CN105509639A - 用来测量几何特征的测量系统和测量方法 - Google Patents

用来测量几何特征的测量系统和测量方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105509639A
CN105509639A CN201410493810.5A CN201410493810A CN105509639A CN 105509639 A CN105509639 A CN 105509639A CN 201410493810 A CN201410493810 A CN 201410493810A CN 105509639 A CN105509639 A CN 105509639A
Authority
CN
China
Prior art keywords
light
ring
lens
reflection ring
light beam
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201410493810.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105509639B (zh
Inventor
韩旭
谢广平
凯文·乔治·哈丁
约翰·布兰登·拉弗伦
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
General Electric Co
Original Assignee
General Electric Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by General Electric Co filed Critical General Electric Co
Priority to CN201410493810.5A priority Critical patent/CN105509639B/zh
Priority to EP15186566.4A priority patent/EP3001139B1/en
Priority to US14/863,481 priority patent/US9970753B2/en
Priority to KR1020150135539A priority patent/KR102004576B1/ko
Publication of CN105509639A publication Critical patent/CN105509639A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105509639B publication Critical patent/CN105509639B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/30Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces
    • G01B11/303Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring roughness or irregularity of surfaces using photoelectric detection means
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/954Inspecting the inner surface of hollow bodies, e.g. bores
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B23/00Telescopes, e.g. binoculars; Periscopes; Instruments for viewing the inside of hollow bodies; Viewfinders; Optical aiming or sighting devices
    • G02B23/24Instruments or systems for viewing the inside of hollow bodies, e.g. fibrescopes
    • GPHYSICS
    • G06COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06TIMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00Image analysis
    • G06T7/60Analysis of geometric attributes

Abstract

本发明公开了用来测量几何特征的测量系统和测量方法。该测量系统包括:发光单元,用来发出准直光束;前透镜,用来反射部分所述准直光束来发射结构光的前聚焦光环至被测对象来获得来自所述被测对象的前反射光环,并且用来允许部分准直光束通过;后透镜,在光传播路径上位于所述前透镜的下游,用来反射至少部分通过所述前透镜的所述准直光束来发射所述结构光的后聚焦光环至所述被测对象来获得来自所述被测对象的后反射光环;成像单元,用来记录所述前反射光环和所述后反射光环的组合图像;及处理单元,连接于所述成像单元,用来根据所述组合图像获得所述被测对象的至少一个几何特征。本发明还涉及一种用来测量被测对象的几何特征的测量方法。

