CN104884991A - 在注油过程期间防止玻璃粒子注入 - Google Patents

Abstract

本发明提供用于防止粒子进入机电系统EMS显示装置的系统、方法和设备。在一方面中，一种设备包含：板；衬底，其支撑至少一EMS装置；密封件，其接合所述板和所述衬底以在其间界定腔和用于接收流体的至少一端口；以及过滤器，其安置于所述端口与所述EMS装置之间。所述过滤器包含形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，从而界定间隙，所述间隙经设定大小以容许所述所接收的流体通过且抑制所述流体中所载送的非流体粒子进入所述EMS装置。

Description

在注油过程期间防止玻璃粒子注入

技术领域

本发明涉及机电系统(EMS)和装置，且更特定来说，本发明涉及防止粒子进入EMS显示装置。

背景技术

机电系统(EMS)包含具有电和机械元件、致动器、感测器、传感器、光学组件(例如镜和光学膜)和电子装置的装置。可依各种尺度(其包含(但不限于)微尺度和纳米尺度)制造EMS装置或元件。例如，微机电系统(MEMS)装置可包含具有在约1微米到数百微米或更大范围内的大小的结构。纳机电系统(NEMS)装置可包含小于1微米的大小(其包含(例如)小于数百纳米的大小)的结构。可使用沉积、蚀刻、光刻和/或其它微机械加工过程(其蚀除衬底和/或经沉积材料层的部分，或添加若干层以形成电装置和机电装置)来产生机电元件。

并入有MEMS光调制器的装置可包含数百、数千或在一些情况中数百万个移动元件。当一装置中的移动元件失效时，所述装置最终无法适当运行。移动元件失效的一个原因是静摩擦。在一些装置中，元件的每一移动给静摩擦提供机会以使元件的一或多者失效。通过使所有部件浸入工作流体(也称为流体)中且将所述流体密封于MEMS单元的流体空间或间隙内而促进此移动且减少静摩擦。所述流体通常为长期具有低摩擦系数、低粘度和最小降级效应的流体。识别数千或数百万个移动元件的各种失效原因且降低失效率可增加装置寿命。

尽管此流体可有助于减少摩擦以增加装置寿命，但所述流体也会产生问题。例如，脏流体可引入沉积于装置的移动部件内的粒子以及其它问题。

因而，仍需要改进可移动EMS装置的寿命的系统和方法。

发明内容

本发明的系统、方法和装置各具有若干创新方面，其中的单一者不单独负责本文中所揭示的所要属性。

本发明中所描述的标的物的一创新方面可实施于一种设备中，所述设备包含：板；衬底，其支撑至少一机电系统(EMS)装置；密封件，其接合所述板和所述衬底以在其间界定腔和用于接收流体的至少一端口；以及过滤器，其安置于所述端口与所述EMS装置之间且具有形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，所述元件界定间隙，所述间隙经设定大小以容许所述所接收的流体通过且抑制所述流体中所载送的非流体粒子进入所述EMS装置。

在一些实施方案中，所述元件可包含形成于衬底上的多个相邻柱，且所述柱经横向隔开以提供所界定的间隙。在一些实施方案中，所述元件可包含一体地形成于衬底的表面和板的表面的至少一者上以形成障壁的一部分的间隔件。所述元件可包含至少两个壁，其经隔开以形成通道以抵着至少一壁而导引所接收流体的流。

在一些实施方案中，所述元件可包含形成于板上的第一壁和形成于衬底上的第二壁。所述第一壁与所述第二壁之间的间隔可界定间隙。在一些实施方案中，所述元件包含形成于板上的第一壁和形成于衬底上的第二壁，且所述第一壁和所述第二壁形成以至少一端口为中心的同心壁。

本发明中所描述的标的物的另一创新方面可实施于一种制造填充流体装置的方法中，所述方法包含：提供板；提供衬底，其中所述衬底具有机电系统(EMS)装置，且其中所述板和所述衬底的至少一者包含过滤器，且通过在所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上提供一体形成的过滤器元件，且将所述过滤器元件定位于所述衬底或所述板的外围边缘附近，且使所述过滤器元件间隔以界定经设定大小以抑制碎屑通过所述过滤器元件的间隙而形成所述过滤器。在一些实施方案中，碎屑可包含任何非流体粒子。

在一些实施方案中，形成过滤器元件可包含：在衬底上形成多个柱。在一些实施方案中，形成过滤器元件可包含：在板的表面上一体地形成间隔件。所述间隔件接触衬底和形成于衬底上的至少一间隔件的至少一者。形成所述间隔件可包含：形成至少两个壁以形成具有转弯以抵着所述两个壁的至少一者而导引流体流的通道。在一些实施方案中，形成过滤器元件可包含：在板上形成第一壁和在衬底上形成第二壁，且当将板与衬底接合时，所述第一壁和所述第二壁经横向相邻地安置以形成障壁。

本发明的标的物的另一创新方面可实施于一种设备中，所述设备包含：板；衬底，其支撑形成于其上的至少一机电系统(EMS)装置；密封件，其接合所述板和所述衬底以在所述板与所述衬底之间界定腔和用于接收到所述腔中的流体的至少一端口；以及用于过滤在所述至少一端口处注入到所述腔中的所述流体的装置。用于过滤的所述装置一体地形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上，且用于过滤的所述装置抑制所述流体中的非流体粒子进入所述至少一EMS装置。

在一些实施方案中，用于过滤的装置可包含形成于衬底上且经横向隔开以界定间隙的多个相邻柱。在一些实施方案中，用于过滤的装置可包含一体地形成于板的表面上以形成障壁的一部分的间隔件。在一些实施方案中，用于过滤的装置可包含至少两个壁，其经隔开以形成抵着至少一过滤壁而导引所接收流体的流的通道。在一些实施方案中，用于过滤的装置可包含形成于板上的第一壁和形成于衬底上的第二壁，且所述第一壁与所述第二壁经横向相邻安置。在一些实施方案中，用于过滤的装置可包含形成于板上的第一壁和形成于衬底上的第二壁，且所述第一壁和所述第二壁可形成以至少一端口为中心的同心环形壁。

附图和下列描述中阐释本发明中所描述的标的物的一或多个实施方案的细节。尽管主要针对基于EMS和MEMS的显示器而描述本发明中所提供的实例，但本文中所提供的概念可应用于其它类型的显示器，例如液晶显示器(LCD)、有机发光二极管(“OLED”)显示器和场发射显示器。将从描述内容、图式和权利要求书明白其它特征、方面和优点。注意，以下图式的相对尺寸未必按比例绘制。

