CN105717558A - 具有蛾眼结构的基板及其制作方法 - Google Patents

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Abstract

本发明揭示一种具有蛾眼结构的基板及其制作方法。该制作方法为:提供基板,基板具有第一表面以及第二表面;以及在第一表面形成多个蛾眼结构。蛾眼结构与基板形成为一体,与基板具有相同的硬度,且通过蛾眼结构将反射光线经由渐变式折射抵消,提高基板的穿透率。

Description

具有蛾眼结构的基板及其制作方法
技术领域
本发明是有关于一种基板,且特别是有关于一种具有蛾眼结构的基板及其制作方法。
背景技术
现有电子显示器于设计显示表面的表层透光基板时,因为使用上的需求,必须采用高透光低反射的透光基板,使显示器的显示内容得以穿透透光基板让使用者观赏,以减少外部光线的反射,但一般的玻璃基板的折射率仍不够低,致使外部光线的反射影响使用者观赏显示器中所显示的内容。
发明内容
本发明提供一种具有蛾眼结构的基板及其制作方法,蛾眼结构可耐触摸且低磨损率,适用于触控显示面板的触控表面。
本发明具有蛾眼结构的基板的制作方法包含有以下步骤:提供基板,基板具有第一表面及第二表面;以及于第一表面形成多个蛾眼结构基板。
在一实施例中,基板上的多个蛾眼结构是以蚀刻形成,因此蛾眼结构的材质与基板相同,且与基板为同一构件,因此蛾眼结构具有的硬度,适用于触控显示面板的触控表面,让使用者正常触控使用,也不会破坏蛾眼结构,延长了触控显示面板的抗反射效果。
此外,本发明提供具有蛾眼结构的基板,包含第一表面及第二表面,第一表面具有多个蛾眼结构,基板与蛾眼结构形成为一体。
蛾眼结构的材质与基板相同,因此硬度也与基板相同,故蛾眼结构具有与基板相同的硬度。
附图说明
图1所示为依据本发明第一实施例的流程图;
图2所示为依据本发明第二实施例的流程图;
图3所示为依据本发明第一实施例的基板的侧视剖视图;
图4所示为依据本发明第二实施例的基板的侧视剖视图;
图5所示为依据本发明一实施例的凹状蛾眼结构的立体图;
图6所示为依据本发明一实施例的凸状蛾眼结构的立体图;
图7所示为依据本发明第三实施例的基板的侧视剖视图;
图8所示为依据本发明第四实施例的基板的侧视剖视图;
图9所示为依据本发明第一实施例的蛾眼结构的排列方式的示意图;
图10所示为依据本发明第二实施例的蛾眼结构的排列方式的示意图;
图11所示为依据本发明第一实施例的基板上凸状蛾眼结构的立体图;
图12所示为依据本发明第二实施例的基板上凸状蛾眼结构的立体图;
图13所示为依据本发明第三实施例的基板上凸状蛾眼结构的立体图;
图14所示为依据本发明第四实施例的基板上凸状蛾眼结构的立体图;
图15所示为依据本发明一实施例中具有蛾眼结构的基板的蛾眼结构代表数字数据的示意图。
具体实施方式
以下配合图式及本发明的实施例,进一步阐述本发明所采取的技术手段。
本发明提出具有蛾眼结构的基板及其制作方法,步骤包括提供具有第一表面以及第二表面的基板;以及于第一表面形成多个蛾眼结构。
请参阅图1所示,具有蛾眼结构的基板的制作方法的第一实施例包含有以下步骤:提供本体11(S11),基板具有第一表面及第二表面;于第一表面设置罩幕层111(S12);于罩幕层111上设置光阻层112(S13);对光阻层112进行压印以于光阻层112上产生多个蛾眼结构图案并对其曝光(S14);对本体11的第一表面进行蚀刻,且至少蚀刻至本体11(S15);去除残余的光阻层112及罩幕层111(S16),以在第一表面上形成多个蛾眼结构121。
