CN105467685A - 基板、膜形成基板的制造方法以及涂布装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种基板、膜形成基板的制造方法以及涂布装置。本发明的课题在于抑制产生于膜形成区域的膜厚不均。本发明的基板(1)形成有沿着膜形成区域(2)的外周的凹槽(10)，在凹槽(10)与膜形成区域(2)之间，包含并列有多个凹部(20)的凹部群(20N)，并且凹部群(20N)的各凹部(20)的形状形成为如下形状：使涂布于基板(1)上的液体相比于从膜形成区域(2)朝向凹槽(10)的方向，在从凹槽(10)朝向膜形成区域(2)的方向上更难流动。

Description

基板、膜形成基板的制造方法以及涂布装置

技术领域

本发明涉及一种基板、膜形成基板的制造方法以及涂布装置。

背景技术

以往，液晶显示装置中，在包含基板的显示区域及其周边区域的膜形成区域，利用喷墨法(Ink-jetmethod)涂布作为膜形成材料的液体(这里为取向膜材料液)。而且，在基板的膜形成区域的周围且隔开一定间隔的位置，利用分注法(dispensingmethod)呈环状涂布密封剂(sealingagent)，且在基板上的由密封剂包围的区域，利用分注法滴下涂布液晶材料。

然而，如果利用喷墨法将作为所述膜形成材料的液体涂布于基板的膜形成区域，则有该液体在基板上润湿扩散，而到达要形成密封剂的区域为止的情况。如果液体扩散到密封剂的形成区域，而在密封剂形成区域形成取向膜，则在该取向膜的部分，密封剂对基板的粘附性变差。

因此，为了抑制涂布于基板上的膜形成材料的液体向膜形成区域外侧的润湿扩散，有如下情况：如专利文献1所记载那样在基板上的膜形成区域与比它更靠外侧的密封剂涂布区域之间，形成包围膜形成区域的凹槽。在基板上的涂布于比凹槽靠内侧的液体朝向周边润湿扩散的过程中，利用凹槽来阻止液体的润湿扩散以使其不会润湿扩散到密封剂涂布区域。

[现有技术文献]

[专利文献]

[专利文献1]日本专利特开2007-322627号公报

发明内容

[发明所要解决的问题]

作为近年来的动向，针对手机所代表的便携式终端等液晶显示装置，要求使显示区域的大小相对于制品本体的大小而尽可能地大。结果为，有在基板的一定外形尺寸的范围内显示区域的外侧区域变窄的倾向。

因此，在基板上形成于包围膜形成区域的区域的凹槽与显示区域的距离变近。所以，在基板上滴下至比凹槽靠内侧且朝向外侧周边润湿扩散的膜形成材料的液体在到达凹槽之前的过程中液量不会减少，因在凹槽的边缘产生的表面张力而在凹槽边暂时形成呈堤状隆起的积液。如果形成该积液，则基板上的从内侧向外侧周缘润湿扩散的液体的一部分在该积液处撞回，朝向膜形成区域的内侧逆流。由此，甚至在显示区域的内部，产生膜形成材料的膜厚不均。

本发明的课题在于抑制产生于膜形成区域的膜厚不均。

[解决问题的技术手段]

本发明是一种基板，形成有沿着膜形成区域的外周的凹槽，在所述凹槽与所述膜形成区域之间，包含并列有多个凹部的凹部群，并且所述凹部群的各凹部的形状形成为如下形状：使涂布于所述基板上的液体相比于从所述膜形成区域朝向所述凹槽的方向，在从所述凹槽朝向所述膜形成区域的方向上更难流动。

[发明的效果]