Description

用来测量几何特征的测量系统和测量方法
技术领域
本发明有关一种测量系统和测量方法,尤其涉及一种测量被测对象的几何特征的测量系统和测量方法。
背景技术
测量被测对象的几何特征时往往存在诸多的挑战,例如测量空腔的内表面、开口表面、两边缘之间的间隙、横截面的半径或两个面之间的阶梯。目前的测量系统包括发光源发射光束至透镜,例如锥形镜。透镜反射光束形成聚焦光环照射被测对象,被测对象的表面反射聚焦光环形成反射光环。测量系统根据反射光环获得被测对象的几何特征。然而,利用单聚焦光环来测量几何特征的测量系统具有其局限性,如此单次测量仅可以获得被测对象的一个横截面的轮廓。当聚焦光环所在的平面与被测对象的被测表面成非90度的角时,很难获得准确的几何特征。
因此,有必要提供一种测量系统和方法来解决上面提及的至少一个技术问题。
发明内容
本发明的一个方面在于提供一种测量系统。该测量系统包括:发光单元,用来发出准直光束;前透镜,用来反射部分所述准直光束来发射结构光的前聚焦光环至被测对象来获得来自所述被测对象的前反射光环,并且用来允许部分准直光束通过;后透镜,在光传播路径上位于所述前透镜的下游,用来反射至少部分通过所述前透镜的所述准直光束来发射所述结构光的后聚焦光环至所述被测对象来获得来自所述被测对象的后反射光环;成像单元,用来记录所述前反射光环和所述后反射光环的组合图像;及处理单元,连接于所述成像单元,用来根据所述组合图像获得所述被测对象的至少一个几何特征。
本发明的另一个方面在于提供一种测量系统。该测量系统包括:发光单元,用来发出准直光束;结构光产生单元,用来产生结构光,包括:前锥形反射面,用来反射部分所述准直光束形成所述结构光的前聚焦光环来获得前反射光环,并且用来允许部分准直光束通过;及后锥形反射面,用来反射至少部分通过所述前锥形反射面的所述准直光束形成所述结构光的后聚焦光环来获得后反射光环。该测量系统还包括成像单元,用来记录所述前反射光环和所述后反射光环的组合图像;及处理单元,连接于所述成像单元,用来根据所述组合图像获得被测对象的至少一个几何特征。
本发明的另一个方面在于提供一种测量方法。该测量方法包括步骤:发出准直光束;反射部分所述准直光束来发射结构光的前聚焦光环至被测对象来获得前反射光环,并且使得部分准直光束通过;反射至少部分通过的所述准直光束产生并发射所述结构光的后聚焦光环至所述被测对象来获得后反射光环;记录所述前反射光环和所述后反射光环的组合图像;及根据所述组合图像获得所述被测对象的至少一个几何特征。
附图说明
通过结合附图对于本发明的实施方式进行描述,可以更好地理解本发明,在附图中:
图1所示为本发明测量系统的一个实施例的示意图;
图2所示为本发明组合图像和单独图像的一个实施例的示意图;
图3所示为本发明测量系统的另一个实施例的示意图;
图4所示为本发明测量系统的另一个实施例的示意图;
图5所示为本发明测量系统的结构光产生单元的一个实施例的示意图;
图6所示为本发明结构光产生单元的另一个实施例的示意图;
图7所示为本发明结构光产生单元的再一个实施例的示意图;
图8所示为本发明结构光产生单元的又一个实施例的示意图;
图9所示为本发明结构光产生单元的另一个实施例的示意图;
图10所示为本发明测量方法的一个实施例的流程图;
图11所示为本发明测量方法的另一个实施例的流程图;
图12所示为利用本发明测量系统测量圆锥形的空腔的一个实施例的示意图;
图13所示为利用本发明测量系统测量开曲面的一个实施例的示意图。
具体实施方式
除非另作定义,此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性,而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现在“包括”或者“包含”前面的元件或者物件涵盖出现在“包括”或者“包含”后面列举的元件或者物件及其等同,并不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接,而是可以包括电性的或者光学的连接,不管是直接的还是间接的。
图1所示为一个实施例的测量系统100的示意图。测量系统100能够用来测量被测对象的至少一个几何特征。例如能够测量空腔的三维轮廓、圆柱体空腔的直径、开曲面的过渡半径、台阶的阶梯特征及间隙的两个边缘之间的距离。被测对象的表面的裂缝和隆起也可通过测量系统100来测量。测量系统100包括发光单元15、结构光产生单元16、成像单元21和处理单元23。发光单元15用来发出准直光束25。在一个实施例中,发光单元15包括光源27和准直镜29。光源27可以是激光二极管、发光二极管(LED)或其他点光源。准直镜29用来准直光源27发出的光产生准直光束25。在另一个实施例中,发光单元15包括按照一定的规律排列的若干准直镜来准直来自光源27的光。在另一个实施例中,发光单元15包括一个或多个其他光学元件。例如,光源27放置于偏离测量系统100的测量轴31的位置,多个平面镜用来改变光源27的光的传播方向。在图示实施例中,光源27和准直镜29位于测量轴31上。图中每一光束仅用一条带箭头的线表示,实际的光束不是只有一条线而是若干条光线。在本实施例中,被测对象11为管道。