本发明具有蛾眼结构的基板的制作方法通过先在本体11上的光阻层112压印出蛾眼结构图案,并对本体11的第一表面进行蚀刻,且至少蚀刻至本体11,以使本体11被蚀刻而形成对应的多个蛾眼结构121,再去除尚未被蚀刻的残余的光阻层112及罩幕层111,便可于本体11上形成有蛾眼结构121。且因为蛾眼结构121直接形成于本体11,与本体11实质上为同一构件及材质,本体11使得蛾眼结构121与本体11同样地具有的硬度与耐磨度。
其中,上述第一表面设置罩幕层111(S12)的步骤并非必然的步骤,视工艺方式而定,在一实施例中,光阻层112也可直接设置于第一表面上,且不需要罩幕层111,即本体11可直接对光阻层进行压印以于光阻层112上产生多个蛾眼结构图案并对其曝光(S14)。
因此,当上述本体11应用于触控显示面板时,蛾眼结构121便可直接形成触控显示面板的触控面,且蛾眼结构121因具有的硬度与耐磨度,不会因为使用者的触摸使用造成磨损。此外,通过蛾眼结构121可将外部光线通过渐变式折射(gradedrefractive)抵消,使外部光线照射在本体11时,不会有过多的反射光线反射出,让使用者可以清楚的观赏触控显示面板显示的内容。同时,因基板具有蛾眼结构121,触控显示面板也不易有色偏的情形产生。且因为本体11具有蛾眼结构的关系,使用者于触控显示面板的触控面进行触控操作时,因触控面上具有微小且凹凸不平的多个蛾眼结构121,将使接触操作时手指与触控面的接触面积减少,进而减少手指与触控面的摩擦力,使触控面具有较滑顺的触感。
进一步而言,请参阅图2第二实施例所示,本发明具有蛾眼结构的基板的制作方法包含有以下步骤:提供本体11(S21);于本体11的相对的第一表面及第二表面分别设置罩幕层111(S22);于二罩幕层111上分别设置光阻层112(S23);对二光阻层112分别进行压印以于二光阻层112上分别产生多个蛾眼结构图案并对其曝光(S24);对基板的相对的第一表面及第二表面进行蚀刻,且至少蚀刻至本体11(S25);去除残余的光阻层及罩幕层,以在第一表面及第二表面上分别形成多个蛾眼结构121(S26)。
在制作方法的第二实施例中,同时对本体11相对的第一表面及第二表面同时制作蛾眼结构121,使本体11相对的第一表面及第二表面均具有蛾眼结构121,以加强本体11的抗反射能力,且同时增强本体11的透光度。当触控显示面板使用本实施例制作的本体11作为其触控面时,本体11相对的第一表面及第二表面均具有蛾眼结构121,且分别为触控显示面板的入光面及出光面。出光面即为触控显示面板的触控面,形成于出光面的蛾眼结构121用以将照射至出光面的光线经由渐变式折射抵消,减少外部光线反射至使用者的眼睛,降低外部光线对使用者的干扰,让使用者清楚观赏触控显示面板的显示内容。而形成于入光面的蛾眼结构121用以减少触控显示面板的背光源照射入光面的反射,并增加背光源穿透本体11的穿透率,让使用者更舒适的观看触控显示面板。
于上述制作方法的第一及第二实施例中,本体11可为透明且莫氏硬度≧8的材料基板,较佳例如:具有氧化铝(AlmOn)的透明基板,其中m和n为自然数,且为蓝宝石基板(Al2O3)、铝酸镁(MgAl2O4)结晶基板或氮氧化铝(AlON)基板,而基板可为平面透镜基板、凸透镜基板、凹透镜基板、凹凹透镜基板、凹凸透镜基板或凸凸透镜基板,但不以此为限。罩幕层的材料为氧化硅(SiO2)或氧化镍(NiO)或其他阻挡材料。
在一实施例中,压印方式为纳米压印(NanoimprintLithography;NIL),或为黄光工艺进行曝光显影于光阻层产生蛾眼结构图案,此外,蛾眼结构图案为纳米等级,且其图案的大小视压印方式决定,在一实施例中,采用纳米压印压印出的蛾眼结构图案的大小介于200纳米至300纳米之间,本发明不以此为限。
在一实施例中,制作蛾眼结构图案时,可以激光雕刻第一表面或第二表面,以形成蛾眼结构121,且利用激光雕刻可适用于曲面的本体11,以雕刻出蛾眼结构。在一实施例中,蚀刻方式较佳为干蚀刻或湿蚀刻,或为感应耦合电浆离子硅蚀刻(InductivelyCoupledPlasmaEtching;ICPetching),本发明不以此为限。