根据本发明，能够抑制产生于膜形成区域的膜厚不均。

附图说明

图1是表示应用本发明而成的液晶显示面板的一例的示意平面图。

图2是表示涂布装置的一例的示意立体图。

图3是表示实施例1的基板的示意剖面图。

图4是表示实施例1的基板的主要部分的示意平面图。

图5是表示实施例2的基板的主要部分的示意平面图。

图6是表示实施例3的基板的主要部分的示意平面图。

图7是表示实施例4的基板的主要部分的示意平面图。

图8是表示实施例5的基板的主要部分的示意平面图。

图9是表示实施例6的基板的主要部分的示意平面图。

图10(A)～图10(D)是表示液滴向凹槽的滴下状态的示意图。

图11(A)～图11(C)是凹槽、凹部的剖面图。

[符号的说明]

1：基板

2：膜形成区域

3：密封剂

10N：凹槽群

10、11、12、13：凹槽

20、21、22、23、24、25、26：凹部

20N：凹部群

100：涂布装置

101：基座

102：Y轴方向移动台

103：基板保持构件

104：门型框架

105：涂布头

106：控制装置

a：凹部的底边的长度

AR：区域

b：凹部的高度

c：凹部的底边的长度

d：凹部的高度

DA：显示区域

e：距离

f：菱形的凹部的短的对角线的长度

g：菱形的凹部的长的对角线的长度

L1：第1凹槽的槽宽

L2：第2凹槽的槽宽

L3：第3凹槽的槽宽

p1：相邻的凹部的间距间隔

p2：相邻的凹部的间距间隔

pc：相邻的凹部的配置间隔

S1：第1凹槽与第2凹槽的间隔

S2：第2凹槽与第3凹槽的间隔

W：凹槽群的整个宽度

X、Y、Z：轴

具体实施方式

(实施例1)(图1～图4)

应用本发明而成的液晶显示面板如图1所示，单点划线所示的膜形成区域2包含矩形形状的基板1的显示区域DA及其周边的少部分区域，在该膜形成区域2，利用图2所示的喷墨涂布装置100涂布作为膜形成材料的液体(这里为取向膜材料液)。而且，在基板1的膜形成区域2的周围且隔开一定间隔的位置，利用分注法呈环状涂布密封剂3，且在基板1上的由密封剂3包围的区域，利用分注法滴下涂布液晶材料(未图示)。然后，经由密封剂3贴合对向基板(未图示)而封入液晶材料，形成液晶显示面板。另外，所谓“膜形成区域2”并非为由所涂布的液体形成有膜的区域，而是作为要形成膜的区域而设定的设计上的区域。

涂布装置100如图2所示，在基座101上具备Y轴方向移动台(stage)102，在设于Y轴方向移动台102的上表面的基板保持构件103上，支撑基板1。在基座101上，设有横跨Y轴方向移动台102的门型框架(frame)104，门型框架104具备沿X轴方向并列的多个涂布头(head)105。涂布装置100一面利用Y轴方向移动台102使基板1沿Y轴方向移动，一面将从涂布头105的沿X轴方向以固定间隔设置的多个喷嘴(nozzle)滴下的膜形成材料的液体滴下涂布于基板1的沿着Y轴方向的各位置。涂布装置100具备控制装置106，该控制装置106对Y轴方向移动台102的移动、液滴从涂布头105的各喷嘴的滴下(从喷嘴滴下的液滴的量或液滴的滴下间隔(频率)等)进行控制。

图3表示图1所示的基板1的A-A剖面，图4表示图1所示的基板1的AR区域。即，基板1中，沿着膜形成区域2的外周的边，形成有规定深度且形成为长条状的凹槽10，本实施例中形成有并列多个凹槽10而成的凹槽群10N。凹槽群10N包含沿着膜形成区域2的外周相互隔开的多个凹槽10(第1凹槽11、第2凹槽12、第3凹槽13……第n凹槽1n(未图示))。各凹槽11、凹槽12、凹槽13……与膜形成区域2的外周的各边平行地形成，且相互形成为多重。涂布装置100将作为膜形成材料的液体滴下涂布于形成有凹槽群10N的各凹槽11、凹槽12、凹槽13……的基板1上。

