CN104975310B - 一种喷嘴和喷嘴模具以及喷嘴和喷嘴模具的加工方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种喷嘴模具的加工方法，包括以下步骤：(1)制造限定出喷嘴外轮廓的外模和限定出喷嘴内腔的内模；(2)使所述内模的出料端具有导电性嘴的制造方法；本发明利用电化学直写沉积技术在内模的端部沉积得到型；(3)以内模的出料端为基底，通过电化学直写沉积技术在内模的出料端沉积形成限定出喷嘴孔道的型芯；本发明还公开了一种喷嘴、喷嘴模具以及喷嘴的加工方法，使加工出的喷嘴尺寸具有更小孔径、更高深宽比的优点，同时喷嘴孔道的形状可根据需要调节和变化，不受传统加工手段限制，为实际应用中可能的流体流动的期望角度/体积分布提供更多可能，实现喷嘴孔道孔径的微米级小尺寸制造和形状按需制备。

Description

一种喷嘴和喷嘴模具以及喷嘴和喷嘴模具的加工方法

技术领域

本发明涉及3D打印技术，特别涉及一种喷嘴和喷嘴模具以及喷嘴和喷嘴模具的加工方法。

背景技术

3D打印技术(又称为“增材制造技术”)无需机械加工或者磨具，就能根据计算机辅助设计系统(CAD)提供的三维图形数据，通过层层叠加的方法制造出三维模型或零件，特别是对于具有复杂结构的物体，可极大地缩短产品的研发周期，提高生产率和降低生产成本。

通过分层沉积可流动的成型材料来制造三维模型或零件的方法包括熔融挤出成型(FDM)和材料喷射成型技术(MJ)等。该类工艺是将可流动的液态材料(如胶体或液态树脂等)或熔融态材料(如PLA或ABS等)以串珠或丝状从喷嘴挤出，按照每层所设定的轨迹逐层沉积，每沉积一层后工作台下降一个层厚或打印喷头上升一个层厚，如此反复最终构建出整个实体。在整个加工过程中，出丝速度和出丝直径的大小及其均匀稳定程度将对3D打印机加工精度和表面质量产生重要影响。

喷嘴作为3D打印机的重要部件，其孔径按需制造，特别是微孔径喷嘴将为挤出沉积成型技术在成型尺度和精度方面提供更宽的选择范围，微孔径喷嘴的出料管道包括孔径较大的内腔以及用于出料的喷嘴孔道。特别是随着对打印产品性能需求的提高，小尺寸(特别是微纳尺寸)喷嘴将有效提高产品的精度和复杂度。其中，喷嘴微孔道尺寸和形状对控制流体的流变行为并获得期望的角度/体积分布具有重要作用；另外，在耐高温材料(如熔融工程塑料、玻璃和金属)打印成型时，喷嘴的耐高温、耐磨性和内孔道的光洁特性提升也将有利于打印效果和喷嘴自身的使用寿命。

目前常用的喷嘴微孔道/阵列的精加工方法有电火花加工、激光束加工，机械微型穿孔，溶液刻蚀，LIGA技术和超声加工等技术。虽然这些技术各自有其加工制造优势，但却存在着设备要求高，生产效率低，小尺寸和高深径比孔径加工困难等问题。特别是对于具有微小孔道的陶瓷喷嘴和阵列加工，这些问题尤为突出。能够获得的微孔一般在25μm以上，深径比通常小于2，并且均为直线主体内孔道。

针对小孔径和高深径比陶瓷喷嘴，微注射成形技术可获得小至1μm的微孔，是一种适合于低成本大规模的制造尺寸微小且形状复杂的金属和陶瓷零部件的成形技术。

在采用粉末微注射成形方法制造喷嘴的过程中，由于喷嘴内孔径尺寸很小(μm级别)，因此相应的喷嘴内孔模板的尺寸也很小，这就对制备内孔的模板(尤其是极小孔径喷嘴)提出了较高的工艺要求，此时，采用纳米压印或者机械加工制备内孔模板已经无法满足要求。

发明内容

本发明提供了一种喷嘴模具的加工方法，采用电化学直写沉积技术构造喷嘴内部微孔道的型芯，从而使微型喷嘴尺寸不受传统加工手段限制，能够制造出更小孔径、更高深宽比的喷嘴。

