CN105014489A - 一种密封环加工方法及采用该方法加工的密封环 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种在密封端面上设有从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽的密封环的加工方法及采用该方法加工的密封环，其特征是先磨削密封端面然后磨削浅槽，在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮轴线与密封环轴线不平行，杯形砂轮端面内周边相对于密封端面的最低点在过密封端面外圆周的圆柱面的外侧，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮相对于密封环在三维空间按运动规律做成形运动，通过杯形砂轮的成形运动在密封端面上加工出从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽，加工精度高，成本低。

Description

一种密封环加工方法及采用该方法加工的密封环

技术领域

本发明属于密封环加工技术领域，涉及一种在密封端面上设有浅槽的密封环的加工方法，特别涉及一种在密封端面上设有从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽的密封环的加工方法及采用该方法加工的密封环，该密封环适用于各种形式的接触式机械密封和非接触式机械密封。

背景技术

在机械密封的密封环平的密封端面开设浅槽可以增强密封端面的润滑，降低端面上的摩擦和磨损，减小摩擦热，提高密封的稳定性和寿命。目前在端面开设浅槽的机械密封已经发展成为一种典型的非接触式机械密封。这种非接触式机械密封是在其中一个密封环的平端面开设一系列的深度为微米级的浅槽，如螺旋槽、圆弧槽、叶形槽、T形槽、Y形槽、L形槽、直槽以及各种异形槽等，在运转时，由于浅槽的动压效应，将进入该槽的密封流体的压力升高，该压力作用在相互贴合的动、静环密封端面上，将这两个面推开而不接触，并在之间形成连续、稳定的密封流体的薄膜，实现非接触密封。目前的浅槽多为平底等深形状，动压效应有限。通过在密封端面开设三维渐变浅槽来增强端面流体的动压效应，进而增大端面流体薄膜的承载能力和流体膜薄刚度，从而提升密封运行稳定性和可靠性并延长使用寿命，是机械密封的主要研究方向之一。

由于三维渐变浅槽的深度为微米量级，浅槽的形状复杂，结构精细而精度要求高，粗糙度要求也比较严格，而且一般在碳化钨、碳化硅、氮化硅等硬质密封环的密封端面上开设，因此加工比较困难，常规的机械加工方法几乎无能为力，三维渐变浅槽的高精度加工是机械密封核心技术之一。目前国内外广泛采用激光在硬质密封环上加工三维渐变浅槽，采用激光加工时存在表面粗糙度偏大问题，此外采用激光加工三维渐变浅槽时材料是被逐层扫描去除的，存在残留高度，只能近似成形，成形精度低。

发明内容

本发明的目的在于克服现有技术的不足而提供一种从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽的密封环的加工方法以及采用该方法加工的密封环。

本发明采用如下技术方案来实现：

本发明的第一个方面提供了一种密封环加工方法，该方法包括加工密封环的密封端面的步骤和加工密封端面上的浅槽的步骤，在加工浅槽的步骤中，杯形砂轮轴线与密封环轴线不平行，杯形砂轮端面内周边相对于密封端面的最低点在过密封端面外圆周的圆柱面的外侧，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮相对于密封环在三维空间按运动规律做成形运动，通过杯形砂轮的成形运动在密封端面上磨削出从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

所述的运动规律是倾斜于密封端面的杯形砂轮做平行于密封端面的直线运动，

或者是密封环相对于倾斜的杯形砂轮做以与密封环轴线平行的直线为轴线的转动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做与密封端面略微倾斜的直线运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个与密封端面略微倾斜的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做与密封端面略微倾斜的直线运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以密封环轴线的平行线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个平行于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个与密封端面略微倾斜的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个平行于密封端面的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个与密封端面略微倾斜的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个平行于密封端面的直线运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个与密封端面略微倾斜的直线运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个平行于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个与密封端面略微倾斜的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个与密封端面略微倾斜的直线运动和一个平行于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由两个与密封端面略微倾斜的直线运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由两个平行于密封端面的直线运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是由两个平行于密封端面的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由两个平行于密封端面的直线运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由两个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个与密封端面略微倾斜的直线运动、一个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动、一个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动、一个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动。

