CN105553287A - 一种偏压电源装置及其电子束流调节方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种偏压电源装置及其电子束流调节方法，涉及电子束加工设备偏压电源技术领域。该装置包括：工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器、第二整流滤波电路；偏压变压器包括互相分开的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯；偏压变压器的原边绕组绕于原边绕组磁芯，副边绕组绕于副边绕组磁芯；工频整流滤波电路的输入端接三相交流电；工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器的原边绕组的两端依次连接；偏压变压器的副边绕组的两端与第二整流滤波电路连接；第二整流滤波电路的负输出端连接电子枪栅极，正输出端连接一高压电源的负端；高压电源正端接地。

Description

一种偏压电源装置及其电子束流调节方法

技术领域

本发明涉及电子束加工设备偏压电源技术领域，尤其涉及一种偏压电源装置及其电子束流调节方法。

背景技术

偏压电源是调节真空电子束加工设备束流的核心装置，为电子枪栅极提供负偏压。偏压电源的关键技术在于偏压变压器的结构设计，偏压变压器既需要考虑提高原副边耐压强度，又需要减小漏感，提高电磁耦合效率，降低谐振。然而提高耐压强度和减小漏感是一个矛盾问题，很难同时兼顾。

目前，常规的工频偏压变压器的制造方法是在原副边之间填充高耐压材料，然后用环氧树脂灌封成一个体积较大的结构，原副边分别从距离较远的两端引出，环氧树脂材料和灌封工艺尤为重要，但即使如此，也会经常出现高压击穿原副边或磁芯现象。例如，现有技术中的高压逆变功率变压器是将电磁转化频率提高到20kHz，减小漏感，提高电磁转化效率，但将其作为中压60kV或高压150kV电子束设备的偏压变压器，很难适用，极易出现高压击穿现象，必须考虑如何再次增加原副边的耐压等级。通常的高频偏压变压器的做法是采用高耐压材料做变压器骨架，骨架上绕制原边或副边绕组，相应的副边或原边绕组绕制在磁芯上，这虽然能在一定程度上提高偏压变压器耐压等级，但是磁芯绕制原边绕组时需要考虑接地，导出磁芯上的感应电荷；磁芯绕制副边绕组时需要考虑高压，导出磁芯上的感应电荷。在设备长期运行后，由于绝缘材料老化、变压器油耐压等级降低，极易出现放电现象，影响设备正常使用。

可见，当前的偏压变压器随着绝缘材料老化，骨架表面沉积污物增多，变压器油耐压等级降低，易出现放电几率增大，导致设备难以正常运行的问题。

发明内容

本发明的实施例提供一种偏压电源装置及其电子束流调节方法，以解决当前的偏压变压器由于绝缘材料老化，骨架表面沉积污物增多，变压器油耐压等级降低，而导致的放电几率增大，影响设备正常运行的问题。

为达到上述目的，本发明采用如下技术方案：

一种偏压电源装置，包括：工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器、第二整流滤波电路；

所述偏压变压器包括互相分开的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯；所述偏压变压器的原边绕组绕于所述原边绕组磁芯上，副边绕组绕于所述副边绕组磁芯上；

