CN105369207A - 快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法，将真空治具(2)与基座(1)密封连接，通过真空泵(3)对真空治具(2)抽真空，使用取物杆(22)将基座(1)的可取面外接件(13)及可取面(12)从其外圈平坦面(11)围成的封闭空间内抽出，然后对真空治具(2)破真空，分离真空治具(2)与基座(1)，固定安装新的消耗件(5)后，再密封连接真空治具(2)与基座(1)，对真空治具(2)抽真空，使用取物杆(22)将可取面外接件(13)及可取面(12)装入所述外圈平坦面(11)围成的封闭空间内，消耗件(5)被可取面(12)带入真空腔体，更换消耗件的过程无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件。

Description

快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法

技术领域

本发明涉及真空设备领域，尤其涉及一种快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法。

背景技术

在现代制造技术中，很多工艺制程都需要在真空环境里进行。真空设备就是用来维持一个相对密封的环境以提供一定真空度，例如在光伏产业、半导体、液晶面板制造产业中经常用到的真空刻蚀设备、真空镀膜设备等。

通常真空设备都具有一个真空腔体，在真空腔体的真空环境内进行相应的工艺制程。真空腔体内通常需要安装一些易消耗件，如用于产生离子的金属灯丝等。当该消耗件被消耗完毕或到达使用寿命时，就必须进行更换，以保证真空设备正常工作。现有技术中更换真空腔体内消耗件的方法，通常需要先将真空腔体破真空，然后取出旧的消耗件，再换上新的消耗件，最后将真空腔体再次抽真空，恢复到正常进行工艺制程所需的真空度。上述方法具有很大的局限性，仅适用于小型真空设备的真空腔体内消耗件的更换，小型真空设备的真空腔体较小，操作相对简便，在破真空之后再次抽真空的耗时较短，对产能影响较小，例如低世代(1代-5代)显示面板生产线中的真空设备。

然而，随着科技的进步，以及消费者对工业产品的用户体验的需求越来高，在如今的工业生产中还有许多大型的真空设备，例如在高世代(5代以上)显示面板生产线中的真空设备，由于高世代的显示面板的衬底玻璃的尺寸变得越来越巨大，相应的真空设备中真空腔体也因此会变得越来越巨大。对于大型的真空设备，要更换真空腔体内的消耗件时，在破真空之后需要消耗大量的时间来进行再次抽真空，此时设备无法工作，大大影响了产能，无法满足现代工业生产对高生产效率的需求，另外，因为破真空而灌入的空气对真空腔体内其它部件的寿命会造成影响。因此，需要提出一种能够快速更换包括大型真空设备在内的真空腔体内消耗件的方法。

发明内容

本发明的目的在于提供一种快速更换真空腔体内消耗件的装置，该装置无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件，提升真空设备的产能，提高生产效率。

本发明的目的还在于提供一种快速更换真空腔体内消耗件的方法，该方法无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件，提升真空设备的产能，提高生产效率。

为实现上述目的，本发明首先提供一种快速更换真空腔体内消耗件的装置，包括：

一固定安装于真空腔体壁的基座、一与所述基座进行可拆卸连接的真空治具、及与所述真空治具连通的真空泵；

真空腔体壁在对应安装基座的部位开口；所述基座包括外圈平坦面、可拆卸连接于外圈平坦面围成的封闭空间内的可取面、固定于所述可取面相对远离真空腔体一侧的可取面外接件、及一用于打开与封闭真空腔体壁开口的阀门；消耗件固定安装于所述可取面朝向真空腔体的一侧，经由真空腔体壁开口伸入真空腔体内；

所述真空治具包括一治具腔体、及一取物杆；所述治具腔体的一端开口形成对接面，另一端设有供取物杆沿其轴向运动的取物杆容纳孔；

所述可取面外接件中部设有取物杆连接孔，所述取物杆通过取物杆连接孔与可取面外接件固定。

所述基座的外圈平坦面的四周边缘对称设置数个卡扣，所述外圈平坦面上设有数个对位孔；所述治具腔体的对接面的四周边缘对应所述数个卡扣设置同等数量的卡环、所述对接面上对应所述数个对位孔设置同等数量的对位柱，所述对接面上还设置有密封圈；

