CN104973561B - 微机电元件 - Google Patents
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Abstract
本发明提出一种微机电元件，包含：一基板；一质量块，其内部定义一中空结构，该质量块与该基板构成至少两个感测电容；至少两个锚点结构，连接于该基板，且从剖面图视之，该锚点结构分别落在该至少两个感测电容的电容区域内；至少一个连杆构架，位于该中空结构中，与该锚点结构直接连接、或是通过缓冲弹簧而与该锚点结构间接连接；以及多个扭转弹簧，位于该中空结构中，各扭转弹簧一端连接于该质量块，另一端连接于该连杆构架；其中，该至少两个感测电容分别位于该扭转弹簧的两相对侧，该质量块可依该扭转弹簧为轴而旋转，使该至少两个感测电容构成差分感测电容，且其中，在该质量块和该基板的连接关系中，不具有不构成活动电极的质量块。
Description
技术领域
本发明涉及一种微机电元件，特别是指一种将锚点设置在质量块的下方、且质量块和锚点间直接通过弹簧连接而不需要设置转接用质量块的微机电元件。
背景技术
参照图1A，显示传统的一微机电元件10，其中包含基板11、质量块12、和锚点13，质量块12通过锚点13而连接在基板11上。基板11上有固定电极区111，质量块12上有活动电极区121，对应的固定电极区111与活动电极区121形成一感测电容，以感测质量块12的运动。更详言之，锚点13左方的感测电容和锚点13右方的感测电容构成差分电容，当微机电元件10运动时，质量块12沿Z轴方向(图中的上下方向)发生摆动，而差分电容可更精确地感测微机电元件10在Z轴方向的移动量。因应差分电容的设计，因此，锚点13很自然地设置在两差分电容之间。然而，此现有技术具有缺点。图1B示意显示此微机电元件10的基板11呈现变形状态，此变形状态可能为制造过程或操作过程中应力造成的变形。比较图1A与图1B，可看出图1B中的变形造成固定电极111与活动电极区121间的距离变化，此变化造成感测电容的感测值偏离，且难以控制。美国专利号US 4,736,629所公开的加速计，其结构具有如前述的变形困扰，而美国专利号US 5,487,305所公开的三轴加速计也有此变形困扰。
参照图2，显示根据美国专利号US 8,434,364所公开的微机电元件20，微机电元件20包含质量块22、锚点23、弹簧24、与转接用质量块25。图2中所显示的质量块22与转接用质量块25皆浮置于基板(未显示)之上，且质量块22依序通过弹簧24a、转接用质量块25、弹簧24b、以及锚点23连接于基板。此设计将锚点23设置在质量块22的下方，而非差分电容之间，以改善前述变形所造成感测值偏离的困扰。然而，此现有技术有其缺点。为了将质量块22连接到位在质量块22下方的锚点23，该现有技术设置了转接用质量块25(不构成活动电极的质量块)，但此转接用质量块25并未与固定电极构成电容，对于讯号的感测并无实质贡献，却浪费了布局面积；亦即，为了设置转接用质量块25，造成质量块22的有效感测面积减少，或是，为了得到相同的质量块22有效感测面积，则整体布局面积必须增加。
发明内容
本发明的目的在于克服现有技术的不足与缺陷，提出一种微机电元件，特别是指一种将锚点设置在质量块的下方、且质量块和锚点间直接通过弹簧连接而不需要设置转接用质量块的微机电元件。
为达上述目的，就其中一个观点言，本发明提供了一种微机电元件，包含：一基板，该基板上具有至少两个固定电极区，且该基板具有一出平面方向；一质量块，其内部定义一中空结构，该质量块具有至少两个活动电极区，分别与该至少两个固定电极区对应构成至少两个感测电容；至少两个锚点结构，连接于该基板，且从剖面图视之，该锚点结构分别落在该至少两个感测电容的电容区域内；至少一个连杆构架，位于该中空结构中，与该锚点结构直接连接、或是通过与锚点结构对应数目的缓冲弹簧而与该锚点结构间接连接；以及多个扭转弹簧，位于该中空结构中，各扭转弹簧一端连接于该质量块，另一端连接于该连杆构架；其中，该至少两个感测电容分别位于该扭转弹簧的两相对侧，该质量块可依该扭转弹簧为轴而旋转，使该至少两个感测电容构成差分感测电容以进行该出平面方向的运动感测，且其中，在该质量块和该基板的连接关系中，不具有不构成活动电极的质量块。