或者是由一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动、一个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动。

所述的杯形砂轮的半径的范围为20~500毫米、杯形砂轮端面宽度为1~5毫米。

在磨削浅槽时，可分为粗磨、半精磨和精磨三个阶段，或者分为半精磨和精磨两个阶段，或者不分阶段，即采用一种粒度砂轮直接磨削完成。

加工密封端面的步骤可以放在加工浅槽的步骤之前，也可以放在加工浅槽的步骤之后，比较有利的是先采用杯形砂轮磨削密封端面，然后再加工浅槽。

在磨削密封端面时，可分为粗磨和精磨两个阶段，或者分为粗磨、半精磨和精磨三个阶段，或者分为半精磨和精磨两个阶段。

在磨削所述的密封端面和所述的浅槽步骤中，比较有利的是密封环只装夹一次。

加工完曲面槽后，对密封环的密封端面进行磨削、研磨或抛光也是可行的。

本发明的第二个目的是提供一种在密封端面上设有浅槽的密封环，该密封环是通过本发明所提供的密封环加工方法加工得到的，所述的浅槽不限于特定的形状。

本发明的有益效果主要表现在：本发明所述的密封环加工方法可以加工出在密封端面上设有从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽的密封环，加工精度高，而且成本低。本发明所述的密封环在其密封端面设有从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的三维收敛浅槽，工作时具有更强的收敛特性，能够在密封端面间形成更强的流体动压效应，从而获得更高的流体膜刚度，增强密封的稳定性。

附图说明

图1是本发明给出的密封环加工方法中，加工浅槽时浅槽的成形示意图。

图2是采用图1所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图3是图2所示形状的俯视图。

图4是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图5是图4的俯视图。

图6是采用图4所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图7是图6所示形状的俯视图。

图8是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图9是采用图8所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图10是图9所示形状的俯视图。

图11是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图12是图11的俯视图。

图13是采用图11所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图14是图13所示形状的俯视图。

图15是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图16是采用图15所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图17是图16所示形状的俯视图。

图18是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图19是采用图18所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图20是图19所示形状的俯视图。

图21是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图22是采用图21所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图23是图22所示形状的俯视图。

图24是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图25是采用图24所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图26是图25所示形状的俯视图。

图27是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图28是采用图27所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图29是图28所示形状的俯视图。

图30是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图31是采用图30所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图32是图31所示形状的俯视图。

