CN105304431B - 一种阳极及其处理方法、包括该阳极的短弧放电灯 - Google Patents
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Abstract
本发明提供了一种阳极及其处理方法、包括该阳极的短弧放电灯，该短弧放电灯的阳极的处理方法包括以下步骤：S1)提供一种由钨材料制成的阳极；该阳极具有端面(100)；S2)在惰性气体的保护下，对阳极进行预热；然后在该惰性气体的保护下，用强化激光对阳极的端面(100)进行一次照射；S3)在步骤S2结束后，间隔一散热时间后，重复步骤S2，以在阳极的端面(100)形成强化层；S4)在阳极的外侧壁上开设散热槽。本发明通过阳极的处理方法，在阳极的端面上形成一层强化层，从而提高了该阳极的端面的耐电子冲击的能力；在阳极的侧壁开设散热槽，提高电极的散热效率，进而延长了该阳极的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及短弧放电灯，尤其涉及一种阳极及其处理方法、包括该阳极的短弧放电灯。
背景技术
在半导体元件或液晶显示装置的制造过程等中的曝光工序中，被用作光源的短弧放电灯要求具有较高的照度。在这种短弧放电灯中，由于由电弧放电引起的高温等离子体的产生，使得等离子体附近的阴极尖端或阳极尖端随着亮灯时间的增加而逐渐磨损；同时等离子体会打在阳极上，在阳极上形成凹坑，从而减少阳极的使用寿命。目前，还没有技术来解决阳极上形成凹坑的问题。
进一步地，磨损的电极成分会蒸发，并附着在短弧放电灯的发光管内面的光照射面上，形成黑化物。而这种黑化物会遮挡住放电的光，因而在短弧放电灯长时间通电后，该短弧放电灯的照度会比初始照度低。
研究人员对用于防止短弧放电灯的电极所生成的黑化物导致短弧放电灯的照度下降的技术进行了开发。其中，日本特开平02-256150号公报公开的“短弧水银灯”是可在半导体晶片的曝光中，长时间稳定地进行分辨率高的曝光处理的灯。在发光管内，将阳极和阴极对置配置，并封入有水银和稀有气体。在除了阳极尖端以外的外表面形成有由碳化钽和钨的混合物构成的多孔质层。由于阳极的实际表面积的增大和碳化钽的高放射率，可抑制亮灯时的阳极温度上升。并且，防止阳极的早期蒸发，提高灯的寿命。
日本特开平07-226187号公报公开的“短弧放电灯”示出了防止吸气剂蒸发来抑制管球黑化、延长放电灯寿命的方法。在阴极处设置细径部，将线圈状发射极卷绕成覆盖该细径部。把吸气剂收容在形成于线圈状发射极和细径部之间的凹部内。由于吸气剂由线圈罩住，在吸气剂和阳极之间不产生放电，因而可在阴极的距电弧发生点比较近的位置设置吸气剂。由于可把吸气剂设置在适度的温度条件下，因而可长时间维持防止黑化的吸气作用。
日本特开平09-231946号公报公开的“短弧型放电灯”是在亮灯时尽可能地抑制阳极温度的升温、抑制起因于阳极构件的提前蒸发的发光管的内壁黑化、延长灯的使用寿命的灯。在短弧型放电灯的除了阳极尖端附近以外的外表面形成微粒子状钨烧结层。从而，使阳极的实际表面积增加，促进从阳极的散热，抑制阳极构件的提前蒸发。
日本特开平10-208696号公报公开的“短弧型放电灯”是即使长时间使用，也能有效地抑制灯泡的黑化现象、具有长寿命的灯。在玻璃制的灯泡内，将阳极和阴极配置成相互对置。在阳极内形成有从其尖端侧向后端侧延伸的贯通孔。以阳极位于阴极上方的状态来亮灯。
日本特开平10-283990号公报公开的“高压放电灯”是可得到长时间稳定的光输出的灯。在高压放电灯的内部具有一对电极，进行垂直亮灯。在位于上方的电极中具有对流气体的限制构件。限制构件是圆筒形状或线圈形状，配置成包围上方电极侧面，在构件和电极之间设置有间隙。限制构件采用钽、铌、锆、钛材料构成，也具有作为吸气剂的效果。