在其中一种较佳的实施例中，该些锚点结构分别位于与该固定电极区具有预设对应关系的相对位置上，例如但不限于该些锚点结构分别位于各该固定电极区的形心的相对位置、或分别位于其中两个该固定电极区的形心间一相对连线上。
在其中一种较佳的实施例中，该至少一个连杆构架包含至少一外围部分以及连接该外围部分的一中间连接部。
在其中一种较佳的实施例中，当该至少一个连杆构架与该锚点结构直接连接时，该连杆构架包含一缓冲结构，该缓冲结构材料刚性和尺寸刚性与连杆构架的其余部分相同，借助该连杆构架形状上的曲绕，而提供缓冲。
在其中一种较佳的实施例中，当该至少一个连杆构架与该锚点结构通过该缓冲弹簧而间接连接时，该缓冲弹簧为O形弹簧、扭转弹簧、S形弹簧或U形弹簧。
在其中一种较佳的实施例中，该质量块的质心与该扭转弹簧的旋转轴线间具有一距离，使该质量块的该运动状态具有一偏心运动。
在其中一种较佳的实施例中，所述的微机电元件包含至少四个该锚点结构、至少四个该缓冲弹簧、以及至少两个该连杆构架，各连杆构架分别连接至少两个缓冲弹簧、以及一个扭转弹簧。
在其中一种较佳的实施例中，所述的微机电元件包含至少四个感测电容。
在其中一种较佳的实施例中，该连杆构架的刚性，较大于所连接的该些缓冲弹簧的刚性，较小于该基板的刚性。
下面通过具体实施例详加说明，当更容易了解本发明的目的、技术内容、特点及其所达成的功效。
附图说明
图1A、1B显示现有技术的一种微机电元件；
图2显示现有技术的另一种微机电元件；
图3显示根据本发明的一种微机电元件；
图4A、4B为根据图3实施例的剖面图，显示其中当基板产生变形，固定电极区与活动电极区的关系；
图5-9显示根据本发明的多个实施例的微机电元件。
图中符号说明
10、20、30、50、60、70、80、90 微机电元件
11、31 基板
111、311 固定电极区
12、22、32、52、62、72、82、92 质量块
121、321、521、721、821、921 活动电极区
13 锚点
23、33、53、73、83、93 锚点结构
24a、24b 弹簧
25 转接用质量块
323、523、623、723、823、923 中空结构
34、54、64、74 缓冲弹簧
35、55、65、75、85、95 连杆构架
36、56、66、76、86、96 扭转弹簧
654 外围部分
852、952 缓冲区
951 中间连接部
C1、C3、C4 形心
CG 质心
D 距离
Z 出平面方向
具体实施方式
请参阅图3和图4A、4B，显示本发明的第一个实施例的一种微机电元件30，其包含：一基板31、一质量块32、至少两个(本实施例中为两个、但本发明不限于为两个)锚点结构33、与锚点结构对应数目的缓冲弹簧34、一连杆构架(linkage truss)35、以及多个(本实施例中为两个、但本发明不限于为两个)扭转弹簧36。质量块32具有至少两个活动电极区321，且基板31上具有至少两个固定电极区311(参照图4A、4B)，固定电极区311对应于活动电极区321而构成差分感测电容，以感测微机电元件30在基板31出平面方向Z上的运动。锚点结构33连接于基板31，且从剖面图视之，锚点结构33分别落在差分感测电容的电容区域内(但从俯视图视之，锚点结构33可不落在固定电极区311内，参阅图5-7)。各缓冲弹簧34的一端分别与对应的锚点结构33连接，各缓冲弹簧34的另一端分别连接于连杆构架35。质量块32的内部定义一中空结构323，而连杆构架35位于该中空结构323之内。质量块32通过扭转弹簧36而连接于连杆构架35。换言之，质量块32经由扭转弹簧36、连杆构架35、缓冲弹簧34、锚点结构33、而连接于基板31。需注意的是，在质量块32和基板31的连接关系中，并没有使用到图2现有技术中的转接用质量块(不构成活动电极的质量块)。因此，质量块32的有效感测面积可以增加，或是，就相同的质量块22有效感测面积而言，则整体布局面积可以减少。