图33是本发明给出的密封环加工方法中，加工另一种浅槽时浅槽成形示意图。

图34是采用图33所示密封环加工方法加工得到的密封环的形状的示意图。

图35是图34所示形状的俯视图。

图中：1密封端面内周边；2密封端面外周边；3密封端面；4槽底与密封端面的交线；5槽底；6侧壁；7杯形砂轮瞬时位置；8槽底1；9槽底2。

上述各三维图中，为了更直观描述浅槽成形过程以及其形状，放大了密封端面轴向尺寸，轴向尺寸值仅为示意性目的。

具体实施方式

为能进一步了解本发明的发明内容、特点及功效，兹列举以下实施例，并配合附图详细说明如下：

实施例一：请参阅图1、图2和图3。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量，在磨削密封端面时，分为粗磨和精磨两个阶段。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为175毫米，杯形砂轮端面宽度为3毫米，杯形砂轮与密封端面的倾斜角度为0.0002弧度，杯形砂轮端面中心到密封环轴线的距离为50毫米，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，密封环还绕与密封环轴线平行且经过砂轮端面中心的直线转动，该转动为浅槽表面形状的成形运动。图1是浅槽成形示意图，在密封环坐标系下，杯形砂轮相对于密封环转动，杯形砂轮7用圆示意性表示，图中11个圆分别表示杯形砂轮相对于密封环转动时一系列瞬时位置，杯形砂轮首先从密封环的密封端面的外周边切入，随着杯形砂轮相对于密封环沿顺时针方向转动，杯形砂轮与密封环的接触区向下并且向密封端面内侧移动，由于杯形砂轮端面内周边相对于密封端面的最低点在过密封端面外圆周的圆柱面的外侧，瞬时生成表面是从密封端面外侧向内侧逐渐变浅的，结果在密封端面上加工出从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。在磨削浅槽时，分为半精磨和精磨两个阶段。在磨削密封端面和浅槽的步骤中，密封环只装夹一次。

所加工出的浅槽最低处的深度为10微米，其底面由一个光滑曲面构成，在浅槽距离内径较近的一侧有陡立的侧壁。通过分度运动使密封环转过适当角度后，重复同样的成形运动，就可以在密封端面上加工出第二个浅槽，进而可以加工出第三个、直至加工出所有的浅槽。本实施例中，在密封端面加工出了一组沿周向均布的、相同的浅槽，浅槽的数量为9个，这些浅槽彼此不连接，相隔一定距离，而且不越过密封端面内周边。

可以理解的是，在密封环绕与密封环轴线平行的直线的转动的基础上，可以通过增加绕密封环轴线的转动、垂直于密封端面的直线运动、平行于密封端面的直线运动、与密封端面倾斜的直线运动中的一个或多个进行运动合成，以合成的运动作为浅槽表面形状的成形运动。

在本实施例中浅槽表面形状的成形运动是密封环绕与密封环轴线平行且经过砂轮端面中心的直线的转动，可以理解的是，该成形运动也可以是倾斜于密封端面的杯形砂轮做平行于密封端面的直线运动。

图2是根据实施例一所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图3是图2所示形状的俯视图，其密封端面上的浅槽包括陡立的侧壁，侧壁在浅槽距离内径较近的一侧，该槽在密封端面的投影大致呈螺旋形状，具有从密封端面的外侧向内侧逐渐变浅和变窄、沿周向逐渐变浅的三维收敛形状。

实施例二：请参阅图4、图5、图6和图7。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为175毫米，杯形砂轮与密封端面的倾斜角度为0.00081弧度，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮还做一个与密封端面倾斜角度为0.00024弧度的直线运动，该直线运动为浅槽表面形状的成形运动。图4是浅槽成形示意图，在密封环坐标系下，杯形砂轮相对于密封环做直线运动，杯形砂轮7用圆示意性表示，图中21个圆分别表示杯形砂轮相对于密封环运动时一系列瞬时位置，杯形砂轮朝向密封环做直线运动时，首先从密封环的密封端面的外周边切入，杯形砂轮与密封环的接触区沿周向前移，同时向下方移动，接触区随之变长，瞬时生成表面逐渐变低，到达最低点后接触区继续沿周向前移，同时向上方移动、接触区随之变短，瞬时生成表面逐渐变高，直至与密封端面的外周边脱离接触，在密封端面上加工出沿周向先逐渐变深然后逐渐变浅的、从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

所加工出的浅槽最低处的深度为10微米，其底面由一个光滑曲面构成，该曲面平滑过渡到密封端面，不存在陡立的侧壁。通过分度运动使密封环转过适当角度后，重复同样的成形运动，就可以在密封端面上加工出第二个浅槽，进而可以加工出第三个、直至加工出所有的浅槽。本实施例中，在密封端面加工出了一组沿周向均布的、相同的浅槽，浅槽的数量为9个，这些浅槽彼此不连接，相隔一定距离，而且不越过密封端面内周边。

可以理解的是，在本实施例中浅槽表面形状的成形运动是倾斜于密封端面的杯形砂轮做与密封端面略微倾斜的直线运动，此运动也可以通过由一个平行于密封端面的直线运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动来实现。