一种喷嘴模具的加工方法，包括以下步骤：

(1)制造限定出喷嘴外轮廓的外模和限定出喷嘴内腔的内模；

(2)使所述内模的出料端具有导电性；

(3)以内模的出料端为基底，通过电化学直写沉积技术在内模的出料端沉积形成限定出喷嘴孔道的型芯。

通过本发明的加工方法制造的喷嘴模具，其限定出喷嘴孔道的型芯，在尺寸达到亚微米级或更低，仍具有高成型精度，并且型芯的结构可以根据需要加工出直线型、沿长度方向直径不等、或具有弯折(非直线)的结构，例如三维曲线结构，长径比可达到30以上，优选的，所述型芯沿其长度方向具有弯折，从而实现喷嘴孔道孔径的微米级小尺寸制造和形状按需制备。

本说明书中所述的喷嘴是指3D打印喷头系统的末端锥形部分，即材料最终从所述的末端锥形部分喷出，该喷嘴部分具有对流体加速或导向的作用。

本发明还公开了一种喷嘴模具，其型芯采用电化学直写沉积技术构造，从而使微型喷嘴尺寸不受传统加工手段限制，能够制造出更小孔径、更高深宽比的喷嘴。

一种喷嘴模具，包括限定出喷嘴外轮廓的外模，限定出喷嘴内腔的内模，以及与内模的出料端连接且限定出喷嘴孔道的型芯，所述内模的出料端具有导电性，所述型芯以内模的出料端为基底、通过电化学直写沉积技术沉积形成。

所述喷嘴模具可以是制造单个喷嘴的结构，也可以是多个整列布置，优选的，所述喷嘴模具为限定出喷嘴阵列的阵列模具，包括多组阵列布置的外模、内模和型芯，所述的阵列排布可以根据3D打印的需要进行设定，阵列中每个喷嘴轴线之间可以是平行的也可以是不平行的；喷嘴阵列可以是单排排列，也可以是多排排列；喷嘴阵列中相邻喷嘴的间距可以在一定范围内进行变化，并不一定是固定的间距。

使所述内模的出料端具有导电性是为了在内模的出料端上直接通过电化学直写沉积技术制造型芯，提高模具整体的装配精度；使出料端具有导电性，可以是仅仅出料端部分是覆膜导电材质或者由导电材质制成，为了方便制造，优选的，所述内模采用导电材料制造。整个内模直接使用导电材料制造，简化加工工艺；

为了降低模具的制造成本，优选的，所述内模包括由非导电材料制成的基体以及覆膜在基体的进料端的导电层。

为了方便覆膜，优选的，所述导电层覆膜在整个基体表面。

并且，当内模为阵列结构时，整个内模具有导电性或者内模整个表面具有导电性，便于安装三维微纳结构制造系统的电极，只要将电极安装到内模上后，即可对各套内模的出料端进行加工，而不用针对每个单独内模重新安装电极，加工方便。

