CN105355749A - 一种全彩氮化镓基led芯片结构 - Google Patents

一种全彩氮化镓基led芯片结构 Download PDF

Info

Publication number
CN105355749A
CN105355749A CN201510863432.XA CN201510863432A CN105355749A CN 105355749 A CN105355749 A CN 105355749A CN 201510863432 A CN201510863432 A CN 201510863432A CN 105355749 A CN105355749 A CN 105355749A
Authority
CN
China
Prior art keywords
led chip
layer
color
full
photoresist layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201510863432.XA
Other languages
English (en)
Inventor
郝锐
易翰翔
刘洋
许徳裕
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Guangdong Deli Photoelectric Co ltd
Original Assignee
Guangdong Deli Photoelectric Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Guangdong Deli Photoelectric Co ltd filed Critical Guangdong Deli Photoelectric Co ltd
Priority to CN201510863432.XA priority Critical patent/CN105355749A/zh
Publication of CN105355749A publication Critical patent/CN105355749A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/44Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the coatings, e.g. passivation layer or anti-reflective coating
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L33/00Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L33/48Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
    • H01L33/50Wavelength conversion elements
    • H01L33/501Wavelength conversion elements characterised by the materials, e.g. binder
    • H01L33/502Wavelength conversion materials
    • H01L33/504Elements with two or more wavelength conversion materials

Abstract

本发明公开了一种全彩氮化镓基LED芯片结构,包括氮化镓基的LED晶圆,LED晶圆包括衬底,衬底上依次设置有N-GaN层、发光层和P-GaN层,LED晶圆外设置有透明绝缘的光阻层,光阻层内不同区域分别掺入不同颗粒度和不同种类的量子点,使LED芯片形成红光区和绿光区。本发明的全彩氮化镓基LED芯片,利用掺有量子点的光阻层,将氮化镓基的LED晶圆发出的蓝光分别转化成红光和绿光,配合蓝光形成全彩光;同时,由于光阻层是采用软性的光刻胶制成,可取代钝化层更好的起到保护作用;光阻层取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED发光芯片的生产效率,并降低制造成本。