结构光产生单元16用来产生结构光32,其包括前透镜17和后透镜19。前透镜17用来反射部分准直光束25来发射结构光32的前聚焦光环33至被测对象11来获得来自被测对象11的前反射光环37,并且用来允许部分准直光束25通过。其中,“通过”指光线从前透镜17中穿过或从前透镜17周围绕过前透镜17。前透镜17包括前锥形反射面50,用来反射部分准直光束25形成结构光32的前聚焦光环33来获得前反射光环37,并且用来允许部分准直光束25通过。
在图示实施例中,前透镜17包括设置于前透镜17内的允许准直光束25通过的透光通道39。透光通道39穿过前锥形反射面50且允许准直光束25通过。透光通道39的直径小于准直光束25的直径,如此让部分准直光束25从中通过。在一个实施例中,透光通道39是一个沿测量轴31延伸的通孔。在另一个实施例中,透光通道39由透光材料制成,例如玻璃,可让准直光束25通过。在一个实施例中,前透镜17的端部为平面,也就是说,透光通道39为圆柱状,其端部为平面,使得准直光束25在透光通道39中沿测量轴31传播。
在图示实施例中,前透镜17的前锥形反射面50反射准直光束25的外围部分且准直光束25的内圈部分传播至后透镜19。前透镜17位于测量轴31上。在图示实施例中,前透镜17为锥形镜,例如45度的锥形镜。透光通道39从锥形镜的尖端沿其中心轴延伸。前透镜17的中心轴和测量轴31重合。前聚焦光环33垂直于测量轴31。前聚焦光环33照射到被测对象11的反射面35产生前反射光环37。
后透镜19在光传播路径上位于前透镜17的下游,用来发射至少部分通过前透镜17的准直光束25来发射结构光32的后聚焦光环41至被测对象11来获得来自被测对象11的后反射光环43。后透镜19包括后锥形反射面52,用来反射至少部分通过前锥形反射面50的准直光束25形成结构光的后聚焦光环41来获得后反射光环43。
在图示实施例中,结构光32包括前聚焦光环33和后聚焦光环41。后透镜,例如锥形镜,位于测量轴31上。在图示实施例中,后透镜19为45度的锥形镜。在一个实施例中,后透镜19和前透镜17同轴排列,前锥形反射面50和后锥形反射面52同轴排列。前聚焦光环33和后聚焦光环41平行。后聚焦光环41照射到被测对象11的反射面35产生后反射光环43。
成像单元21,例如相机,用来记录前反射光环37和后反射光环43的组合图像。成像单元21包括物镜或物镜组45和阵列探测器46。前反射光环37和后反射光环43被物镜45成像。图像被记录在阵列探测器46,例如CCD、CMOS。在一个实施例中,发光单元15和成像单元21位于前透镜17和后透镜19的相对两侧。
处理单元23连接于成像单元21,用来根据组合图像获得被测对象11的至少一个几何特征。在一个实施例中,处理单元23为计算机或其他计算设备,例如现场可编程门阵列(FPGA)、微处理器等,其中处理器可以是多核处理器。处理单元23连接前反射光环37和后反射光环43上相对应的点来获得被测对象11的几何特征。例如,处理单元23根据前反射光环37产生被测对象11的前横截面的二维轮廓且根据后反射光环43产生被测对象11的后横截面的二维轮廓,处理单元23通过线性连接前横截面的二维轮廓和后横截面的二维轮廓上对应的点输出三维的被测对象11的结构。此处仅举出一个示例,并不限于此。
在一个实施例中,测量系统100进一步包括开闭部件47。开闭部件47可操作地阻止后反射光环43产生。当开闭部件47打开时,光可穿过。当开闭部件47闭合时,光被阻挡。在一个实施例中,开闭部件47在光传播路径上位于前透镜17和后透镜19之间。开闭部件47通过阻挡准直光束25到达后透镜19来阻止产生后反射光环43,如此仅产生并成像前反射光环37。在另一个实施例中,开闭部件47环绕后透镜19设置,其可操作地阻挡后聚焦光环41到达被测对象11,从而不产生后反射光环43。在再一个实施例中,开闭部件47可用来阻挡后反射光环43到达成像单元21,从而不成像后反射光环43。成像单元21用来记录前反射光环37的单独图像,且处理单元23用来在单独图像的辅助之下从组合图像中区分出前反射光环37和后反射光环43。开闭部件47可以是机械的开闭部件、液晶的开闭部件或其他能够在透光和挡光之间切换的部件。
图2所示为一个实施例的组合图像200和单独图像202的示意图。组合图像200显示了前反射光环37的图像和后反射光环43的图像。前反射光环37的图像表示了被测对象11的反射面35的前横截面的轮廓,且后反射光环43的图像表示了被测对象11的反射面35的后横截面的轮廓。在图示实施例中,前反射光环37和后反射光环43的图像都是环形,也就是说,被测对象11的前横截面和后横截面的轮廓都是环形。本实施例中,被测对象11可以是圆台状的空腔。此处仅以此示例说明但不限于此。前反射光环37和后反射光环43的图像根据不同的横截面的形状而变化。