附图说明

图1A是实例性显示设备的等角视图。

图1B是图1A的显示设备的框图。

图2A是适合于并入到图1A的显示设备中的基于遮光器的说明性光调制器的透视图。

图2B是适合于并入到图1A的显示设备中的基于卷帘的光调制器的横截面图。

图2C是适合于并入到图1A的显示设备的替代实施方案中的基于光分接器的光调制器的横截面图。

图2D是适合于并入到图1A的显示设备的替代实施方案中的基于电湿润的光调制器的横截面图。

图3A是适合于控制并入到图1A的显示设备中的光调制器的控制矩阵的示意图。

图3B是连接到图3A的控制矩阵的基于遮光器的光调制器的实例性阵列的透视图。

图4A和图4B分别是处于敞开状态和关闭状态的实例性双致动式遮光器组合件的平面图。

图5是基于遮光器的实例性显示设备的横截面图。

图6描绘包含密封件和流体填充端口的实例性显示器。

图7描绘包含两种类型的过滤器元件的过滤器的实例。

图8A描绘包含两种类型的过滤器元件的过滤器的实例。

图8B是实例性过滤器元件和碎屑粒子的横截面图。

图9A描绘具有弓形过滤器元件的过滤器的实例。

图9B是实例性过滤器元件和碎屑粒子的横截面图。

图10A描绘形成通道的过滤器的实例。

图10B是实例性过滤器元件和碎屑粒子的横截面图。

图11A是包含两种类型的过滤器元件的过滤器的实例。

图11B是实例性过滤器元件的横截面图。

图12是用于制造包含过滤器的装置的实例性方法的流程图。

图13A和图13B是说明包含多个光调制器显示元件的显示装置的实例性系统框图。

各个图式中的相同参考符号和标示指示相同元件。

具体实施方式

下列描述是针对用于描述本发明的创新方面的某些实施方案。然而，所属领域的一般技术人员将了解，可以许多不同方式应用本文的教示。可在可经配置以显示图像(无论运动(例如视频)还是静止(例如静止图像)且无论文本、图形还是图片)的任何装置、设备或系统中实施所描述的实施方案。更特定来说，可预期，所描述的实施方案可包含于例如(但不限于)下列各者的各种电子装置中或与所述电子装置相关联：移动电话、具备多媒体因特网功能的蜂窝式电话、移动电视接收器、无线装置、智能型电话、装置、个人数字助理(PDA)、无线电子邮件接收器、手持式或便携式计算机、迷你笔记型计算机、笔记型计算机、智能笔记型计算机、平板计算机、打印机、复印机、扫描仪、传真装置、全球定位系统(GPS)接收器/导航器、相机、数字媒体播放器(例如MP3播放器)、摄录影机、游戏机、腕表、时钟、计算器、电视监视器、平板显示器、电子阅读装置(例如电子阅读器)、计算机监视器、汽车显示器(其包含里程计和速度计显示器等等)、驾驶舱控制和/或显示器、摄影机视野显示器(例如车辆中的后视摄影机的显示器)、电子照片、电子广告牌或标牌、投影仪、建筑结构、微波、冰箱、立体声系统、卡式记录器或播放器、DVD播放器、CD播放器、VCR、收音机、便携式存储器芯片、洗衣机、干衣机、洗衣机/干衣机、停车计时器、封装(例如位于包含微机电系统(MEMS)应用的机电系统(EMS)应用以及非EMS应用中)、美学结构(例如一件珠宝或衣服上的图像显示器)和各种EMS装置。本文的教示也可用于例如(但不限于)下列各者的非显示器应用中：电子切换装置、射频滤波器、传感器、加速计、陀螺仪、运动感测装置、磁力计、用于消费型电子装置的惯性组件、消费型电子产品的部件、变容二极管、液晶装置、电泳装置、驱动方案、工艺和电子测试设备。因此，所述教示不希望限于仅图中所描绘的实施方案，而是具有所属领域的一般技术人员易于明白的广泛适用性。

本发明包含经提供以一体地形成过滤器以减少进入显示器或其它微流体装置的小型非流体粒子的数目的系统和方法。例如，在一些实施方案中，所述系统和所述方法经提供以过滤具有小到约1微米的宽度或直径的非流体粒子。在一些实施方案中，所述系统提供可包含多个EMS装置的设备。在一些实施方案中，由流体环绕所述EMS装置。为此，所述设备可包含支撑所述EMS装置的衬底，且板可放置于所述衬底上且密封到所述衬底以形成腔。所述板可由密封件接合到所述衬底，且所述密封件可包含用于接收所述流体的端口。所述EMS装置可容纳于所述腔内，且所述密封件可给将环绕所述EMS装置的所述流体提供流体密封腔室。过滤器可安置于所述端口与所述EMS装置之间。所述过滤器具有一体地形成于所述衬底或所述板上的元件。所述元件一起紧密间隔，使得相邻元件之间的间隙足够小以捕集可存在于所述流体中的粒子，且将防止所述粒子由所述流体载送到所述EMS装置。在一些实施方案中，所述元件形成于所述衬底上；在一些实施方案中，所述元件形成于所述板上；且在一些实施方案中，所述元件形成于所述衬底和所述板上。

本发明中所描述的标的物的特定实施方案可经实施以实现下列潜在优点的一或多者。减少显示器中的非流体粒子的数目可降低因存在此等碎屑粒子而失效的移动元件的数目。碎屑可阻碍移动元件(例如所述EMS装置)且损坏所述设备。

另外，可通过减少显示器的有源区域中的无用粒子的数量而提高使用光调制器(例如MEMS遮光器或液晶)的显示器的质量和可靠性。在一实例中，显示器包含衬底和可密封到所述衬底的透明板，且形成所述显示器的观看表面。在填充端口处将流体注入于所述板与所述衬底之间，且在所述衬底和所述透明板的一或两者上的所述填充端口附近形成一或多个过滤器元件。所述过滤器元件抑制或阻止碎屑进入容纳(例如)MEMS组件或液晶的显示器的主区段。通过抑制或阻止碎屑粒子，过滤器防止所述粒子阻碍显示器中的移动元件或防止所述粒子粘着到显示器的观看表面。碎屑包含任何非流体粒子。

此外，可将过滤器元件添加到使用光调制器(例如MEMS遮光器或液晶)的显示器，且无需将任何制造步骤添加到用于建造显示器的过程。在一实例中，在MEMS遮光器的制造期间在衬底上形成过滤器元件。避免额外制造步骤可使制造成本的任何增加最小化且消除制造效率的任何潜在降低。

图1A是实例性显示设备100的等角视图。显示设备100为基于MEMS的显示器且包含配置成行和列的多个光调制器102a到102d(大体上称为“光调制器102”)。在显示设备100中，光调制器102a和102d处于敞开状态以容许光穿过。光调制器102b和102c处于关闭状态以阻止光穿过。通过选择性地设定光调制器102a到102d的状态，显示设备100可在由一或若干灯105照亮时用于形成背光照明显示器的图像104。在另一实施方案中，设备100可通过反射源于所述设备的前面的周围光而形成图像。在另一实施方案中，设备100可通过反射来自定位于显示器前面的一或若干灯的光(即，通过使用前照灯)而形成图像。在所述关闭状态或所述敞开状态的一者中，光调制器102通过(例如(但不限于))阻断、反射、吸收、过滤、偏振、绕射或以其它方式更改光的性质或路径而干涉沿光学路径的所述光。

