CN105573175B - 一种炉管Gauge触发点的监控方法 - Google Patents

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    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/04—Programme control other than numerical control, i.e. in sequence controllers or logic controllers

Abstract

本发明公开了一种炉管Gauge触发点的监控方法，包括建立量测仪表与一控制单元之间的连接，在控制单元设定小于Gauge触发点设定值的一阈值，并设置一警报模块，控制单元将从量测仪表接收的特气压力值与阈值进行比较，并根据信号灯的亮灯或关灯状态，判断Gauge触发点是否偏移，并在偏移时控制延迟信号灯的报警触发时间，同时触发警报模块报警，可实现自动报警监控Gauge触发点偏移的问题，从而实现对Gauge触发点进行自动监控，提前预防产品报废风险，方便管理，并可起到安全生产的良好效果。

Description

一种炉管Gauge触发点的监控方法
技术领域
本发明涉及半导体集成电路设备维护技术领域，更具体地，涉及一种可对炉管的Gauge(量测)触发点偏移进行监控的方法。
背景技术
目前用于对半导体晶圆(Wafer)进行例如扩散处理的炉管，如日本东京电子公司(TEL)Formula机型的炉管，在特气管路中设有若干针对特气压力进行监控的量测仪表，对管路中的特气压力进行检测，以便当管路中特气压力达到量测触发点(Gauge TriggerPoint)时发出工艺中止的警报(RecipeAbort)，避免晶圆报废。
量测仪表设有Gauge触发点的调校点、信号灯和量测端。其中，量测端可连接万用表的测头，用于对触发点的设定值进行量测(万用表以电压形式显示，与触发点的压力设定值对应，即1V＝1Torr)；调校点用于对触发点的设定值(以压力值形式表示)进行调节，并可在万用表的表盘显示调节后对应的电压值；信号灯在管路中特气压力未超出触发点的设定值时为亮灯状态，而在管路中特气压力超出触发点的设定值时为关灯状态。量测仪表与机台的控制系统相连，以在管路中特气压力超出触发点的设定值时通知控制系统发出“Recipe Abort”警报，中止工艺。
然而，上述的例如Formula机型的炉管，其Gauge触发点只是在安装机台的时候检测一次，之后就没有检测机制来监控和有效管理Gauge触发点。而随着时间的推移以及炉管机台环境中各种因素的影响，触发点的设定值会发生偏移(即Gauge触发点偏移)的问题。例如，某Gauge触发点的设定值为5Torr(即管路中的特气压力管控值为5Torr，万用表的显示值对应为5V)，如设定值偏移为4Torr时，当管路中的特气压力达到4Torr时，信号灯即提前由亮灯状态变为关灯状态；此时，控制系统将错误地发出“Recipe Abort”警报，该管路中的特气将打不开，且工艺被中止，如此会带来晶圆报废的风险，且还具有安全隐患。
由于目前机台自身没有侦测Gauge触发点偏移的手段，因而经常发生Gauge触发点被错误触发而报警的问题，对安全生产也造成了一定的影响。鉴于Gauge触发点在实际生产过程中的作用非常关键，如果能够时刻监控Gauge触发点偏移的问题，并能够实现自动报警，这样就可实现对Gauge触发点的自动监控，从而可以提前预防产品报废风险，方便管理，并起到安全生产的良好效果。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种炉管Gauge触发点的监控方法，可实现对Gauge触发点偏移时的自动报警监控。
为实现上述目的，本发明的技术方案如下：
一种炉管Gauge触发点的监控方法，所述炉管的特气管路中设有针对特气压力进行监控的量测仪表，所述量测仪表设有Gauge触发点，并设有Gauge触发点对应的调校点、信号灯和量测端，所述信号灯在特气压力未超出触发点的设定值时为亮灯状态、在超出触发点的设定值时为关灯状态并触发报警，包括以下步骤：
步骤一：建立量测仪表与一控制单元之间的连接；
步骤二：在控制单元设定小于Gauge触发点设定值的一阈值，并设置一警报模块；
步骤三：控制单元将从量测仪表接收的特气压力值与阈值进行比较，并根据信号灯的亮灯或关灯状态，判断Gauge触发点是否偏移，并在偏移时控制延迟信号灯的报警触发时间，同时触发警报模块报警；
其中，通过在所述控制单元设置软件互锁编程模块，设定阈值并进行软件互锁语句编程，实现对炉管Gauge触发点的监控。
优选地，当发生特气压力值小于阈值、同时信号灯处于关灯状态时，控制单元判断Gauge触发点偏移；当发生特气压力值大于阈值、同时信号灯处于亮灯状态时，控制单元判断Gauge触发点未偏移。
优选地，所述控制单元连接炉管的控制系统。
优选地，所述炉管为Formula机型。
优选地，所述阈值小于Gauge触发点设定值10％以内。
优选地，所述软件互锁编程模块连接警报模块。
优选地，所述软件互锁编程模块连接量测仪表。
优选地，对量测仪表Gauge触发点是否偏移的状况进行周期性人工检测及校准；方法包括：利用一万用表，将万用表与量测仪表的量测端进行连接，读取万用表的电压显示值，并与Gauge触发点设定值比较，进行周期性人工检测；当电压显示值相对Gauge触发点设定值偏移时，通过量测仪表的调校点进行调节，使得调节后的电压显示值与Gauge触发点设定值相符，完成校准；其中，电压显示值与Gauge触发点设定值的数值之间为一一对应关系。
从上述技术方案可以看出，本发明通过控制单元将从量测仪表接收的特气压力值与阈值进行比较，并根据量测仪表信号灯的亮灯或关灯状态，判断Gauge触发点是否偏移，并在偏移时控制延迟信号灯的报警触发时间,同时触发警报模块报警。本发明可利用软件互锁语句编程，并通过软件互锁编程模块实现对炉管Gauge触发点的自动监控；在此基础上，还可增加进行周期性人工检测及校准。本发明可实现自动报警监控Gauge触发点偏移的问题，从而实现对Gauge触发点进行自动监控，提前预防产品报废风险，方便管理，并可起到安全生产的良好效果。