单独图像202仅显示了前反射光环37。根据组合图像200和单独图像202将组合图像200的前反射光环37的图像和后反射光环43的图像分开。如此,即使组合图像200的前反射光环37上的点和后反射光环43上的点很靠近或重叠时,两光环上的点也可以被区分开。结合参考图1,图2的前反射光环37的图像乘以放大倍数而放大来获得前聚焦光环33的图像,其中该放大倍数为前聚焦光环33和物镜45之间的距离L1除以物镜45和阵列探测器46之间的距离L3的结果。类似的,图2的后反射光环43的图像乘以另一放大倍数而放大来获得后聚焦光环41的图像,其中该放大倍数为后聚焦光环41和物镜45之间的距离L2除以物镜45和阵列探测器46之间的距离L3的结果。在一个实施例中,前聚焦光环33的图像和后聚焦光环41的图像为相互重叠的圆环。
图3所示为另一个实施例的测量系统300的示意图。图3的测量系统300类似于图1的测量系统100。相比较于图1的测量系统100,图3的测量系统300的发光单元15和成像单元21位于前透镜17和后透镜19的同一侧,如此测量系统300的结构较紧凑。发光单元15的光源27通过准直镜29发射出准直光束25至前透镜17,前透镜17反射部分光至被测对象11的反射面35,且部分光穿过前透镜17至开闭部件47和后透镜19。剩余的光传播路径与图1实施例相同。
图4所示为再一个实施例的测量系统400的示意图。图4的测量系统400类似于图1的测量系统100。相比较于图1的测量系统100,图4的测量系统400的结构光32产生单元16进一步包括至少一个在光传播路径上位于前透镜17和后透镜19之间的中间透镜18。中间透镜18用来反射部分准直光束25来发射结构光32的至少一个中间聚焦光环34来获得至少一个中间反射光环38,且用来使得部分准直光束25通过。仅为了图示说明的目的,图中仅示出一个中间透镜18。根据特定的运用,结构光产生单元16可以包括任意数目的中间透镜18。一个实施例中,中间透镜18可用于图像精度要求比较高的运用中,例如光环33、34和41之间的距离较小可以提高测量精度。另一个实施例中,中间透镜18可以测量被测对象11的发射面35的更大区域,来提高测量速度。
在图示实施例中,中间透镜18包括透光通道40,其类似于前透镜17的透光通道39。中间透镜18的透光通道40的直径小于前透镜17的透光通道39。在一个实施例中,结构光产生单元16包括两个或两个以上的中间透镜18。下游的中间透镜18的透光通道40的直径小于上游的中间透镜18的透光通道40。如此,准直光束25能够被中间透镜18反射且部分通过中间透镜18。中间反射光环38也由成像单元21成像,且处理单元23根据前反射光环37、中间反射光环38和后反射光环43来获得被测对象11的几何特征,从而提高测量的精度。在一个实施例中,结构光成像单元16进一步包括开闭部件48,其类似于开闭部件47。开闭部件47和48分别位于两个透镜之间。开闭部件的数目根据透镜的数目而设定。如此,组合图像中的多个反射光环37、38、43可以被区分开。
图5所示为另一个实施例的结构光产生单元16的示意图。前透镜17的第一底面的直径D1小于准直光束25的直径,且后透镜19的第二底面的直径D2大于前透镜17的第一底面171的直径D1。前透镜17比准直光束25小且后透镜19比前透镜17大。前锥形反射面50围成的第一底面171的直径D1小于准直光束25的直径,且后锥形反射面52围成的第二底面191的直径D2大于前锥形反射面50围成的第一底面171的直径D1。如此,前锥形反射面50反射准直光束25的内圈部分形成前聚焦光环33,准直光束25的外围部分从前透镜17的侧面通过前透镜17至后透镜19。后透镜19的后锥形反射面52反射准直光束25的外围部分形成后聚焦光环41。
在一个实施例中,前透镜17和后透镜19制造成一体,为一片透镜。前锥形反射面50和后锥形反射面52成阶梯状排列。前锥形反射面50和后锥形反射面52之间形成有台阶54。前锥形反射面50和后锥形反射面52在垂直于透镜中心轴的方向上错开排列,使得两锥形反射面50、52均可以接收到准直光束25。在另一个实施例中,前透镜17和后透镜19可以制造成独立的两片透镜。例如,前透镜17为比准直光束25小的锥形镜,且后透镜19为比前透镜17大的锥形镜。图1、3和4中的前透镜17和后透镜19可制造成独立的两片透镜。在图示实施例中,开闭部件47设置成环绕后透镜19,其为环形的开闭部件,可用来阻挡后聚焦光环41到达被测对象。
图6所示为再一个实施例的结构光产生单元16的示意图。图6的结构光产生单元16类似于图5所示的结构光产生单元16。相比于图5的结构光产生单元16,图6的结构光产生单元16包括中间透镜18,中间透镜18包括中间锥形反射面51。结构光产生单元16包括至少一个在光传播路径上位于前锥形反射面50和后锥形反射面52之间的中间锥形反射面51,中间锥形反射面51用来反射部分准直光束25形成结构光的至少一个中间聚焦光环34来获得至少一个中间反射光环,且用来使得部分准直光束25通过。在另一个实施例中,两个或更多个中间透镜18被用来产生中间聚焦光环34。锥形反射面50、51和52成阶梯状排列。