显示设备100为直观式显示器，这是因为其无需成像光学装置。用户通过直接查看显示设备100而看见图像。在替代实施方案中，将显示设备100并入到投影显示器中。在此等实施方案中，显示器通过将光投影到屏幕或壁上而形成图像。在投影应用中，显示设备100实质上小于投影图像104。

直观式显示器可在透射或反射模式中操作。在透射显示器中，光调制器过滤或选择性地阻断源于定位于显示器后方的一或若干灯的光。将来自所述灯的光视情况注入到光导或“背光”中。通常，将透射直观式显示器实施方案建置到透明或玻璃衬底上以促成夹层组合件配置，在所述夹层组合件配置中，将含有光调制器的衬底直接定位于背光的顶部上。

每一光调制器102可包含遮光器108和孔口109。为照亮图像104中的像素106，遮光器108经定位使得其容许光穿过孔口109而朝向观看者。为使像素106保持未被照亮，遮光器108经定位使得其阻止光穿过孔口109。由经图案化以穿过反射或光吸收材料的开口界定孔口109。

显示设备还包含连接到衬底和光调制器以控制遮光器的移动的控制矩阵。所述控制矩阵包含一系列电互连件(例如互连件110、112和114)，其包含：每行像素的至少一写入启用互连件110(也称为“扫描线互连件”)；一个数据互连件112，其用于每一列像素；以及一个共同互连件114，其将共同电压提供到所有像素或至少提供到来自显示设备110中的多个行和多个列两者的像素。响应于施加适当电压(“写入启用电压(V_we)”)，给定像素行的写入启用互连件110使所述行中的像素准备接受新遮光器移动指令。数据互连件112传达呈数据电压脉冲形式的所述新移动指令。在一些实施方案中，施加到数据互连件112的所述数据电压脉冲直接促成遮光器的静电移动。在其它实施方案中，所述数据电压脉冲控制开关(例如晶体管)或其它非线性电路元件，其控制到光调制器102的单独致动电压(其量值通常高于数据电压的量值)的施加。接着，此等致动电压的施加导致遮光器108的静电驱动移动。

图1B是图1A的显示设备的框图150。参看图1A和图1B，除上文所描述的显示设备100的元件外，如框图150中所描绘，显示设备100还包含多个扫描驱动器152(也称为“写入启用电压源”)和多个数据驱动器154(也称为“数据电压源”)。扫描驱动器152将写入启用电压施加到扫描线互连件110。数据驱动器154将数据电压施加到数据互连件112。

扫描驱动器152和数据驱动器154连接到数字控制器电路156(也称为“控制器156”)。控制器156包含输入处理模块158，其将传入图像信号157处理成适合于显示器100的空间寻址和灰度能力的数字图像格式。再现图像的能力部分地接通光调制器102以能够在控制器156的控制下使光穿过和受阻。将每一图像的像素位置和灰度数据存储于帧缓冲器159中，使得所述数据可视需要被向外馈送到数据驱动器154。数据驱动器将敞开和关闭调制器102以通过空间上调制光(在一些实施方案中，通常经由数千或数百万个光调制器的作用)而产生图像。光调制器102的一或多者的敞开或关闭失效(如由控制器156所指示)将干扰显示器产生图像的能力。

显示设备100视情况包含一组共同驱动器153，也称为共同电压源。在一些实施方案中，共同驱动器153(例如)通过将电压供应到一系列共同互连件114而将DC共同电位提供到光调制器阵列103内的所有光调制器。在一些其它实施方案中，共同驱动器153遵循来自控制器156的命令而将电压脉冲或信号(例如全域致动脉冲，其能够驱动和/或起始阵列103的多个行和多个列中的所有光调制器的同时致动)发出到光调制器阵列103。

由控制器156中的时序控制模块160使用于不同显示功能的所有驱动器(例如扫描驱动器152、数据驱动器154和共同驱动器153)时间同步。来自模块160的时序命令协调红色灯、绿色灯和蓝色灯以及白色灯(分别为162、164、166和167)的照明(经由灯驱动器168)、像素阵列103内的特定行的写入启用和定序、来自数据驱动器154的电压的输出和提供光调制器致动的电压的输出。

控制器156确定定序或寻址方案，阵列103中的遮光器108的每一者可通过所述定序或寻址方案而被复位到适合于新图像104的照明水平。可依周期性时间间隔设定新图像104。例如，对于视频显示器，依10赫兹到300赫兹范围内的频率更新视频的彩色图像104或帧。在一些实施方案中，使图像帧到阵列103的设定与灯162、164和166的照明同步，使得交替图像帧被交替色彩系列(例如红色、绿色和蓝色)照亮。将每一相应色彩的图像帧称为彩色子帧。在此方法(称为场序彩色方法)中，如果依超过20Hz的频率交替彩色子帧，那么人脑将使交替图像帧平均成具有宽泛且连续色彩范围的图像的感知。

显示器100包含多个功能块，其包含时序控制模块160、帧缓冲器159、扫描驱动器152、数据驱动器154以及驱动器153和168。每一块可被理解为表示可区分硬件电路和/或可执行编码的模块。在一些实施方案中，将所述功能块提供为经由电路板和/或电缆而连接在一起的不同芯片或电路。替代地，可将此等电路的许多电路与像素阵列103一起制造于相同玻璃或塑料衬底上。在一些其它实施方案中，可将来自框图150的多个电路、驱动器、处理器和/或控制功能一起集成于单一硅芯片内，接着，将所述单一硅芯片直接结合到保持像素阵列103的透明衬底。

控制器156包含编程链路180，通过编程链路180，可根据特定应用的需要而更改实施于控制器156内的寻址、色彩和/或灰度算法。控制器156还包含提供灯以及光调制器致动所需的电力的电力供应输入182。

图2A是适合于并入到图1A的基于MEMS的显示设备中的基于遮光器的说明性光调制器的透视图。基于遮光器的光调制器200(也称为遮光器组合件200)包含耦合到致动器204的遮光器202。致动器204由两个单独顺应性电极梁致动器205(“致动器205”)形成。遮光器202的一侧耦合到致动器205。在实质上平行于表面203的平面运动中，致动器205使遮光器202在表面203上横向移动。遮光器202的相对侧耦合到提供与由致动器204施加的力相反的恢复力的弹簧207。

每一致动器205包含将遮光器202连接到负载固定器208的顺应性负载梁206。负载固定器208与顺应性负载梁206一起充当机械支撑件以使遮光器202保持悬置于表面203附近。负载固定器208将顺应性负载梁206和遮光器202实体上连接到表面203，且将负载梁206电连接到偏压电压(在一些例项中，连接到接地)。