附图说明
图1是本发明一种炉管Gauge触发点的监控方法流程图。
具体实施方式
下面结合附图，对本发明的具体实施方式作进一步的详细说明。
在以下本发明的具体实施方式中，请参阅图1，图1是本发明一种炉管Gauge触发点的监控方法流程图。如图1所示，本发明提供了一种炉管Gauge触发点的监控方法。所述炉管的特气管路中设有针对特气压力进行监控的量测仪表。例如，所述炉管可以采用日本东京电子公司(TEL)Formula机型的炉管，当然，也可以是其他公司或其他机型的炉管。该Formula机型的炉管在其特气管路中设有若干针对特气压力进行监控的量测仪表，对管路中的特气压力进行检测，以便当管路中特气压力达到Gauge触发点(Gauge TriggerPoint，量测触发点)时发出工艺中止的警报(Recipe Abort)，避免晶圆报废。
例如，可在Formula机型炉管特气管路的真空排气口设有名称为VG3的气压量测仪表，用于对真空排气口处的特气压力进行监控。量测仪表设有Gauge触发点的调校点、信号灯和量测端。其中，量测端可连接万用表的测头，用于对触发点的设定值进行量测(万用表以电压形式显示，与触发点的压力设定值的数值之间是一一对应的关系，即1V＝1Torr)；调校点用于对触发点的设定值(以压力值形式表示)进行调节，并可在万用表的表盘显示调节后对应的电压值；信号灯在管路中特气压力未超出触发点的设定值时为亮灯状态，而在管路中特气压力超出触发点的设定值时为关灯状态并触发报警。量测仪表与炉管机台的控制系统相连，以在管路中特气压力超出触发点的设定值时通知控制系统发出“Recipe Abort”警报，中止工艺。
请参阅图1。本发明的一种炉管Gauge触发点的监控方法，可包括以下步骤：
步骤一：建立量测仪表与一控制单元之间的连接。
可以将控制单元连接至炉管的控制系统，从而可在控制系统的统一控制下进行运行。
步骤二：在控制单元设定小于Gauge触发点设定值的一阈值，并设置一警报模块。
可以利用Formula机型炉管本身设有的软件互锁程序(softwareinterlock)形成控制单元，在所述控制单元设置软件互锁编程模块，从而可以进行软件互锁语句编程，并实现对炉管Gauge触发点的监控。在进行编程时，需要先设定一个小于Gauge触发点设定值的阈值。其中，所述阈值为小于Gauge触发点设定值10％以内的数值，且应满足炉管特气管路的适用工作压力条件。例如，VG3的Gauge触发点设定值为5Torr，则阈值可以设定为4.5Torr或之上的数值。
控制单元还设置有警报模块，将所述软件互锁编程模块连接警报模块，以通过软件互锁编程模块实现对警报模块的触发报警及关闭警报。即通过在软件互锁程序中设置报警(alarm)语句形成警报模块。将所述软件互锁编程模块连接量测仪表，以通过软件互锁编程模块实现对量测仪表、例如VG3检测出的特气压力值进行采集和判断，并对VG3的报警进行控制。
步骤三：控制单元将从量测仪表接收的特气压力值与阈值进行比较，并根据信号灯的亮灯或关灯状态，判断Gauge触发点是否偏移，并在偏移时控制延迟信号灯的报警触发时间，同时触发警报模块报警。
例如，控制单元将从VG3接收的特气压力值与阈值4.5Torr进行比较，并根据信号灯的亮灯或关灯状态，判断其Gauge触发点是否偏移。当发生采集的特气压力值小于阈值(例如特气压力值为4.2Torr)，同时信号灯处于关灯状态时，控制单元判断VG3的Gauge触发点发生了偏移。此时，控制单元即通过警报模块触发警报；同时，由于管路中实际的特气压力尚未达到真正Gauge触发点的设定值，因而此时的特气管路不应关闭，因此，控制单元将控制延迟VG3信号灯的报警触发时间。
而当发生特气压力值大于阈值(例如特气压力值为4.7Torr)、同时信号灯处于亮灯状态时，说明该特气压力值尚未达到Gauge触发点，则控制单元将判断Gauge触发点未发生偏移。此时，控制单元即控制警报模块处于报警关闭状态。
作为一优选的实施方式，还可以对量测仪表Gauge触发点是否偏移的状况进行周期性人工检测及校准；其方法例如：使用万用表检测Gauge触发点是否偏移，将万用表与量测仪表例如VG3的量测端进行连接，读取万用表的电压显示值，并与Gauge触发点设定值比较，进行周期性人工检测；当电压显示值相对Gauge触发点设定值偏移(例如VG3的Gauge触发点设定值为5Torr，电压显示值为4.8V)时，可通过VG3的调校点进行调节，并可通过万用表的电压变化值掌握调节的尺度；其中，电压显示值与Gauge触发点设定值的数值之间为一一对应关系。通过调节，最终使得调节后的电压显示值与Gauge触发点设定值相符，完成校准。
通过本发明的上述方法，可在实施通过软件互锁编程模块对Gauge触发点是否偏移进行侦测、以及通过警报模块在发生偏移时进行提前报警的基础上，通过对Gauge触发点增设人工周期性检测及校准，形成三道防线，从而确保了Gauge触发点的控制精度及有效性。
通过本发明的上述方法，经人为手动调整Gauge触发点，模拟Gauge触发点偏移现象，机台成功自动报警，充分表明本发明具有实际的有效控制效果。
综上所述，本发明通过控制单元将从量测仪表接收的特气压力值与阈值进行比较，并根据量测仪表信号灯的亮灯或关灯状态，判断Gauge触发点是否偏移，并在偏移时控制延迟信号灯的报警触发时间,同时触发警报模块报警。本发明可利用软件互锁语句编程，并通过软件互锁编程模块实现对炉管Gauge触发点的自动监控；在此基础上，还可增加进行周期性人工检测及校准。本发明可实现自动报警监控Gauge触发点偏移的问题，从而实现对Gauge触发点进行自动监控，提前预防产品报废风险，方便管理，并可起到安全生产的良好效果。
以上所述的仅为本发明的优选实施例，所述实施例并非用以限制本发明的专利保护范围，因此凡是运用本发明的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本发明的保护范围内。

