CN105356214A - 一种激光能量控制装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种激光能量控制装置及方法，应用于激光成像系统，属于光刻技术领域，所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块，所述光能量采集模块分别与所述第一控制模块及所述第二控制模块耦合，所述第一控制模块与所述第二控制模块均与所述电压驱动电路的输出端耦合。本发明提供的一种激光能量控制装置及方法通过第一控制模块和第二控制模块的配合，有效地控制了激光器的驱动电压模块的输出电压，进而有效地提高了激光器输出激光光束的能量的准确性和可靠性。

Description

一种激光能量控制装置及方法

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，具体而言，涉及一种激光能量控制装置及方法。

背景技术

半导体行业和印刷电路板行业中，曝光环节中一般使用传统曝光机或激光动态成像技术(LaserDynamicImaging，LDI)设备，与传统曝光机不同，LDI设备是用激光扫描的方法直接将图像在印制电路板上成像。由于成像过程更精细，因此LDI设备中激光器输出能量的控制也更为细致和精准。现有的控制方法为通过电路调节保证激光器输出能量本身的稳定性。但是，激光器在使用一定时间后一般会出现能量衰减，其自身的控制反馈信号不能补偿激光器的能量衰减，导致激光器输出的激光光束的能量并不能达到用户所需要的能量。由于当激光器输出的激光光束的能量衰减到临界值后，对LDI设备后续的曝光和显影会造成影响，使得生产的电路板出现短路和断路等现象。因此，需要一种激光能量控制方法，以保证激光器输出的能量为用户所需要的能量，避免影响到后续曝光和显影，造成经济损失。

发明内容

本发明的目的在于提供一种激光能量控制装置及方法，有效地提高了实际应用中激光器输出能量的准确性和可靠性，以改善上述问题。

为了实现上述目的，本发明实施例采用的技术方案如下：

第一方面，本发明实施例提供了一种激光能量控制装置，应用于激光成像系统，所述激光成像系统包括激光器，所述激光器包括电压驱动电路，所述激光器根据所述电压驱动电路的输出电压发出相应能量的激光光束，所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块，所述光能量采集模块分别与所述第一控制模块及所述第二控制模块耦合，所述第一控制模块与所述第二控制模块均与所述电压驱动电路的输出端耦合；

所述光能量采集模块用于采集所述激光器输出的激光光束的光能量信号，并将所述光能量信号发送至所述第一控制模块和所述第二控制模块；

所述第一控制模块用于将接收到的所述光能量信号与所述电压驱动电路的预设输出电压进行比较得到第一差值，并将所述第一差值反馈到所述电压驱动电路的输出端；

所述电压驱动电路用于根据所述第一差值调整输出电压，以调整所述激光器输出的激光光束的能量；

所述第二控制模块用于将接收的所述经调整的激光光束的光能量信号与所述预设输出电压进行比较得到第二差值，根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，若是，发送控制指令关闭所述第一控制模块，并发送所述第二差值至所述电压驱动电路；

所述电压驱动电路还用于根据所述第二差值调节输出电压，以调整所述激光器输出的激光光束的能量。

结合第一方面，本发明实施例还提供了第一方面的第一种可能实施方式，其中，所述装置还包括开关模块，所述开关模块包括控制端、第一连接端、第二连接端和第三连接端，所述第一连接端与所述第一控制模块的输出端耦合，所述第二连接端和所述控制端均与所述第二控制模块耦合，所述第三连接端与所述电压驱动电路的输出端耦合；

所述控制端用于根据所述第二控制模块发送的控制指令，断开所述第一连接端与所述第三连接端的连接，连接第二连接端与所述三连接端。

结合第一方面的第一种可能实施方式，本发明实施例还提供了第一方面的第二种可能实施方式，其中，所述第一控制模块包括电压放大电路、电压比较电路和反馈电路，所述电压放大电路的输入端与所述光能量采集模块的输出端耦合，所述电压比较电路的输入端与所述电压放大电路的输出端耦合，所述电压比较电路的输出端与所述反馈电路耦合，所述反馈电路的输出端为所述第一控制模块的输出端。

结合第一方面的第一种可能实施方式或第二种可能实施方式，本发明实施例还提供了第一方面的第三种可能实施方式，其中，所述第二控制模块包括中央处理器，所述中央处理器分别与所述光能量采集模块的输出端、所述开关模块的控制端、所述开关模块的第二连接端耦合。