优选的，所述型芯由金属、导电高分子、半导体、或陶瓷中的至少一种沉积而成。常用的是金属。

本发明还公开了一种喷嘴的加工方法，使用采用电化学直写沉积技术构造型芯的喷嘴模具，制造的喷嘴尺寸不受传统加工手段限制，能够制造出更小孔径、更高深宽比的喷嘴。

一种喷嘴的加工方法，包括以下步骤：

(1)制造限定出喷嘴外轮廓的外模和限定出喷嘴内腔的内模；

(2)使所述内模的出料端具有导电性；

(3)以内模的出料端为基底，通过电化学直写沉积技术在内模的出料端沉积形成限定出喷嘴孔道的型芯；

(4)组装外模、内模和型芯，得到喷嘴模具；

(5)在所述的喷嘴模具中填充坯料，制成喷嘴坯体；

(6)将所述喷嘴坯体进行脱模、脱脂和烧结，获得喷嘴。

为了提高喷嘴品质，优选的，所述坯料采用陶瓷坯料。制成的陶瓷喷嘴具有耐高温、耐磨的特点，喷嘴孔道的光洁特性提升，还有利于打印效果的提升和喷嘴自身的使用寿命延长。

优选的，所述陶瓷坯料为ZrO₂、Al₂O₃、ZrO₂-Al₂O₃、Y₂O₃-ZrO₂、Al₂O₃-TiN、Si₃N₄颗粒中的至少一种。

这种陶瓷喷嘴坯体可通过注射、溶胶-凝胶法、光固化、陶瓷先驱体聚合物分解的方法生成。陶瓷坯料颗粒尺寸在2μm或以下，优选颗粒尺寸在0.5μm或以下。

进一步，陶瓷喷嘴坯体经溶剂脱脂，热脱脂和预烧结后取下模板，最后将预烧结坯在烧结炉中进行高温烧结，最终得到期望的形状，尺寸和微观结构的喷嘴。当型芯的尺寸达到亚微米或以下时，有时传统的机械脱模法较难实现脱模，优选的，所述型芯采用脱模剂、高温加热或电化学腐蚀进行脱模，优选预烧制熔化或化学腐蚀方法脱模。

本发明还公开了一种喷嘴，其孔道由采用电化学直写沉积技术构造的型芯限定，喷嘴尺寸不受传统加工手段限制，其孔径更小、深宽比更高。

一种喷嘴，通过粉末微注射成形方法制造，包括用于输入第一材料且由内模限定的喷嘴内腔，以及用于出料且与喷嘴内腔的出料端连通的喷嘴孔道，所述内模的出料端具有导电性，限定出所述喷嘴孔道的型芯以内模的出料端为基底、通过电化学直写沉积技术沉积形成。

与现有加工技术相比，本发明的喷嘴在微小尺寸下仍具有良好的加工精度，优选的，所述孔道的内径为100nm～8mm，此时孔道孔径小，深宽比高，但是小于100nm以下加工起来难度增加。由于型芯的结构可以根据需要加工出直线型、沿长度方向直径不等、或具有弯折(非直线)的结构，例如三维曲线结构，长径比可达到30以上，因此本发明的孔道结构可根据需要进行设定，优选的，所述型芯沿其长度方向具有弯折，从而使所述孔道沿其长度方向具有弯折。具有弯折(非直线)可以是孔道的其中一段弯折，也可以是多段弯折，根据需要设定，还可以是曲线，甚至螺旋结构。

还可以将孔道的各段孔径设置的不相等，使其适用于不同的场合，优选的，所述孔道沿其长度方向孔径不相等。例如将孔道自进料至出料方向的孔径阶梯缩小。

为了提高打印效果，优选的，所述喷嘴设有连通内腔用于输入第二材料的进样侧管。进样侧管与第二材料进样装置连通，当使用低粘度打印材料作为第一材料时，为避免惯性作用导致的材料挤出无法精确控制问题，通过进样侧管第二材料输入喷嘴内腔可以用以控制第一材料的挤出过程；当用于打印过程时，也可以通过进样侧管与喷嘴内腔的协作，实现边混料边打印的动作。该进样侧管并不是必需的，可在制造过程中根据需要增删或使用过程中封闭；

喷嘴的外部结构可有意地变形，这种变形可用于与打印机构的其它部分(如进样机构、加热冷却机构)有效地组合，形成打印喷射系统整体结构。

优选的，所述第二材料为氮气、氦气、氩气、水中的至少一种。

本发明的有益效果：

本发明的喷嘴和喷嘴模具以及喷嘴和喷嘴模具的加工方法，利用电化学直写沉积技术在内模的端部沉积得到型芯，使加工出的喷嘴尺寸具有更小孔径、更高深宽比的优点，同时喷嘴孔道的形状可根据需要调节和变化，不受传统加工手段限制，为实际应用中可能的流体流动的期望角度/体积分布提供更多可能，实现喷嘴孔道孔径的微米级小尺寸制造和形状按需制备。

附图说明

图1为实施例1的喷嘴的结构示意图。

图2(2a～2d)为实施例1的喷嘴加工流程图。

图3为实施例3的喷嘴的结构示意图。

图4为实施例1的内模的立体示意图。

图5为实施例2的内模的立体示意图。

图6为实施例1的喷嘴显微照片。

图7为实施例2喷嘴模具的型芯的显微照片。

图8为实施例4的喷嘴阵列的显微照片。

具体实施方式

实施例1

如图1所示，喷嘴10包括：喷嘴本体11、喷嘴内腔13和喷嘴孔道12。其中，喷嘴内腔13可为多面体、圆柱体或锥形结构，其顶部与喷嘴孔道12连接，喷嘴孔道12为圆柱形，还可为直圆柱体，或椭圆柱体、或抛物体、或截头圆锥体或多段结构，喷嘴孔道12中心线径为直线，也可以根据需要设计成直线、曲线，甚至螺旋结构，该喷嘴内腔13与第一材料进样装置连通，本实施例中，喷嘴10为阵列结构。