每一致动器205还包含经定位以相邻于每一负载梁206的顺应性驱动梁216。驱动梁216的一端耦合到在驱动梁216之间共享的驱动梁固定器218。每一驱动梁216的另一端可自由移动。每一驱动梁216经弯曲使得其最靠近于驱动梁216的自由端附近的负载梁206和负载梁206的固定端。

表面203包含用于允许光穿过的一或多个孔口211。如果遮光器组合件200形成于(例如)由硅制成的不透明衬底上，那么表面203为所述衬底的表面，且通过蚀刻一阵列的孔穿过所述衬底而形成孔口211。如果遮光器组合件200形成于(例如)由玻璃或塑料制成的透明衬底上，那么表面203为沉积于所述衬底上的光阻断层的表面，且通过将表面203蚀刻成一阵列的孔211而形成孔口。孔口211可大体上呈圆形、椭圆形、多边形、盘旋形或不规则形状。

在操作中，并入有光调制器200的显示设备经由驱动梁固定器218而将电位施加到驱动梁216。可将第二电位施加到负载梁206。驱动梁216与负载梁206之间的所得电位差将驱动梁216的自由端拉向负载梁206的固定端，且将负载梁206的遮光器端拉向驱动梁216的固定端，借此将遮光器202横向地朝向驱动固定器218驱动。顺应性部件206充当弹簧，使得当移除横跨梁206和216的电压时，负载梁206将遮光器202回推到其初始位置中以释放存储于负载梁206中的应力。

遮光器组合件200(也称为弹性遮光器组合件)并入有被动恢复力(例如弹力)以在已移除电压之后使遮光器返回到其静止或松弛位置。许多弹性恢复机构和各种静电耦合件可被设计成静电致动器或可与静电致动器结合，遮光器组合件200中所说明的顺应性梁仅为一实例。

可称弹性遮光器组合件内的致动器205在关闭或致动位置与松弛位置之间操作。然而，设计者可选择放置孔口211，使得每当致动器205处于其松弛位置时，遮光器组合件200处于“敞开”状态(即，使光穿过)或处于“关闭”状态(即，使光受阻)。出于说明目的，下文中假定：本文所描述的弹性遮光器组合件经设计以在其松弛状态中敞开。

在许多情况中，可将一组双重致动器(“敞开”致动器和“关闭”致动器)提供为遮光器组合件的部分，使得控制电子装置能够将遮光器利用静电驱动到敞开状态和关闭状态的每一者中。

在替代实施方案中，显示设备100包含除基于遮光器的横向光调制器(例如上文所描述的遮光器组合件200)外的光调制器。例如，图2B是适合于并入到图1A的显示设备中的基于卷帘的光调制器的横截面图。基于卷起致动器的光调制器包含可移动电极，其经安置以与固定电极相对且经偏压以沿垂直方向移动以在施加电场之后产生遮光器。在一些实施方案中，光调制器220包含：平面电极226，其安置于衬底228与绝缘层224之间；以及可移动电极222，其具有附接到绝缘层224的固定端230。如果无任何施加电压，那么可移动电极222的可移动端232朝向固定端230自由卷起以产生卷起状态。在电极222与226之间施加电压导致可移动电极222展开且平铺于绝缘层224上，借此其充当阻断光行进穿过衬底228的遮光器。在移除电压之后，可移动电极222经由弹性恢复力而返回到所述卷起状态。可通过将可移动电极222制造为包含各向异性应力状态而实现朝向卷起状态的偏压。

图2C是适合于并入到图1A的显示设备中的基于光分接器的光调制器的横截面图。光分接器根据受阻全内反射的原理而工作。即，将光252引入到光导254中，其中在无干涉的情况下，光252多半无法经由光导254的前表面或后表面而从光导254射出(归因于全内反射)。光分接器250包含分接器元件256，其具有足够高的折射率，使得响应于分接器元件256接触光导254，照射于相邻于分接器元件256的光导254的表面上的光252经由分接器元件256而从光导254朝向观看者射出，借此促成图像的形成。

在一些配置中，分接器元件256形成为柔性透明材料的梁258的部分。电极260涂覆梁258的一侧的部分。相对电极260安置于光导254上。可通过横跨电极260施加电压而控制分接器元件256相对于光导254的位置以从光导254选择性地提取光252。

图2D是适合于并入到图1A的显示设备的替代实施方案中的基于电湿润的光调制器的横截面图。光调制阵列270包含形成于光学腔274上的多个基于电湿润的光调制单元272a到272d(大体上称为“单元272”)。光调制阵列270还包含对应于单元272的一组彩色滤光器276。

每一单元272包含一层水(或其它透明导电或极性流体)278、一层光吸收油280、透明电极282(例如由氧化铟锡制成)和定位于光吸收油层280与透明电极282之间的绝缘层284。

为提高切换速度，电湿润显示器中的两种液体组分278和280的至少一者应具有低粘度，视情况小于70厘泊或甚至小于10厘泊。如果两种液体组分的至少一者包含具有小于4000克/摩尔或更特定来说小于400克/摩尔的分子量的材料，那么可促成更低粘度。适合的低粘度流体包含水、酒精、氟化聚硅氧油、聚二甲基硅氧烷、六甲基二硅氧烷、八甲基三硅氧烷、辛烷和二乙苯。

适合的工作流体包含(但不限于)去离子水、甲醇、乙醇和其它酒精、石蜡、烯烃、醚、聚硅氧油、氟化聚硅氧油或其它天然或合成溶剂或润滑剂。有用的工作流体可为聚二甲基硅氧烷(例如六甲基二硅氧烷和八甲基三硅氧烷)，或烷基甲基硅氧烷(例如己基五甲基二硅氧烷)，或烷烃(例如辛烷或癸烷)，或硝基烷(例如硝基甲烷)，或芳族化合物(例如甲苯或二乙苯)，或酮(例如丁酮或甲基异丁酮)，或氯碳化合物(例如氯苯)，或含氯氟烃(例如二氯氟乙烷或三氟氯乙烯)，或乙酸丁酯或二甲基甲酰胺。可将所述油与染料混合以增加具有特定色彩(例如青色、洋红色和黄色)或在更广光谱内的光吸收以产生黑墨。

对于许多实施方案，并入有上述流体的混合物是有利的。例如，烷烃的混合物或聚二甲基硅氧烷的混合物可为有用的，其中混合物包含具有一分子量范围的分子。还可通过混合来自不同族的流体或具有不同性质的流体而使性质优化。例如，六甲基二硅氧烷的表面湿润性质可与丁酮的低粘度组合以产生改进的流体。