上述方法要么是对短弧放电灯除阳极端面外的结构进行进一步加工，促进阳极的散热，抑制亮灯时的阳极温度上升，以抑制阳极的提前蒸发，从而减少短弧放电灯的发光管内面上的黑化物的质量；要么是在发光管内设置黑化物的吸气装置，以吸收烟状的黑化物，从而减少短弧放电灯发光管内面上的黑化物。因此，目前还没有一种从减少阳极的直接耗损的思路上想办法，以此直接减少黑化物的产生。
发明内容
本发明针对现有的短弧放电灯的阳极的使用寿命会随着短弧放电灯点亮而缩短，同时随着短弧放电灯的使用时间的增加而在短弧放电灯的内照面上形成黑化物的问题，提供了一种阳极及其处理方法、包括该阳极的短弧放电灯。
本发明提供了一种短弧放电灯的阳极的处理方法，包括以下步骤：
S1)提供一种由钨材料制成的阳极；该阳极具有端面100；
S2)在惰性气体的保护下，对阳极进行预热；然后在该惰性气体的保护下，用强化激光对阳极的端面100进行一次照射；
S3)在步骤S2结束后，间隔一散热时间后，重复步骤S2，以在阳极的端面100形成强化层；
S4)在阳极的外侧壁上开设散热槽。
本发明上述的短弧放电灯的阳极的处理方法中，所述步骤S2的具体参数如下：惰性气体压力为0.10MPa-0.25MPa；强化激光的功率密度为400W/mm2-500W/mm2；强化激光的脉冲频率为5.0Hz-20.0Hz；强化激光的脉冲宽度为2.0ms-4.0ms；强化激光的光斑直径为1.5mm-4mm；强化激光扫描速度为250.0mm/min-300.0mm/min；光斑的搭接率为40％-60％。
本发明上述的短弧放电灯的阳极的处理方法中，所述惰性气体为氩气或氦气。
本发明上述的短弧放电灯的阳极的处理方法中，所述散热时间处于5s-1min之间。
本发明上述的短弧放电灯的阳极的处理方法中，所述散热槽通过刻蚀激光对阳极刻蚀的方法制成。
本发明上述的短弧放电灯的阳极的处理方法中，所述刻蚀激光对阳极刻蚀的方法包括以下步骤：
S41)将阳极设置在刻蚀激光的预定光路上，使该刻蚀激光可打到阳极的外侧壁上；
S42)发出刻蚀激光，并移动或转动阳极，从而在阳极的外侧壁上形成散热槽，其中，刻蚀激光的功率密度为400W/mm2-500W/mm2；刻蚀激光的脉冲频率为1.0kHz-3.0kHz；刻蚀激光的脉冲宽度为2.0μs-10.0μs；刻蚀激光的光斑直径为40μm-100μm；刻蚀激光的刻蚀速度为200.0mm/min-400.0mm/min；点刻蚀时间200ms-400ms，刻蚀激光的单次刻蚀长度为4mm-8mm，该刻蚀激光对同一位置的总刻蚀次数为120次-150次。
本发明上述的短弧放电灯的阳极的处理方法中，所述散热槽开设有多个；邻近的两所述散热槽的间距为180μm-240μm。
本发明还提供了一种阳极，该阳极通过如上所述的处理方法加工而成。
本发明还提供了一种短弧放电灯，该短弧放电灯包括如上所述的阳极。
本发明通过阳极的处理方法，在阳极的端面上形成一层强化层，从而提高了该阳极的端面的耐电子冲击的能力，进而延长了该阳极的使用寿命。通过本发明还在阳极的外侧壁上开设有散热槽，从而减缓了黑化物的生成。
附图说明
下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：
图1为现有的短弧放电灯的阳极的示意图；
图2为开设有散热槽的阳极的示意图。
具体实施方式
本发明是为了解决现有的短弧放电灯的阳极的使用寿命会随着短弧放电灯点亮而缩短，同时随着短弧放电灯的使用时间的增加而在短弧放电灯的内照面上形成黑化物的问题。
本发明具有创造性的地方在于：本发明通过激光对阳极的二次照射，在阳极的端面上形成强化层，以增强阳极的端面耐电子冲击的能力。
由于在阳极端面形成强化层的设计，解决了现有技术中阳极的端面在短弧放电灯长时间点亮后形成凹坑，从而减少了阳极的使用寿命的问题，同时在阳极的外侧壁上开设散热槽，缓解了短弧放电灯的内照面上形成黑化物的问题。
下面结合附图及具体实施方式对本发明作进一步详细的描述。
图1示出了短弧放电灯的阳极的示意图。该阳极具有与阴极尖端相对设置的端面100。本发明的思路在于在阳极的端面100形成一层强化层，从而提高阳极耐电子冲击的能力，减缓阳极的磨损，提高阳极的使用寿命。