以下，对本实施例更详细地进行说明。

(a)从涂布装置100的涂布头105滴下的膜形成材料的液体在涂布至基板1的膜形成区域2之前，也涂布于形成在膜形成区域2的外周的凹槽10(第1凹槽11、第2凹槽12、第3凹槽13……第n凹槽1n)内。因此，涂布于膜形成区域2且朝向外侧周边润湿扩散而到达凹槽10的边缘的液体因为该凹槽10的边缘已经被涂布于该凹槽10内的液体润湿，所以与该凹槽10的边缘的液体接触并一体化，从而渗入该凹槽10内而不会形成积液。

具体而言，对图2的涂布装置100，首先供给基板1。这时，基板1以长边方向与Y方向平行的方式供给至基板保持构件103上。基板保持构件103定位于作为基板1的搬入/搬出位置(position)的图2的Y轴方向近前侧。如果基板1的供给完成，则控制装置106对Y轴方向移动台102进行控制，使基板保持构件103开始朝向图2的Y轴方向里侧移动。在该移动中，对基板1上的凹槽群10N中最靠近显示区域DA的一侧、即最内侧的凹槽11，从涂布头105的各喷嘴喷出并滴下液滴。

凹槽11存在沿着X方向的凹槽与沿着Y方向的凹槽，关于沿着X方向的凹槽，分别针对位于基板1的前方侧的沿着X方向的凹槽与位于后方侧的凹槽，配合该凹槽通过涂布头105的各喷嘴的下方的时机(timing)，从位于与沿着X方向的凹槽相应的位置的各喷嘴喷出液滴。另外，关于沿着Y方向的凹槽，在该凹槽的前方侧的端部到达涂布头105的下方后直到后方侧的端部通过涂布头105的下方的期间中，从位于与该凹槽相向的位置的喷嘴，以在Y方向上预先设定的配置间隔喷出液滴。该液滴的滴下由控制装置106控制。即，控制装置106以将液体的液滴在滴下至膜形成区域2之前滴下至凹槽10的方式对涂布头105进行控制。

基板保持构件103到达图2的Y轴方向里侧的端部或基板1完全通过涂布头105的位置后，这次朝向搬入/搬出位置的某侧移动基板保持构件103，在该移动中，对膜形成区域2内进行液体的滴下涂布。该液体的滴下涂布是配合基板1的膜形成区域2通过涂布头105的下方的时机，从位于与膜形成区域2相向的位置的涂布头105的各喷嘴，对膜形成区域2以预先设定的配置间隔且以滴下液滴的方式喷出液滴。即，控制装置106以将液体的液滴滴下至凹槽10之后滴下至膜形成区域2的方式对涂布头105进行控制。

如果基板1已通过涂布头105的下方，对基板1的液体的滴下涂布完成，且基板保持构件103到达搬入/搬出位置，则将涂布有液体的基板1搬出。然后，如果有要处理的基板1，则更换且将下一基板1供给至基板保持构件103，然后重复进行所述动作直到无要处理的基板1。

另外，关于滴下至所述凹槽10的液滴的量，设为以所滴下的液滴与凹槽10的位于内侧(靠近显示区域DA的一侧)的缘部相接的量滴下，该量(大小)可以通过实验而决定，凹槽的深度越大，则所需的液滴的量越大。要滴下至所述凹槽10的液滴的量为要滴下至凹槽10的相同位置的液滴的量，既可以滴下一滴，也可以在相同位置滴下多次。

这时，液滴既可以如图10(A)或图10(B)所示那样遍及凹槽10的槽宽整体，也可以如图10(C)或图10(D)所示那样不遍及凹槽10的槽宽整体。液滴以成为如至少与凹槽10的内侧(靠近显示区域DA的一侧)的边缘相接的位置的方式滴下即可。另外，液滴既可以对凹槽10连续相连地滴下，也可以隔开间隔地滴下。即便隔开间隔地滴下，从膜形成区域2润湿扩散的液体也会从滴下至凹槽10而润湿的部分渗入凹槽10内而不会形成积液。不论任一情况，只要能够确保在凹槽10内收容从膜形成区域2润湿扩散的液体的空间(space)，便可以抑制从膜形成区域2的内侧润湿扩散的液体的扩散。因此，考虑此方面来决定向凹槽10滴下的液滴的量或液滴的滴下间隔。所述液滴的量或滴下间隔也可以通过实验来求出。另外，也可以根据凹槽10内的部位而改变滴下量。