通过所述将对位柱插入对位孔来进行基座与真空治具的对位；通过所述卡扣与卡环扣合来连接基座与真空治具；通过密封圈贴合外圈平坦面来进行基座与真空治具的密封。

所述真空治具还包括设于治具腔体内的进气阀、及一用于测量治具腔体内真空度的压力表；所述真空泵与所述治具腔体连通，根据所述治具腔体的体积及治具腔体需要达到的真空度选择真空泵的型号。

所述可取面上设有数个第一连接孔，用于将可取面可拆卸连接于外圈平坦面围成的封闭空间内；所述可取面外接件上设有数个第二连接孔，用于将可取面外接件固定于所述可取面相对远离真空腔体一侧。

所述取物杆伸出所述治具腔体的末端连接手柄。

本发明还提供一种快速更换真空腔体内消耗件的方法，包括如下步骤：

步骤1、提供一真空腔体、及固定安装于真空腔体壁的基座；

真空腔体壁在对应安装基座的部位开口；所述基座包括外圈平坦面、可拆卸连接于外圈平坦面围成的封闭空间内的可取面、固定于所述可取面相对远离真空腔体一侧的可取面外接件、及一用于打开与封闭真空腔体壁开口的阀门；所述可取面外接件中部设有取物杆连接孔；

所述阀门打开，消耗件固定安装于所述可取面朝向真空腔体的一侧，经由真空腔体壁开口伸入真空腔体内；

步骤2、提供一真空治具、及与所述真空治具连通的真空泵；

所述真空治具包括一治具腔体、及一取物杆；所述治具腔体的一端开口形成对接面，另一端设有供取物杆沿其轴向运动的取物杆容纳孔；所述取物杆通过取物杆连接孔与可取面外接件固定；

步骤3、将所述真空治具的对接面与所述基座的外圈平坦面密封连接，启动真空泵对真空治具的治具腔体抽真空，使治具腔体的真空度与真空腔体的真空度相同；

步骤4、关闭真空泵，使用取物杆将可取面外接件及可取面从所述外圈平坦面围成的封闭空间内抽出，固定安装于所述可取面朝向真空腔体的一侧的消耗件被可取面带入治具腔体，然后关闭阀门使真空腔体壁开口封闭；

步骤5、对所述真空治具破真空，并将真空治具从基座分离，在可取面朝向真空腔体的一侧固定安装新的消耗件；

步骤6、再次将所述真空治具的对接面与所述基座的外圈平坦面密封连接，启动真空泵对真空治具的治具腔体抽真空，使治具腔体的真空度与真空腔体的真空度相同；

步骤7、打开所述阀门使真空腔体壁开口打开，使用取物杆将可取面外接件及可取面装入所述外圈平坦面围成的封闭空间内，固定安装于所述可取面朝向真空腔体的一侧的消耗件被可取面带入真空腔体，然后将真空治具从基座分离，完成真空腔体内消耗件的更换。

所述基座的外圈平坦面的四周边缘对称设置数个卡扣，所述外圈平坦面上设有数个对位孔；所述治具腔体的对接面的四周边缘对应所述数个卡扣设置同等数量的卡环、所述对接面上对应所述数个对位孔设置同等数量的对位柱，所述对接面上还设置有密封圈；

通过所述将对位柱插入对位孔来进行基座与真空治具的对位；通过所述卡扣与卡环扣合来连接基座与真空治具；通过密封圈贴合外圈平坦面来进行基座与真空治具的密封；通过解除卡扣与卡环的扣合来将真空治具从基座分离。

所述真空治具还包括设于治具腔体内的进气阀、及一压力表；所述真空泵与所述治具腔体连通，根据所述治具腔体的体积及治具腔体需要达到的真空度选择真空泵的型号；

通过打开进气阀实现治具腔体的破真空；通过压力表来测量治具腔体内的真空度。

所述可取面上设有数个第一连接孔，用于将可取面可拆卸连接于外圈平坦面围成的封闭空间内；所述可取面外接件上设有数个第二连接孔，用于将可取面外接件固定于所述可取面相对远离真空腔体一侧。

所述取物杆伸出所述治具腔体的末端连接手柄。

本发明的有益效果：本发明提供的一种快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法，将真空治具与基座密封连接，通过真空泵对真空治具抽真空，使用取物杆将基座的可取面外接件及可取面从其外圈平坦面围成的封闭空间内抽出，然后对真空治具破真空，分离真空治具与基座，固定安装新的消耗件后，再对真空治具抽真空，密封连接真空治具与基座，使用取物杆将可取面外接件及可取面装入所述外圈平坦面围成的封闭空间内，消耗件被可取面带入真空腔体，整个更换消耗件的过程无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件，提升真空设备的产能，提高生产效率。