结合第一方面的第三种可能实施方式，本发明实施例还提供了第一方面的第四种可能实施方式，其中，所述装置还包括用于避免所述激光器的驱动电压超出所述激光器的安全电压范围的电压保护模块，所述电压保护模块与所述电压驱动电路的输出端耦合。

结合第一方面的第四种可能实施方式，本发明实施例还提供了第一方面的第五种可能实施方式，其中，所述电压保护模块为放电管，所述放电管的一端与所述电压驱动电路的输出端耦合，另一端接地。

结合第一方面的第五种可能实施方式，本发明实施例还提供了第一方面的第六种可能实施方式，其中，所述第二控制模块还包括模数转换电路，所述模数转换电路的输出端与所述开关模块的第二连接端耦合，所述模数转换电路的输入端与所述中央处理器耦合。

第二方面，本发明实施例提供了一种激光能量控制方法，应用于设置有激光能量控制装置的激光成像系统，所述激光成像系统包括激光器，所述激光器包括电压驱动电路，所述激光器根据电压驱动电路的预设输出电压发出相应的能量的激光光束，所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块；所述方法包括：

所述光能量采集模块采集所述激光器输出的激光光束的光能量信号，并将所述光能量信号发送至所述第一控制模块和所述第二控制模块；

所述第一控制模块将接收到的所述光能量信号与所述电压驱动电路的预设输出电压进行比较得到第一差值，并将所述第一差值反馈到所述电压驱动电路的输出端；

所述电压驱动电路根据所述第一差值调整输出电压，调整所述激光器输出激光光束的能量；

所述第二控制模块将接收的所述经调整的激光光束的光能量信号与所述预设输出电压进行比较得到第二差值，根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，

若是，发送控制指令关闭所述第一控制模块，并发送所述第二差值至所述电压驱动电路；

所述电压驱动电路根据所述第二差值调节输出电压，以调整所述激光器输出激光光束的能量。

结合第二方面，本发明实施例还提供了第二方面的第一种可能实施方式，其中，所述的根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，具体包括：

判断所述第二差值是否在预设范围内，

若是，则判定所述第一控制模块没有发生故障，若不是，则判定所述第一控制模块发生故障。

结合第二方面或第二方面的第一种可能实施方式，本发明实施例还提供了第二方面的第二种可能实施方式，其中，所述装置还包括开关模块，所述开关模块包括控制端、第一连接端、第二连接端和第三连接端，所述第一连接端与所述第一控制模块的输出端耦合，所述第二连接端和所述控制端均与所述第二控制模块耦合，所述第三连接端与所述电压驱动电路的输出端耦合；

所述的发送控制指令关闭所述第一控制模块，具体包括：

所述第二控制模块发送控制指令至所述开关模块的控制端；

所述控制端根据所述控制指令，断开所述第一连接端与所述第三连接端的连接，连接第二连接端与所述三连接端。

本发明实施例通过光采集模块采集了激光器输出的激光光束的实际光能量信号并分别发送给第一控制模块和第二控制模块，第一控制模块作为主要控制模块，对激光器的驱动电压模块的输出电压进行补偿；第二控制模块作为辅助控制模块，当第一控制模块出现故障时，直接对激光器的驱动电压模块的输出电压进行控制。通过第一控制模块和第二控制模块的配合，有效地控制了激光器的驱动电压模块的输出电压，进而有效地提高了激光器输出激光光束的能量的准确性和可靠性。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明实施例而了解。本发明的目的和其他优点可通过在所写的说明书、权利要求书、以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。通过附图所示，本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。在全部附图中相同的附图标记指示相同的部分。并未刻意按实际尺寸等比例缩放绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1示出了本发明第一实施例提供的一种激光能量控制装置的模块框图；

图2示出了本发明第二实施例提供的一种激光能量控制方法的方法流程图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