此外，图10(A)～图10(D)中表示了仅对凹槽10的最内侧的凹槽11滴下液滴的示例，但并不限于此，也可以对比它更靠外侧的凹槽12、凹槽13……凹槽1n滴下液体。由此，即便假设液体越过最内侧的凹槽11而润湿扩散，也可以利用其外侧的凹槽12、凹槽13……凹槽1n的任一个来阻止润湿扩散。当然，对所有凹槽10滴下液滴的情况、仅对任意的凹槽10滴下液滴的情况也相同。只要根据膜形成区域2的液体的润湿扩散状态而适当决定即可。但是，为了有效抑制因如下情况所产生的膜形成材料的膜厚不均，有效的是对最内侧的凹槽11滴下液滴，所述情况是因产生于凹槽11的边缘的积液，润湿扩散的液体的一部分撞回而到达显示区域DA。

另外，以分别进行对凹槽10的液体滴下与对膜形成区域2的液体滴下的示例进行了说明，但也可以一起进行。即，在基板1通过涂布头105正下方时，向凹槽10滴下液滴，并且也对基板1的膜形成区域2滴下液体。由此，利用基板保持构件103的一次移动便完成涂布，从而实现有效率的涂布。另外，通过将Y轴方向移动台102的移动两端设为基板1的搬入/搬出位置，可以更有效率地重复对基板1进行涂布。

利用涂布装置100进行的所述(a)的液体的涂布是对凹槽10涂布(滴下液滴)之后，对膜形成区域2进行涂布。即，当涂布于膜形成区域2的液体向外侧周边润湿扩散而到达凹槽10的边缘时，已先对凹槽10涂布完成的液体已确实地润湿凹槽10的边缘。因此，确实地使到达凹槽10的边缘的液体不易形成积液，而可以确实地抑制因该积液所引起的液体的撞回，且确实地抑制膜厚不均的产生。

另外，凹槽10的如下效果也大，即，使进一步向外侧的周边润湿扩散的液量减少相当于从膜形成区域2的内侧超出显示区域DA而润湿扩散的液体渗入该凹槽10中的量，而抑制向密封剂涂布区域的润湿扩散。

(b)形成于基板1的所述(a)的凹槽10如上所述那样形成凹槽群10N，所述凹槽群10N以形成为相互隔开的多重的方式设于膜形成区域2的外周，此外，距膜形成区域2的外周越远的外侧的凹槽10的槽宽Li(i＝1、2、3……)越小。即，形成凹槽群10N的多个第1凹槽11～第n凹槽1n中，最靠近膜形成区域2的外周的第1凹槽11的槽宽L1最大，由宽度大的第1凹槽11收容润湿扩散的大量的液体而抑制撞回及润湿扩散，之后，在更窄的宽度L2、宽度L3……的各凹槽12、凹槽13……内依次收容通过各凹槽11、凹槽12、凹槽13……成为更少量的液体而抑制撞回及润湿扩散(L1＞L2＞L3……)。

即，在各凹槽11、凹槽12、凹槽13……内确实地收容液体，而抑制涂布液向密封材料涂布区域的润湿扩散，以及通过各凹槽11、凹槽12、凹槽13……的所述(a)的抑制液体撞回的效果而抑制膜形成区域2内的膜厚不均的产生，并且能够使凹槽群10N沿着与膜形成区域2的外周正交的方向所形成的整个宽度W与所有凹槽10均为大宽度的情况相比而小尺寸化，从而可以减小制品本体内的凹槽群10N的占有空间，而相对于制品本体确保更大的显示区域DA。