附图说明

为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，然而附图仅提供参考与说明用，并非用来对本发明加以限制。

附图中，

图1为本发明的快速更换真空腔体内消耗件的装置中基座的平面示意图；

图2为本发明的快速更换真空腔体内消耗件的装置中真空治具的平面示意图；

图3为本发明的快速更换真空腔体内消耗件的装置中真空治具的立体示意图；

图4为本发明的快速更换真空腔体内消耗件的方法的流程图。

具体实施方式

为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果，以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述。

请同时参阅图1、图2、与图3，本发明首先提供一种快速更换真空腔体内消耗件的装置，包括：一固定安装于真空腔体壁的基座1、一与所述基座1进行可拆卸连接的真空治具2、及与所述真空治具2连通的真空泵3。

真空腔体壁在对应安装基座1的部位开口；所述基座1包括外圈平坦面11、可拆卸连接于外圈平坦面11围成的封闭空间内的可取面12、固定于所述可取面12相对远离真空腔体一侧的可取面外接件13、及一用于打开与封闭真空腔体壁开口的阀门14；消耗件5固定安装于所述可取面12朝向真空腔体的一侧，经由真空腔体壁开口伸入真空腔体内。

所述真空治具2包括一治具腔体21、及一取物杆22；所述治具腔体21的一端开口形成对接面23，另一端设有供取物杆22沿其轴向运动的取物杆容纳孔24。

所述可取面外接件13中部设有取物杆连接孔131，所述取物杆22通过取物杆连接孔131与可取面外接件13固定。

具体地，所述基座1的外圈平坦面11的四周边缘对称设置数个卡扣111，所述外圈平坦面11上设有数个对位孔112；所述治具腔体21的对接面23的四周边缘对应所述数个卡扣111设置同等数量的卡环231、所述对接面23上对应所述数个对位孔112设置同等数量的对位柱232，所述对接面23上还设置有密封圈233。通过所述将对位柱232插入对位孔112来进行基座1与真空治具2的对位；通过所述卡扣111与卡环231扣合来连接基座1与真空治具2；通过密封圈233贴合外圈平坦面11来进行基座1与真空治具2的密封。

所述真空治具2还包括设于治具腔体21内的进气阀25、及一用于测量治具腔体21内真空度的压力表26；所述真空泵3与所述治具腔体21连通，根据所述治具腔体21的体积及治具腔体21需要达到的真空度选择真空泵3的型号，通过打开进气阀25实现治具腔体21的破真空。

所述可取面12上设有数个第一连接孔121，用于将可取面12可拆卸连接于外圈平坦面11围成的封闭空间内；所述可取面外接件13上设有数个第二连接孔132，用于将可取面外接件13固定于所述可取面12相对远离真空腔体一侧；所述可取面外接件13的一端还设有方向标135，通过方向标135指示所述可取面外接件13的安装方向。

所述取物杆22伸出所述治具腔体21的末端连接手柄221，以便于使取物杆22沿其轴向运动。

使用本发明的快速更换真空腔体内消耗件的装置，将真空治具2与基座1密封连接，通过真空泵3对真空治具2抽真空，使治具腔体21的真空度与真空腔体的真空度相同，使用取物杆22将基座1的可取面外接件13及可取面12从其外圈平坦面11围成的封闭空间内抽出；然后关闭阀门14使真空腔体壁开口封闭，对真空治具2破真空，分离真空治具2与基座1，固定安装新的消耗件5后，再密封连接真空治具2与基座1，通过真空泵3对真空治具2抽真空，使治具腔体21的真空度与真空腔体的真空度相同，接着打开所述阀门14使真空腔体壁开口打开，使用取物杆22将可取面外接件13及可取面12装入所述外圈平坦面11围成的封闭空间内，消耗件5被可取面12带入真空腔体，最后将真空治具2从基座1分离，完成真空腔体内消耗件的更换。整个更换真空腔体内消耗件的全程无需对真空腔体破真空，始终保持真空腔体处于真空状态，而将抽真空转移至体积远小于所述真空腔体的治具腔体21内，从而能够在短时间内快速更换真空腔体内的消耗件，提升真空设备的产能，提高生产效率，并且可以降低因为对真空腔体破真空而灌入的空气对真空腔体内其它部件的寿命会的影响。该装置尤其适用于大型真空设备，例如，该装置应用到第五代低温多晶体硅液晶显示面板生产线的离子注入机的真空腔体内的消耗件更换时，每次更换消耗件可节省至少12小时，大大提升了离子注入机的产能。