可以理解的是，在倾斜于密封端面的杯形砂轮做与密封端面略微倾斜的直线运动的基础上，可以通过增加绕密封环轴线的转动、垂直于密封端面的直线运动、平行于密封端面的直线运动、与密封端面倾斜的直线运动中的一个或多个进行运动合成，以合成的运动作为浅槽表面形状的成形运动。

图6是根据实施例二所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图7是图6所示形状的俯视图。在本实施例中，密封端面上的浅槽由一个光滑的曲面构成，该曲面平滑过渡到密封端面，没有陡立的侧壁，曲面与密封端面的交线是一条光滑曲线，而且该交线呈与密封装置在旋转轴正向旋转时反向凸出的流线形状，该浅槽关于密封环的径向线是明显不对称的。

实施例三：请参阅图8、图9和图10。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为175毫米，杯形砂轮端面中心到密封环轴线的距离为263毫米，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮还做由一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，该复合运动为浅槽表面形状的成形运动。杯形砂轮绕过杯形砂轮端面中心且平行于密封端面的直线转动时，杯形砂轮与密封端面的倾斜角度从0.000062弧度逐渐增加到0.00062弧度，再从0.00062弧度逐渐减小到0.000062弧度，与此同时，密封环绕密封环轴线转动，转动的幅度为0.6283弧度。图8是浅槽成形示意图，在密封环坐标系下，杯形砂轮用圆示意性表示，图中21个圆分别表示杯形砂轮相对于密封环运动时一系列瞬时位置，杯形砂轮相对于密封环运动时，首先从密封环的密封端面的外周边切入，进而杯形砂轮与密封环的接触区沿周向前移，同时向下方移动，接触区随之变长，瞬时生成表面逐渐变低，到达最低点后接触区继续沿周向前移，同时向上方移动、接触区随之变短，瞬时生成表面逐渐变高，直至与密封端面的外周边脱离接触，在密封端面上加工出沿周向先逐渐变深然后逐渐变浅的、从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

在本实施例中浅槽表面形状的成形运动是由一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，可以理解的是，在此基础上，还可以增加垂直于密封端面的直线运动、平行于密封端面的直线运动或倾斜于密封端面的直线运动进行运动合成，以合成的运动作为浅槽表面形状的成形运动。

图9是根据实施例三所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图10是图9所示形状的俯视图，密封端面上的浅槽关于密封环的径向线是大体对称的。

实施例四：请参阅图11、图12、图13和图14。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为175毫米，杯形砂轮与密封端面的倾斜角度为0.001弧度，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮做以密封环轴线的平行线为轴线的等速螺旋运动，螺旋半径为225毫米，螺距为0.2878毫米，螺旋轴线至密封环轴线的距离为40毫米，该螺旋运动为浅槽表面形状的成形运动。图11和图12是浅槽成形示意图，在密封环坐标系下，杯形砂轮相对于密封环做等速螺旋运动，杯形砂轮7用圆示意性表示，图中21个圆分别表示杯形砂轮相对于密封环运动时一系列瞬时位置，杯形砂轮朝向密封环做螺旋运动时，首先从密封环的密封端面的外周边切入，杯形砂轮与密封环的接触区沿周向前移，同时向下方移动，接触区随之变长，瞬时生成表面逐渐变低，到达最低点后接触区继续沿周向前移，同时向上方移动、接触区随之变短，瞬时生成表面逐渐变高，直至与密封端面的外周边脱离接触，在密封端面上加工出沿周向先逐渐变深然后逐渐变浅的、从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

可以理解的是，在本实施例中浅槽表面形状的成形运动是密封环相对于与之倾斜的杯形砂轮做以密封环轴线的平行线为轴线的等速螺旋运动。当然此运动也可以通过由一个以密封环轴线的平行线为轴线的转动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动来实现。