半导体行业和印刷电路板行业中，曝光环节中一般使用传统曝光机或激光动态成像技术(LaserDynamicImaging，LDI)设备，与传统曝光机不同，LDI设备是用激光扫描的方法直接将图像在印制电路板上成像，由于成像过程更精细，因此激光器输出能量的控制也更为细致和精准。由于LDI设备对能量的控制较为严格，且激光器在使用一定时间后会出现能量衰减，因此有必要对曝光时的激光器能量进行监控并实时调节。另外，LDI设备用于加工电路板时，一般在工厂中使用，工厂环境比较嘈杂，其它的电气设备会对LDI设备产生电磁干扰，影响到传统单向激光器控制的稳定性和精准性。因此，本发明实施例提供了一种激光能量控制装置，应用于LDI设备中的激光成像系统中，所述激光成像系统包括激光器，所述激光器包括电压驱动电路，所述激光器根据电压驱动电路的输出电压发出相应能量的激光光束。所述激光能量控制装置通过采集激光器输出的激光光束的实际能量，并根据所述实际能量采用闭环控制方式，调节所述激光器的电压驱动电路的输出电压，有效地提高了实际应用中所述激光器输出激光光束的能量的准确性和可靠性。

第一实施例

本发明实施例提供了一种激光能量控制装置，应用于激光成像系统，所述装置包括光能量采集模块100、第一控制模块200和第二控制模块300，如图1所示。所述光能量采集模块100分别与所述第一控制模块200及所述第二控制模块300耦合，所述第一控制模块200与所述第二控制模块300均与所述电压驱动电路500的输出端耦合。

其中，所述光能量采集模块100用于采集所述激光器输出的激光光束的光能量信号，并将所述光能量信号发送至所述第一控制模块200和所述第二控制模块300。所述第一控制模块200用于将接收到的所述光能量信号与所述电压驱动电路500的预设输出电压进行比较得到第一差值，并将所述第一差值反馈到所述电压驱动电路500的输出端；所述电压驱动电路500用于根据所述第一差值调整输出电压，以调整所述激光器输出激光光束的能量。所述第二控制模块300用于将接收的所述经调整的激光光束的光能量信号与所述预设输出电压进行比较得到第二差值，根据所述第二差值判断所述第一控制模块200是否发生故障；若是，发送控制指令关闭所述第一控制模块200，并发送所述第二差值至所述电压驱动电路500；所述电压驱动电路500根据所述第二差值调节输出电压，以调整所述激光器输出激光光束的能量。

所述激光能量控制装置上电后，所述第一控制模块200直接对所述激光器的电压驱动电路500的输出电压进行补偿。具体为：第一控制模块200接收到光能量采集模块100发送的光能量信号时，将接收到的光能量信号与所述电压驱动电路500的预设输出电压进行比较得到第一差值，并根据所述第一差值对激光器的驱动电压进行补偿，以控制所述激光器输出的激光光束的能量。例如，所述光能量信号为模拟电压信号，对所述模拟电压信号做进一步的处理后，与所述电压驱动电路500的预设输出电压进行比较，并直接将比较得到的电压差值反馈到所述电压驱动电路500的输出端，对激光器的实际驱动电压进行补偿，以使激光器发出的激光光束的实际能量与预设输出电压相对应。需要说明的是，激光器的控制电压与激光器的输出功率存在一定的关系，即激光器的输出特性曲线，因此，所述预设输出电压可以根据激光器的预设输出功率得到。所述预设输出功率根据用户的实际需要设置。

需要说明的是，第一控制模块200的响应速度大于所述第二控制模块300的响应速度，因此，第二控制模块300接收到的光能量信号为经过所述第一控制模块200调节后，激光器发出的激光光束的光能量信号。

第二控制模块300包括监测模式和辅助控制模式，当第二控制模块300接收到光能量采集模块100发送的光能量信号时，首先进入监测模式，将所述光能量信号与所述预设输出电压进行比较得到第二差值，若所述第二差值超出预设范围，则判定所述第一控制模块200发生故障，进入辅助控制模式。辅助控制模式下，第二控制模块300发送控制指令关闭所述第一控制模块200，并发送所述第二差值至所述电压驱动电路500，所述电压驱动电路500再根据所述第二差值调节输出电压，以调整所述激光器输出激光光束的能量；若所述第二差值在所述预设范围内，则所述第二控制模块300只停留在监测模式，不进入辅助控制模式，即继续判定下一次接收到的光能量采集模块100发送的光能量信号，重复上述处理过程。其中，需要说明的是，所述预设范围可以根据用户的需要设置，例如，可以设置为0.01V～0.1V。