请参阅图4，结合图1至图3，本发明还提供一种快速更换真空腔体内消耗件的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供一真空腔体、及固定安装于真空腔体壁的基座1。

真空腔体壁在对应安装基座1的部位开口；所述基座1包括外圈平坦面11、可拆卸连接于外圈平坦面11围成的封闭空间内的可取面12、固定于所述可取面12相对远离真空腔体一侧的可取面外接件13、及一用于打开与封闭真空腔体壁开口的阀门14；所述可取面外接件13中部设有取物杆连接孔131。所述阀门14打开，消耗件5固定安装于所述可取面12朝向真空腔体的一侧，经由真空腔体壁开口伸入真空腔体内。

具体地，所述基座1的外圈平坦面11的四周边缘对称设置数个卡扣111，所述外圈平坦面11上设有数个对位孔112。

所述可取面12上设有数个第一连接孔121，用于将可取面12可拆卸连接于外圈平坦面11围成的封闭空间内；所述可取面外接件13上设有数个第二连接孔132，用于将可取面外接件13固定于所述可取面12相对远离真空腔体一侧。

所述可取面外接件13的一端还设有方向标135，通过方向标135指示所述可取面外接件13的安装方向。

步骤2、提供一真空治具2、及与所述真空治具2连通的真空泵3。

所述真空治具2包括一治具腔体21、及一取物杆22；所述治具腔体21的一端开口形成对接面23，另一端设有供取物杆22沿其轴向运动的取物杆容纳孔24；所述取物杆22通过取物杆连接孔131与可取面外接件13固定。

具体地，所述治具腔体21的对接面23的四周边缘对应所述数个卡扣111设置同等数量的卡环231、所述对接面23上对应所述数个对位孔112设置同等数量的对位柱232，所述对接面23上还设置有密封圈233。

所述真空治具2还包括设于治具腔体21内的进气阀25、及一压力表26；所述真空泵3与所述治具腔体21连通,根据所述治具腔体21的体积及治具腔体21需要达到的真空度选择真空泵3的型号。

所述取物杆22伸出所述治具腔体21的末端连接手柄221，以便于使取物杆22沿其轴向运动。

步骤3、将所述真空治具2的对接面23与所述基座1的外圈平坦面11密封连接，启动真空泵3对真空治具2的治具腔体21抽真空，使治具腔体21的真空度与真空腔体的真空度相同。

具体地，通过所述将对位柱232插入对位孔112来进行基座1与真空治具2的对位；通过所述卡扣111与卡环231扣合来连接基座1与真空治具2；通过密封圈233贴合外圈平坦面11来进行基座1与真空治具2的密封；通过所述压力表26来测量治具腔体21内的真空度，判断治具腔体21的真空度与真空腔体的真空度是否相同。

步骤4、关闭真空泵3，使用取物杆22将可取面外接件13及可取面12从所述外圈平坦面11围成的封闭空间内抽出，固定安装于所述可取面12朝向真空腔体的一侧的消耗件5被可取面12带入治具腔体21，然后关闭阀门14使真空腔体壁开口封闭。

步骤5、对所述真空治具2破真空，并将真空治具2从基座1分离，在可取面12朝向真空腔体的一侧固定安装新的消耗件5。

具体地，通过打开进气阀25实现治具腔体21的破真空。

通过解除卡扣111与卡环231的扣合来将真空治具2从基座1分离。

步骤6、再次将所述真空治具2的对接面23与所述基座1的外圈平坦面11密封连接，启动真空泵3对真空治具2的治具腔体21抽真空，使治具腔体21的真空度与真空腔体的真空度相同。

步骤7、打开所述阀门14使真空腔体壁开口打开，使用取物杆22将可取面外接件13及可取面12装入所述外圈平坦面11围成的封闭空间内，固定安装于所述可取面12朝向真空腔体的一侧的消耗件5被可取面12带入真空腔体，然后将真空治具2从基座1分离，完成真空腔体内消耗件的更换。