如图2所示，加工本实施例的喷嘴10过程如下：

(1)图2的2a中，采用高强度石膏粉与水和801胶配置成质量分数比50:20:3的浆料，采用硫磺胎做辅料，制成阵列结构的内模21和外模30，所有内模21组成内模阵列20；

(2)图2的2b中，通过电子束蒸镀将薄Ag膜沉积在内模21表面形成导电薄膜22，使内模21的表面导电，在52℃，pH值3.5～4.5的氨基磺酸镍溶液中沉积镍膜，完成导电薄膜沉积；

(3)图2的2c中，将内模21固定平放于三维微纳结构制造系统的三维移动平台上固定，在三维微纳结构制造系统的玻璃微管内注入金属盐溶液，将毛细管垂直固定，尖端朝下，使得毛细管与内模21的顶端(出料端)所在平面垂直并且尖端对准内模21的顶端的中心位置，将连接有外部直流电源正极的金属丝插入玻璃微管液体中，将导电薄膜22作为阴极，装有金属盐溶液的玻璃微电极24作为阳极，通过调控三维移动平台各方向移动速度和外部直流电压在内模21的顶端(出料端)沉积出直径10μm的直圆柱形的型芯23；

(4)图2的2d中，按相对位置，将内模21和外模30进行组装，称取3.0克丙稀酰胺，0.075克N,N'-亚甲基双丙烯酰胺和21.9克水配制成混合溶液，加入聚丙烯酰胺1.74克，颗粒尺寸0.5μm氧化铝颗粒，球磨24小时，再加入5wt.％的硫代硫酸钠水溶液0.1克，N,N,N',N'-四甲基乙二胺0.039克，制成陶瓷浆料；将该陶瓷浆料在N₂保护下注入到微喷嘴模具中，模具温度25℃；随后放入到恒湿箱中，以每天10％的速度降低湿度，进行干燥聚合；随后在模具中取喷嘴坯体40；将喷嘴坯体40置于高温炉中，以1℃/min的速度升温至600℃，随后以4℃/min的速度升温至1100℃，最后升温到1550℃恒温烧结2h，得到如图6所示喷嘴10。

实施例2

本实施例的喷嘴结构与实施例1相似，除了内模21的结构和型芯的形状尺寸外，其余结构与实施例1相同，实施例1的内模21的顶端为锥形台，如图4所示，而本实施例的内模21的顶端为圆台形状，如图5所示。

本实施例加工本喷嘴10过程如下：

(1)采用机械加工的方法，选用铜金属材料，通过钻削，冲孔，磨削等加工过程除去相应部位的多余材料，得到表面光洁的外模30和内模21，内模21具有圆台形状的顶端；

(2)将内模21固定平放于三维微纳结构制造系统的三维移动平台上固定，在三维微纳结构制造系统的玻璃微管内注入金属盐溶液，将毛细管垂直固定，尖端朝下，使得毛细管与内模21的顶端(出料端)所在平面垂直并且尖端对准内模21的顶端的中心位置，将连接有外部直流电源正极的金属丝插入玻璃微管液体中，将导电的内模21作为阴极，装有金属盐溶液的玻璃微电极24作为阳极，通过调控三维移动平台各方向移动速度和外部直流电压在导电内模上沉积出直径500nm的，如图7所示的具有弯曲的型芯23。

(3)按相对位置，将内模21和外模30进行组装，采用微粉末注射填充模具，将石蜡和棕榈蜡按照1:1的比例进行均匀混合，共占多组分粘结剂质量的85％，然后向蜡基粘结剂中加入10％油酸作为分散剂和5％的烷基酚聚氧乙烯醚作为表面活性剂，完成多组分粘结剂配置；

将粒径为0.4μm氧化锆/氧化铝复合陶瓷颗粒，同配制好的多组分粘结剂在150℃下在混炼机上混合均匀，制成粉末装载量为50vol.％的均匀喂料，将喂料在注射机上注射，得到喷嘴结构的喷嘴坯体40；