光调制阵列270还包含光导288和将光294注入到光导288中的一或多个光源292。在光导的后表面(接近于前置反射层290)上形成一系列光重导引器291。光重导引器291可为漫反射体或镜反射体。调制阵列270包含被图案化成一系列孔口(一孔口用于单元272的每一者)的孔口层286以容许光线294穿过单元272且朝向观看者。

在一些配置中，孔口层286包含光吸收材料以阻断除穿过图案化孔口之外的光的穿过。在另一实施方案中，孔口层286包含将未穿过表面孔口的光往回朝向光导288的后面的反射材料反射。在返回到光导之后，可由前置反射层290使所述反射光进一步再循环。

在操作中，将电压施加到一单元的电极282导致所述单元中的光吸收油280移动到单元272的一部分中或收集于单元272的一部分中。因此，光吸收油280不再阻止光穿过形成于反射孔口层286中的孔口(例如参阅单元272b和272c)。接着，在孔口处从光导288射出的光能够经由所述单元且经由彩色滤光器组276中的对应彩色(例如红色、绿色或蓝色)滤光器射出以在图像中形成彩色像素。当电极282接地时，光吸收油280返回到其先前位置(如同单元272a)且覆盖反射孔口层286中的孔口以吸收试图穿过反射孔口层286的任何光294。

基于辊的光调制器220、光分接器250和基于电湿润的光调制阵列270并非为适合于包含于本文所描述的各种实施方案中的MEMS光调制器的仅有实例。应了解，可存在其它MEMS光调制器且可将所述MEMS光调制器有效地并入到本文所描述的实施方案中。

图3A是适合于控制并入到图1A的显示设备中的光调制器的控制矩阵的示意图。图3B是连接到图3A的控制矩阵的基于遮光器的光调制器的实例性阵列的透视图。控制矩阵300可寻址一阵列的像素320(“阵列320”)。每一像素301包含受控于致动器303的弹性遮光器组合件302，例如图2A的遮光器组合件200。每一像素还包含孔口层322，其包含孔口324。

控制矩阵300可被制造为其上形成遮光器组合件302的衬底304的表面上的漫射或薄膜沉积电路。控制矩阵300可包含用于控制矩阵300中的每一行像素301的扫描线互连件306和用于控制矩阵300中的每一列像素301的数据互连件308。每一扫描线互连件306将写入启用电压源307电连接到对应像素行301中的像素301。每一数据互连件308将数据电压源(“V_d源”)309电连接到对应像素列301中的像素301。在控制矩阵300中，数据电压V_d提供致动遮光器组合件302所需的能量的大部分。因此，数据电压源309还充当致动电压源。

参考图3A和图3B，对于像素阵列320中的每一像素301或每一遮光器组合件302，控制矩阵300包含晶体管310和电容器312。每一晶体管310的栅极电连接到其中定位像素301的阵列320中的行的扫描线互连件306。每一晶体管310的源极电连接到其对应数据互连件308。每一遮光器组合件302的致动器303包含两个电极。每一晶体管310的漏极并联地电连接到对应电容器312的一个电极和对应致动器303的所述电极的一者。电容器312的另一电极和遮光器组合件302中的致动器303的另一电极连接到共同或接地电位。在替代实施方案中，可用半导体二极管和/或金属-绝缘体-金属夹层式切换元件替换晶体管310。

在操作中，为形成图像，控制矩阵300通过将V_we依序施加到每一扫描线互连件306而允许一序列中的阵列320中的各行被写入。对于写入启用行，将V_we施加到所述行中的像素301的晶体管310的栅极容许电流经由晶体管310而流动通过数据互连件308以将一电位施加到遮光器组合件302的致动器303。当所述行被允许写入时，将数据电压V_d选择性地施加到数据互连件308。在提供模拟灰度的实施方案中，相对于定位于写入启用扫描线互连件306与数据互连件308的交叉点处的像素301的所要亮度而变动施加到每一数据互连件308的数据电压。在提供数字控制方案的实施方案中，数据电压经选择以作为相对较低量值的电压(即，近似接地的电压)或满足或超过V_at(致动阈值电压)。响应于将V_at施加到数据互连件308，对应遮光器组合件302中的致动器303致动以使所述遮光器组合件302中的遮光器敞开。即使在控制矩阵300停止将V_we施加到一行之后，施加到数据互连件308的电压仍存储于像素301的电容器312中。因此，无需等待且无需为了致动遮光器组合件302而使一行上的电压V_we保持足够长时间；此致动可在已从所述行移除写入启用电压之后进行。电容器312还用作阵列320内的存储器元件以存储致动指令长达图像帧的照明所需的周期。

阵列320的像素301和控制矩阵300形成于衬底304上。阵列包含安置于衬底304上的孔口层322，其包含用于阵列320中的相应像素301的一组孔口324。孔口324与每一像素中的遮光器组合件302对准。在一些实施方案中，衬底304由透明材料(例如玻璃或塑料)或使可见光谱内的光穿过的某一其它材料制成。在另一实施方案中，衬底304由不透明材料制成，但在衬底304中蚀刻孔以形成孔口324。

在相同衬底上在与控制矩阵300相同的时间或在随后处理步骤中处理遮光器组合件302的组件。使用与液晶显示器的薄膜晶体管阵列的制造一样的许多薄膜技术来制造控制矩阵300中的电组件。使用类似于微机械加工技术或来自微机械(即，MEMS)装置的制造的技术来制造遮光器组合件。例如，可由非晶硅薄膜(由化学气相沉积工艺沉积)形成遮光器组合件302。

可将遮光器组合件302与致动器303一起制成双稳态。即，遮光器可存在于至少两个平衡位置(例如敞开或关闭)中，且需要很少电力或无需电力来使其保持处于任一位置。更特定来说，遮光器组合件302可为机械双稳态的。一旦将遮光器组合件302的遮光器设定于适当位置中，就无需电能或保持电压来维持所述位置。遮光器组合件302的实体元件上的机械应力可使遮光器保持处于适当位置。

还可将遮光器组合件302与致动器303一起制成电双稳态。在电双稳态遮光器组合件中，存在低于遮光器组合件的致动电压的电压范围，如果将所述电压范围施加到关闭致动器(且遮光器为敞开或关闭)，那么即使对所述遮光器施加相反力，所述电压范围仍使所述致动器保持关闭且使所述遮光器保持处于适当位置。可由弹簧(例如基于遮光器的光调制器200中的弹簧207)施加所述相反力，或可由相对致动器(例如“敞开”或“关闭”致动器)施加所述相反力。

光调制器阵列320被描绘为每像素具有单一MEMS光调制器。其它实施方案是可能的，其中每一像素中提供多个MEMS光调制器，借此在每一素中提供不仅仅为“接通”或“切断”的二元光学状态的可能性。经译码区域划分灰度的某些形式是可能的，其中在像素中提供多个MEMS光调制器，且其中与所述光调制器的每一者相关联的孔口324具有不相等面积。