本发明实施例设计了一种激光成像系统中的激光器实际发出的激光光束能量的控制装置，以第一控制模块200的控制为主，第二控制模块300的控制为辅。第一控制模块200可以自动对所述激光器的电压驱动电路500的输出电压进行闭环控制，可以监测所述第一控制装置的工作状态，当第一控制装置发生故障时，直接调控所述激光器的电压驱动电路500的输出电压，以保证所述激光器发出的激光光束的实际能量达到所述预设输出功率，有效地保证了实际应用中所述激光器输出激光光束的能量的准确性和可靠性，便于激光器在LDI设备中的使用。

此外，为了便于第一控制模块200在所述第二控制模块300发生故障时将第二控制模块300关闭，本发明实施例提供的激光能量控制装置还包括开关模块400，如图1所示，所述开关模块400包括控制端m、第一连接端a、第二连接端b和第三连接端c，所述第一连接端a与所述第一控制模块200的输出端耦合，所述第二连接端b和所述控制端m均与所述第二控制模块300耦合，所述第三连接端c与所述电压驱动电路500的输出端耦合。其中，所述控制端m用于根据所述第二控制模块300发送的控制指令，一方面断开所述第一连接端a与所述第三连接端c的连接，即断开所述第二控制模块300对所述激光器的电压启动模块的输出电压的调控；另一方面，连接第二连接端b与所述三连接端，以使得第二控制模块300可以将所述第二差值发送至所述电压驱动电路500；所述电压驱动电路500再根据所述第二差值调节输出电压，以调整所述激光器输出激光光束的能量。需要说明的是，所述开关模块400的初始状态，即激光能量控制装置上电时的状态为：所述第一连接端a与所述第三连接端c的连接，且第二连接端b与所述三连接端断开。本发明实施例中，开关模块400可以采用具有控制端的多路模拟开关，例如继电器。

优选的，第一控制模块200接收到的光能量采集模块100发送的光能量信号为模拟电压信号。所述第一控制模块200包括电压放大电路、电压比较电路和反馈电路，所述电压放大电路的输入端与所述光能量采集模块100的输出端耦合，所述电压比较电路的输入端与所述电压放大电路的输出端耦合，所述电压比较电路的输出端与所述反馈电路耦合，所述反馈电路的输出端即为所述第一控制模块200的输出端，与所述开关模块400的第一连接端a耦合。

所述电压放大电路将所述光能量采集模块100发送的模拟电压信号按照预设比例放大；所述电压比较电路将经过所述电压放大电路放大后的电压值与所述预设输出电压进行比较得到所述第一差值，并将所述第一差值输出到反馈电路；所述反馈电路将接收到的所述第一差值反馈到所述激光器的电压驱动电路500的输出端，对所述激光器的电压驱动电路500的输出电压进行补偿，以快速调节激光器的实际控制电压，进而使激光器输出激光光束的能量达到预设的输出功率。第一控制模块200的快速补偿和自控控制，有效地保证了实际应用中所述激光器输出激光光束的能量的准确性和可靠性。

优选的，所述第二控制模块300接收到的光能量采集模块100发送的光能量信号为数字电压信号，且所述数字电压信号为经过所述第一控制模块200调节后，光能量采集模块100采集到的激光器发出的激光光束的光能量信号转化为的数字电压信号。所述第二控制模块300包括中央处理器，所述中央处理器分别与所述光能量采集模块100的输出端、所述开关模块400的控制端m、所述开关模块400的第二连接端b耦合。本发明实施例中，所述中央处理器可以采用单片机、DSP、ARM或FPGA等其他具有数据处理功能的芯片。

当然，为了避免所述激光器的驱动电压超出所述激光器的安全电压范围，从而损坏激光器，本发明实施例提供的激光能量采集装置还包括电压保护模块，所述电压保护模块与所述激光器的电压驱动电路500的输出端耦合。优选的，所述电压保护模块可以采用放电管，所述放电管的一端与所述电压驱动电路500的输出端耦合，另一端接地。当然，也可以采用其他的过电压保护模块。当经过第一控制模块200或第二控制模块300补偿后，所述激光器的电压驱动电路500的输出电压超过所述激光器的安全电压范围时，放电管导通，通过放电的方式消耗掉超出所述激光器的安全电压范围的电压。