(c)形成于基板1的所述(b)的相邻的凹槽10与凹槽10之间的间隔Si(i＝1、2……)小于凹槽10的槽宽Li。由此，关于所述(b)的凹槽群10N，与将凹槽10与凹槽10之间的间隔Si设为凹槽10的槽宽Li以上的情况相比，可以使各槽宽Li的合计值加上相邻的凹槽10的间隔Si的合计值所得的凹槽群10N的整个宽度W进一步小尺寸化。因此，可以使制品本体内的凹槽群10N的占有空间更小，而相对于制品本体确保更大的显示区域DA。

本实施例的凹槽群10N中，将第1凹槽11～第3凹槽13的槽宽L1～槽宽L3设为L1＝0.18mm、L2＝0.09mm、L3＝0.06mm。而且，将第1凹槽11与第2凹槽12的间隔S1、第2凹槽12与第3凹槽13的间隔S2设为S1＝S2＝0.01mm。对形成有这种尺寸的凹槽10的基板1进行所述涂布时，能够抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。

(实施例2)(图5)

对实施例2的基板1进行说明。

(d)在形成于基板1的凹槽10与显示区域DA之间，配置并列有规定深度的多个凹部20的凹部群20N，各凹部20的形状包含如下形状，即，使涂布于膜形成区域2的液体相比于从膜形成区域2朝向凹槽10的方向，在其相反方向即从凹槽10朝向膜形成区域2的方向上更难流动。另外，本实施例中，各凹部20沿着膜形成区域2的外周缘以规定的间距间隔配置。

相比于从膜形成区域2的内侧向外侧的液体流动，凹部群20N使向其相反方向的逆流更难流动。具体而言，由凹部群20N的各凹部20所形成的各凹部20之间成为涂布于膜形成区域2的液体润湿扩散时的主要路径。而且，各凹部20之间以膜形成区域2的内侧(靠近显示区域DA的一侧)宽且朝向外侧变窄的方式构成。另外，朝向显示区域DA的一侧以形成凹部20的面相对于显示区域DA不平行的方式构成。即，从凹槽10侧朝向显示区域DA侧，因为各凹部20之间窄，所以液体不易流动，从而即便从膜形成区域2的内侧润湿扩散而在凹槽10的槽边形成积液，且因该积液而产生液流的撞回，也会对因该撞回而产生的朝向内侧的流动(逆流)进行抑制(使其衰减)。

凹部群20N与无凹部群20N的情况相比，对于朝向外侧(从膜形成区域2朝向凹槽10的方向)润湿扩散的流动而言成为阻力，因此，相对于无凹部群20N的情况而能够使到达凹槽10的槽边时的流动的速度减小。液体撞上积液的速度越慢，则液流的撞回越小，因此，结果上凹部群20N有助于撞回的抑制。此外，润湿扩散的液体通过凹部群20N时会流入各凹部20内，由此，朝向凹槽群10N流动的液体的量减少，结果为在凹槽10的边缘的液体的撞回得以抑制，从而能够抑制产生于膜形成区域2内的膜厚不均。

另外，通过实验确认到即便当液体流入凹部20而成为液体积存于凹部20内的状态时，也获得抑制在从凹槽10侧朝向膜形成区域2的方向上流动的效果。对基板1的表面及覆盖凹部20的液体的膜进行观察，结果沿着凹部20的轮廓确认到液体膜呈堤状隆起，推测沿着凹部20的轮廓形成的液体膜的隆起部分对于在从凹槽10侧朝向膜形成区域2的方向上流动而言成为阻力，而抑制该流动。

不论液体是否渗入凹部20内，在凹部20的轮廓处液体均隆起，但形成该轮廓的线与显示区域DA不平行而形成角度。因此，由在该凹部20的轮廓部的液体的隆起而产生的撞回不直接朝向显示区域DA侧，且从并列的各凹部20的轮廓的撞回彼此相互干涉而减弱，因此，能够抑制产生于膜形成区域2内的膜厚不均。