可以理解的是，在螺旋运动的基础上，可通过增加绕密封环轴线的转动、垂直于密封端面的直线运动、平行于密封端面的直线运动、与密封端面倾斜的直线运动中的一个或多个进行运动合成，以合成的运动作为浅槽表面形状的成形运动。

图13是根据实施例三所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图14是图13所示形状的俯视图，密封端面上的浅槽关于密封环的径向线是大体对称的。

实施例五：请参阅图15、图16和图17。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为175毫米，杯形砂轮与密封端面的倾斜角度为0.00081弧度，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮还做由一个平行于密封端面的直线运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动，该复合运动为浅槽表面形状的成形运动。图15是浅槽成形示意图，在密封环坐标系下，杯形砂轮相对于密封环运动，杯形砂轮7用圆示意性表示，图中21个圆分别表示杯形砂轮相对于密封环运动时一系列瞬时位置，杯形砂轮朝向密封环运动时，首先从密封环的密封端面的外周边切入，杯形砂轮与密封环的接触区沿周向前移，同时向下方移动，接触区随之变长，瞬时生成表面逐渐变低，到达最低点后接触区继续沿周向前移，同时向上方移动、接触区随之变短，瞬时生成表面逐渐变高，直至与密封端面的外周边脱离接触，在密封端面上加工出沿周向先逐渐变深然后逐渐变浅的、从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

图16是根据实施例五所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图17是图16所示形状的俯视图，密封端面上的浅槽关于密封环的径向线是大体对称的。

实施例六：请参阅图18、图19和图20。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为175毫米，杯形砂轮与密封端面的倾斜角度为0.00081弧度，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮还做由一个与密封端面平行的直线运动，一个与密封端面垂直的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，该复合运动为浅槽表面形状的成形运动。图18是浅槽成形示意图，在密封环坐标系下，杯形砂轮相对于密封环做两个直线运动和一个转动，杯形砂轮7用圆示意性表示，图中21个圆分别表示杯形砂轮相对于密封环运动时一系列瞬时位置，杯形砂轮朝向密封环运动时，首先从密封环的密封端面的外周边切入，杯形砂轮与密封环的接触区沿周向前移，同时向下方移动，接触区随之变长，瞬时生成表面逐渐变低，到达最低点后接触区继续沿周向前移，同时向上方移动、接触区随之变短，瞬时生成表面逐渐变高，直至与密封端面的外周边脱离接触，在密封端面上加工出沿周向先逐渐变深然后逐渐变浅的、从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

图19是根据实施例六所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图20是图19所示形状的俯视图，密封端面上的浅槽关于密封环的径向线是明显不对称的。

实施例七：请参阅图21、图22和图23。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为175毫米，杯形砂轮与密封端面的倾斜角度为0.00028弧度，杯形砂轮端面中心到密封环轴线的距离为50毫米，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，该复合运动为浅槽表面形状的成形运动。在密封环坐标系下，杯形砂轮相对于密封环做绕密封轴线的旋转运动，与此同时还做垂直于密封端面的直线运动，杯形砂轮首先从密封环的密封端面的外周边切入，杯形砂轮与密封环的接触区沿周向前移，同时向下方移动，接触区随之变长，瞬时生成表面逐渐变深进而到达最深处，到达最深点后接触区继续沿周向前移，同时向上方移动、接触区随之变短，瞬时生成表面逐渐变高，直至与密封端面的外周边脱离接触，在密封端面上加工出沿周向先逐渐变深然后逐渐变浅的、从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。在此实施例中，杯形砂轮向上方运动时密封环转过的幅度远比向下方运动时转过的幅度大，因此加工出来的浅槽的一侧比另一侧宽。

图22是根据实施例七所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图23是图22所示形状的俯视图，密封端面上的浅槽关于密封环的径向线是明显不对称的。

