CN105401132A - 用于真空腔室的快慢充气装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种用于真空腔室的快慢充气装置，包括：压空组件，包括第一过滤减压阀、第一电磁阀和第二电磁阀，压缩空气通过第一过滤减压阀之后进入并联的第一电磁阀和第二电磁阀；充气组件，包括第二过滤减压阀，充气的介质经由第二过滤减压阀之后，再经过两条并联的管路进入真空腔室，两条管路上分布连接有快速充气阀和慢速充气阀，快速充气阀和慢速充气阀的通气能力不同；第一电磁阀用来控制快速充气阀的开关，第二电磁阀通用来控制慢速充气阀的开关。本发明具有结构简单、操作简便、控制精确度高等优点。
Description
技术领域
本发明主要涉及到半导体真空设备领域，特指一种适用于半导体真空设备中真空腔室的快慢充气装置。
背景技术
金属有机化合物化学气相沉积(简称MOCVD)设备的真空腔室有两个，一个是用于薄膜生长的反应室，另一个是进行载片盘输送的传送室。两个真空腔室之间利用一个闸阀隔开。闸阀必须在两个腔室的压力达到一致时才能开启，压力差≤5Pa。正常工艺时，反应室的压力比传送室要高，当工艺完成，需要取盘时，就必须对传送室进行充气。为了节约工艺时间，刚开始时充气必须要快，等两个腔室压力快接近时，为了防止过冲，充气就需要变慢。因此必须要设计一种能对真空腔室进行快慢充气的装置。通常的做法是在慢充的管路上增加一个流量计，这样可以控制充气的流量。但是带控制的流量计的价格非常高，用浮子流量计又只能手动控制并且密封性较差。而且，在管路上多增加了一个气路元件，使得管道更加复杂。
发明内容
本发明要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本发明提供一种结构简单、操作简便、控制精确度高的用于真空腔室的快慢充气装置。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种用于真空腔室的快慢充气装置，包括：
压空组件，包括第一过滤减压阀、第一电磁阀和第二电磁阀，压缩空气通过第一过滤减压阀之后进入并联的第一电磁阀和第二电磁阀；
充气组件，包括第二过滤减压阀，充气的介质经由第二过滤减压阀之后，再经过两条并联的管路进入真空腔室，所述两条管路上分布连接有快速充气阀和慢速充气阀，所述快速充气阀和慢速充气阀的通气能力不同；所述第一电磁阀用来控制快速充气阀的开关，所述第二电磁阀通用来控制慢速充气阀的开关。
作为本发明的进一步改进：所述快速充气阀和慢速充气阀为两个同样通径大小的气动隔膜阀，所述气动隔膜阀的两端都采用垫片来密封，所述快速充气阀和慢速充气阀上垫片的通气孔尺寸不一样。
作为本发明的进一步改进：所述第一电磁阀和第二电磁阀均采用2位3通电磁阀。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明的用于真空腔室的快慢充气装置，当两个气动隔膜阀分别开启时可以实现真空腔室的快慢充气，整个结构具有结构简单、操作简便、控制精确度高等优点。
附图说明
图1是本发明的结构原理示意图。
图2是本发明在具体应用实例中快速充气阀和慢速充气阀的结构原理示意图。
图3是本发明在具体应用实例中快速充气阀的垫片的示意图。
图4是本发明在具体应用实例中慢速充气阀的垫片的示意图。
图例说明：
101、第一过滤减压阀；102、第一电磁阀；103、第二电磁阀；201、第二过滤减压阀；202、快速充气阀；203、慢速充气阀；3、垫片。
具体实施方式
以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
如图1和图2所示，本发明的用于真空腔室的快慢充气装置，包括：
压空组件，包括第一过滤减压阀101、第一电磁阀102和第二电磁阀103，压缩空气通过第一过滤减压阀101之后进入并联的第一电磁阀102和第二电磁阀103。其中，第一电磁阀102和第二电磁阀103均可根据实际需要采用2位3通电磁阀。
充气组件，包括第二过滤减压阀201、快速充气阀202和慢速充气阀203；充气的介质为氮气，氮气经由第二过滤减压阀201进行过滤减压之后，再经过两条并联的管路进入真空腔室，这两条管路上分布连接有快速充气阀202和慢速充气阀203。快速充气阀202和慢速充气阀203的通气能力不同。所述第一电磁阀102通过气体换向来控制快速充气阀202的开关，所述第二电磁阀103通过气体换向来控制慢速充气阀203的开关。
图中实线表示氮气，虚线表示压缩空气。
在具体应用实例中，上述快速充气阀202和慢速充气阀203为两个同样通径大小的气动隔膜阀，气动隔膜阀的两端都采用垫片3（如VCR垫片）来密封，垫片3的材料可以选择不锈钢或其他材料。本实例中，上述两个气动隔膜阀内分别设置不同开孔尺寸的不锈钢垫片3，正因为于此，当两个气动隔膜阀分别开启时可以实现真空腔室的快慢充气。例如，快速充气阀202内设置有中心孔尺寸与充气阀通径一样的垫片3，慢速充气阀203内设计有中心孔尺寸非常小的垫片3（参见图3和图4）。此时，可根据实际慢充气的快慢程度不同设计不同开孔尺寸的垫片3，需要充气得更慢，就将中心孔设计得更小即可。这样，当所述快速充气阀202和慢速充气阀203分别开启时可以实现真空腔室的快慢充气。
以上仅是本发明的优选实施方式，本发明的保护范围并不仅局限于上述实施例，凡属于本发明思路下的技术方案均属于本发明的保护范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理前提下的若干改进和润饰，应视为本发明的保护范围。
Claims (3)
1.一种用于真空腔室的快慢充气装置，其特征在于，包括：
压空组件，包括第一过滤减压阀（101）、第一电磁阀（102）和第二电磁阀（103），压缩空气通过第一过滤减压阀（101）之后进入并联的第一电磁阀（102）和第二电磁阀（103）；
充气组件，包括第二过滤减压阀（201），充气的介质经由第二过滤减压阀（201）之后，再经过两条并联的管路进入真空腔室，所述两条管路上分布连接有快速充气阀（202）和慢速充气阀（203），所述快速充气阀（202）和慢速充气阀（203）的通气能力不同；所述第一电磁阀（102）用来控制快速充气阀（202）的开关，所述第二电磁阀（103）通用来控制慢速充气阀（203）的开关。
2.根据权利要求1所述的用于真空腔室的快慢充气装置，其特征在于，所述快速充气阀（202）和慢速充气阀（203）为两个同样通径大小的气动隔膜阀，所述气动隔膜阀的两端都采用垫片（3）来密封，所述快速充气阀（202）和慢速充气阀（203）上垫片（3）的通气孔尺寸不一样。
3.根据权利要求1或2所述的用于真空腔室的快慢充气装置，其特征在于，所述第一电磁阀（102）和第二电磁阀（103）均采用2位3通电磁阀。
Priority Applications (1)
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| CN201510921698.5A CN105401132A (zh) | 2015-12-14 | 2015-12-14 | 用于真空腔室的快慢充气装置 |
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Citations (3)
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| CN1851861A (zh) * | 2005-12-08 | 2006-10-25 | 北京圆合电子技术有限责任公司 | 一种真空腔室的充气系统 |
| CN102751170A (zh) * | 2011-04-19 | 2012-10-24 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 半导体处理设备 |
| CN104325860A (zh) * | 2014-10-17 | 2015-02-04 | 北京三兴汽车有限公司 | 尾气预热加温系统 |
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