所述工频整流滤波电路的输入端接入有三相交流电；所述工频整流滤波电路的输出端与所述第一逆变与整流滤波电路的输入端连接；

所述第一逆变与整流滤波电路的输出端与所述第二逆变电路的输入端连接；

所述第二逆变电路的输出端与所述谐振变换电路的输入端连接；

所述谐振变换电路的输出端与所述偏压变压器的原边绕组的两端连接，所述偏压变压器的副边绕组的两端与所述第二整流滤波电路的输入端连接；

所述第二整流滤波电路的负输出端连接有电子枪栅极，所述第二整流滤波电路的正输出端连接有一高压电源的负端；所述高压电源的正端接地。

进一步的，所述第二整流滤波电路的正输出端还连接有串联的第二电阻和第一电阻；

所述第二整流滤波电路的负输出端还连接有串联的第四电阻和第三电阻；所述第一电阻的一端和所述第三电阻的一端分别接地；

所述第三电阻的另一端与第四电阻的连接点还连接有一第五电阻的一端；所述第一电阻的另一端与第二电阻的连接点还连接有一第七电阻的一端；

所述第五电阻的另一端分别连接一第六电阻的一端和一运算放大器的同相输入端；所述第六电阻的另一端接地；

所述第七电阻的另一端分别连接一第八电阻的一端和所述运算放大器的反向输入端；所述第八电阻的另一端与所述运算放大器的输出端连接；

所述运算放大器的输出端还连接有一偏压采样闭环反馈控制电路的偏压反馈信号输入端；

所述偏压采样闭环反馈控制电路还具有一束流给定电压信号输入端及反馈电压信号输出端；所述反馈电压信号输出端与所述第一逆变与整流滤波电路连接。

具体的，所述原边绕组磁芯和副边绕组磁芯为一对对称结构磁芯；所述原边绕组磁芯和副边绕组磁芯分别固定在第一可调基座和第二可调基座上。

具体的，原边绕组磁芯上的一点通过导线接地；副边绕组磁芯上的一点通过导线连接所述高压电源的负端。

此外，所述原边绕组磁芯和副边绕组磁芯之间间距大于10mm或者大于20mm。

一种偏压电源装置的电子束流调节方法，应用于上述的偏压电源装置；方法包括：

工频整流滤波电路接收三相交流电压，并将所述三相交流电压整流为第一直流电压，输出到第一逆变与整流滤波电路；

所述第一逆变与整流滤波电路将所述第一直流电压进行处理，生成第二直流电压，输出到第二逆变电路；

所述第二逆变电路将所述第二直流电压进行处理，生成第一交流电压，输出到谐振变换电路；

所述谐振变换电路将所述第一交流电压进行谐振变换，生成输入电压，输出到偏压变压器的原边绕组；

所述偏压变压器通过非接触电磁耦合，将输入电压的能量传输到副边绕组，生成输出电压，输出到第二整流滤波电路；

所述第二整流滤波电路将所述输出电压进行处理，生成第三直流电压，输出到电子枪栅极，以调节电子枪的电子束流。

进一步的，该偏压电源装置的电子束流调节方法，还包括：

所述偏压电源装置根据第三直流电压和第一电阻和第二电阻，在所述第一电阻和第二电阻的连接处获取电压U_hvf1；

根据第三直流电压和第三电阻和第四电阻，在所述第三电阻和第四电阻的连接处获取电压U_bvf1；

将所述电压U_hvf1经过第七电阻输入到运算放大器的反相输入端，并将所述电压U_bvf1经过第五电阻输入到运算放大器的同相输入端，生成偏压U_bvf，输出到偏压采样闭环反馈控制电路的偏压反馈信号输入端；