在本实施例中，浅槽与密封端面的交线是椭圆的一部分，可以理解的是，除了椭圆以外，还可以是其它函数曲线或数值曲线。

实施例八：请参阅图24、图25和图26。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为190毫米，杯形砂轮与密封端面的倾斜角度为0.000089弧度，杯形砂轮端面中心到密封环轴线的距离为78毫米，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮还做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以密封环轴线的平行线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，该复合运动为浅槽表面形状的成形运动。图24是浅槽成形示意图，在密封环坐标系下，杯形砂轮相对于密封环做一个直线运动和两个转动，杯形砂轮7用圆示意性表示，图中21个圆分别表示杯形砂轮相对于密封环运动时一系列瞬时位置，杯形砂轮朝向密封环运动时，首先从密封环的密封端面的外周边切入，杯形砂轮与密封环的接触区沿周向前移，同时向下方移动，接触区随之变长，瞬时生成表面逐渐变低，到达最低点后接触区继续沿周向前移，同时向上方移动、接触区随之变短，瞬时生成表面逐渐变高，直至与密封端面的外周边脱离接触，在密封端面上加工出沿周向先逐渐变深然后逐渐变浅的、从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

图25是根据实施例八所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图26是图25所示形状的俯视图，密封端面上的浅槽与密封端面的交线大致呈螺旋形状。

实施例九：请参阅图27、图28和图29。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为175毫米，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮还做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，其中砂轮端面与该平行于密封端面的直线平行，该复合运动为浅槽表面形状的成形运动。图27是浅槽成形示意图，在密封环坐标系下，杯形砂轮相对于密封环做一个直线运动和两个转动，杯形砂轮端面与密封端面的夹角在0.00002~0.00067弧度内变化，杯形砂轮7用圆示意性表示，图中21个圆分别表示杯形砂轮相对于密封环运动时一系列瞬时位置，杯形砂轮朝向密封环运动时，首先从密封环的密封端面的外周边切入，杯形砂轮与密封环的接触区沿周向前移，同时向下方移动，接触区随之变长，瞬时生成表面逐渐变低，到达最低点后接触区继续沿周向前移，同时向上方移动、接触区随之变短，瞬时生成表面逐渐变高，直至与密封端面的外周边脱离接触，在密封端面上加工出沿周向先逐渐变深然后逐渐变浅的、从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

图28是根据实施例九所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图29是图28所示形状的俯视图，密封端面上的浅槽关于密封环的径向线是大体对称的。

在本实施列中，浅槽表面形状的成形运动是由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，其中砂轮端面与该平行于密封端面的直线平行，但可以理解的是，砂轮端面与该直线倾斜也是可以的，在这种情形下，杯形砂轮绕倾斜于密封端面的直线转动。

实施例十：请参阅图30、图31和图32。

一种密封环加工方法，包括磨削密封环的密封端面的步骤和磨削密封端面上的浅槽的步骤，首先采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面，然后采用杯形砂轮磨削浅槽。在磨削密封端面的步骤中，杯形砂轮绕砂轮轴线转动，密封环做绕密封环轴线的转动，杯形砂轮相对于工件表面做切入运动以便去除密封端面的加工余量。在磨削浅槽的步骤中，杯形砂轮半径为175毫米，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮还做由一个倾斜于密封端面的直线运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，其中，砂轮端面与该倾斜于密封端面的直线平行，该直线运动的方向与密封端面夹角为0.0006弧度，该倾斜于密封端面的直线与砂轮轴线垂直且与该直线运动方向垂直，该复合运动为浅槽表面形状的成形运动。图30是浅槽成形示意图，在密封环坐标系下，杯形砂轮相对于密封环做一个直线运动和两个转动，杯形砂轮7用圆示意性表示，图中21个圆分别表示杯形砂轮相对于密封环运动时一系列瞬时位置，杯形砂轮朝向密封环运动时，首先从密封环的密封端面的外周边切入，杯形砂轮与密封环的接触区沿周向前移，同时向下方移动，接触区随之变长，瞬时生成表面逐渐变低，到达最低点后接触区继续沿周向前移，同时向上方移动、接触区随之变短，瞬时生成表面逐渐变高，直至与密封端面的外周边脱离接触，在密封端面上加工出沿周向先逐渐变深然后逐渐变浅的、从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