Description

一种全彩氮化镓基LED芯片结构
技术领域
本发明涉及LED领域,具体涉及一种全彩氮化镓基LED芯片结构。
背景技术
LED灯是现在广泛应用的照明灯具,具有体积小、亮度高、耗电量低、发热少、使用寿命长、环保等优点,并且具有繁多的颜色种类,深受消费者的喜爱。其中白光和黄光的LED灯主要用于日常照明。
LED灯的生产可大致分为三个步骤:一是LED发光芯片的制作,二是线路板的制作和LED发光芯片的封装,三是LED灯的组装。LED灯内最重要的部件是LED发光芯片,LED发光芯片的主体是一个发光PN结,主要由N型半导体、P型半导体和夹在两者之间的发光层组成,N型半导体和P型半导体上分别设置有金属电极,并在通电后发光。LED发光芯片发出的光线颜色主要由芯片材料决定,如现有的LED发光芯片大多采用氮化镓半导体材料制作,发出蓝光。采用蓝光LED发光芯片制作其他的单色LED灯时,需要在封装步骤中掺入荧光粉,荧光粉受激发后发出的光与LED发光芯片的蓝光混合后成为其他颜色的光线。但现有的LED芯片一般是单色芯片,不能获得全彩色的效果。
此外,现有的LED发光芯片一般在发光PN结外覆盖一层钝化层(SiO2层),起保护作用,光阻层(由光刻胶形成)设置在钝化层外。由于现有的LED发光芯片在制作过程中需要分别添加钝化层和光阻层,之后还需对金属电极上方的光阻层和钝化层分别进行蚀刻,使金属电极外露,工序繁琐,制作麻烦,增加成本;同时,由于SiO2是硬性材料,抗冲击、抗压的能力较差,钝化层不能很好起到保护作用。
发明内容
为克服现有技术的不足,本发明的目的在于提供一种全彩氮化镓基LED芯片结构,利用软性材料的光刻胶取代钝化层对芯片主体进行保护,同时在光阻层内掺入不同的量子点形成红光区和绿光区,配合氮化镓基LED发出的蓝光,形成全彩色的效果。
本发明为解决其技术问题采用的技术方案是:
一种全彩氮化镓基LED芯片结构,包括氮化镓基的LED晶圆,所述LED晶圆包括衬底,所述衬底上依次设置有N-GaN层、发光层和P-GaN层,LED晶圆外设置有透明绝缘的光阻层,所述光阻层内不同区域分别掺入不同颗粒度和不同种类的量子点,使LED芯片形成红光区和绿光区。
作为上述技术方案的进一步改进,所述红光区与绿光区之间通过刻蚀设置有绝缘的芯片隔离带。
作为上述技术方案的进一步改进,所述LED芯片的部分光阻层不掺入量子点,形成蓝光区。
作为上述技术方案的进一步改进,所述蓝光区与红光区、绿光区之间通过刻蚀分别设置有绝缘的芯片隔离带。
作为上述技术方案的进一步改进,所述量子点为CdS、CdSe、CdTe、ZnO、ZnS、ZnSe、PbS和PbTe中的一种或几种。
作为上述技术方案的进一步改进,所述绿光区内掺入的量子点为ZnSe、CdSe、ZnS中的一种或几种。
作为上述技术方案的进一步改进,所述红光区内掺入的量子点为CdSe、ZnS中的任意一种或两种组合。
作为上述技术方案的进一步改进,所述N-GaN层和P-GaN层上分别设置有金属电极,所述光阻层上设置有使金属电极外露的缺口。
本发明的有益效果是:
本发明的全彩氮化镓基LED芯片,在一片芯片上分别设置有红光区和绿光区,利用掺有量子点的光阻层,将氮化镓基的LED晶圆发出的蓝光分别转化成红光和绿光,配合蓝光形成全彩光;同时,由于光阻层是采用软性的光刻胶制成,抗冲击、抗压的能力比硬性材料的SiO2更为优秀,因此光阻层可取代钝化层更好的起到保护作用;光阻层取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED发光芯片的生产效率,并降低制造成本。
附图说明
以下结合附图和实例作进一步说明。
图1是本发明的全彩氮化镓基LED芯片结构的剖视结构图;
图2是本发明实施例一的俯视图;
图3是本发明实施例二的俯视图。
具体实施方式
参照图1,本发明提供的一种全彩氮化镓基LED芯片结构,包括氮化镓基的LED晶圆,所述LED晶圆包括衬底10,所述衬底10上依次设置有N-GaN层20、发光层30和P-GaN层40,其中N-GaN层20部分暴露在发光层30外。所述LED晶圆外涂抹透明绝缘的光刻胶,并通过光刻工艺形成光阻层60,所述N-GaN层20的暴露区和P-GaN层40上分别设置有金属电极51、52,所述光阻层60上设置有使金属电极51、52外露的缺口。
本发明的全彩氮化镓基LED芯片具有两种以上不同颜色的发光区域,其中至少包括发出红光的红光区,和发出绿光的绿光区,红光区与绿光区之间通过刻蚀设置有绝缘的芯片隔离带。本发明的全彩氮化镓基LED芯片采用发出蓝光的氮化镓基LED晶圆,并在红光区和绿光区对应的光阻层60内分别掺入不同颗粒度和不同种类的量子点,量子点受到激发会发出红光和绿光,配合氮化镓基LED晶圆发出的蓝光,可形成全彩的效果。如图2所示,本发明提供的实施例一,所述LED芯片分为红光区、绿光区和蓝光区,不同区域之间通过绝缘的芯片隔离带分隔,其中红光区和绿光区的光阻层60内掺入不同的量子点,蓝光区内的光阻层60不掺入量子点。如图3所示,本发明提供的实施例二,所述LED芯片也可只分为红光区和绿光区,通过调配红光区和绿光区内的量子点的密度,可使氮化镓基LED晶圆发出的部分蓝光透出,与量子点激发后的红光和绿光配合,也可形成全彩的效果。
进一步,光阻层60内掺入的量子点为CdS、CdSe、CdTe、ZnO、ZnS、ZnSe、PbS和PbTe中的一种或几种。其中绿光区内掺入的量子点优选为ZnSe、CdSe、ZnS中的一种或几种;红光区内掺入的量子点优选为CdSe、ZnS中的任意一种或两种组合。
本发明的全彩氮化镓基LED芯片,在一片芯片上分别设置有红光区和绿光区,利用掺有量子点的光阻层60,将氮化镓基的LED晶圆发出的蓝光分别转化成红光和绿光,配合蓝光形成全彩光;同时,由于光阻层60是采用软性的光刻胶制成,抗冲击、抗压的能力比硬性材料的SiO2更为优秀,因此光阻层60可取代钝化层更好的起到保护作用;光阻层60取代钝化层还减少了设置钝化层和蚀刻钝化层两道工序,提高了LED发光芯片的生产效率,并降低制造成本。
以上所述,只是本发明的较佳实施例而已,本发明并不局限于上述实施方式,只要其以相同的手段达到本发明的技术效果,都应属于本发明的保护范围。

