CN105619228A - 一种不规则零件的圆形密封面抛光治具 - Google Patents
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Abstract
一种不规则零件的圆形密封面抛光治具，属于半导体表面处理加工技术领域。包括与抛光转盘固定连接的转盘底座、横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母，转盘底座内沿圆周对称开有四个径向轨道，在转盘底座侧壁上对应径向轨道开有安装横向固定杆的螺纹孔，所述转盘底座的底部设有可装夹在抛光转盘上的固定柱，使用时，不规则零件置于转盘底座四个径向轨道之间，纵向固定杆为四个，分别置入径向轨道内，采用螺母固定，通过横向固定杆、纵向固定杆及螺母固定零件，使零件的待抛圆形密封面的圆心与转盘底座圆心重合。本发明能有效对不规则零件的圆形密封面进行转盘抛光。拆卸简便易固定，进一步提升了密封面的抛光效率及抛光品质。
Description
技术领域
本发明属于半导体表面处理加工技术领域，特别是涉及一种不规则零件的圆形密封面抛光治具。适用于IC装备(半导体器件、集成电路芯片和平板显示器的专用生产设备)制造业的不规则零件圆形密封面抛光的治具。
背景技术
目前，在IC装备制造行业中，对零部件的密封性要求越来越高，越来越多的零件需要加工密封面以满足整机的密封性能要求。对于规则圆形零件而言，其表面上的圆形密封面可以通过转盘轻而易举地加工出来。但是对于不规则地零件而言，其表面上的圆形密封面则只能通过人工手动加工。鉴于上述情况，有必要设计一种同样可以使用转盘加工不规则零件上圆形密封面的抛光治具。
发明内容
针对上述存在的技术问题，本发明提供一种不规则零件的圆形密封面抛光治具，可以通过该抛光治具采用转盘加工不规则零件的圆形密封面。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
本发明一种不规则零件的圆形密封面抛光治具，包括与抛光转盘固定连接的转盘底座、横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母，转盘底座内沿圆周对称开有四个径向轨道，在转盘底座侧壁上对应径向轨道开有安装横向固定杆的螺纹孔，所述转盘底座的底部设有可装夹在抛光转盘上的固定柱，使用时，不规则零件置于转盘底座四个径向轨道之间，纵向固定杆为四个，分别置入径向轨道内，采用螺母固定，通过横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母固定零件，使零件的待抛圆形密封面的圆心与转盘底座圆心重合。
进一步地，所述径向轨道截面结构与纵向固定杆配合，所述纵向固定杆在径向轨道中自由移动。
进一步地，所述横向固定杆的圆柱杆上带有与转盘底座侧壁螺纹孔相匹配的螺纹。
进一步地，所述纵向固定杆的柄端一侧为与零件接触，另一侧与横向固定杆接触，杆端开有与纵向固定杆螺母相匹配的螺纹。
本发明的有益效果为：
1.本发明能有效对不规则零件的圆形密封面进行转盘抛光。其中转盘底座的底部固定圆柱可装夹在抛光转盘上。而横向固定杆和纵向固定杆又可将不规则零件紧固在转盘底座上，从而可以采用转盘抛光不规则零件的圆形密封面。
2.本发明既拆卸简便且易固定，在解决不规则零件的圆形密封面抛光问题同时，进一步提升了密封面的抛光效率及抛光品质。本发明尤其适用于不规则零件的圆形密封面的抛光。
附图说明
图1为本发明转盘底座结构示意图。
图2为图1的左视图。
图3为本发明纵向固定杆结构示意图。
图4为本发明横向固定杆结构示意图。
图中：1.转盘底座，2.横向固定杆，3.纵向固定杆，31.柄端，32.杆端，4.零件放置处，5.轨道，6.固定柱，7.螺纹孔。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明进行详细描述。
实施例：如图1所示，本发明包括与抛光转盘固定连接的转盘底座1、横向固定杆2、纵向固定杆3及纵向固定杆螺母4，转盘底座1内沿圆周对称开有四个径向轨道5，在转盘底座1侧壁上对应径向轨道5开有安装横向固定杆2的螺纹孔，所述转盘底座1的底部设有可装夹在抛光转盘上的固定柱6，使用时，不规则零件置于转盘底座1的四个径向轨道5之间，纵向固定杆3为四个，分别置入径向轨道5内，并采用螺母固定，通过横向固定杆2、纵向固定杆3及纵向固定杆螺母固定零件，使零件的待抛圆形密封面的圆心与转盘底座1圆心重合。
如图1、图3所示，所述径向轨道5截面结构与纵向固定杆3配合，为由上到下为逐渐变小的三阶阶梯截面，所述纵向固定杆3在径向轨道5中自由移动。如图3所示，所述纵向固定杆3的柄端31一侧为与零件接触，另一侧与横向固定杆2接触，杆端32开有与纵向固定杆3螺母相匹配的螺纹。
如图4所示，所述横向固定杆2的圆柱杆上带有与转盘底座1侧壁螺纹孔7相匹配的螺纹。
本发明的应用：
在抛光时，首先将转盘底座1上的底部固定圆柱6装夹到自动机械转盘上并通过扳手紧固二者；然后，调整不规则零件的放置位置，使其待抛圆形密封面的圆心与转盘底座1圆心重合；当调整完毕后，分别将四个纵向固定杆3从转盘底座1上方插入轨道5中，并从转盘底座1下方分别将4个螺母4锁入纵向固定杆3的螺纹上，注意不要紧固转盘底座1与纵向固定杆3；此时，将横向固定杆2的螺纹杆从转盘底座1的螺纹孔7中旋入，并分别调整横向固定杆2与纵向固定杆3、纵向固定杆3与零件之间的相互作用力，从而达到紧固零件的目的；最后，待零件的位置及受力调整好后，锁紧纵向固定杆的固定螺母4即可。
Claims (4)
1.一种不规则零件的圆形密封面抛光治具，其特征在于：包括与抛光转盘固定连接的转盘底座、横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母，转盘底座内沿圆周对称开有四个径向轨道，在转盘底座侧壁上对应径向轨道开有安装横向固定杆的螺纹孔，所述转盘底座的底部设有可装夹在抛光转盘上的固定柱，使用时，不规则零件置于转盘底座四个径向轨道之间，纵向固定杆为四个，分别置入径向轨道内，采用螺母固定，通过横向固定杆、纵向固定杆及纵向固定杆螺母固定零件，使零件的待抛圆形密封面的圆心与转盘底座圆心重合。
2.按照权利要求1所述圆形密封面抛光治具，其特征在于：所述径向轨道截面结构与纵向固定杆配合，所述纵向固定杆在径向轨道中自由移动。
3.按照权利要求1所述圆形密封面抛光治具，其特征在于：所述横向固定杆的圆柱杆上带有与转盘底座侧壁螺纹孔相匹配的螺纹。
4.按照权利要求1所述圆形密封面抛光治具，其特征在于：所述纵向固定杆的柄端一侧为与零件接触，另一侧与横向固定杆接触，杆端开有与纵向固定杆螺母相匹配的螺纹。
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