请参阅图3所示,为本发明采用上述制作方法的第一实施例制作而成的具有蛾眼结构的基板10,基板10包含有本体11及第一蛾眼部12a,第一蛾眼部12a具有多个蛾眼结构121且形成于本体11的第一表面,而蛾眼结构121与本体11形成为一体。
请参阅图4所示,为采用上述制作方法的第二实施例制作而成的具有蛾眼结构的基板10,在第二实施例中,本体11的第一表面及与第一表面相对的第二表面分别形成第一蛾眼部12a、第二蛾眼部12b,以进一步加强具有蛾眼结构的基板10的抗反射与透射能力,使外来光线的反射光线经由渐变式折射抵消,并提高基板穿透率,且第一蛾眼部12a及第二蛾眼部12b与本体11为一体,其硬度与耐磨度都与本体11相同,且其硬度与耐磨度均强于光阻层112曝光硬化后的强度,故能达到抗磨损的效果。
在一实施例中,请参阅图5及图6所示,蛾眼结构121可为凹状蛾眼结构1211,如图5所示;或如图6所示的凸状蛾眼结构1212。凹状蛾眼结构1211先于第一表面上压印特殊图案,如圆形,而压印后的特殊图案即于光阻层12上内凹形成凹槽,因此,特殊图案上的光阻层12较薄而第一表面未压印特殊图案的区域的光阻层12较厚,于蚀刻时,因厚薄不同的光阻层12的抗蚀刻能力不同而形成凹槽状的凹状蛾眼结构1211;凸状蛾眼结构1212则相反,在第一表面上对特殊图案外的区域进行压印,因此,特殊图案上的光阻层12较厚而第一表面未压印特殊图案的区域的光阻层12较薄,在蚀刻时,因厚薄不同的光阻层12的抗蚀刻能力不同而形成凸出状的凸状蛾眼结构1212。
请一并参阅图4、图7及图8,本发明具有蛾眼结构的基板10的第二至第四实施例,如图4所示,形成于本体11二个相对的第一蛾眼部12a及第二蛾眼部12b上的多个蛾眼结构121可分别为凸状蛾眼结构1212与凸状多个蛾眼结构1212;如图7所示,或分别为凹状蛾眼结构1211与凹状蛾眼结构1211;如图8所示,或分别为凹状蛾眼结构1211与凸状蛾眼结构1212,本发明不以此为限。
在一实施例中,请参阅图9及图10所示,蛾眼结构121形成于本体11的第一表面或第二表面时,其排列方式具有四方排列及紧密排列两种,但并不以此为限。四方排列方式如图9所示,蛾眼结构121呈矩阵排列且任二相邻列的相邻蛾眼结构121呈对齐排列设置,使任四相邻的蛾眼结构121中心于俯视时,呈正方形。紧密排列方式如图10所示,蛾眼结构121呈矩阵排列且二相邻列之间的相邻蛾眼结构121呈交错排列设置,使任三相邻的蛾眼结构121中心于俯视时,呈正三角形,本发明不以此为限。
请参阅图11至图14所示,为凸状蛾眼结构1212的第一至第四实施例。如图11所示,凸状蛾眼结构1212第一实施例呈三角柱状,且紧密排列。如图12所示,凸状蛾眼结构1212第二实施例呈圆柱状,且圆柱状的凸状蛾眼结构1212的排列方式可为四方排列或紧密排列,本发明不以此为限。
如图13所示,第三实施例所示的凸状蛾眼结构1212略呈半球状,并于其顶面形成下凹部,在下凹部的底面形成凸部,形成由凸状蛾眼结构1212的中心向外依序呈凸凹凸的皇冠状凸状蛾眼结构1212。如图14所示,凸状蛾眼结构1212第四实施例略呈半球状,并于其顶面形成下凹部,形成由凸状蛾眼结构1212的中心向外依序呈凹凸的火山状凸状蛾眼结构1212,本发明不以此为限。
请参阅图15所示,本发明揭示的蛾眼结构121可作为光碟或类似储存媒体的记录手段,用以代表数字数据,举例来说,当本体11作为光碟片时,在本体11的第一表面则以特定的排列方式制作蛾眼部12的多个蛾眼结构121,而蛾眼部12中同时具有凹状蛾眼结构1211及凸状蛾眼结构1212,本发明不以此为限。