图31是根据实施例十所述加工方法所得到的密封环的形状示意图，图32是图31所示形状的俯视图，密封端面上的浅槽关于密封环的径向线是明显不对称的。

在本实施列中，杯形砂轮相对于密封环做以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动时，不仅需要顺时针转动，还需要逆时针转动，实质上是摆动，该轴线也可称之为摆动轴线，因此可以说砂轮轴线与该摆动轴线垂直是垂直的，可以理解的是，砂轮轴线倾斜于摆动轴线也是可以的，在这种情形下，砂轮端面与该摆动轴线是倾斜的。

实施例十一：请参阅图33、图34和图35。

本实施例中的杯形砂轮半径、成形运动的运动规律、联动关系和各轴初始位置与实施例五中的相同，差别在于各轴终止位置不同。所形成的浅槽包括陡立的侧壁，浅槽沿周向的深度从0逐渐达到最大、并在最深处与陡立侧壁交接而终止，浅槽不仅具有从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的形状，还具有沿周向逐渐收敛的形状。

在本实施例中，也可使浅槽沿周向的深度从0逐渐达到最大后再逐渐变浅、但还没有全部达到0时就与陡立侧壁交接而终止，形成一种槽底在发散区域未完全扩展到密封端面的浅槽。

可以理解的是，除了实施例五以外，在实施例二至实施例四中、在实施例六至实施例十中，也可以通过选择不同的终止位置，形成沿周向收敛的浅槽，或者形成槽底在发散区域未完全扩展到密封端面的浅槽。

实施例一至实施例十一中，示意性地在密封端面加工出9个浅槽，实际上，根据不同的密封压力和泄漏量要求，在密封端面上加工浅槽的数量可为2~200个，或更多。

本说明书所述的一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动，只是用于说明目的，本领域技术人员也可以将其变形为一个与密封端面倾斜的直线为轴线的转动。本说明书所述的一个垂直于密封端面的直线运动，也只是用于说明目的，本领域技术人员可以将其变形为一个与密封端面倾斜的直线运动。本说明书所述的一个平行于密封端面的直线运动，也只是用于说明目的，本领域技术人员可以将其变形为一个与密封端面倾斜的直线运动。

可以理解的是，采用同一运动规律时，通过改变杯形砂轮半径、各轴联动关系、各轴初始位置和各轴终止位置，可以改变所形成的浅槽形状，即采用同一种运动规律加工出的浅槽可能有多种形状，本发明的保护范围不应当被视为仅限于实施例所陈述的具体形状，本发明的保护范围也包括本领域技术人员根据本发明构思通过改变杯形砂轮半径、各轴联动关系、各轴初始位置和各轴终止位置所能够得到的各种形状。

可以理解的是，采用不同运动规律时，通过选择适当的杯形砂轮半径、各轴联动关系、各轴初始位置和终止位置，加工出的浅槽可能有相似的形状，本发明的保护范围不应当被视为某种浅槽形状只能由一特定的运动规律实现。

可以理解的是，本说明书所述的运动规律的具体实现形式仅仅是对发明构思实现形式的举例，只是用于说明目的，本发明的保护范围不应当被视为所陈述的具体实现形式，本领域技术人员还可以通过运动的增加、简化或者变形得到更多的实现形式，本发明的保护范围也及于本领域技术人员根据本发明构思通过运动的合成、简化或者变形得到的其它实现形式。

