种完全可卷曲的压电纳米复合发电器的制备方法
Dani et al. A critical review: the impact of electrical poling on the longitudinal piezoelectric strain coefficient
Yin et al. High Energy Storage Performance of All-Inorganic Flexible Antiferroelectric–Insulator Multilayered Thin Films
CN108389910A (zh) 一种基于离子凝胶栅极绝缘层的柔性薄膜晶体管及其制备方法
CN108899415B (zh) 一种柔性铁电复合薄膜的流延-极化制备方法
JP2013188667A (ja) 高圧電率の圧電性樹脂膜を形成する方法及びコーティング溶液
CN106549100A (zh) 一种新型的压电复合薄膜传感器的制备方法
Guo et al. Cell activity manipulation through optimizing piezoelectricity and polarization of diphenylalanine peptide nanotube-based nanocomposite
CN110395768A (zh) 一种柔性自极化铁酸铋基薄膜的制备方法
CN103922735A (zh) 低温晶化的bzt-bct压电薄膜的制备方法
CN110283346A (zh) 聚合物薄膜及其制备方法和电容器

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20200102

Address after: 317200 Industrial Zone, Pingqiao Town, Tiantai County, Zhejiang, Taizhou

Patentee after: TAIZHOU HAOTIAN INDUSTRIAL FABRIC CO., LTD.

Address before: Hangzhou City, Zhejiang province 310018 Xiasha Higher Education Park No. 2 street

Patentee before: Hangzhou Electronic Science and Technology Univ

CP01 Change in the name or title of a patent holder
CP01 Change in the name or title of a patent holder

Address after: 317200 Industrial Zone, Pingqiao Town, Tiantai County, Zhejiang, Taizhou

Patentee after: Taizhou Haotian industrial cloth Co.,Ltd.

Address before: 317200 Industrial Zone, Pingqiao Town, Tiantai County, Zhejiang, Taizhou

Patentee before: TAIZHOU HAOTIAN INDUSTRIAL FABRIC Co.,Ltd.