本发明提供的一种短弧放电灯的阳极的处理方法包括以下步骤：
步骤100：提供一种由钨材料制成的阳极；该阳极具有端面100。
本步骤中，阳极一般呈圆柱状，可以理解，阳极并不限于圆柱状，还可以是棱柱状、或者其他形状。该阳极的端面100与阴极尖端相对设置；一般地，阳极被密封在由石英制成的密封管中，给短弧放电灯通电时，阴极尖端发出电子，并使该电子与阳极的端面100进行冲撞，从而使短弧放电灯发光。进一步地，阳极在端面100的外周部开设有锥面。
步骤200：在惰性气体的保护下，对阳极进行预热；然后在该惰性气体的保护下，用强化激光对阳极的端面100进行一次照射；
该步骤200的具体参数如下：惰性气体压力为0.10MPa-0.25MPa；强化激光的功率密度为400W/mm2-500W/mm2；强化激光的脉冲频率为5.0Hz-20.0Hz；强化激光的脉冲宽度为2.0ms-4.0ms；强化激光的光斑直径为1.5mm-4mm；强化激光扫描速度为250.0mm/min-300.0mm/min；光斑的搭接率为40％-60％。
通过该步骤200，在强化激光的作用下，阳极的端面100的晶粒会更加致密，形成与阳极微观结构不同的强化层。
本步骤中，惰性气体为氩气，可以理解，惰性气体还可以是氦气或其他气体。阳极的预热温度为500℃-700℃，预热时间为10min-20min。通过阳极的预热过程，阳极的端面100处于激发状态。这里，惰性气体的压力不宜太大，以免对强化激光的加工效果产生影响。
进一步地，本步骤中，强化激光本身性质由功率密度、脉冲频率以及脉冲宽度决定。功率密度、脉冲频率以及脉冲宽度决定了单位时间内强化激光对阳极的端面100的照射效果。
强化激光照射端面100的功率密度不能过高，也不能过低，功率密度过高可能会导致阳极的端面100的微观结构发生相变，而阳极的端面100发生相变后，该阳极的使用寿命会变短；功率密度过低可能会导致阳极的端面100形成不了强化层。
进一步地，脉冲频率过高，脉冲宽度过大，可能会导致阳极的端面100的微观结构发生相变；脉冲频率过低，脉冲宽度过小，可能会导致阳极的端面100的晶粒不发生致密化。
本步骤中，激光器所发出的强化激光对阳极的端面100的照射方式由强化激光的光斑直径、强化激光扫描速度以及光斑的搭接率决定。
这里，光斑的搭接率由光斑直径、以及强化激光照射到阳极的端面100的初始位置等因素决定。光斑直径、强化激光扫描速度、以及光斑的搭接率决定了强化激光在单位面积上对阳极的端面100的照射效果。
这样，通过功率密度、脉冲频率以及脉冲宽度、光斑直径、强化激光扫描速度、以及光斑的搭接率便决定了强化激光在单位时间和单位面积上对阳极的端面100的照射效果。
步骤300：在步骤200结束后，间隔一散热时间后，重复步骤200，以在阳极的端面100形成强化层；
本步骤中，散热时间主要用于使阳极经步骤200处理后的热量散失掉；该散热时间一般处于5s-1min之间；该散热时间由阳极的散热效率决定的。
通过步骤300，可以使阳极的端面100进一步致密化。
若在强化激光对阳极的端面100的两次照射之间没有这一散热时间的话，强化激光对阳极的端面100的两次照射会导致阳极的端面100发生相变。
本发明通过步骤100-步骤300，可以在阳极的端面100上形成强化层，并通过该强化层，延长了阳极的端面100的使用寿命。
进一步地，为了提高阳极的散热效率，在步骤300之后，本发明还包括步骤400：
在阳极的外侧壁上开设散热槽，如图2所示。
进一步地，散热槽通过刻蚀激光对阳极刻蚀的方法制成。
具体地，步骤400包括以下2个步骤：
步骤401：将阳极设置在刻蚀激光的预定光路上，使该刻蚀激光可打到阳极的外侧壁上；