扭转弹簧36的一端连接于质量块32，另一端连接于连杆构架35；在本实施例中，质量块32可依扭转弹簧36为轴而旋转，使扭转弹簧36两侧的感测电容构成差分感测电容(亦即固定电极区311与活动电极区321分别位于扭转弹簧的两侧至少各构成一个电容)，而能更精确感测微机电元件30在出平面方向Z上的运动。多个锚点结构33与多个缓冲弹簧34分别位于扭转弹簧36的两相对侧。
请参照图4A、4B，其为根据图3实施例的剖面图，显示当基板31承受变形时，质量块32不变形，微机电元件30中活动电极区121与固定电极区111(形成感测电容)的间距，在锚点结构33一侧间距增加，另一侧间距减少，其增加与减少具相互抵消的作用，故基板31变形对本发明的感测电容影响甚小。
缓冲弹簧不限于前述的O形弹簧的设计，例如图5中缓冲弹簧54亦为两个扭转弹簧，其扭转方向以图式所示扭转轴线为轴，又例如图7中缓冲弹簧74为一S形弹簧，又例如图8中缓冲弹簧84为一U形弹簧，其缓冲弹簧的形状与动作设计可依需要而决定。
一种较佳的实施例中，锚点结构分别位于与该固定电极区具有预设对应关系的相对位置上，例如但不限于：锚点结构分别位于各固定电极区的形心的相对位置、或分别位于其中两个固定电极区的形心间一相对连线上。请参照图3，其中锚点结构33的俯视位置对应于活动电极区321的形心。然本发明实施时锚点结构不限于形心的位置，也可位于两个固定电极区的形心间一相对连线上，请参照第5图，其中锚点结构53的俯视位置对应于活动电极区521的形心C3、C4的一相对连线上。
参照图6，显示一实施例中，微机电元件60中质量块62的质心CG，与扭转弹簧66的旋转轴线间具有一距离D，即质量块62位于扭转弹簧66两侧的质量分布不相同，使质量块66的运动状态具有一偏心运动(Eccentric motion)。
图5、6所显示的两实施例的微机电元件50、60，其中连杆构架65较连杆构架55多一中间连接部651以连接连杆构架65的外围部分654，其目的在于增加连杆构架65的刚性。一种较佳的实施例中，连杆构架的刚性，较大于所连接的缓冲弹簧的刚性，以降低基板变形时，连杆构架不因基板影响而变形。参照图9所显示的本发明实施例的微机电元件90，其中连杆构架95间具有一中间连接部951，其目的亦增加连杆构架95的刚性、以及连接两连杆构架95(或是，也可视为图9中具有单一个连杆构架，而此连杆构架包含两个分开的外围部分)。此外，一实施例中，连杆构架的刚性较小于基板的刚性，因连杆构架过大时，例如厚度增加，可能间接导致活动与固定电极区间隙过大，质量块的感测敏感度会降低。
在图3的实施例中，两个锚点结构33分别通过两个缓冲弹簧34而连接至单一连杆构架35，而单一连杆构架35与所有的扭转弹簧36连接；但本发明不限于上述数目安排。举例而言，参阅图7，在另一实施例中，微机电元件70具有四个锚点结构73，分别通过四个缓冲弹簧74以连接两个连杆构架75，在此实施例中，包含两个连杆构架75，各连杆构架75分别连接两个缓冲弹簧74、但只与一个扭转弹簧76连接。(或是，也可视为图7中具有单一个连杆构架，而此连杆构架包含两个分开的外围部分)。此外，在图7的实施例中，基板(未显示)上具有四个固定电极区(未显示)，而质量块72包含四个活动电极区721，构成四个感测电容；此显示感测电容的数目可视需要而定。
总之，本发明的锚点结构、缓冲弹簧、连杆构架、固定电极区、活动电极区、感测电容等未受限于前述实施例的数量，若有需要，例如强度需求或感测需求等，可增加其数量。
参照图3、5、6、7，在这些实施例中，以缓冲弹簧34、54、64、74将连杆构架35、55、65、75连接于锚点结构33、53、63、73。参照图8、9，显示另两实施例中，可以不设置缓冲弹簧。在不设置缓冲弹簧的情况下，较佳而非必须地，可于连杆构架85、95上设计缓冲区852、952。缓冲区852、952为连杆构架85、95的一部分，其材料刚性和尺寸刚性与连杆构架85、95的其余部分相同，但借助形状上的曲绕，而提供缓冲。