图7所示为又一个实施例的结构光产生单元16的示意图。图7的结构光产生单元16类似于图5所示的结构光产生单元16。相比于图5的结构光产生单元16,图7的结构光产生单元16的前透镜17和后透镜19为在一个镜片的内部形成的内部锥形镜。前透镜17和后透镜19形成在一片外表面601为平面的透光的块体60内,透光的块体60可以是由玻璃或其他透光的材料制成。前锥形反射面50和后锥形反射面52由反射材料形成在透光的块体60的内表面来反射光线。在一个实施例中,图6所示的结构光产生单元16的透镜17至19可以制造成内部的锥形透镜,其类似于图7所示的结构光产生单元16的透镜。
图8所示为另一个实施例的结构光产生单元16的示意图。后透镜19为成形在透光的块体60的内部的锥形镜。前透镜17成形在块体60的前表面。前透镜17的顶端为透光的平面62,使得部分准直光束25通过至后透镜19。前锥形反射面50直接在透光的块体60的表面形成或形成后附着在块体60表面。
图9所示为另一个实施例的结构光产生单元16的示意图。图9的结构光产生单元16类似于图8所示的结构光产生单元16。相比于图8的结构光产生单元16,图9的结构光产生单元16进一步包括形成在透光的块体60内的中间透镜18。中间透镜18比后透镜19小,且中间透镜18的底面直径比前透镜17的顶端平面62的直径小,来反射部分准直光束25且让部分准直光束25通过至后透镜19。中间透镜18和后透镜19的排布类似于图5和7的透镜的排布。在另一个实施例中,两个或更多个中间透镜18可形成在透光的块体60内。
图10所示为一个实施例的用来测量被测对象的几何特征的测量方法600的流程图。步骤601中,发出准直光束。步骤603中,反射部分准直光束来发射结构光的前聚焦光环至被测对象来获得前反射光环,并且使得部分准直光束通过。准直光束被前透镜反射形成前聚焦光环。被测对象的表面反射前聚焦光环形成前反射光环。
步骤605中,反射至少部分通过的准直光束来发射结构光的后聚焦光环至被测对象来获得后反射光环。通过的准直光束被后透镜反射形成后聚焦光环。被测对象的表面反射后聚焦光环产生后反射光环。在一个实施例中,前反射光环和后反射光环平行。
步骤607中,记录前反射光环和后反射光环的组合图像。组合图像显示了被测对象的前横截面的轮廓和后横截面的轮廓。步骤609中,根据组合图像获得被测对象的至少一个几何特征。连接前反射光环和后反射光环上相应的点并处理来获得被测对象的几何特征。
在一个实施例中,测量方法600进一步包括记录前反射光环的单独图像且在单独图像的辅助之下从组合图像中区分出前反射光环和后反射光环。仅前反射光环被成像,如此获得前反射光环上的点。从而,可以从组合图像中区分开前反射光环的点和后反射光环的点。在另一个实施例中,仅后反射光环被成像,如此获得后反射光环上的点。从而,可以从组合图像中区分开前反射光环的点和后反射光环的点。
在一个实施例中,移动测量装置或者被测对象来连续地测量和成像被测对象。例如,测量装置封装于管道镜中,管道镜插入管道或空腔中来测量管道或空腔的几何特征。图像可以用来排查裂缝、翘曲、表面凸起等。
图11所示为另一个实施例的测量方法700的流程图。图11的测量方法700类似于图10的测量方法600。相比较于图10的测量方法600,图11的测量方法700进一步包括步骤604。在步骤604中,反射准直光束产生并发射结构光的位于前聚焦光环和后聚焦光环之间的中间聚焦光环至被测对象来获得中间反射光环。中间反射光环也被成像。根据前反射光环、中间反射光环和后反射光环的图像来获得被测对象的几何特征,从而提高测量精度。
一个实施例中,为了区分前反射光环、后反射光环和中间反射光环,后反射光环和中间反射光环分别成像,且和组合图像对比来区分各个光环。在另一个实施例中,前反射光环和中间反射光环可以分别独立成像来分别获得前反射光环和中间反射光环上的点,且与组合图像对比来区分各个光环。在再一个实施例中,前反射光环和后反射光环分别成像,且与组合图像对比来区分各个光环。
图12为利用测量系统100、300或400测量圆锥形的空腔800的一个实施例的示意图。测量系统100、300或400获得从圆锥形空腔800内表面反射出的前反射光环37和后反射光环43。线性连接前反射光环37和后反射光环43上相对应的点获得空腔800的三维轮廓,如此获得空腔800的几何特征。在一个实施例中,前反射光环37和后反射光环43不垂直于圆锥形空腔800的中心轴801。
图13为利用测量系统100、300或400测量开曲面900的一个实施例的示意图。测量系统100、300或400获得从开曲面900的表面反射出的前反射光环37和后反射光环43。前反射光环37和后反射光环43分别是曲线。线性连接前反射光环37和后反射光环43上相对应的点获得开曲面900的三维轮廓,如此获得开曲面900的几何特征。
虽然结合特定的实施方式对本发明进行了说明,但本领域的技术人员可以理解,对本发明可以作出许多修改和变型。因此,要认识到,权利要求书的意图在于涵盖在本发明真正构思和范围内的所有这些修改和变型。