所述偏压采样闭环反馈控制电路的束流给定电压信号输入端接收一束流给定电压信号；

所述偏压采样闭环反馈控制电路对所述束流给定电压信号和偏压U_bvf进行PID调节控制，生成电压U_bf，输出到所述第一逆变与整流滤波电路；

所述第一逆变与整流滤波电路根据所述电压U_bf调整所述第二直流电压，以调节整流滤波电路输出的第三直流电压。

本发明实施例提供的一种偏压电源装置及其电子束流调节方法，该偏压电源装置包括工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器、第二整流滤波电路；偏压变压器包括互相分开的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯；偏压变压器的原边绕组绕于原边绕组磁芯上，副边绕组绕于副边绕组磁芯上；工频整流滤波电路的输入端接入有三相交流电；工频整流滤波电路的输出端与第一逆变与整流滤波电路的输入端连接；第一逆变与整流滤波电路的输出端与第二逆变电路的输入端连接；第二逆变电路的输出端与谐振变换电路的输入端连接；谐振变换电路的输出端与偏压变压器的原边绕组的两端连接，偏压变压器的副边绕组的两端与第二整流滤波电路的输入端连接；第二整流滤波电路的负输出端连接有电子枪栅极，第二整流滤波电路的正输出端连接有一高压电源的负端；高压电源的正端接地。由于偏压变压器的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯相互分开，因此通过原边绕组磁芯和副边绕组磁芯之间的间距，采用非接触耦合，可以提高偏压变压器的耐压等级，减小偏压电源装置放电几率，提高偏压电源装置的工作稳定性。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种偏压电源装置的结构示意图一；

图2为本发明实施例中的偏压变压器的结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种偏压电源装置的结构示意图二；

图4为现有技术中的偏压电源装置的结构示意图；

图5为现有技术中的偏压变压器的结构示意图；

图6为本发明实施例提供的一种偏压电源装置的电子束流调节方法的流程图一；

图7为本发明实施例提供的一种偏压电源装置的电子束流调节方法的流程图二。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本发明实施例提供一种偏压电源装置10，包括：工频整流滤波电路11、第一逆变与整流滤波电路12、第二逆变电路13、谐振变换电路14、偏压变压器15、第二整流滤波电路16。

如图1和图2所示，该偏压变压器15包括互相分开的原边绕组磁芯151和副边绕组磁芯152。偏压变压器的原边绕组153绕于原边绕组磁芯151上，副边绕组154绕于副边绕组磁芯152上。

工频整流滤波电路11的输入端接入有三相交流电(以U、V、W表示)。工频整流滤波电路11的输出端与第一逆变与整流滤波电路12的输入端连接。

第一逆变与整流滤波电路12的输出端与第二逆变电路13的输入端连接。

第二逆变电路13的输出端与谐振变换电路14的输入端连接。

谐振变换电路14的输出端与偏压变压器15的原边绕组153的两端连接，偏压变压器15的副边绕组154的两端与第二整流滤波电路16的输入端连接。

第二整流滤波电路16的负输出端连接有电子枪栅极17，第二整流滤波电路16的正输出端连接有一高压电源18的负极；高压电源18的正极接地。此处的高压电源可以为60至150kV的高压电源。

进一步的，如图3所示，第二整流滤波电路16的正输出端还连接有串联的第二电阻20和第一电阻19。第二整流滤波电路16的负输出端还连接有串联的第四电阻22和第三电阻21；第一电阻19的一端和第三电阻21的一端分别接地。

第三电阻21的另一端与第四电阻22的连接点(A点)还连接有一第五电阻23的一端。第一电阻19的另一端与第二电阻20的连接点(B点)还连接有一第七电阻24的一端。

第五电阻23的另一端分别连接一第六电阻25的一端和一运算放大器26的同相输入端；第六电阻25的另一端接地。

第七电阻24的另一端分别连接一第八电阻27的一端和运算放大器26的反向输入端；第八电阻27的另一端与运算放大器26的输出端连接。

运算放大器26的输出端还连接有一偏压采样闭环反馈控制电路28的偏压反馈信号输入端。

偏压采样闭环反馈控制电路28还具有一束流给定电压信号输入端29及反馈电压信号输出端30；反馈电压信号输出端30与第一逆变与整流滤波电路12连接。

此外，如图2所示，原边绕组磁芯151和副边绕组磁芯152为一对对称结构磁芯。原边绕组磁芯151和副边绕组磁芯152分别固定在第一可调基座155和第二可调基座156上。通过第一可调基座155和第二可调基座156，可以调节原边绕组磁芯151和副边绕组磁芯152之间的间距d₀，从而满足不同电子束加工设备耐压等级的需求，以保障偏压电源长期稳定工作。