(e)构成形成于基板1的所述凹部群20N的各凹部20是包含顶角为锐角的等腰三角形的凹部21，以底边与凹槽10的延伸方向平行且位于凹槽10侧的方式配置，由此，能够确实地形成所述(d)的液体的流动。

另外，在膜形成区域2的外周缘，在正对着相正交的两边(纵边与横边)的角部的位置，配置有包含等腰三角形的凹部22。凹部22形成为与凹部21为同一形状的等腰三角形，以底边位于凹槽10侧，且与底边正交的中心轴相对于膜形成区域2的外周的纵边与横边成45度的方式倾斜地配置。

另外，在膜形成区域2的外周，在正对着相正交的两边(纵边与横边)的角部的位置，且在所述包含等腰三角形的凹部22的两侧，配置有凹部23，所述凹部23包含与凹部21、凹部22相比例如边长为一半的小形状的等腰三角形。凹部23以底边与凹槽10的延伸方向平行且位于凹槽10侧的方式配置。各凹部23的底边与各凹部21的底边配置于同一直线上。

本实施例的凹部群20N中，将凹部21、凹部22的底边的长度a、高度b设为a＝0.06mm、b＝0.10mm，将凹部23的长度c、高度d设为c＝0.03mm、d＝0.05mm。而且，将相邻的凹部21的间距间隔p1设为p1＝0.1mm，将相邻的凹部21与凹部23的配置间隔pc设为pc＝0.085mm。通过形成这种尺寸的凹部群20N，可以更进一步抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。

另外，凹部群20N中，将例如相邻的包含等腰三角形的凹部21的间距间隔p1设为p1＝0.08mm，也可以使凹部21的密度变大。

(实施例3)(图6)

实施例3与实施例1不同的方面是形成于基板1的凹部群20N的构成。实施例3的凹部群20N是在相邻的凹部21与凹部21之间、及相邻的凹部21与凹部22之间，配置有凹部24，所述凹部24包含与配置于凹部22的两侧的凹部23为同一形状的小形状的等腰三角形。各凹部24的顶点与各凹部21、凹部22的顶点配置于同一直线上，且配置于相邻的凹部21、凹部22之间的中央、及相邻的凹部21与凹部22之间的中央。将相邻的凹部24的间距间隔p2设为p2＝0.1mm。通过以这种尺寸配置凹部24，也可以抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。

(实施例4)(图7)

实施例4与实施例3不同的方面是形成于基板1的凹部群20N的构成。实施例4的凹部群20N是使配置于相邻的凹部21与凹部21之间、及相邻的凹部21与凹部22之间的各凹部24的顶点比连结各凹部21、凹部22的顶点的直线向凹槽10侧后退距离e＝0.025mm。通过以这种尺寸配置凹部24，也与实施例3同样地可以抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。

(实施例5)(图8)

实施例5与实施例1不同的方面在于形成于基板1的凹部群20N的构成。实施例5的凹部群20N是在相邻的凹部21与凹部21之间、及相邻的凹部21与凹部22之间，配置有包含菱形的凹部25。将凹部25的短的对角线的长度f、长的对角线的长度g设为f＝0.03mm、g＝0.10mm。各凹部25的位于长的对角线上的两个顶点分别与各凹部21、凹部22的顶点与底边配置于同一直线上，且配置于相邻的凹部21与凹部21之间的中央、及相邻的凹部21与凹部22之间的中央。在以这种形状及尺寸配置凹部25的情况下，也可以抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。

(实施例6)(图9)

实施例6与实施例4不同的方面在于形成于基板1的凹部群20N的构成。实施例6的凹部群20N是将实施例4的凹部群20N的各凹部21替换成与实施例5中所使用的凹部25为同一形状的包含菱形的凹部26。在以这种形状及尺寸配置凹部26的情况下，也与实施例3同样地可以抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均。

以上，通过附图对本发明的实施例进行了详细叙述，但本发明的具体构成并不限于所述实施例，即便有不脱离本发明的主旨的范围的设计的变更等也包含在本发明内。例如，本发明的基板1并不限于配置包含多个凹槽10的凹槽群10N，也可以配置单一的凹槽10。