Claims (18)

1.一种测量系统,其特征在于,其包括:
发光单元,用来发出准直光束;
前透镜,用来反射部分所述准直光束来发射结构光的前聚焦光环至被测对象来获得来自所述被测对象的前反射光环,并且用来允许部分准直光束通过;
后透镜,在光传播路径上位于所述前透镜的下游,用来反射至少部分通过所述前透镜的所述准直光束来发射所述结构光的后聚焦光环至所述被测对象来获得来自所述被测对象的后反射光环;
成像单元,用来记录所述前反射光环和所述后反射光环的组合图像;及
处理单元,连接于所述成像单元,用来根据所述组合图像获得所述被测对象的至少一个几何特征。
2.如权利要求1所述的测量系统,其特征在于:所述前透镜包括设置于所述前透镜内的允许所述准直光束通过的透光通道。
3.如权利要求1所述的测量系统,其特征在于:所述前透镜的第一底面的直径小于所述准直光束的直径,且所述后透镜的第二底面的直径大于所述前透镜的第一底面的直径。
4.如权利要求1或3所述的测量系统,其特征在于:所述前透镜包括前锥形反射面,所述后透镜包括后锥形反射面,且所述前锥形反射面和所述后锥形反射面成阶梯状排列。
5.如权利要求1所述的测量系统,其特征在于:所述前透镜和所述后透镜同轴排列。
6.如权利要求1所述的测量系统,其特征在于:所述测量系统进一步包括至少一个在光传播路径上位于所述前透镜和所述后透镜之间的中间透镜,所述中间透镜用来反射部分所述准直光束来发射所述结构光的至少一个中间聚焦光环来获得至少一个中间反射光环,且用来使得部分所述准直光束通过。
7.如权利要求1所述的测量系统,其特征在于:所述测量系统进一步包括开闭部件,所述开闭部件可操作地阻止所述后反射光环产生,所述成像单元用来记录所述前反射光环的单独图像,且所述处理单元用来利用所述单独图像从所述组合图像中区分出所述前反射光环和所述后反射光环。
8.一种测量系统,其特征在于,其包括:
发光单元,用来发出准直光束;
结构光产生单元,用来产生结构光,包括:
前锥形反射面,用来反射部分所述准直光束形成所述结构光的前聚焦光环来获得前反射光环,并且用来允许部分所述准直光束通过;及
后锥形反射面,用来反射至少部分通过所述前锥形反射面的所述准直光束形成所述结构光的后聚焦光环来获得后反射光环;
成像单元,用来记录所述前反射光环和所述后反射光环的组合图像;及
处理单元,连接于所述成像单元,用来根据所述组合图像获得被测对象的至少一个几何特征。
9.如权利要求8所述的测量系统,其特征在于:所述结构光产生单元包括穿过所述前锥形反射面的允许所述准直光束通过的透光通道。
10.如权利要求8所述的测量系统,其特征在于:所述前锥形反射面围成的第一底面的直径小于所述准直光束的直径,且所述后锥形反射面围成的第二底面的直径大于所述前锥形反射面围成的第一底面的直径。
11.如权利要求8或10所述的测量系统,其特征在于:所述前锥形反射面和所述后锥形反射面成阶梯状排列。
12.如权利要求8所述的测量系统,其特征在于:所述前锥形反射面和所述后锥形反射面同轴排列。
13.如权利要求8所述的测量系统,其特征在于:所述结构光产生单元进一步包括至少一个在光传播路径上位于所述前锥形反射面和所述后锥形反射面之间的中间锥形反射面,所述中间锥形反射面用来反射部分所述准直光束形成所述结构光的至少一个中间聚焦光环来获得至少一个中间反射光环,且用来使得部分所述准直光束通过。
14.如权利要求8所述的测量系统,其特征在于:所述测量系统进一步包括开闭部件,所述开闭部件可操作地阻止所述后反射光环产生,所述成像单元用来记录所述前反射光环的单独图像,且所述处理单元用来在所述单独图像的辅助之下从所述组合图像中区分出所述前反射光环和所述后反射光环。
15.一种测量方法,其特征在于,其包括步骤:
发出准直光束;
反射部分所述准直光束产生并发射结构光的前聚焦光环至被测对象来获得前反射光环,并且使得部分准直光束通过;
反射至少部分通过的所述准直光束产生并发射所述结构光的后聚焦光环至所述被测对象来获得后反射光环;
记录所述前反射光环和所述后反射光环的组合图像;及
根据所述组合图像获得所述被测对象的至少一个几何特征。
16.如权利要求15所述的测量方法,其特征在于:所述结构光的所述前聚焦光环和所述后聚焦光环平行。
17.如权利要求15所述的测量方法,其特征在于:所述测量方法进一步包括反射所述准直光束来发射所述结构光的位于所述前聚焦光环和所述后聚焦光环之间的中间聚焦光环至所述被测对象来获得中间反射光环。
18.如权利要求15所述的测量方法,其特征在于:所述测量方法进一步包括记录所述前发射光环的单独图像且在所述单独图像的辅助之下从所述组合图像中区分出所述前反射光环和所述后反射光环。
CN201410493810.5A 2014-09-24 2014-09-24 用来测量几何特征的测量系统和测量方法 Active CN105509639B (zh)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410493810.5A CN105509639B (zh) 2014-09-24 2014-09-24 用来测量几何特征的测量系统和测量方法
EP15186566.4A EP3001139B1 (en) 2014-09-24 2015-09-23 System and method of measuring geometric characteristics of an object
US14/863,481 US9970753B2 (en) 2014-09-24 2015-09-24 System and method of measuring geometric characteristics of object
KR1020150135539A KR102004576B1 (ko) 2014-09-24 2015-09-24 물체의 기하학적 특징을 측정하는 시스템 및 방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201410493810.5A CN105509639B (zh) 2014-09-24 2014-09-24 用来测量几何特征的测量系统和测量方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105509639A true CN105509639A (zh) 2016-04-20
CN105509639B CN105509639B (zh) 2019-01-01