将喷嘴坯体40浸泡在有机溶剂二氯甲烷中进行溶剂脱脂，溶剂脱脂的溶剂温度为40℃，脱脂时间为6h，将溶剂脱脂得到的喷嘴坯体40在热脱脂炉和烧结炉中进行热脱脂和预烧结，采用两步保温来脱除溶剂脱脂坯中残留的粘结剂，第一步在200℃之间保温80min，第二步在400℃之间保温100min；然后，在700℃下进行预烧结，保温时长为60min；最后，将预烧结后的喷嘴坯体40在真空烧结炉中1300℃进行高温烧结2h，得到致密的内部微结构保持良好的喷嘴10。

实施例3

如图3所示，本实施例的喷嘴10包括：喷嘴本体11、喷嘴内腔13、喷嘴孔道12和进样侧管14构成。进样侧管14位于喷嘴内腔13侧面，并与喷嘴内腔13连通，进样侧管14出料端通入喷嘴内腔13的出料端，即锥形端，主要用于通入与作为打印材料的第一材料不同的第二材料，特别是气体进样，从而抑制低粘度打印材料惯性导致的打印精度降低的问题。针对高粘度打印材料，或较低温度下打印的低粘度熔体材料，进样侧管14并不是必需的，可在制造过程中根据需要增删或使用过程中封闭。

本实施例加工本喷嘴10过程如下：

(1)采用立体光刻的方法加工制成锥形喷嘴的外模30和具有棱台形状的内模21，外模30和内模21为聚四氟乙烯的塑料模具，其形状依照图3中带有进样侧管14的喷嘴结构来设计；

(2)采用银镜法在内模21的表面镀一层导电膜，将内模依次在丙酮，无水乙醇和蒸馏水中超声清洗10min，除去表面的油脂和其他杂质，取5mL硝酸银溶液，滴入质量分数为2％的氨水溶液至沉淀刚好溶解为止，将冲洗好的内模21放入准备好的银氨溶液中，滴入10％葡萄糖溶液，再滴入1～2滴表面活性剂，在水浴中加热约2min，待内模表面形成光亮的银膜后立即取出后风干即完成了导电薄膜22的构造；

(3)将内模21固定平放于三维微纳结构制造系统的三维移动平台上固定，在三维微纳结构制造系统的玻璃微管内注入金属盐溶液，将毛细管垂直固定，尖端朝下，使得毛细管与内模21的顶端(出料端)所在平面垂直并且尖端对准内模21的顶端的中心位置，将连接有外部直流电源正极的金属丝插入玻璃微管液体中，将导电薄膜22作为阴极，装有金属盐溶液的玻璃微电极24作为阳极，通过调控三维移动平台各方向移动速度和外部直流电压在导电内模上沉积出直径大小阶梯缩小的线，其中最小的线直径尺寸为200nm，得到尺寸阶梯变化的型芯23。

(4)按相对位置，将内模21和外模30进行组装，向组装好的喷嘴模具中注入氮化硅陶瓷的有机前驱体，即聚硅氮烷，然后经过化学腐蚀进行脱模得到氮化硅陶瓷有机前驱体的喷嘴坯体40，喷嘴坯体40在氮气保护下进行热处理，热处理的温度为1600℃，时长为2小时，这样聚硅氮烷经过热解后，其作为陶瓷有机前驱体转化成氮化硅陶瓷材料，最终获得致密的内部微结构保持完好的带有进样侧管的稳定的喷嘴10。

实施例4

本实施例喷嘴结构与实施例1相似，除了型芯的尺寸外，其余结构与实施例1相同。

本实施例加工本喷嘴10过程如下：

(1)采用纳米压印的方法，制造一组喷嘴阵列的外模30和内模21的塑料模具；

(2)通过电子束蒸镀将薄Ag膜沉积在内模21表面，使内模21的表面具有导电薄膜22；

(3)将内模21固定平放于三维微纳结构制造系统的三维移动平台上固定，在三维微纳结构制造系统的玻璃微管内注入金属盐溶液，将毛细管垂直固定，尖端朝下，使得毛细管与内模21的顶端(出料端)所在平面垂直并且尖端对准内模21的顶端的中心位置，将连接有外部直流电源正极的金属丝插入玻璃微管液体中，将导电薄膜22作为阴极，装有金属盐溶液的玻璃微电极24作为阳极，通过调控三维移动平台各方向移动速度和外部直流电压在导电内模上沉积出直径1μm的直圆柱形的型芯23；