显然，当所述中央处理器不具有数模转换功能时，所述第二控制模块300还包括数模转换模块，所述数模转换模块的输出端与所述开关模块400的第二连接端b耦合，所述数模转换模块的输入端与所述中央处理器耦合。所述数模转换模块用于将中央处理器发送的所述第二差值转化为模拟电压信号发送至所述激光器的电压驱动电路500，以调节所述电压驱动电路500的输出电压，进而在第一控制模块200出现故障时，所述中央处理器可以调节所述激光器输出的激光光束的能量达到预设的功率。

第二实施例

如图2所示，本发明实施例提供了一种激光能量控制方法，应用于设置有激光能量控制装置的激光成像系统，所述激光能量控制装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块；所述方法包括：

S110：所述光能量采集模块采集所述激光器输出的激光光束的光能量信号，并将所述光能量信号发送至所述第一控制模块和所述第二控制模块；

S120：所述第一控制模块将接收到的所述光能量信号与所述电压驱动电路的预设输出电压进行比较得到第一差值，并将所述第一差值反馈到所述电压驱动电路的输出端；

S130：所述电压驱动电路根据所述第一差值调整输出电压，以调整所述激光器输出的激光光束的能量；

S140：所述第二控制模块将接收的所述经调整的激光光束的光能量信号与所述预设输出电压进行比较得到第二差值，根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，

若是，进入步骤S150；若不是，返回继续执行S140。

其中，步骤S140中所述的根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，具体包括：判断所述第二差值是否在预设范围内，若不是，则判定所述第一控制模块发生故障，执行步骤150，若是，则判定所述第一控制模块没有发生故障，返回继续执行S140，继续判定下一次接收到的所述经所述第一控制模块调节后所述激光器输出的激光光束的光能量信号。其中，需要说明的是，所述预设范围可以根据用户的需要设置，例如，可以设置为0.01V～0.1V。

S150：第二控制模块发送控制指令关闭所述第一控制模块，并发送所述第二差值至所述电压驱动电路；

所述第二控制模块发送控制指令至所述开关模块的控制端；所述控制端用于根据所述第二控制模块发送的控制指令，一方面断开所述第一连接端与所述第三连接端的连接，即断开所述第二控制模块对所述激光器的电压启动模块的输出电压的调控；另一方面，开启第二连接端与所述三连接端的连接，此后所述第二控制模块再发送所述第二差值至所述电压驱动电路。

S160：所述电压驱动电路根据所述第二差值调节输出电压，调整所述激光器输出的激光光束的能量。

在所属领域的技术人员可以清楚地了解到，为描述的方便和简洁，上述描述的方法的具体工作过程，可以参考上文中装置实施例中的对应过程，在此不再赘述。

在本发明所提供的实施例中，应该理解到，所揭露的模块，可以通过其它的方式实现。以上所描述的实施例仅仅是示意性的，例如，所述模块的划分，仅仅为一种逻辑功能划分，实际实现时可以有另外的划分方式，又例如，多个模块或组件可以结合或者可以集成到另一个系统，或一些特征可以忽略，或不执行。另一点，所显示或讨论的相互之间的耦合或直接耦合或通信连接可以是通过一些通信接口或模块的间接耦合或通信连接，可以是电性，机械或其它的形式。

所述作为分离部件说明的模块可以是或者也可以不是物理上分开的，作为模块显示的部件可以是或者也可以不是物理单元，即可以位于一个地方，或者也可以分布到多个网络单元上。可以根据实际的需要选择其中的部分或者全部模块来实现本实施例方案的目的。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

以上所述仅为本发明的优选实施例而已，并不用于限制本发明，对于本领域的技术人员来说，本发明可以有各种更改和变化。凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种激光能量控制装置，应用于激光成像系统，其特征在于，所述激光成像系统包括激光器，所述激光器包括电压驱动电路，所述激光器根据所述电压驱动电路的输出电压发出相应能量的激光光束，所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块，所述光能量采集模块分别与所述第一控制模块及所述第二控制模块耦合，所述第一控制模块与所述第二控制模块均与所述电压驱动电路的输出端耦合；