此外，如图2所示，原边绕组磁芯151上的一点通过导线接地；副边绕组磁芯152上的一点通过导线连接高压电源18的负端，以在副边绕组磁芯加载高压HV。

此外，原边绕组磁芯151和副边绕组磁芯152之间间距d₀可以大于10mm或者大于20mm。原副边磁芯间距d₀可根据电子束加工设备工作电压来确定，通常偏压变压器浸没在变压器油中，例如国产变压器油耐压大于10kV/mm，则对于中压电子束焊接设备，原副边磁芯间距d₀大于10mm即可满足需求；对于高压电子束焊接设备，原副边磁芯间距d₀大于20mm以上才可满足需求。

对比于上述图1至图3所述的实施例中的偏压电源装置，目前技术如图4和图5所示，现有的偏压电源装置及其工作过程为三相工频交流电输入到交流电变换调节电路40，变化成工频或高频交流电输入到偏压变压器41的原边绕组411，通过闭合磁芯412耦合到副边绕组413，副边绕组413将获得的交流电压输入到整流滤波电路42，整流滤波电路42的正端连接60～150kV高压电源43的负端，60～150kV高压电源43的正端接地；整流滤波电路42的负端联接电子枪栅极44；其中偏压变压器41是升压变压器，可将原边绕组411输入的几十到上百伏的交流电转化成上几十至数千伏交流电，再经过滤波后，变成调节电子枪栅极44电压的直流电；交流电变换调节电路40改变输入到偏压变压器41的原边绕组411上的电压幅值，即可调节输出到电子枪栅极44上的电压，从而实现束流调节。但是，偏压电源装置由于悬浮于高压端，使得偏压很难被采样，偏压电源的变化调节一般是通过束流反馈进行闭环调节，由于偏压变化和束流输出并不是一个严格的线性变化过程，束流输出还受到高压稳定度、灯丝加热程度的影响，使得闭环反馈调节参数极其复杂，并存在响应速度慢等特点。而本发明，如图1至3所示，可以分别对高压和悬浮于高压上的偏压进行采样，经过差动放大后，取出偏压电压值，经过偏压采样闭环反馈控制电路28处理后输入到偏压电源的第一逆变与整流滤波电路12，调节其输出的直流电压幅值，从而可以稳定偏压输出，达到稳定电子束流输出的目的。

本发明实施例提供的一种偏压电源装置，该偏压电源装置包括工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器、第二整流滤波电路；偏压变压器包括互相分开的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯；偏压变压器的原边绕组绕于原边绕组磁芯上，副边绕组绕于副边绕组磁芯上；工频整流滤波电路的输入端接入有三相交流电；工频整流滤波电路的输出端与第一逆变与整流滤波电路的输入端连接；第一逆变与整流滤波电路的输出端与第二逆变电路的输入端连接；第二逆变电路的输出端与谐振变换电路的输入端连接；谐振变换电路的输出端与偏压变压器的原边绕组的两端连接，偏压变压器的副边绕组的两端与第二整流滤波电路的输入端连接；第二整流滤波电路的负输出端连接有电子枪栅极，第二整流滤波电路的正输出端连接有一高压电源的负端；高压电源的正端接地。由于偏压变压器的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯相互分开，因此通过原边绕组磁芯和副边绕组磁芯质检的间距，采用非接触耦合，可以提高偏压变压器的耐压等级，减小偏压电源装置放电几率，提高偏压电源装置的工作稳定性。