举例来说,凸状蛾眼结构1212可代表数字1,而凹状蛾眼结构1211则代表数字0,反之亦然。如图15所示,蛾眼结构121表示01010001的数字数据,本发明不以此为限。
凹状蛾眼结构1211或凸状蛾眼结构1212以特定的排列方式形成于本体11的第一表面,可作为储存于光碟中的数字数据。进一步而言,当本体11的第一表面作为触控装置的触控面时,形成于本体11第一表面的多个蛾眼结构也可以特定方式排列,用以代表数字数据,作为辨识资讯进行资讯保全或个人密码。
此外,本发明制作蛾眼结构121的方式若以纳米压印方式制作,,当作为光碟或类似储存媒体的记录手段来储存数字数据时,将因蛾眼结构121的细小颗粒,而可比习知同样大小的储存媒体记载更多的数字数据,以进一步提高储存媒体的储存容量。进一步而言,在本体11的第一表面还可包括一层相变化材料层,通过热变化的方式使储存媒体可重复写入数据。在一实施例中,相变化材料可为锗-锑-碲(germanium-antimony-tellurium)合金材料,本发明不以此为限。
采用本发明制作方法制作的蛾眼结构121为与本体11形成为一体,故具有与本体11相同的硬度。为此,当选择以蓝宝石基板或以更硬的基板作为本体11时,蛾眼结构121为具有相当硬度的结构,故不会通过使用者的触摸使用而导致蛾眼结构121的损毁。与现有技术中采用经曝光后硬化的光阻作为蛾眼结构的方式大为不同,且本发明的蛾眼结构具有高强度的耐刮性,可直接使用于触控显示面板的触控面,让使用者直接触摸使用,并可减少摩擦力,以增加触控面的滑顺程度,提供使用者更为滑顺的触感。
虽然本发明已以实施例揭露如上,然其并非用以限定本发明,任何所属技术领域中具有通常知识者,在不脱离本发明的精神和范围内,当可作些许的更动与润饰,故本发明的保护范围当视权利要求书所界定者为准。

Claims (12)

1.一种具有蛾眼结构的基板的制作方法,包含以下步骤:
提供本体,所述本体具有第一表面以及第二表面;以及
于所述第一表面形成多个蛾眼结构。
2.根据权利要求1所述的具有蛾眼结构的基板的制作方法,其特征在于,其中所述第一表面的蛾眼结构由以下步骤形成:
对光阻层进行压印以于所述光阻层上产生多个蛾眼结构图案并对其曝光;
对所述第一表面进行蚀刻,且至少蚀刻至所述本体;
去除残余的光阻层,以在所述第一表面上形成多个蛾眼结构。
3.根据权利要求1所述的具有蛾眼结构的基板的制作方法,其特征在于,其中所述第一表面的蛾眼结构由以下步骤形成:
对所述第一表面进行激光雕刻制作所述这些蛾眼结构。
4.根据权利要求1所述的具有蛾眼结构的基板的制作方法,其特征在于,其中所述这些蛾眼结构用以代表数字数据。
5.根据权利要求1所述的具有蛾眼结构的基板的制作方法,其特征在于,其中所述本体为具有氧化铝AlmOn的透明基板,m和n为自然数。
6.根据权利要求1所述的具有蛾眼结构的基板的制作方法,其特征在于,其中所述本体的第一表面上进一步设置有一层相变化材料层。
7.根据权利要求1所述的具有蛾眼结构的基板的制作方法,其特征在于,其中所述这些蛾眼结构的大小介于200纳米至300纳米之间。
8.一种具有蛾眼结构的基板,包含有:
本体,具有第一表面以及第二表面,所述第一表面具有多个蛾眼结构,所述本体与所述这些蛾眼结构为同一材质。
9.根据权利要求8所述的具有蛾眼结构的基板,其特征在于,其中所述第二表面还包括所述这些蛾眼结构。
10.根据权利要求8所述的具有蛾眼结构的基板,其特征在于,其中所述这些蛾眼结构的大小介于200纳米至300纳米之间。
11.根据权利要求8所述的具有蛾眼结构的基板,其特征在于,其中所述基板为具有氧化铝AlmOn的透明基板,m和n为自然数。
12.根据权利要求8所述的具有蛾眼结构的基板,其特征在于,其中所述本体的第一表面上进一步设置有一层相变化材料层。
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