Family

ID=54199574

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201410493810.5A Active CN105509639B (zh) 2014-09-24 2014-09-24 用来测量几何特征的测量系统和测量方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US9970753B2 (zh)
EP (1) EP3001139B1 (zh)
KR (1) KR102004576B1 (zh)
CN (1) CN105509639B (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110595390A (zh) * 2019-09-02 2019-12-20 深圳技术大学 基于四棱锥反射镜条纹投影装置及三维重建成像系统
CN110595389A (zh) * 2019-09-02 2019-12-20 深圳技术大学 基于单目镜头的采集装置及三维重建成像系统
CN110617780A (zh) * 2019-09-02 2019-12-27 深圳技术大学 激光干涉装置及应用该激光干涉装置的三维重建成像系统
CN110617781A (zh) * 2019-09-02 2019-12-27 深圳技术大学 基于双目镜头的采集装置及三维重建成像系统
CN111982010A (zh) * 2019-05-22 2020-11-24 波音公司 一种孔的光学成像和扫描装置
CN117268287A (zh) * 2023-11-21 2023-12-22 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种工件内部结构的轮廓测量装置及测量方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP3594668A4 (en) * 2017-05-31 2020-12-16 Nippon Steel Corporation TUBULAR BODY INTERNAL SURFACE INSPECTION PROCESS AND TUBULAR BODY INTERNAL SURFACE INSPECTION DEVICE
US10732106B2 (en) * 2018-02-02 2020-08-04 Honeywell International Inc. Two detector gas detection system
CA3106823A1 (en) 2018-07-19 2020-01-23 Activ Surgical, Inc. Systems and methods for multi-modal sensing of depth in vision systems for automated surgical robots
EP3952720A4 (en) 2019-04-08 2023-04-05 Activ Surgical, Inc. SYSTEMS AND METHODS FOR MEDICAL IMAGING
CN114599263A (zh) 2019-08-21 2022-06-07 艾科缇弗外科公司 用于医疗成像的系统和方法
CN111156932B (zh) * 2020-03-10 2021-08-27 凌云光技术股份有限公司 一种镜面材料平整度检测装置
CN114706211B (zh) * 2022-04-19 2023-07-07 江苏亮点光电科技有限公司 一种基于楔形镜对的光束传输方向调节装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040075842A1 (en) * 2002-10-22 2004-04-22 Dunn Thomas J. Two-wavelength confocal interferometer for measuring multiple surfaces
CN1888817A (zh) * 2006-07-20 2007-01-03 厦门大学 物体表面三维形貌信息测量装置
CN101023319A (zh) * 2004-09-22 2007-08-22 罗伯特·博世有限公司 用于对测量对象的多个面进行测定的光测量设备
JP2009025006A (ja) * 2007-07-17 2009-02-05 Soatec Inc 光学装置、光源装置及び光学式測定装置
CN203657757U (zh) * 2013-11-19 2014-06-18 苏州慧利仪器有限责任公司 空心圆柱内表面的光学检测装置
CN103968777A (zh) * 2013-01-31 2014-08-06 奥林巴斯株式会社 内表面形状测量装置