(4)按相对位置，将内模21和外模30进行组装，向组装完好的喷嘴模具中注入光固化陶瓷，首先将丙烯酰胺和N-N'亚甲基双丙烯酰胺按比例加入硅溶胶和丙三醇混合而成的溶液中得到预混液,然后将粒径大小为0.5μm的氧化锆陶瓷粉末及聚丙烯酸钠(分散剂)，2-羟基-甲基苯基丙烷-1-酮(光引发剂)逐批加入上述预混液中,然后将陶瓷浆料进行球磨,得到分散均匀的陶瓷浆料，将陶瓷浆料注入到组装好的模具中并进行曝光，成形固化的氧化锆陶瓷喷嘴的喷嘴坯体40，然后将喷嘴坯体40放置在真空干燥箱中在50℃下干燥12小时，均匀去除喷嘴坯体40中的水分,接下来将喷嘴坯体40在有机溶剂二氯甲烷中进行溶剂脱脂5h，脱脂完成后在700℃下进行时长为60min的预烧结，最后将预烧结坯放在真空烧结炉中1400℃进行高温烧结2h，最后得到如图8所示的喷嘴阵列。

Claims (13)

1.一种喷嘴模具的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制造限定出喷嘴外轮廓的外模和限定出喷嘴内腔的内模；

(2)使所述内模的出料端具有导电性；

(3)以内模的出料端为基底，通过电化学直写沉积技术在内模的出料端沉积形成限定出喷嘴孔道的型芯。

2.一种喷嘴模具，包括限定出喷嘴外轮廓的外模，限定出喷嘴内腔的内模，以及与内模的出料端连接且限定出喷嘴孔道的型芯，其特征在于，所述内模的出料端具有导电性，所述型芯以内模的出料端为基底、通过电化学直写沉积技术沉积形成。

3.如权利要求2所述的喷嘴模具，其特征在于，所述喷嘴模具为限定出喷嘴阵列的阵列模具，包括多组阵列布置的外模、内模和型芯。

4.如权利要求2或3所述的喷嘴模具，其特征在于，所述内模采用导电材料制造；

或者所述内模包括由非导电材料制成的基体以及覆膜在基体的进料端的导电层。

5.如权利要求2或3所述的喷嘴模具，其特征在于，所述型芯沿其长度方向具有弯折。

6.如权利要求2或3所述的喷嘴模具，其特征在于，所述型芯由金属、导电高分子、半导体、或陶瓷中的至少一种沉积而成。

7.一种喷嘴的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)制造限定出喷嘴外轮廓的外模和限定出喷嘴内腔的内模；

(2)使所述内模的出料端具有导电性；

(3)以内模的出料端为基底，通过电化学直写沉积技术在内模的出料端沉积形成限定出喷嘴孔道的型芯；

(4)组装外模、内模和型芯，得到喷嘴模具；

(5)在所述的喷嘴模具中填充坯料，制成喷嘴坯体；

(6)将所述喷嘴坯体进行脱模、脱脂和烧结，获得喷嘴。

8.如权利要求7所述的喷嘴的加工方法，其特征在于，步骤(6)中，所述型芯采用脱模剂、高温加热或电化学腐蚀进行脱模。

9.如权利要求7或8所述的喷嘴的加工方法，其特征在于，所述坯料采用陶瓷坯料。

10.如权利要求9述的喷嘴的加工方法，其特征在于，所述陶瓷坯料为粉体、浆料或有机前驱体中的至少一种。

11.一种喷嘴，通过粉末微注射成形方法制造，包括用于输入第一材料且由内模限定的喷嘴内腔，以及用于出料且与喷嘴内腔的出料端连通的喷嘴孔道，其特征在于，所述内模的出料端具有导电性，限定出所述喷嘴孔道的型芯以内模的出料端为基底、通过电化学直写沉积技术沉积形成。

12.如权利要求11所述的喷嘴，其特征在于，所述孔道的内径为100nm～8mm。

13.如权利要求11或12所述的喷嘴，其特征在于，所述喷嘴设有连通内腔用于输入第二材料的进样侧管。