Claims (8)

1.一种全彩氮化镓基LED芯片结构,其特征在于:包括氮化镓基的LED晶圆,所述LED晶圆包括衬底(10),所述衬底(10)上依次设置有N-GaN层(20)、发光层(30)和P-GaN层(40),LED晶圆外设置有透明绝缘的光阻层(60),所述光阻层(60)内不同区域分别掺入不同颗粒度和不同种类的量子点,使LED芯片形成红光区和绿光区。
2.根据权利要求1所述的一种全彩氮化镓基LED芯片结构,其特征在于:所述红光区与绿光区之间通过刻蚀设置有绝缘的芯片隔离带。
3.根据权利要求2所述的一种全彩氮化镓基LED芯片结构,其特征在于:所述LED芯片的部分光阻层(60)不掺入量子点,形成蓝光区。
4.根据权利要求3所述的一种全彩氮化镓基LED芯片结构,其特征在于:所述蓝光区与红光区、绿光区之间通过刻蚀分别设置有绝缘的芯片隔离带。
5.根据权利要求1至4任一所述的一种全彩氮化镓基LED芯片结构,其特征在于:所述量子点为CdS、CdSe、CdTe、ZnO、ZnS、ZnSe、PbS和PbTe中的一种或几种。
6.根据权利要求5所述的一种全彩氮化镓基LED芯片结构,其特征在于:所述绿光区内掺入的量子点为ZnSe、CdSe、ZnS中的一种或几种。
7.根据权利要求5所述的一种全彩氮化镓基LED芯片结构,其特征在于:所述红光区内掺入的量子点为CdSe、ZnS中的任意一种或两种组合。
8.根据权利要求1至4任一所述的一种全彩氮化镓基LED芯片结构,其特征在于:所述N-GaN层(20)和P-GaN层(40)上分别设置有金属电极(51;52),所述光阻层(60)上设置有使金属电极(51;52)外露的缺口。
CN201510863432.XA 2015-11-30 2015-11-30 一种全彩氮化镓基led芯片结构 Pending CN105355749A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510863432.XA CN105355749A (zh) 2015-11-30 2015-11-30 一种全彩氮化镓基led芯片结构

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510863432.XA CN105355749A (zh) 2015-11-30 2015-11-30 一种全彩氮化镓基led芯片结构

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105355749A true CN105355749A (zh) 2016-02-24

Family

ID=55331675

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510863432.XA Pending CN105355749A (zh) 2015-11-30 2015-11-30 一种全彩氮化镓基led芯片结构

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105355749A (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105679196A (zh) * 2016-04-11 2016-06-15 深圳市丽格特光电有限公司 一种基于氮化镓led和量子点技术的全彩色高分辨率微显示芯片
CN106531867A (zh) * 2016-12-21 2017-03-22 福建昌达光电有限公司 一种能够多色块独立发光的垂直结构芯片及其制造方法