上述快速更换真空腔体内消耗件的方法，使得整个更换真空腔体内消耗件的全程无需对真空腔体破真空，始终保持真空腔体处于真空状态，而将抽真空的步骤转移至体积远小于所述真空腔体的治具腔体21内，从而能够在短时间内快速更换真空腔体内的消耗件，提升真空设备的产能，提高生产效率，并且可以降低因为对真空腔体破真空而灌入的空气对真空腔体内其它部件的寿命的影响。该方法尤其适用于大型真空设备，例如，该方法应用到第五代低温多晶体硅液晶显示面板生产线的离子注入机的真空腔体内的消耗件更换时，每次更换消耗件可节省至少12小时，大大提升了离子注入机的产能。

综上所述，本发明的快速更换真空腔体内消耗件的装置与方法，将真空治具与基座密封连接，通过真空泵对真空治具抽真空，使用取物杆将基座的可取面外接件及可取面从其外圈平坦面围成的封闭空间内抽出，然后对真空治具破真空，分离真空治具与基座，固定安装新的消耗件后，再对真空治具抽真空，密封连接真空治具与基座，使用取物杆将可取面外接件及可取面装入所述外圈平坦面围成的封闭空间内，消耗件被可取面带入真空腔体，整个更换消耗件的过程无需对真空腔体破真空，即能够在短时间内更换真空腔体内的消耗件，提升真空设备的产能，提高生产效率。

以上所述，对于本领域的普通技术人员来说，可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形，而所有这些改变和变形都应属于本发明权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种快速更换真空腔体内消耗件的装置，其特征在于，包括：一固定安装于真空腔体壁的基座(1)、一与所述基座(1)进行可拆卸连接的真空治具(2)、及与所述真空治具(2)连通的真空泵(3)；

真空腔体壁在对应安装基座(1)的部位开口；所述基座(1)包括外圈平坦面(11)、可拆卸连接于外圈平坦面(11)围成的封闭空间内的可取面(12)、固定于所述可取面(12)相对远离真空腔体一侧的可取面外接件(13)、及一用于打开与封闭真空腔体壁开口的阀门(14)；消耗件(5)固定安装于所述可取面(12)朝向真空腔体的一侧，经由真空腔体壁开口伸入真空腔体内；

所述真空治具(2)包括一治具腔体(21)、及一取物杆(22)；所述治具腔体(21)的一端开口形成对接面(23)，另一端设有供取物杆(22)沿其轴向运动的取物杆容纳孔(24)；所述可取面外接件(13)中部设有取物杆连接孔(131)，所述取物杆(22)通过取物杆连接孔(131)与可取面外接件(13)固定。

2.如权利要求1所述的快速更换真空腔体内消耗件的装置，其特征在于，所述基座(1)的外圈平坦面(11)的四周边缘对称设置数个卡扣(111)，所述外圈平坦面(11)上设有数个对位孔(112)；所述治具腔体(21)的对接面(23)的四周边缘对应所述数个卡扣(111)设置同等数量的卡环(231)、所述对接面(23)上对应所述数个对位孔(112)设置同等数量的对位柱(232)，所述对接面(23)上还设置有密封圈(233)；

通过所述将对位柱(232)插入对位孔(112)来进行基座(1)与真空治具(2)的对位；通过所述卡扣(111)与卡环(231)扣合来连接基座(1)与真空治具(2)；通过密封圈(233)贴合外圈平坦面(11)来进行基座(1)与真空治具(2)的密封。

3.如权利要求1所述的快速更换真空腔体内消耗件的装置，其特征在于，所述真空治具(2)还包括设于治具腔体(21)内的进气阀(25)、及一用于测量治具腔体(21)内真空度的压力表(26)；所述真空泵(3)与所述治具腔体(21)连通，根据所述治具腔体(21)的体积及治具腔体(21)需要达到的真空度选择真空泵(3)的型号。

4.如权利要求1所述的快速更换真空腔体内消耗件的装置，其特征在于，所述可取面(12)上设有数个第一连接孔(121)，用于将可取面(12)可拆卸连接于外圈平坦面(11)围成的封闭空间内；所述可取面外接件(13)上设有数个第二连接孔(132)，用于将可取面外接件(13)固定于所述可取面(12)相对远离真空腔体一侧。

5.如权利要求1所述的快速更换真空腔体内消耗件的装置，其特征在于，所述取物杆(22)伸出所述治具腔体(21)的末端连接手柄(221)。

6.一种快速更换真空腔体内消耗件的方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1、提供一真空腔体、及固定安装于真空腔体壁的基座(1)；