另外，所述实施例2～实施例6中，沿着膜形成区域2的外周缘，在正对着相正交的两边(纵边与横边)的角部的位置，配置有包含等腰三角形的凹部22。但是，也可以不配置所述凹部22。另外，所述实施例2～实施例6中，在相邻的凹部21与凹部22之间且凹部22的两侧，配置有小形状的等腰三角形的凹部23。另外，实施例3、实施例4中，在相邻的凹部21与凹部21之间、及相邻的凹部21与凹部22之间，配置有与凹部23为同一形状的凹部24。这些凹部23、凹部24均也可以不必配置。此外，在所述实施例中的角部，可以适当替换配置三角形状的凹部22、凹部23、凹部24、菱形的凹部25或凹部26，或者也可以将它们适当组合而配置。

另外，实施例2中，在向膜形成区域2涂布液体之前，进行向凹槽10的液滴滴下的情况并不一定为必需。但是，也可以对于凹部20，如实施例1那样将应涂布的液体的液滴在向膜形成区域2涂布之前，滴下至凹部20。如此，可以促进通过向膜形成区域2滴下液体而润湿扩散的液体通过凹部群20N时流入各凹部20内。当然，也可以在向膜形成区域2滴下之前，与实施例1同样地对凹槽10滴下液滴。由此，可以更进一步抑制在凹槽10的边缘的液体的撞回，从而能够抑制产生于膜形成区域2内的膜厚不均。

此外，也可以与实施例1同样地，将具有凹部20的基板的凹槽10的宽度设为随着远离膜形成区域2而变窄，也可以将相邻的凹槽10与凹槽10之间的间隔Si设为小于凹槽10的槽宽Li。由此，与实施例1同样地，可以抑制形成于显示区域DA内的取向膜的不均，并且减小制品本体内的凹槽群10N的占有空间，而能够相对于制品本体确保更大的显示区域DA。

另外，凹槽可以为包围膜形成区域2的外周的环状，也可以排列有多个长条的凹槽。另外，凹槽10并不限于在膜形成区域2的外周设为封闭的环状，也可以为一部分存在间隙的形状。

另外，所述实施例中以等腰三角形及菱形的凹部构成凹部群，但也可以为其他形状，例如圆形、椭圆形、三角形或菱形以外的多边形、星型等。各凹部20的形状是使涂布于膜形成区域2的液体的从凹槽10朝向膜形成区域2的方向的流动难于从膜形成区域2朝向凹槽10的方向的流动的形状、配置即可，可为不同的形状、配置的组合。

另外，凹槽或凹部的边缘也可以具有曲面或斜面。例如，也可以为如下的基板1：形成有沿着膜形成区域2的外周的凹槽10，在凹槽10与膜形成区域2之间，具备并列有多个凹部20的凹部群20N，并且该凹部群20N的各凹部20的形状形成为如下形状，即，使涂布于基板1上的液体相比于从膜形成区域2朝向凹槽10的方向，在从凹槽10朝向膜形成区域2的方向上更难流动，且在凹槽10及凹部20的一个或两个的边缘具有曲面或斜面。图11(A)表示在基板1的凹槽10、凹部20的边缘具有垂直面的示例，图11(B)表示在基板1的凹槽10、凹部20的边缘具有斜面的示例，图11(C)表示在基板1的凹槽10、凹部20的边缘具有曲面的示例。

通过如上所述那样设为曲面或斜面，可以减弱产生于边缘的表面张力，抑制液体在凹槽10或凹部20的轮廓部隆起，也抑制因该隆起而产生的液体的撞回。而且，液体向凹槽10或凹部20内的渗入变得容易，能够更确实地收容液体的润湿扩散而抑制润湿扩散。这种曲面或斜面可以设于凹槽10或凹部20的全周或所有边缘，也可以仅设于边缘的一部分，例如显示区域DA侧的边缘。如果设于显示区域DA侧的边缘，则抑制液体向显示区域DA侧的撞回，并且减少进一步向外侧的周边润湿扩散的液量而抑制向密封剂涂布区域的润湿扩散的效果也大。当然，也可以在将凹槽10或凹部20的边缘设为曲面或斜面的基础上，与实施例1同样地滴下液滴。由此，能够进一步提高所述效果。