在一些其它实施方案中，可用基于辊的光调制器、基于光分接器或电湿润的光调制阵列以及基于MEMS的其它光调制器取代光调制器阵列320内的遮光器组合件302。

图4A和图4B分别是处于敞开状态和关闭状态的实例性双致动遮光器组合件的平面图。光调制器400为双致动器遮光器组合件的实例，且在图4A中展示为处于敞开状态。图4B是处于关闭状态的双致动器遮光器组合件400的视图。与遮光器组合件200相比，遮光器组合件400包含遮光器406的任一侧上的致动器402和404。独立地控制每一致动器402和404。第一致动器(遮光器敞开致动器)402用以使遮光器406敞开。第二相对致动器(遮光器关闭致动器404)用以使遮光器406关闭。致动器402和404两者为顺应性梁电极致动器。致动器402和404通过实质上在平行于孔口层407(其上悬置遮光器)的平面中驱动遮光器406而使遮光器406敞开和关闭。由附接到致动器402和404的固定器408使遮光器406悬置于孔口层407上方的短距离处。包含沿遮光器406的移动轴附接到遮光器406的两端的支撑件减少遮光器406的平面外运动且使运动实质上局限于平行于衬底的平面。通过与图3A的控制矩阵300类比，适合于与遮光器组合件400一起使用的控制矩阵可包含用于相对的遮光器敞开致动器402和遮光器关闭致动器404的每一者的一个晶体管和一个电容器。

遮光器406包含可使光穿过的两个遮光器孔口412。孔口层407包含一组三个孔口409。在图4A中，遮光器组合件400处于敞开状态，且因而已致动遮光器敞开致动器402，遮光器关闭致动器404处于其松弛位置，且孔口412与409的中心线重合。在图4B中，已将遮光器组合件400移动到关闭状态，且遮光器敞开致动器402因而处于其松弛位置，已致动遮光器关闭致动器404，且遮光器406的光阻断部分此时处于适当位置以阻断光发射穿过孔口409(展示为虚线)。

每一孔口具有围绕其外围的至少一边缘。例如，矩形孔口409具有四个边缘。在其中在孔口层407中形成圆形、椭圆形、卵形或其它曲形孔口的一些实施方案中，每一孔口可仅具有单一边缘。在一些其它实施方案中，孔口无需分离或不相交(从数学角度看)，而是可改为被连接。即，尽管孔口的部分或塑形区段可维持针对每一遮光器的对应，但此等区段的若干者可经连接使得孔口的单一连续参数由多个遮光器共享。

为容许具有各种出射角的光穿过处于敞开状态的孔口412和409，给遮光器孔口412提供大于孔口层407中的孔口409的对应宽度或大小的宽度或大小是有利的。为在关闭状态中有效地阻断光射出，遮光器406的光阻断部分可经配置以与孔口409重叠。图4B展示遮光器406中的光阻断部分的边缘与形成于孔口层407中的孔口409的一个边缘之间的预定重叠416。

静电致动器402和404经设计使得其电压位移行为将双稳态特性提供到遮光器组合件400。对于遮光器敞开致动器和遮光器关闭致动的每一者，存在低于致动电压的电压范围，如果在致动器处于关闭状态(且遮光器为敞开或关闭)时施加所述电压范围，那么即使在将致动电压施加到相对致动器之后，所述电压范围仍使所述致动器保持关闭且使遮光器处于适当位置。将使遮光器的位置维持抵抗此相反力所需的最小电压称为维持电压V_m。

图5是基于遮光器的实例性显示设备的横截面图。每一遮光器组合件并入有遮光器503和固定器505。图中未展示顺应性梁致动器，其在连接于固定器505与遮光器503之间时有助于使遮光器悬置于表面上方的短距离处。遮光器组合件502安置于透明衬底504上，且可由塑料或玻璃制成。安置于衬底504上的后置反射层(反射膜)506界定位于遮光器组合件502的遮光器503的关闭位置下方的多个表面孔口508。反射膜506将未穿过表面孔口508的光往回朝向显示设备500的后面反射。反射孔口层506可为细粒金属膜，且不具有以薄膜方式通过包含溅镀、蒸镀、离子电镀、激光烧蚀或化学气相沉积的诸多气相沉积技术而形成的包含物。在另一实施方案中，后置反射层506可由镜(例如电介质镜)形成。电介质镜被制造为在高折射率和低折射率的材料之间交替的电介质薄膜的堆叠。使遮光器503与反射膜506分离的垂直间隙(遮光器在其内自由移动)是在约0.5微米到约10微米的范围内。在关闭状态中，所述垂直间隙的量值可小于遮光器503的边缘与孔口508的边缘之间的横向重叠，例如图4B中所展示的重叠416。

显示设备500包含使衬底504与平面光导516分离的可选漫射体512和/或可选亮度增强膜514。光导包含透明(即，玻璃或塑料)材料。由一或多个光源518照亮光导516以形成背光。光源518可为(例如(但不限于))白炽灯、荧光灯、激光或发光二极管(LED)。反射体519有助于将光从灯518导引向光导516。前置反射膜520安置于背光516后方以将光朝向遮光器组合件502反射。将使未穿过遮光器组合件502的一者的光线(例如来自背光的光线521)返回到背光且从膜520再次反射。以此方式，可使无法离开显示器以在第一通道上形成图像的光再循环且用于透射穿过遮光器组合件阵列502中的其它敞开孔口。已展示此光再循环以提高显示器的照明效率。

光导516包含将光从灯518重新导向孔口508且因此导向显示器的前面的一组几何光重导引器或棱镜517。可将光重导引器模制成具有或者可为三角形、梯形或曲形横截面的形状的光导516的塑料主体。棱镜517的密度大体上随距灯518的距离而增大。

在替代实施方案中，孔口层506可由光吸收材料制成，且遮光器503的表面可涂覆有光吸收材料或光反射材料。在一些实施方案中，孔口层506可直接沉积于光导516的表面上。在一些其它实施方案中，孔口层506无需安置于与遮光器503和固定器505相同的衬底上(参阅下文所描述的MEMS下置式(MEMS-down)配置)。

在一些实施方案中，光源518可包含不同色彩(例如红色、绿色和蓝色)的灯。通过依足以使人脑将不同彩色图像平均成单一多色彩图像的速率用不同色彩的灯依序照亮图像而形成彩色图像。使用遮光器组合件502的阵列来形成各种特定色彩的图像。在另一实施方案中，光源518包含具有三种以上不同色彩的灯。例如，光源518可具有红色灯、绿色灯、蓝色灯和白色灯或红色灯、绿色灯、蓝色灯和黄色灯。