可以理解的是，在加工沿周向逐渐变深然后逐渐变浅的浅槽的步骤中，杯形砂轮从密封环的密封端面的外周边切入后，杯形砂轮与密封环的接触区先逐渐变低再逐渐变高，然后与密封端面脱离接触，由于杯形砂轮的端面有一定宽度，接触区在到达最低处时，从原本杯形砂轮端面的内周边与密封环接触变为外周边与密封环接触，或者从原本杯形砂轮端面的外周边与密封环接触变为内周边与密封环接触，因此在浅槽周向最低处会形成一过渡棱带，砂轮端面越窄，该棱带的宽度越小。由于该棱带在浅槽周向最低处，对密封环的密封性能没有影响，本说明书附图没有示意性地画出该棱带，但是这样的示意性描述可以使读者通过这些附图对本发明能更快理解，同时在描述浅槽的形状时，刻意将其忽略，因此在实施例一和二中可以说所加工出来的浅槽由一个光滑的曲面构成。

本发明的密封环适用于各种形式的接触式机械密封和非接触式机械密封。

Claims (7)

1.一种密封环加工方法，包括加工密封环的密封端面的步骤和加工密封端面上的浅槽的步骤，其特征在于： 在加工浅槽的步骤中，杯形砂轮轴线与密封环轴线不平行，杯形砂轮端面内周边相对于密封端面的最低点在过密封端面外圆周的圆柱面的外侧，除了杯形砂轮的旋转运动、杯形砂轮相对于密封环的切入运动和密封环的分度运动以外，杯形砂轮相对于密封环在三维空间按运动规律做成形运动，通过杯形砂轮的成形运动在密封端面上磨削出从密封端面外侧向内侧逐渐变浅和变窄的浅槽。

2.根据权利要求1所述的密封环加工方法，其特征在于，所述的运动规律是倾斜于密封端面的杯形砂轮做平行于密封端面的直线运动，

或者是密封环相对于倾斜的杯形砂轮做以与密封环轴线平行的直线为轴线的转动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做与密封端面略微倾斜的直线运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个与密封端面略微倾斜的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做与密封端面略微倾斜的直线运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以密封环轴线的平行线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个平行于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动和一个与密封端面略微倾斜的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个平行于密封端面的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个与密封端面略微倾斜的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个平行于密封端面的直线运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个与密封端面略微倾斜的直线运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个平行于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个与密封端面略微倾斜的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个垂直于密封端面的直线运动、一个与密封端面略微倾斜的直线运动和一个平行于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由两个与密封端面略微倾斜的直线运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由两个平行于密封端面的直线运动和一个垂直于密封端面的直线运动构成的复合运动，

或者是由两个平行于密封端面的直线运动、一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由两个平行于密封端面的直线运动、一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由两个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个与密封端面略微倾斜的直线运动、一个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是倾斜于密封端面的杯形砂轮做由一个以密封环轴线的平行线为轴线的螺旋运动、一个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个以平行于密封端面的直线为轴线的转动、一个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动，

或者是由一个以倾斜于密封端面的直线为轴线的转动、一个平行于密封端面的直线运动、一个垂直于密封端面的直线运动和一个绕密封环轴线的转动构成的复合运动。

3.根据权利要求1或2所述的密封环加工方法，其特征在于，所述的杯形砂轮的半径的范围为20~500毫米、杯形砂轮端面宽度为1~5毫米。

4.根据权利要求1－3中任一项所述的密封环加工方法，其特征在于，在加工浅槽前采用杯形砂轮磨削密封环的密封端面。

5.根据权利要求4中任一项所述的密封环加工方法，其特征在于，在磨削所述的密封端面和所述的浅槽步骤中，密封环只装夹一次。

6.根据权利要求1－5中任一项所述的密封环加工方法，其特征在于，加工完曲面槽后，对密封环的密封端面进行磨削、研磨或抛光加工。

7.一种密封环，在密封端面上设有浅槽，其特征在于，所述的密封环是用权利要求1－6中任一项的方法加工得到的，所述的浅槽不限于特定的形状。