Claims (9)

1.一种炉管Gauge触发点的监控方法，所述炉管的特气管路中设有针对特气压力进行监控的量测仪表，所述量测仪表设有Gauge触发点，并设有Gauge触发点对应的调校点、信号灯和量测端，所述信号灯在特气压力未超出触发点的设定值时为亮灯状态、在超出触发点的设定值时为关灯状态并触发报警，其特征在于，包括以下步骤：
步骤一：建立量测仪表与一控制单元之间的连接；
步骤二：在控制单元设定小于Gauge触发点设定值的一阈值，并设置一警报模块；
步骤三：控制单元将从量测仪表接收的特气压力值与阈值进行比较，并根据信号灯的亮灯或关灯状态，判断Gauge触发点是否偏移，并在偏移时控制延迟信号灯的报警触发时间，同时触发警报模块报警；
其中，通过在所述控制单元设置软件互锁编程模块，设定阈值并进行软件互锁语句编程，实现对炉管Gauge触发点的监控。
2.根据权利要求1所述的炉管Gauge触发点的监控方法，其特征在于，当发生特气压力值小于阈值、同时信号灯处于关灯状态时，控制单元判断Gauge触发点偏移；当发生特气压力值大于阈值、同时信号灯处于亮灯状态时，控制单元判断Gauge触发点未偏移。
3.根据权利要求1所述的炉管Gauge触发点的监控方法，其特征在于，所述控制单元连接炉管的控制系统。
4.根据权利要求1或3所述的炉管Gauge触发点的监控方法，其特征在于，所述炉管为Formula机型。
5.根据权利要求1所述的炉管Gauge触发点的监控方法，其特征在于，所述阈值小于Gauge触发点设定值10％以内。
6.根据权利要求1所述的炉管Gauge触发点的监控方法，其特征在于，所述软件互锁编程模块连接警报模块。
7.根据权利要求6所述的炉管Gauge触发点的监控方法，其特征在于，所述软件互锁编程模块连接量测仪表。
8.根据权利要求1所述的炉管Gauge触发点的监控方法，其特征在于，还包括：对量测仪表Gauge触发点是否偏移的状况进行周期性人工检测及校准。
9.根据权利要求8所述的炉管Gauge触发点的监控方法，其特征在于，进行周期性人工检测及校准的方法包括：利用一万用表，将万用表与量测仪表的量测端进行连接，读取万用表的电压显示值，并与Gauge触发点设定值比较，进行周期性人工检测；当电压显示值相对Gauge触发点设定值偏移时，通过量测仪表的调校点进行调节，使得调节后的电压显示值与Gauge触发点设定值相符，完成校准；其中，电压显示值与Gauge触发点设定值的数值之间为一一对应关系。
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