盖板522形成显示设备500的前面。盖板522的后侧可覆盖有黑色基质524以增加对比度。在替代实施方案中，盖板包含彩色滤光器，例如对应于遮光器组合件502的不同者的不同红色滤光器、绿色滤光器和蓝色滤光器。盖板522经支撑以与遮光器组合件502相距预定距离以形成腔526。由机械支撑件或间隔件527和/或由将盖板522附接到衬底504的粘着密封件528维持腔526。

工作流体530安置于腔526中，且粘着密封件528密封工作流体530。工作流体530经设计以具有可低于约10厘泊的粘度且具有可高于约2.0的相对电介质常数，且电介质崩溃强度高于约10⁴V/cm。工作流体530还可充当润滑剂。在一些实施方案中，工作流体530为具有高度表面湿润能力的疏水性流体。在一些其它实施方案中，工作流体530具有大于或小于衬底504的折射率的折射率。

当基于MEMS的显示器组合件包含用于工作流体530的液体时，所述液体至少部分地环绕基于MEMS的光调制器的移动部件。为减小致动电压，所述液体具有可低于70厘泊或甚至低于10厘泊的粘度。具有低于70厘泊的粘度的液体可包含具有低分子量的材料：低于4000克/摩尔，或在一些情况中低于400克/摩尔。适合的工作流体530包含(但不限于)去离子水、甲醇、乙醇和其它酒精、石蜡、烯烃、醚、聚硅氧油、氟化聚硅氧油，或其它天然或合成溶剂或润滑剂，或上文所讨论的低粘度流体的任何者。对于许多实施方案，并入有上述流体的混合物是有利的。

在一些实施方案中，金属片或模制塑料组合件支架532使盖板522、衬底504、背光516和其它组件部件围绕边缘保持在一起。用螺钉或齿纹突片紧固组合件支架532以使组合显示设备500的刚性增强。在一些实施方案中，由环氧灌注化合物将光源518模制于适当位置。反射体536有助于使从光导516的边缘射出的光返回到光导。图5中未展示将控制信号和电力提供到遮光器组合件502和灯518的电互连件。

在一些其它实施方案中，可用基于辊的光调制器、基于光分接器或电湿润的光调制阵列以及基于MEMS的其它光调制器取代显示器组合件500内的遮光器组合件502。

显示设备500被称为MEMS上置式(MEMS-up)配置，其中基于MEMS的光调制器形成于衬底504的前表面(即，面向观看者的表面)上。遮光器组合件502直接建置于反射孔口层506的顶部上。在替代实施方案(称为MEMS下置式配置)中，遮光器组合件安置于与其上形成反射孔口层的衬底分离的衬底上。其上形成反射孔口层的衬底(其界定多个孔口)在本文中被称为孔口板。在MEMS下置式配置中，承载基于MEMS的光调制器的衬底代替显示设备500中的盖板522，且经定向使得基于MEMS的光调制器定位于顶部衬底的后表面(即，背向观看者且面向背光516的表面)上。借此，基于MEMS的光调制器直接定位于反射孔口层相对处且从反射孔口层横跨一间隙。可由连接孔口板和衬底(其上形成MEMS调制器)的一系列间隔柱维持所述间隙。在一些实施方案中，所述间隔件安置于阵列的每一像素内或阵列中的每一像素之间。使MEMS光调制器与其对应孔口分离的所述间隙或距离可小于10微米，或可为小于遮光器与孔口之间的重叠(例如重叠416)的距离。

本发明提供系统和方法以通过在流体填充端口附近包含过滤器而在流体填充过程期间减少非流体粒子进入显示器或其它微流体装置。在一实例中，显示器包含接合在一起的衬底和板，且在填充端口处将流体注入到所述衬底与所述板之间的腔中。多个过滤器元件可定位于所述衬底和所述板的一或两者上的填充端口附近。在一些实施方案中，所述过滤器元件可一体地形成于填充端口附近。所述过滤器元件抑制或阻止碎屑以减少进入容纳机电系统(EMS)或液晶的显示器的主要区段的非流体粒子的数目。

图6描绘包含密封件和流体填充端口的实例性显示器。非流体粒子606可存在于显示器600的边缘周围，或仅存在于显示器的密封件外部。非流体粒子606为碎屑，且可包含在切割、研磨或按尺寸切割玻璃显示器时所产生的玻璃粒子碎屑。非流体粒子可包含来自显示器600的部件的一般处置的碎屑或来自周围环境的碎屑。另外，一些非流体粒子可存在于用于填充显示器之前的流体中。图6中所描绘的显示器600的部分具有填充端口604，然而，显示器600可具有一个以上填充端口，且所使用的填充端口的数目、大小和位置将根据显示器600的填充过程和特性而变动。如图6中所展示，当在注油端口604处将流体608引入到显示器中时，还可将一些非流体粒子606引入到显示器中。

在一些实施方案中，显示器600包含衬底和板，例如玻璃或塑料板。所述衬底可包含一或多个EMS组件。所述EMS组件可包含一或多个MEMS组件。在一些实施方案中，EMS组件为MEMS遮光器组合件，例如图3中所描绘的遮光器组合件302。如上文所讨论，显示器600可具有数百或数千个遮光器组合件302或其它EMS组件，且此等EMS组件可在密封和流体填充环境内操作。可(例如)通过机械加工或蚀刻衬底以添加或移除材料而在衬底上一体地形成所述EMS组件，借此形成EMS组件。在另一实施方案中，EMS组件驻留于衬底上。EMS组件的实例包含遮光器、卷起遮光器、光分接器调制器、镜和其它微流体组件。

将衬底和板与密封件602接合在一起，借此在衬底与板之间界定腔。在各种实施方案中，所述密封件可为环氧密封件、环氧树脂或玻璃粉材料。另外，所述密封件可界定一或多个填充端口孔以容许流体注入到所述腔中。所述腔为衬底与板之间的空间，且由所述密封件轮廓化。最初，使所述密封件的小部分敞开以提供流体可透过其而进入所述腔的端口。在所述腔实质上填满流体之后，密封所述端口以防止流体经由所述端口而从所述腔泄漏。用可通过下列的一或多者而固化的密封剂来密封所述填充端口孔：紫外光；以及暴露于小于所述腔中的流体的沸点的温度。在一些实施方案中，流体为油。如图6中所展示，在填充端口孔604处将流体引入到所述腔中。流体可能接触一或多个碎屑粒子606，从而将碎屑粒子载送到显示器600中。碎屑粒子606可阻碍MEMS组件且损坏显示器600。