以上已针对较佳实施例来说明本发明，只是以上所述，仅为使本领域技术人员易于了解本发明的内容，并非用来限定本发明的权利范围。在本发明的相同精神下，本领域技术人员可以思及各种等效变化。凡此种种，皆可根据本发明的教示类推而得，因此，本发明的范围应涵盖上述及其它所有等效变化。
Claims (12)
1.一种微机电元件，其特征在于，包含：
一基板，该基板上具有至少两个固定电极区，且该基板具有一出平面方向；
一质量块，其内部定义一中空结构，该质量块具有至少两个活动电极区，分别与该至少两个固定电极区对应构成至少两个感测电容；
至少两个锚点结构，连接于该基板；
至少一个连杆构架，位于该中空结构中，与该锚点结构直接连接、或是通过与锚点结构对应数目的缓冲弹簧而与该锚点结构间接连接；以及
多个扭转弹簧，位于该中空结构中，各扭转弹簧一端连接于该质量块，另一端连接于该连杆构架；
其中，该至少两个感测电容分别位于该扭转弹簧的两相对侧，该质量块可依该扭转弹簧为轴而旋转，使该至少两个感测电容构成差分感测电容以进行该出平面方向的运动感测，且其中，在该质量块和该基板的连接关系中，不具有不构成活动电极的质量块。
2.如权利要求1所述的微机电元件，其中，从一剖面图视之，该锚点结构分别落在该至少两个感测电容的电容区域内。
3.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该些锚点结构分别位于与该固定电极区具有预设对应关系的相对位置上。
4.如权利要求3所述的微机电元件，其中，该些锚点结构分别位于各该固定电极区的形心的相对位置、或分别位于其中两个该固定电极区的形心间一相对连线上。
5.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该至少一个连杆构架包含至少一外围部分以及连接该外围部分的一中间连接部。
6.如权利要求1所述的微机电元件，其中，当该至少一个连杆构架与该锚点结构直接连接时，该连杆构架包含一缓冲结构，该缓冲结构借助该连杆构架形状上的曲绕所构成，而提供缓冲。
7.如权利要求1所述的微机电元件，其中，当该至少一个连杆构架与该锚点结构通过该缓冲弹簧而间接连接时，该缓冲弹簧为O形弹簧、S形弹簧或U形弹簧。
8.如权利要求1所述的微机电元件，其中，该质量块的质心与该扭转弹簧的旋转轴线间具有一距离，使该质量块具有一偏心运动。
9.如权利要求1所述的微机电元件，其中，包含至少四个锚点结构、至少四个缓冲弹簧、以及至少两个连杆构架，各连杆构架分别连接至少两个缓冲弹簧、以及一个扭转弹簧。
10.如权利要求1所述的微机电元件，其中，包含至少四个感测电容。
11.如权利要求1所述的微机电元件，其中该连杆构架的刚性，较大于所连接的该些缓冲弹簧的刚性，较小于该基板的刚性。
12.如权利要求1所述的微机电元件，其中，当该至少一个连杆构架与该锚点结构通过该缓冲弹簧而间接连接时，该缓冲弹簧为扭转弹簧。
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|---|---|---|---|---|
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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| C14 | Grant of patent or utility model | ||
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| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
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Granted publication date: 20160914 Termination date: 20210403 |