步骤402：发出刻蚀激光，并移动或转动阳极，从而在阳极的外侧壁上形成散热槽，其中，刻蚀激光的功率密度为400W/mm2-500W/mm2；刻蚀激光的脉冲频率为1.0kHz-3.0kHz；刻蚀激光的脉冲宽度为2.0μs-10.0μs；刻蚀激光的光斑直径为40μm-100μm；刻蚀激光的刻蚀速度为200.0mm/min-400.0mm/min；点刻蚀时间200ms-400ms；刻蚀激光的单次刻蚀长度为4mm-8mm，该刻蚀激光对同一位置的总刻蚀次数为120次-150次。
本步骤中，为了使阳极的散热效果最佳，散热槽可以开设有多个；进一步地，散热槽的延伸方向可以与阳极的轴向方向平行。这样，从阴极发出电子打到阳极的端面100上时，电子所产生的热量可以沿着散热槽进行快速散热。当然，可以理解，散热槽的延伸方向还可以与阳极的周向方向平行，从而是散热槽的表面积增大。
本实施例中，阳极上开设有多个散热槽，该多个散热槽的延伸方向均与阳极的周向方向平行，如图2所示。邻近的两散热槽的间距为180μm-240μm。
本步骤中，散热槽的槽深可以处于20μm-30μm之间。
本步骤中，散热槽的槽宽与刻蚀激光的光斑直径有关，具体地，散热槽的槽宽要稍大于刻蚀激光的光斑直径。
下面，本发明提供了上述短弧放电灯的阳极的处理方法的几个具体实施例以及各实施例所达到的技术效果。
第一实施例
本发明的第一实施例包括以下步骤：
S11)提供一种由钨材料制成的阳极；该阳极呈圆柱状，且该阳极具有端面100。
S12)在氩气的保护下，对阳极进行预热，其中，预热温度为600℃，预热时间15min，气体压力为0.15MPa；然后在氩气的保护下，用强化激光对阳极的端面100进行一次照射，其中，气体压力为0.15MPa；强化激光的功率密度为400W/mm2；强化激光的脉冲频率为10.0Hz；强化激光的脉冲宽度为3.0ms；强化激光的光斑直径为2mm；强化激光扫描速度为300.0mm/min；光斑的搭接率为50％。
S13)在步骤S12结束后，间隔5s后，重复步骤S12一次。
本实施例中，阳极的端面100的初始硬度为430HV；在通过短弧放电灯的阳极的处理方法的第一实施例的作用下，该阳极的端面100的硬度达到510HV。这样，阳极的端面100的硬度提高80HV，或18.6％。
进一步地，短弧放电灯上，短弧放电灯在点亮一段时间后，阳极上可以形成可以直接目视的凹坑；这里，我们将短弧放电灯从点亮开始时到凹坑形成时所经过的时间定义为寿命表征时间。
一般地，阳极的端面100不经处理时的寿命表征时间为210h；本实施例中，经过短弧放电灯的阳极的处理方法的第一实施例的作用下，阳极的端面100的寿命表征时间为350h，从而延长了140h。
本实施例还包括以下步骤：
S14)将阳极设置在刻蚀激光的预定光路上，使该刻蚀激光可打到阳极的外侧壁上；
S15)发出刻蚀激光，并移动或转动阳极，从而在阳极的外侧壁上形成散热槽，其中，刻蚀激光的功率密度为500W/mm2；刻蚀激光的脉冲频率为2.0kHz；刻蚀激光的脉冲宽度为5.0μs；刻蚀激光的光斑直径为60μm；刻蚀激光的刻蚀速度为300.0mm/min；点刻蚀时间300ms；刻蚀激光的单次刻蚀长度为5mm，该刻蚀激光对同一位置的总刻蚀次数为130次。
本实施例通过步骤S14和步骤S15便在阳极的外侧壁上形成一槽宽67μm，槽深为28μm的散热槽。
第二实施例
本发明的第二实施例包括以下步骤：
S21)提供一种由钨材料制成的阳极；该阳极呈圆柱状，且该阳极具有端面100。
S22)在氩气的保护下，对阳极进行预热，其中，预热温度为700℃，预热时间10min，气体压力为0.10MPa；然后在氩气的保护下，用强化激光对阳极的端面100进行一次照射，其中，气体压力为0.10MPa；强化激光的功率密度为500W/mm2；强化激光的脉冲频率为20.0Hz；强化激光的脉冲宽度为4.0ms；强化激光的光斑直径为3mm；强化激光扫描速度为250.0mm/min；光斑的搭接率为60％。
S23)在步骤S22结束后，间隔15s后，重复步骤S22一次。
本实施例中，阳极的端面100的初始硬度为430HV；在通过短弧放电灯的阳极的处理方法的第二实施例的作用下，该阳极的端面100的硬度达到480HV。这样，阳极的端面100的硬度提高50HV，或11.6％。
本实施例中，阳极的端面100不经处理时的寿命表征时间为210h；本实施例中，经过短弧放电灯的阳极的处理方法的第二实施例的作用下，阳极的端面100的寿命表征时间为280h，从而延长了70h。
本实施例还包括以下步骤：
S24)将阳极设置在刻蚀激光的预定光路上，使该刻蚀激光可打到阳极的外侧壁上；
S25)发出刻蚀激光，并移动或转动阳极，从而在阳极的外侧壁上形成散热槽，其中，刻蚀激光的功率密度为400W/mm2；刻蚀激光的脉冲频率为3.0kHz；刻蚀激光的脉冲宽度为10.0μs；刻蚀激光的光斑直径为100μm；刻蚀激光的刻蚀速度为400.0mm/min；点刻蚀时间400ms；刻蚀激光的单次刻蚀长度为8mm，该刻蚀激光对同一位置的总刻蚀次数为150次。
本实施例通过步骤S24和步骤S25便在阳极的外侧壁上形成一槽宽108μm，槽深为30μm的散热槽。
第三实施例
本发明的第三实施例包括以下步骤：
S31)提供一种由钨材料制成的阳极；该阳极呈圆柱状，且该阳极具有端面100。
S32)在氦气的保护下，对阳极进行预热，其中，预热温度为500℃，预热时间20min，气体压力为0.25MPa；然后在氦气的保护下，用强化激光对阳极的端面100进行一次照射，其中，气体压力为0.25MPa；强化激光的功率密度为500W/mm2；强化激光的脉冲频率为20.0Hz；强化激光的脉冲宽度为4.0ms；强化激光的光斑直径为4mm；强化激光扫描速度为250.0mm/min；光斑的搭接率为60％。
S33)在步骤S32结束后，间隔5s后，重复步骤S32一次。
本实施例中，阳极的端面100的初始硬度为430HV；在通过短弧放电灯的阳极的处理方法的第三实施例的作用下，该阳极的端面100的硬度达到500HV。这样，阳极的端面100的硬度提高70HV，或16.3％。
本实施例中，阳极的端面100不经处理时的寿命表征时间为210h；本实施例中，经过短弧放电灯的阳极的处理方法的第三实施例的作用下，阳极的端面100的寿命表征时间为330h，从而延长了120h。
本实施例还包括以下步骤：
S34)将阳极设置在刻蚀激光的预定光路上，使该刻蚀激光可打到阳极的外侧壁上；
S35)发出刻蚀激光，并移动或转动阳极，从而在阳极的外侧壁上形成散热槽，其中，刻蚀激光的功率密度为500W/mm2；刻蚀激光的脉冲频率为1.0kHz；刻蚀激光的脉冲宽度为2.0μs；刻蚀激光的光斑直径为80μm；刻蚀激光的刻蚀速度为200.0mm/min；点刻蚀时间300ms；刻蚀激光的单次刻蚀长度为6mm，该刻蚀激光对同一位置的总刻蚀次数为120次。
本实施例通过步骤S34和步骤S35便在阳极的外侧壁上形成一槽宽87μm，槽深为23μm的散热槽。
第四实施例
本发明的第四实施例包括以下步骤：
S41)提供一种由钨材料制成的阳极；该阳极呈圆柱状，且该阳极具有端面100。
S42)在氩气的保护下，对阳极进行预热，其中，预热温度为600℃，预热时间15min，气体压力为0.15MPa；然后在氩气的保护下，用强化激光对阳极的端面100进行一次照射，其中，气体压力为0.15MPa；强化激光的功率密度为450W/mm2；强化激光的脉冲频率为5.0Hz；强化激光的脉冲宽度为2.0ms；强化激光的光斑直径为1.5mm；强化激光扫描速度为280.0mm/min；光斑的搭接率为40％。
S43)在步骤S42结束后，间隔1min后，重复步骤S42一次。
本实施例中，阳极的端面100的初始硬度为430HV；在通过短弧放电灯的阳极的处理方法的第一实施例的作用下，该阳极的端面100的硬度达到470HV。这样，阳极的端面100的硬度提高40HV，或9.3％。
进一步地，短弧放电灯上，短弧放电灯在点亮一段时间后，阳极上可以形成可以直接目视的凹坑；这里，我们将短弧放电灯从点亮开始时到凹坑形成时所经过的时间定义为寿命表征时间。
一般地，阳极的端面100不经处理时的寿命表征时间为210h；本实施例中，经过短弧放电灯的阳极的处理方法的第一实施例的作用下，阳极的端面100的寿命表征时间为320h，从而延长了110h。
本实施例还包括以下步骤：
S44)将阳极设置在刻蚀激光的预定光路上，使该刻蚀激光可打到阳极的外侧壁上；
S45)发出刻蚀激光，并移动或转动阳极，从而在阳极的外侧壁上形成散热槽，其中，刻蚀激光的功率密度为450W/mm2；刻蚀激光的脉冲频率为2.0kHz；刻蚀激光的脉冲宽度为5.0μs；刻蚀激光的光斑直径为40μm；刻蚀激光的刻蚀速度为300.0mm/min；点刻蚀时间200ms；刻蚀激光的单次刻蚀长度为4mm，该刻蚀激光对同一位置的总刻蚀次数为130次。
本实施例通过步骤S44和步骤S45便在阳极的外侧壁上形成一槽宽45μm，槽深为25μm的散热槽。
本发明还提供了一种阳极，该阳极通过如上所述的处理方法加工而成。
本发明还提供了一种短弧放电灯，该短弧放电灯包括通过如上所述的处理方法加工而成的阳极。
本发明通过阳极的处理方法，在阳极的端面上形成一层强化层，从而提高了该阳极的端面的耐电子冲击的能力，进而延长了该阳极的使用寿命。通过本发明还在阳极的外侧壁上开设有散热槽，从而减缓了黑化物的生成。
应当理解的是，对本领域普通技术人员来说，可以根据上述说明加以改进或变换，而所有这些改进和变换都应属于本发明所附权利要求的保护范围。
Claims (7)
1.一种短弧放电灯的阳极的处理方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1)提供一种由钨材料制成的阳极；该阳极具有端面(100)；
S2)在惰性气体的保护下，对阳极进行预热；然后在该惰性气体的保护下，用强化激光对阳极的端面(100)进行一次照射；
S3)在步骤S2结束后，间隔一散热时间后，重复步骤S2，以在阳极的端面(100)形成强化层；
S4)在阳极的外侧壁上开设散热槽；
所述步骤S2的具体参数如下：惰性气体压力为0.10MPa-0.25MPa；强化激光的功率密度为400W/mm2-500W/mm2；强化激光的脉冲频率为5.0Hz-20.0Hz；强化激光的脉冲宽度为2.0ms-4.0ms；强化激光的光斑直径为1.5mm-4mm；强化激光扫描速度为250.0mm/min-300.0mm/min；光斑的搭接率为40％-60％；
所述散热时间处于5s-1min之间。
2.根据权利要求1所述的短弧放电灯的阳极的处理方法，其特征在于，所述惰性气体为氩气或氦气。
3.根据权利要求1所述的短弧放电灯的阳极的处理方法，其特征在于，
所述散热槽通过刻蚀激光对阳极刻蚀的方法制成。
4.根据权利要求3所述的短弧放电灯的阳极的处理方法，其特征在于，
所述刻蚀激光对阳极刻蚀的方法包括以下步骤：
S41)将阳极设置在刻蚀激光的预定光路上，使该刻蚀激光可打到阳极的外侧壁上；
S42)发出刻蚀激光，并移动或转动阳极，从而在阳极的外侧壁上形成所述散热槽，其中，刻蚀激光的功率密度为400W/mm2-500W/mm2；刻蚀激光的脉冲频率为1.0kHz-3.0kHz；刻蚀激光的脉冲宽度为2.0μs-10.0μs；刻蚀激光的光斑直径为40μm-100μm；刻蚀激光的刻蚀速度为200.0mm/min-400.0mm/min；点刻蚀时间200ms-400ms，刻蚀激光的单次刻蚀长度为4mm-8mm，该刻蚀激光对同一位置的总刻蚀次数为120次-150次。
5.根据权利要求4所述的短弧放电灯的阳极的处理方法，其特征在于，
所述散热槽开设有多个；邻近的两所述散热槽的间距为180μm-240μm。
6.一种阳极，其特征在于，该阳极通过如权利要求1所述的处理方法加工而成。
7.一种短弧放电灯，其特征在于，该短弧放电灯包括如权利要求6所述的阳极。
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