所述光能量采集模块用于采集所述激光器输出的激光光束的光能量信号，并将所述光能量信号发送至所述第一控制模块和所述第二控制模块；

所述第一控制模块用于将接收到的所述光能量信号与所述电压驱动电路的预设输出电压进行比较得到第一差值，并将所述第一差值反馈到所述电压驱动电路的输出端；

所述电压驱动电路用于根据所述第一差值调整输出电压，以调整所述激光器输出的激光光束的能量；

所述第二控制模块用于将接收的所述经调整的激光光束的光能量信号与所述预设输出电压进行比较得到第二差值，根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，若是，发送控制指令关闭所述第一控制模块，并发送所述第二差值至所述电压驱动电路；

所述电压驱动电路还用于根据所述第二差值调节输出电压，以调整所述激光器输出的激光光束的能量。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括开关模块，所述开关模块包括控制端、第一连接端、第二连接端和第三连接端，所述第一连接端与所述第一控制模块的输出端耦合，所述第二连接端和所述控制端均与所述第二控制模块耦合，所述第三连接端与所述电压驱动电路的输出端耦合；

所述控制端用于根据所述第二控制模块发送的控制指令，断开所述第一连接端与所述第三连接端的连接，连接第二连接端与所述三连接端。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述第一控制模块包括电压放大电路、电压比较电路和反馈电路，所述电压放大电路的输入端与所述光能量采集模块的输出端耦合，所述电压比较电路的输入端与所述电压放大电路的输出端耦合，所述电压比较电路的输出端与所述反馈电路耦合，所述反馈电路的输出端为所述第一控制模块的输出端。

4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述第二控制模块包括中央处理器，所述中央处理器分别与所述光能量采集模块的输出端、所述开关模块的控制端、所述开关模块的第二连接端耦合。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述装置还包括用于避免所述激光器的驱动电压超出所述激光器的安全电压范围的电压保护模块，所述电压保护模块与所述电压驱动电路的输出端耦合。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述电压保护模块为放电管，所述放电管的一端与所述电压驱动电路的输出端耦合，另一端接地。

7.根据权利要求6所述的装置，其特征在于，所述第二控制模块还包括模数转换电路，所述模数转换电路的输出端与所述开关模块的第二连接端耦合，所述模数转换电路的输入端与所述中央处理器耦合。

8.一种激光能量控制方法，应用于设置有激光能量控制装置的激光成像系统，其特征在于，所述激光成像系统包括激光器，所述激光器包括电压驱动电路，所述激光器根据所述电压驱动电路的预设输出电压发出相应的能量的激光光束，所述装置包括光能量采集模块、第一控制模块和第二控制模块；所述方法包括：

所述光能量采集模块采集所述激光器输出的激光光束的光能量信号，并将所述光能量信号发送至所述第一控制模块和所述第二控制模块；

所述第一控制模块将接收到的所述光能量信号与所述电压驱动电路的预设输出电压进行比较得到第一差值，并将所述第一差值反馈到所述电压驱动电路的输出端；

所述电压驱动电路根据所述第一差值调整输出电压，调整所述激光器输出的激光光束的能量；

所述第二控制模块将接收的所述经调整的激光光束的光能量信号与所述预设输出电压进行比较得到第二差值，根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，

若是，发送控制指令关闭所述第一控制模块，并发送所述第二差值至所述电压驱动电路；

所述电压驱动电路根据所述第二差值调节输出电压，调整所述激光器输出的激光光束的能量。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述的根据所述第二差值判断所述第一控制模块是否发生故障，具体包括：

判断所述第二差值是否在预设范围内，

若是，则判定所述第一控制模块没有发生故障，若不是，则判定所述第一控制模块发生故障。

10.根据权利要求8或9所述的方法，其特征在于，所述装置还包括开关模块，所述开关模块包括控制端、第一连接端、第二连接端和第三连接端，所述第一连接端与所述第一控制模块的输出端耦合，所述第二连接端和所述控制端均与所述第二控制模块耦合，所述第三连接端与所述电压驱动电路的输出端耦合；

所述的发送控制指令关闭所述第一控制模块，具体包括：

所述第二控制模块发送控制指令至所述开关模块的控制端；

所述控制端根据所述控制指令，断开所述第一连接端与所述第三连接端的连接，连接第二连接端与所述三连接端。