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4411528A (en) * 1981-01-19 1983-10-25 Control Data Corporation Optical displacement and contour measuring
US5325177A (en) 1992-10-29 1994-06-28 Environmental Research Institute Of Michigan Optical, interferometric hole gauge
US5933231A (en) 1996-07-10 1999-08-03 Industrial Technology Institute Method and system for measuring cavities and probe for use therein
US8475006B2 (en) * 2006-08-02 2013-07-02 Camtek Ltd. Dark field illuminator and a dark field illumination method
CA2597891A1 (en) 2007-08-20 2009-02-20 Marc Miousset Multi-beam optical probe and system for dimensional measurement
US8638453B2 (en) 2011-03-02 2014-01-28 Envirosight Llc Pipe diameter measurement device
US8786866B2 (en) 2012-03-02 2014-07-22 Baker Hughes Incorporated Apparatus and method for determining inner profiles of hollow devices

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20040075842A1 (en) * 2002-10-22 2004-04-22 Dunn Thomas J. Two-wavelength confocal interferometer for measuring multiple surfaces
CN101023319A (zh) * 2004-09-22 2007-08-22 罗伯特·博世有限公司 用于对测量对象的多个面进行测定的光测量设备
CN1888817A (zh) * 2006-07-20 2007-01-03 厦门大学 物体表面三维形貌信息测量装置
JP2009025006A (ja) * 2007-07-17 2009-02-05 Soatec Inc 光学装置、光源装置及び光学式測定装置
CN103968777A (zh) * 2013-01-31 2014-08-06 奥林巴斯株式会社 内表面形状测量装置
CN203657757U (zh) * 2013-11-19 2014-06-18 苏州慧利仪器有限责任公司 空心圆柱内表面的光学检测装置

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN111982010A (zh) * 2019-05-22 2020-11-24 波音公司 一种孔的光学成像和扫描装置
CN110595390A (zh) * 2019-09-02 2019-12-20 深圳技术大学 基于四棱锥反射镜条纹投影装置及三维重建成像系统
CN110595389A (zh) * 2019-09-02 2019-12-20 深圳技术大学 基于单目镜头的采集装置及三维重建成像系统
CN110617780A (zh) * 2019-09-02 2019-12-27 深圳技术大学 激光干涉装置及应用该激光干涉装置的三维重建成像系统
CN110617781A (zh) * 2019-09-02 2019-12-27 深圳技术大学 基于双目镜头的采集装置及三维重建成像系统
CN110617780B (zh) * 2019-09-02 2021-11-09 深圳技术大学 激光干涉装置及应用该激光干涉装置的三维重建成像系统
CN117268287A (zh) * 2023-11-21 2023-12-22 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 一种工件内部结构的轮廓测量装置及测量方法

Also Published As

Publication number Publication date
EP3001139B1 (en) 2019-02-06
KR102004576B1 (ko) 2019-07-26
KR20160036003A (ko) 2016-04-01
US9970753B2 (en) 2018-05-15
CN105509639B (zh) 2019-01-01
US20160084644A1 (en) 2016-03-24
EP3001139A1 (en) 2016-03-30

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105509639A (zh) 用来测量几何特征的测量系统和测量方法
CN100552378C (zh) 基于角棱镜的激光发射轴与机械基准面同轴度测量方法
JP2018200927A (ja) 電磁波検出装置および情報取得システム
CN204831220U (zh) 氟化钙平晶两面平行度高精度测试装置
KR101317947B1 (ko) 실린더 검사장치
CN106556576A (zh) 一种基于光腔衰荡技术同时测量高反射/高透射光学元件的反射率和透过率的方法
TW201716745A (zh) 影像測距系統、光源模組及影像感測模組
CN102435146A (zh) 光学透镜中心厚度测量系统及方法
JP6908470B2 (ja) 電磁波検出装置、プログラム、および電磁波検出システム
KR102043881B1 (ko) 대면적 고속 물체 검사 장치
JP2020076717A (ja) 光学検査装置及び光学検査方法
CN207540510U (zh) 一种用于检测透镜中心偏离的装置
TW202006319A (zh) 表面形貌光學量測系統及表面形貌光學量測方法
JP2009015180A (ja) 干渉対物レンズ
CN102213585B (zh) 单光源双光路并行共焦测量系统
CN104536148B (zh) 一种实现镜面定位仪光束快速对准装置及对准方法
JP6570938B2 (ja) 物体の幾何学的特徴を測定するシステム及び方法
JP2015145978A (ja) 光回帰内表面反射鏡円錐キューブ。
JP6671938B2 (ja) 表面形状測定装置、欠陥判定装置、および表面形状の測定方法
CN210514770U (zh) 一种改变菲涅尔透镜光路的结构
KR102008253B1 (ko) 간섭계 기반의 다채널 광 계측기
WO2016200802A1 (en) Backscatter reductant anamorphic beam sampler
Ohrt et al. Endoscopic geometry inspection by modular fiber optic sensors with increased depth of focus
US9709496B2 (en) Inspection device for light-regulating film, and production device for light-regulating film
CN212228353U (zh) 四象限探测器镜头的光学质量检测装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant