CN105271814A - 一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，在玻璃的表面依次沉积阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；本发明工艺简单，节能环保。在薄膜正常生产溅射过程中，根据我们设计的膜层匹配组合和材料以及生产工艺，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积。
Description
技术领域
本发明涉及建筑及交通用具等节能窗用领域，具体涉及一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法。
背景技术
随着我国经济的高速增长，社会的快速发展，每年新增建筑约20亿平方米。然而其中大部分仍为高能耗建筑，只有5％达到节能建筑要求。在建筑能耗之中，采暖和空调能耗占比最大，约占60％～70％。采暖和空调能耗主要通过建筑外围结构与室外环境的热交换消耗。我国北方寒冷地区冬季采暖需用大量煤炭，夏季炎热的南方地区及夏季全国的空调制冷需用大量电能。而据统计，窗户能耗量占建筑外围结构能耗的50％。而在传热损耗中,窗框占15％，玻璃占约85％。可见，玻璃节能性能的高低，直接影响建筑能耗。传统的Low～E玻璃不具备根据不同的地区纬度和气候对室内温度人体舒适度的要求，对太阳光不具有进行选择性的过滤透过的功能。这样大多数只能用于高纬度的寒冷地区，且只是在冬季，其低辐射的性能才得到发挥。在炎热的夏季全国及南方地区，传统的Low～E玻璃由于不能对阳光进行可选择性的透过，并且由于较低的透过率的原因，不仅不能降低能耗，使得建筑室内和交通工具内的热量过多的聚集，反而更加加大了空调制冷需用的大量电能。再者，传统的Low～E玻璃过厚的金属膜层增加了可见光的反射，在可见光光谱范围内的整体透过性不高，容易造成光污染，且室外反射颜色，并不满足建筑设计外观的设计要求。同样的，交通工具的窗用玻璃由于不具有节约能源的功能，无论是在寒冷的冬季还是在炎热的夏季，为了保持交通工具内的温度舒适，都要消耗大量的燃料，也造成了更大的环境污染。
发明内容
为了克服上述现有技术中的不足之处，本发明的目的是提供一种工艺简单，节能环保的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法。
为了实现上述技术目的，本发明采用的技术方案的如下：本发明提供了一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，所述阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃从内到外依次为玻璃基体、阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；
在薄膜正常生产溅射过程中，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材，调节玻璃的传送速度为3～8m/min；每对阴极上所施加的功率为20～60kw，施加在靶材上的电流为50～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％。
进一步地，在薄膜正常生产溅射过程中，调节玻璃的传送速度为3～8m/min。
进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积阳光选择滤光膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述阳光选择滤光膜系由金属氧化物或金属氟化物组成。
更进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积功能连接转换膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为30～40kw，施加在靶材上的电流为75～100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述功能连接转换膜系由金属氧化物和金属硫化物组成。
进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；所述第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系为透明导电金属氧化物。
进一步地，在薄膜正常生产溅射第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20～30kw，施加在靶材上的电流为50～75A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm；所述第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系由金属氧化物和非金属氧化物组成。
更进一步地，在薄膜正常生产溅射单银低辐射膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20～30kw，施加在靶材上的电流为50～75A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm；所述单银低辐射膜系由银和其他金属组成，所述其他金属为铬、镍或钛。
进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积色彩调制膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述色彩调制膜系由金属氧化物、非金属氧化物、金属硫化物和金属氮化物组成。
进一步地，在薄膜正常生产溅射沉积表面覆盖膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；所述表面覆盖膜系由金属氧化物和非金属氧化物组成。
有益效果：本发明工艺简单，节能环保。在薄膜正常生产溅射过程中，根据我们设计的膜层匹配组合和材料以及生产工艺，能够达到不对玻璃机体加热，实现整个膜系的常温气相沉积。所有的膜系根据各自膜层匹配的薄膜材料和厚度要求，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材，进行工业化连续生产。
具体实施方式
以下通过实施例进一步说明本发明。应该理解的是，这些实施例是本发明的阐释和举例，并不以任何形式限制本发明的范围。
实施例1
本发明提供了一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，本发明提供了一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，所述阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃从内到外依次为玻璃基体、阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；
在薄膜正常生产溅射过程中，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材，调节玻璃的传送速度为3m/min；每对阴极上所施加的功率为20kw，施加在靶材上的电流为50A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3％。
在薄膜正常生产溅射过程中，调节玻璃的传送速度为3m/min。
在薄膜正常生产溅射沉积阳光选择滤光膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40kw，施加在靶材上的电流为100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3％；所述阳光选择滤光膜系由金属氧化物或金属氟化物组成。
在薄膜正常生产溅射沉积功能连接转换膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为30kw，施加在靶材上的电流为75A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3％；所述功能连接转换膜系由金属氧化物和金属硫化物组成。
在薄膜正常生产溅射沉积第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40kw，施加在靶材上的电流为100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1％；所述第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系为透明导电金属氧化物。
在薄膜正常生产溅射第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20kw，施加在靶材上的电流为50A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325sccm；所述第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系由金属氧化物和非金属氧化物组成。
在薄膜正常生产溅射单银低辐射膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20kw，施加在靶材上的电流为50A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325sccm；所述单银低辐射膜系由银和其他金属组成，所述其他金属为铬、镍或钛。
在薄膜正常生产溅射沉积色彩调制膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40kw，施加在靶材上的电流为100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3％；所述色彩调制膜系由金属氧化物、非金属氧化物、金属硫化物和金属氮化物组成。
在薄膜正常生产溅射沉积表面覆盖膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40kw，施加在靶材上的电流为100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1％；所述表面覆盖膜系由金属氧化物和非金属氧化物组成。
实施例2
实施例2与实施例1的区别在于：本发明提供了一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，在薄膜正常生产溅射过程中，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材，调节玻璃的传送速度为5m/min；每对阴极上所施加的功率为40kw，施加在靶材上的电流为100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的5％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的5％。
在薄膜正常生产溅射过程中，调节玻璃的传送速度为5m/min。
在薄膜正常生产溅射沉积阳光选择滤光膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为50kw，施加在靶材上的电流为110A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的6％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的6％。
在薄膜正常生产溅射沉积功能连接转换膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为35kw，施加在靶材上的电流为90A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的6％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的6％。
在薄膜正常生产溅射沉积第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为50kw，施加在靶材上的电流为110A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的6％。
在薄膜正常生产溅射第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为25kw，施加在靶材上的电流为65A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为330sccm。
在薄膜正常生产溅射单银低辐射膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为25kw，施加在靶材上的电流为65A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为330sccm。
在薄膜正常生产溅射沉积色彩调制膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为50kw，施加在靶材上的电流为110A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的6％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的6％。
在薄膜正常生产溅射沉积表面覆盖膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为110A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的6％。
实施例3
实施例3与实施例1的区别在于：本发明提供了一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，所述阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃从内到外依次为玻璃基体、阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；
在薄膜正常生产溅射过程中，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材，调节玻璃的传送速度为8m/min；每对阴极上所施加的功率为60kw，施加在靶材上的电流为120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的8％。
在薄膜正常生产溅射过程中，调节玻璃的传送速度为8m/min。
在薄膜正常生产溅射沉积阳光选择滤光膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为60kw，施加在靶材上的电流为120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为330sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的6％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的6％。
在薄膜正常生产溅射沉积功能连接转换膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40kw，施加在靶材上的电流为100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的8％。
在薄膜正常生产溅射沉积第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为60kw，施加在靶材上的电流为120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的8％。
在薄膜正常生产溅射第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为30kw，施加在靶材上的电流为75A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为335sccm。
在薄膜正常生产溅射单银低辐射膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为30kw，施加在靶材上的电流为75A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为335sccm。
在薄膜正常生产溅射沉积色彩调制膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为60kw，施加在靶材上的电流为120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的8％。
在薄膜正常生产溅射沉积表面覆盖膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为60kw，施加在靶材上的电流为120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的8％。
将实施例1至实施例3所述的方法制得的玻璃用于制作样板房，得到如下样板房1至样板房3。
试验1
样板房1：室外气温为39.8℃，房子的南北窗户全都安装了镀有阳光选择滤光单银节能膜系的中空玻璃，实测得室内温度为28.3℃。
试验2
样板房2：室外气温为37.6℃，房子的南北窗户及所有的全封闭阳台全都安装了镀有阳光选择滤光单银节能膜系的中空玻璃，实测得室内温度为26.7℃。
试验3
样板房3：室外气温为-1.8℃，房子的南北窗户及所有的全封闭阳台全都安装了镀有阳光选择滤光单银节能膜系的中空玻璃，实测得室内温度为19.6℃。
从试验1至试验3可知，本发明的方法制得的一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃具有节能，人体舒适度好的特点。可以根据不同的地区纬度和气候对室内温度人体舒适度的要求，可以按照所需要的对可见光光谱进行选择性透过，而对其他光谱进行截止的功能，采取不同的层数匹配和薄膜厚度相互组合，从而实现改善可见光光谱区域内的频谱特性，提高可见光的视觉舒适度。
根据上述说明书的揭示和教导，本发明所属领域的技术人员还可以对上述实施方法进行适当的变更和修改。因此本发明并不局限于上面揭示和描述的具体实施方式，对本发明的一些修改和变更也应当落入本发明的权利要求的保护范围内。此外，尽管本说明书使用了一些特定的术语，但是这些术语只是为了方便说明，并不对本发明构成任何限制。
Claims (9)
1.一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于：所述阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃从内到外依次为玻璃基体、阳光选择滤光膜系、功能连接转换膜系、第一可见光透过增强膜系、第一膜层附着力增强膜系、单银低辐射膜系、第二膜层附着力增强膜系、第二可见光透过增强膜系、色彩调制膜系和表面覆盖膜系；
在薄膜正常生产溅射过程中，在大型平板玻璃连续磁控溅射镀膜机上依次配置靶材，调节玻璃的传送速度为3～8m/min；每对阴极上所施加的功率为20～60kw，施加在靶材上的电流为50～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％。
2.根据权利要求1所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射过程中，调节玻璃的传送速度为3～8m/min。
3.根据权利要求2所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积阳光选择滤光膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述阳光选择滤光膜系由金属氧化物或金属氟化物组成。
4.根据权利要求3所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积功能连接转换膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为30～40kw，施加在靶材上的电流为75～100A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述功能连接转换膜系由金属氧化物和金属硫化物组成。
5.根据权利要求4所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；所述第一可见光透过增强膜系和第二可见光透过增强膜系为透明导电金属氧化物。
6.根据权利要求5所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20～30kw，施加在靶材上的电流为50～75A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm；所述第一膜层附着力增强膜系和第二膜层附着力增强膜系由金属氧化物和非金属氧化物组成。
7.根据权利要求6所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射单银低辐射膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为20～30kw，施加在靶材上的电流为50～75A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm；所述单银低辐射膜系由银和其他金属组成，所述其他金属为铬、镍或钛。
8.根据权利要求7所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积色彩调制膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；当所需的工艺气体为氩气和除氧气以外的其他工艺气体的混合时，加入的其他工艺气体的流量为氩气流量的3～8％；所述色彩调制膜系由金属氧化物、非金属氧化物、金属硫化物和金属氮化物组成。
9.根据权利要求8所述的阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法，其特征在于:在薄膜正常生产溅射沉积表面覆盖膜系的过程中，每对阴极上所施加的功率为40～60kw，施加在靶材上的电流为100～120A；气相沉积时通入的工艺气体为氩气，所述氩气的流量为325～335sccm，当所需的工艺气体为氩气和氧气的混合时，加入的氧气的流量为氩气流量的1～8％；所述表面覆盖膜系由金属氧化物和非金属氧化物组成。
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| CN201510627043.7A Pending CN105271814A (zh) | 2015-09-28 | 2015-09-28 | 一种阳光选择滤光膜系的单银节能玻璃的薄膜沉积方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
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| CN (1) | CN105271814A (zh) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN106007401A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-10-12 | 赛柏利安工业技术（苏州）有限公司 | 全介质阳光选择车窗玻璃复合膜系连续磁控溅射沉积工艺 |
| CN106007399A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-10-12 | 赛柏利安工业技术（苏州）有限公司 | 全介质膜系阳光选择节能车窗玻璃 |
| CN106007400A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-10-12 | 赛柏利安工业技术（苏州）有限公司 | 阳光选择大型平板玻璃全介质复合膜系连续溅射沉积工艺 |
| CN106007402A (zh) * | 2016-05-16 | 2016-10-12 | 赛柏利安工业技术（苏州）有限公司 | 阳光选择全介质非银膜系节能建筑玻璃 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014191485A2 (en) * | 2013-05-30 | 2014-12-04 | Agc Glass Europe | Solar control glazing |
| CN104230182A (zh) * | 2014-09-28 | 2014-12-24 | 中国建材国际工程集团有限公司 | 高透过率可钢化低辐射镀膜玻璃的制备方法 |
-
2015
- 2015-09-28 CN CN201510627043.7A patent/CN105271814A/zh active Pending
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| PB01 | Publication | ||
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