真空腔体壁在对应安装基座(1)的部位开口；所述基座(1)包括外圈平坦面(11)、可拆卸连接于外圈平坦面(11)围成的封闭空间内的可取面(12)、固定于所述可取面(12)相对远离真空腔体一侧的可取面外接件(13)、及一用于打开与封闭真空腔体壁开口的阀门(14)；所述可取面外接件(13)中部设有取物杆连接孔(131)；

所述阀门(14)打开，消耗件(5)固定安装于所述可取面(12)朝向真空腔体的一侧，经由真空腔体壁开口伸入真空腔体内；

步骤2、提供一真空治具(2)、及与所述真空治具(2)连通的真空泵(3)；

所述真空治具(2)包括一治具腔体(21)、及一取物杆(22)；所述治具腔体(21)的一端开口形成对接面(23)，另一端设有供取物杆(22)沿其轴向运动的取物杆容纳孔(24)；所述取物杆(22)通过取物杆连接孔(131)与可取面外接件(13)固定；

步骤3、将所述真空治具(2)的对接面(23)与所述基座(1)的外圈平坦面(11)密封连接，启动真空泵(3)对真空治具(2)的治具腔体(21)抽真空，使治具腔体(21)的真空度与真空腔体的真空度相同；

步骤4、关闭真空泵(3)，使用取物杆(22)将可取面外接件(13)及可取面(12)从所述外圈平坦面(11)围成的封闭空间内抽出，固定安装于所述可取面(12)朝向真空腔体的一侧的消耗件(5)被可取面(12)带入治具腔体(21)，然后关闭阀门(14)使真空腔体壁开口封闭；

步骤5、对所述真空治具(2)破真空，并将真空治具(2)从基座(1)分离，在可取面(12)朝向真空腔体的一侧固定安装新的消耗件(5)；

步骤6、再次将所述真空治具(2)的对接面(23)与所述基座(1)的外圈平坦面(11)密封连接，启动真空泵(3)对真空治具(2)的治具腔体(21)抽真空，使治具腔体(21)的真空度与真空腔体的真空度相同；

步骤7、打开所述阀门(14)使真空腔体壁开口打开，使用取物杆(22)将可取面外接件(13)及可取面(12)装入所述外圈平坦面(11)围成的封闭空间内，固定安装于所述可取面(12)朝向真空腔体的一侧的消耗件(5)被可取面(12)带入真空腔体，然后将真空治具(2)从基座(1)分离，完成真空腔体内消耗件的更换。

7.如权利要求6所述的快速更换真空腔体内消耗件的方法，其特征在于，所述基座(1)的外圈平坦面(11)的四周边缘对称设置数个卡扣(111)，所述外圈平坦面(11)上设有数个对位孔(112)；所述治具腔体(21)的对接面(23)的四周边缘对应所述数个卡扣(111)设置同等数量的卡环(231)、所述对接面(23)上对应所述数个对位孔(112)设置同等数量的对位柱(232)，所述对接面(23)上还设置有密封圈(233)；

通过所述将对位柱(232)插入对位孔(112)来进行基座(1)与真空治具(2)的对位；通过所述卡扣(111)与卡环(231)扣合来连接基座(1)与真空治具(2)；通过密封圈(233)贴合外圈平坦面(11)来进行基座(1)与真空治具(2)的密封；通过解除卡扣(111)与卡环(231)的扣合来将真空治具(2)从基座(1)分离。

8.如权利要求6所述的快速更换真空腔体内消耗件的方法，其特征在于，所述真空治具(2)还包括设于治具腔体(21)内的进气阀(25)、及一压力表(26)；所述真空泵(3)与所述治具腔体(21)连通，根据所述治具腔体(21)的体积及治具腔体(21)需要达到的真空度选择真空泵(3)的型号；

通过打开进气阀(25)实现治具腔体(21)的破真空；通过压力表(26)来测量治具腔体(21)内的真空度。

9.如权利要求6所述的快速更换真空腔体内消耗件的方法，其特征在于，所述可取面(12)上设有数个第一连接孔(121)，用于将可取面(12)可拆卸连接于外圈平坦面(11)围成的封闭空间内；所述可取面外接件(13)上设有数个第二连接孔(132)，用于将可取面外接件(13)固定于所述可取面(12)相对远离真空腔体一侧。

10.如权利要求6所述的快速更换真空腔体内消耗件的方法，其特征在于，所述取物杆(22)伸出所述治具腔体(21)的末端连接手柄(221)。