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102208499A (zh) * 2011-05-12 2011-10-05 深圳市瑞丰光电子股份有限公司 白光led芯片制作工艺及其产品
CN102473800A (zh) * 2009-07-07 2012-05-23 佛罗里达大学研究基金会公司 稳定的且所有溶液可加工的量子点发光二极管
CN103709731A (zh) * 2013-12-27 2014-04-09 Tcl集团股份有限公司 量子点/聚氨酯纳米晶体复合物及制备方法和彩色转化膜
CN203787464U (zh) * 2014-01-07 2014-08-20 晶科电子(广州)有限公司 基于量子点的白光led器件
CN104360540A (zh) * 2014-11-28 2015-02-18 京东方科技集团股份有限公司 一种显示装置
CN104362240A (zh) * 2014-10-31 2015-02-18 广东德力光电有限公司 一种LED芯片的Al2O3/SiON钝化层结构及其生长方法
CN105093830A (zh) * 2015-08-28 2015-11-25 京东方科技集团股份有限公司 量子点光刻胶、彩膜基板及显示装置

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102473800A (zh) * 2009-07-07 2012-05-23 佛罗里达大学研究基金会公司 稳定的且所有溶液可加工的量子点发光二极管
US20120138894A1 (en) * 2009-07-07 2012-06-07 University Of Florida Research Foundation Inc. Stable and all solution processable quantum dot light-emitting diodes
CN102208499A (zh) * 2011-05-12 2011-10-05 深圳市瑞丰光电子股份有限公司 白光led芯片制作工艺及其产品
CN103709731A (zh) * 2013-12-27 2014-04-09 Tcl集团股份有限公司 量子点/聚氨酯纳米晶体复合物及制备方法和彩色转化膜
CN203787464U (zh) * 2014-01-07 2014-08-20 晶科电子(广州)有限公司 基于量子点的白光led器件
CN104362240A (zh) * 2014-10-31 2015-02-18 广东德力光电有限公司 一种LED芯片的Al2O3/SiON钝化层结构及其生长方法
CN104360540A (zh) * 2014-11-28 2015-02-18 京东方科技集团股份有限公司 一种显示装置
CN105093830A (zh) * 2015-08-28 2015-11-25 京东方科技集团股份有限公司 量子点光刻胶、彩膜基板及显示装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105679196A (zh) * 2016-04-11 2016-06-15 深圳市丽格特光电有限公司 一种基于氮化镓led和量子点技术的全彩色高分辨率微显示芯片
CN106531867A (zh) * 2016-12-21 2017-03-22 福建昌达光电有限公司 一种能够多色块独立发光的垂直结构芯片及其制造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN103094269B (zh) 白光发光器件及其制作方法
US11231148B2 (en) Light emitting device with improved warm-white color point
JP2005079583A (ja) 広域スペクトルAl(1−x−y)InyGaxN発光ダイオードおよび固体白色発光デバイス
CN102130144B (zh) 白色led芯片及其形成方法
TW201814923A (zh) 發光裝置及發光二極體封裝結構
CN102130143B (zh) 白色led芯片及其形成方法
CN103579465B (zh) 形成发光装置的制造方法及其所制成的发光装置
US20130015461A1 (en) Light-emitting Device Capable of Producing White Light And Light Mixing Method For Producing White Light With Same
CN204029800U (zh) 白光发光器件
CN102473816A (zh) 基于电流拥挤调节颜色的电致发光装置
TW200926442A (en) White light emitting device and producing method thereof
CN105355749A (zh) 一种全彩氮化镓基led芯片结构
CN102779814A (zh) 可发出白光的发光元件及其混光方法
US20040089864A1 (en) Light emitting diode and method of making the same
CN205231113U (zh) 一种采用光刻胶作保护层的led白光芯片
TW201301570A (zh) 多光色發光二極體及其製作方法
CN106604976A (zh) 荧光体成分、包括荧光体成分的发光元件封装和照明系统
CN205282497U (zh) 一种全彩氮化镓基led芯片结构
EP2830093B1 (en) LED-module with high color rendering index
JP2004103814A (ja) 発光ダイオード、その製造方法および白色照明装置
US9054278B2 (en) Lighting apparatuses and driving methods regarding to light-emitting diodes
CN105489731A (zh) 一种发出近红外光的氮化镓基led芯片结构
WO2017033288A1 (ja) 発光装置
CN101364549B (zh) 白光发光二极体的制作方法
CN205428992U (zh) 一种发出近红外光的氮化镓基led芯片结构

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
RJ01 Rejection of invention patent application after publication
RJ01 Rejection of invention patent application after publication

Application publication date: 20160224