另外，也可以为如下的基板1：形成有沿着膜形成区域的外周的第一流动调整部，在第一流动调整部与膜形成区域2之间，具备并列有多个第二流动调整部的第二流动调整部群，并且各第二流动调整部的形状形成为如下形状，即，使涂布于基板1上的液体相比于从膜形成区域2朝向第一流动调整部的方向，在从第一流动调整部朝向膜形成区域2的方向上更难流动。

第一流动调整部、第二流动调整部中的“流动调整”是指抑制或促进液体的流动。这里，第一流动调整部、第二流动调整部可为凹部20，也可为凸部。即，可以相对于基板1的与显示区域DA为同一高度的平坦面而凹陷或者突出。第一流动调整部及第二流动调整部双方均可为凹部20，双方也可均为凸部。也可以使第一流动调整部及第二流动调整部的任一个为凹部20，另一个为凸部。

另外，第二流动调整部也可以是顶角为锐角的等腰三角形，以该等腰三角形的底边与第一流动调整部的延伸方向平行且位于第一流动调整部侧的方式配置。

第一流动调整部也可以形成第一流动调整部群，所述第一流动调整部群以形成为相互隔开的多重的方式设于膜形成区域的外周，且距膜形成区域2的外周越远的外侧的第一流动调整部的宽度越小。

此外，也可以在第一流动调整部、第二流动调整部的边缘具有曲面或斜面。例如，在第一流动调整部或第二流动调整部为凸部的情况下，也可以将缘部的侧面设为具有曲面或倾斜面的形状。

另外，所述实施例中，以使用喷墨式的涂布头的示例进行了说明，但只要是将液体以液滴状滴下，则也可以应用于使用其他方式的涂布头的情况。

Claims (7)

1.一种基板，形成有沿着膜形成区域的外周的凹槽，所述基板的特征在于：

在所述凹槽与所述膜形成区域之间，包含并列有多个凹部的凹部群，并且

所述凹部群的各凹部的形状形成为如下形状：使涂布于所述基板上的液体相比于从所述膜形成区域朝向所述凹槽的方向，在从所述凹槽朝向所述膜形成区域的方向上更难流动。

2.根据权利要求1所述的基板，其特征在于：所述凹部是顶角为锐角的等腰三角形，以所述等腰三角形的底边与所述凹槽的延伸方向平行且位于所述凹槽侧的方式配置。

3.根据权利要求1或2所述的基板，其特征在于：所述凹槽形成凹槽群，所述凹槽群以形成为相互隔开的多重的方式设于所述膜形成区域的外周，且距所述膜形成区域的外周越远的外侧的凹槽的槽宽越小。

4.一种膜形成基板的制造方法，其特征在于：使用根据权利要求1至3中任一项所述的基板，在所述基板的所述膜形成区域滴下并涂布作为膜形成材料的液体的液滴。

5.根据权利要求4所述的膜形成基板的制造方法，其特征在于：所述液体的液滴在滴下至所述凹槽之后，滴下至所述膜形成区域。

6.一种膜形成基板的涂布装置，用于根据权利要求4或5所述的膜形成基板的制造方法，且涂布要形成于所述基板上的膜，所述膜形成基板的涂布装置的特征在于：

包含涂布头，所述涂布头对所述基板的所述膜形成区域滴下液体。

7.根据权利要求6所述的膜形成基板的涂布装置，其特征在于：包含控制装置，所述控制装置以将所述液体的液滴在滴下至所述凹槽之后滴下至所述膜形成区域的方式，对所述涂布头进行控制。