对应于上述图1至图3的种偏压电源装置，如图6所示，本发明还提供一种偏压电源装置的电子束流调节方法，应用于上述的偏压电源装置；方法包括：

步骤201、工频整流滤波电路接收三相交流电压，并将三相交流电压整流为第一直流电压，输出到第一逆变与整流滤波电路。

步骤202、第一逆变与整流滤波电路将第一直流电压进行处理，生成第二直流电压，输出到第二逆变电路。

步骤203、第二逆变电路将第二直流电压进行处理，生成第一交流电压，输出到谐振变换电路。

步骤204、谐振变换电路将第一交流电压进行谐振变换，生成输入电压，输出到偏压变压器的原边绕组。

步骤205、偏压变压器通过非接触电磁耦合，将输入电压的能量传输到副边绕组，生成输出电压，输出到第二整流滤波电路。

步骤206、第二整流滤波电路将输出电压进行处理，生成第三直流电压，输出到电子枪栅极，以调节电子枪的电子束流。

进一步的，在上述步骤201至步骤206之后，如图7所示，该偏压电源装置的电子束流调节方法，还包括：

步骤207、偏压电源装置根据第三直流电压和第一电阻和第二电阻，在第一电阻和第二电阻的连接处获取电压U_hvf1。

步骤208、根据第三直流电压和第三电阻和第四电阻，在第三电阻和第四电阻的连接处获取电压U_bvf1。

步骤209、将电压U_hvf1经过第七电阻输入到运算放大器的反相输入端，并将电压U_bvf1经过第五电阻输入到运算放大器的同相输入端，生成偏压U_bvf，输出到偏压采样闭环反馈控制电路的偏压反馈信号输入端。

步骤210、偏压采样闭环反馈控制电路的束流给定电压信号输入端接收一束流给定电压信号。

步骤211、偏压采样闭环反馈控制电路对束流给定电压信号和偏压U_bvf进行PID调节控制，生成电压U_bf，输出到第一逆变与整流滤波电路。

步骤212、第一逆变与整流滤波电路根据电压U_bf调整第二直流电压，以调节整流滤波电路输出的第三直流电压。

本发明实施例提供的一种偏压电源装置的电子束流调节方法，其所基于的该偏压电源装置包括工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器、第二整流滤波电路；偏压变压器包括互相分开的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯；偏压变压器的原边绕组绕于原边绕组磁芯上，副边绕组绕于副边绕组磁芯上；工频整流滤波电路的输入端接入有三相交流电；工频整流滤波电路的输出端与第一逆变与整流滤波电路的输入端连接；第一逆变与整流滤波电路的输出端与第二逆变电路的输入端连接；第二逆变电路的输出端与谐振变换电路的输入端连接；谐振变换电路的输出端与偏压变压器的原边绕组的两端连接，偏压变压器的副边绕组的两端与第二整流滤波电路的输入端连接；第二整流滤波电路的负输出端连接有电子枪栅极，第二整流滤波电路的正输出端连接有一高压电源的负端；高压电源的正端接地。由于偏压变压器的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯相互分开，因此通过原边绕组磁芯和副边绕组磁芯质检的间距，采用非接触耦合，可以提高偏压变压器的耐压等级，减小偏压电源装置放电几率，提高偏压电源装置的工作稳定性。

本领域内的技术人员应明白，本发明的实施例可提供为方法、系统、或计算机程序产品。因此，本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本发明是参照根据本发明实施例的方法、设备(系统)、和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

本发明中应用了具体实施例对本发明的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想；同时，对于本领域的一般技术人员，依据本发明的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，综上所述，本说明书内容不应理解为对本发明的限制。

Claims (7)

1.一种偏压电源装置，其特征在于，包括：工频整流滤波电路、第一逆变与整流滤波电路、第二逆变电路、谐振变换电路、偏压变压器、第二整流滤波电路；

所述偏压变压器包括互相分开的原边绕组磁芯和副边绕组磁芯；所述偏压变压器的原边绕组绕于所述原边绕组磁芯上，副边绕组绕于所述副边绕组磁芯上；

所述工频整流滤波电路的输入端接入有三相交流电；所述工频整流滤波电路的输出端与所述第一逆变与整流滤波电路的输入端连接；

所述第一逆变与整流滤波电路的输出端与所述第二逆变电路的输入端连接；

所述第二逆变电路的输出端与所述谐振变换电路的输入端连接；

所述谐振变换电路的输出端与所述偏压变压器的原边绕组的两端连接，所述偏压变压器的副边绕组的两端与所述第二整流滤波电路的输入端连接；

所述第二整流滤波电路的负输出端连接有电子枪栅极，所述第二整流滤波电路的正输出端连接有一高压电源的负端；所述高压电源的正端接地。

2.根据权利要求1所述的偏压电源装置，其特征在于，所述第二整流滤波电路的正输出端还连接有串联的第二电阻和第一电阻；

所述第二整流滤波电路的负输出端还连接有串联的第四电阻和第三电阻；所述第一电阻的一端和所述第三电阻的一端分别接地；

所述第三电阻的另一端与第四电阻的连接点还连接有一第五电阻的一端；所述第一电阻的另一端与第二电阻的连接点还连接有一第七电阻的一端；

所述第五电阻的另一端分别连接一第六电阻的一端和一运算放大器的同相输入端；所述第六电阻的另一端接地；

所述第七电阻的另一端分别连接一第八电阻的一端和所述运算放大器的反向输入端；所述第八电阻的另一端与所述运算放大器的输出端连接；

所述运算放大器的输出端还连接有一偏压采样闭环反馈控制电路的偏压反馈信号输入端；

所述偏压采样闭环反馈控制电路还具有一束流给定电压信号输入端及反馈电压信号输出端；所述反馈电压信号输出端与所述第一逆变与整流滤波电路连接。

3.根据权利要求2所述的偏压电源装置，其特征在于，所述原边绕组磁芯和副边绕组磁芯为一对对称结构磁芯；所述原边绕组磁芯和副边绕组磁芯分别固定在第一可调基座和第二可调基座上。

4.根据权利要求3所述的偏压电源装置，其特征在于，原边绕组磁芯上的一点用导线接地；副边绕组磁芯上的一点用导线连接所述高压电源的负端。

5.根据权利要求4所述的偏压电源装置，其特征在于，所述原边绕组磁芯和副边绕组磁芯之间间距大于10mm或者大于20mm。

6.一种偏压电源装置的电子束流调节方法，其特征在于，应用于权利要求5所述的偏压电源装置；方法包括：

工频整流滤波电路接收三相交流电压，并将所述三相交流电压整流为第一直流电压，输出到第一逆变与整流滤波电路；

所述第一逆变与整流滤波电路将所述第一直流电压进行处理，生成第二直流电压，输出到第二逆变电路；

所述第二逆变电路将所述第二直流电压进行处理，生成第一交流电压，输出到谐振变换电路；

所述谐振变换电路将所述第一交流电压进行谐振变换，生成输入电压，输出到偏压变压器的原边绕组；

所述偏压变压器通过非接触电磁耦合，将输入电压的能量传输到副边绕组，生成输出电压，输出到第二整流滤波电路；

所述第二整流滤波电路将所述输出电压进行处理，生成第三直流电压，输出到电子枪栅极，以调节电子枪的电子束流。

7.根据权利要求6所述的偏压电源装置的电子束流调节方法，其特征在于，还包括：

所述偏压电源装置根据第三直流电压和第一电阻和第二电阻，在所述第一电阻和第二电阻的连接处获取电压U_hvf1；

根据第三直流电压和第三电阻和第四电阻，在所述第三电阻和第四电阻的连接处获取电压U_bvf1；

将所述电压U_hvf1经过第七电阻输入到运算放大器的反相输入端，并将所述电压U_bvf1经过第五电阻输入到运算放大器的同相输入端，生成偏压U_bvf，输出到偏压采样闭环反馈控制电路的偏压反馈信号输入端；

所述偏压采样闭环反馈控制电路的束流给定电压信号输入端接收一束流给定电压信号；

所述偏压采样闭环反馈控制电路对所述束流给定电压信号和偏压U_bvf进行PID调节控制，生成电压U_bf，输出到所述第一逆变与整流滤波电路；

所述第一逆变与整流滤波电路根据所述电压U_bf调整所述第二直流电压，以调节整流滤波电路输出的第三直流电压。