图7描绘包含两种类型的过滤器元件的过滤器的实例。图7中所展示的显示器700的部分包含密封件702、填充端口704，以及第一过滤器元件710和第二过滤器元件712。在填充端口704处将流体708注入到显示器中。将过滤器定位于显示器内的填充端口704附近以在非流体粒子706进入显示器700时且在非流体粒子706到达显示器700的主体内的EMS组件之前抑制非流体粒子706。在一些实施方案中，过滤器可包含一或多个过滤器元件，例如柱、柱状物、凸块或其它突出部。所述过滤器元件一体地形成于显示器的衬底和板的至少一者上，且可由与衬底或板相同的材料形成。所述过滤器元件可包含孔口板间隔件或凸块和MEMS定位区域。在一实例中，第一过滤器元件710为孔口板间隔件且第二过滤器元件712为定位区域。定位区域可涂覆有梁层，其类似于用于涂覆显示器的作用区域中的定位区域的梁层。可同时建置用于过滤器且位于显示器的作用区域中的定位区域。所述过滤器元件可由具有良好粘着性的材料建构。在各种实施方案中，所述过滤器元件可由玻璃、硅、包含光聚合物、硅、硅酸盐、硅酸盐玻璃或另一类型的玻璃的材料形成。

在一些替代实施方案中，过滤器完全或实质上完全地一体形成于衬底上，且第一过滤器元件和第二过滤器元件由光可界定光聚合物形成。在一些实施方案中，第一过滤器元件710由与第二过滤器元件712相同的材料形成，且在其它实施方案中，第一过滤器元件由与第二过滤器元件不同的材料形成。可以与板上的过滤器元件相同的方式形成衬底上的过滤器元件。在一些实施方案中，第一过滤器元件和第二过滤器元件的一或多者为梁层囊封模制抗蚀剂，且根据一特征，经囊封的过滤器元件不会在释放期间灰除(ashaway)。灰化是用于移除或灰除某些有机材料的等离子体工艺的术语。释放是移除牺牲聚合物层以留下MEMS结构。在一些实施方案中，如果聚合物层完全涂覆有不会灰化的梁层或某一材料，那么其将保持囊封且使结构的机械强度增强。在一些实施方案中，第一过滤器元件和第二过滤器元件以不同方式由材料的组合形成。

在一些实施方案中，当将流体注入到显示器中时，非流体粒子可附着到过滤器元件710和712以减少到达显示器700的主体内的EMS组件的非流体粒子706的数目。在另一实施方案中，过滤器元件形成障壁以使非流体粒子因过大而无法通过过滤器元件710与712之间的间隙，且抑制非流体粒子通过过滤器而到显示器中。

过滤器包含第一过滤器元件710和第二过滤器元件712。第一过滤器元件710和第二过滤器元件712可为间隔件。第一过滤器元件710和第二过滤器元件712安置成环绕显示器中的填充端口704的图案。第一过滤器元件710安置于第二过滤器元件712内，更靠近于填充端口704。在一些实施方案中，第一过滤器元件710形成于显示器700的衬底上，且从衬底延伸到显示器700的板。在一些实施方案中，第一过滤器元件710可一体地形成于衬底上。在其它实施方案中，第一过滤器元件710形成于板上且从板延伸到衬底。在一些实施方案中，第一过滤器元件710可一体地形成于板上。在一些实施方案中，第一过滤器元件710从衬底延伸一距离但不邻接板，或从板延伸一距离但不邻接衬底。第一过滤器元件710之间的第一间隙714容许流体在第一过滤器元件710之间通过。然而，阻止非流体粒子706在第一过滤器元件710之间通过。在一些实施方案中，第一间隙710小于约1微米宽。根据一特征，一旦由第一过滤器元件710或第二过滤器元件712抑制非流体粒子，所述粒子就实质上永久地保持于第一过滤器元件710或第二过滤器元件712处的适当位置。

第二过滤器元件712经展示以安置于第一过滤器元件710相邻处，且对可通过间隙714的非流体粒子提供额外障壁。在一些实施方案中，第二过滤器元件712形成于显示器700的衬底上，且从衬底延伸到显示器700的板。在一些实施方案中，第二过滤器元件712可一体地形成于衬底上。在一些其它实施方案中，第二过滤器元件712形成于板上且从板延伸到衬底。在一些实施方案中，第二过滤器元件712可一体地形成于板上。在一些实施方案中，第二过滤器元件712从衬底延伸一距离但不邻接板，或从板延伸一距离但不邻接衬底。第二过滤器元件712之间的第二间隙716容许流体在第二过滤器元件712之间通过。然而，抑制非流体粒子706在第二过滤器元件712之间通过。在一些实施方案中，第二间隙716小于约5微米、4微米、3微米、2微米或1微米宽。

在一些实施方案中，第一过滤器元件710形成于衬底上，且第二过滤器元件712形成于板上。在一些实施方案中，第一过滤器元件710一体地形成于衬底上，且第二过滤器元件712一体地形成于板上。在一些实施方案中，板为孔口板。第一过滤器元件710和第二过滤器元件712可延伸腔的深度以邻接显示器的相对侧(即，衬底或板)，或其可仅朝向显示器的相对侧延伸距离的部分。可在第一过滤器元件与第二过滤器元件之间存在一空间或间隙。在一些实施方案中，所述间隙至多为约1微米。在另一实施方案中，第一过滤器元件710形成于板上，且第二过滤器元件712形成于衬底上。在一些实施方案中，第一过滤器元件710一体地形成于板上，且第二过滤器元件712一体地形成于衬底上。

如图7中所展示，第一过滤器元件710呈圆柱形且第二过滤器元件712实质上呈矩形。在各种实施方案中，第一过滤器元件710和第二过滤器元件712的一或多者可呈卵形、立方形、三角形、棱锥形、圆柱形、矩形或任何其它形状。在一些实施方案中，第一过滤器元件710和第二过滤器元件712的一或多者可具有多个边以导致具有多边形(例如五边形、六边形、七边形或八边形)形状的俯视图。在一些实施方案中，第一过滤器元件710的一或多者具有不同于其它第一过滤器元件710的形状，且第一过滤器元件710的每一者可具有不同形状。在一些实施方案中，第二过滤器元件712的一或多者具有不同于其它第二过滤器元件712的形状，且第二过滤器元件712的每一者可具有不同形状。

图8A描绘包含两种类型的过滤器元件的过滤器的实例。图8A中所展示的显示器800的部分包含密封件802、填充端口804，以及第一过滤器元件810和第二过滤器元件812。在填充端口804处将流体808注入到显示器中。将过滤器定位于显示器内的填充端口804附近以在非流体粒子806进入显示器800时且在非流体粒子806到达显示器800的主体内的机电组件之前阻止或抑制非流体粒子806。

图8B是实例性过滤器元件和碎屑粒子的横截面图。第二过滤器元件812堆叠于第一过滤器元件810的顶部上。在一些实施方案中，第一过滤器元件810形成于衬底上，且第二过滤器元件812形成于板上。在一些实施方案中，一体地形成第一过滤器元件810和第二过滤器元件812的一或两者。当将衬底与板接合在一起时，第一过滤器元件810与第二过滤器元件812对准以形成过滤器柱。在一些其它实施方案中，第一过滤器元件810形成于板上且第二过滤器元件812形成于板上。在一些实施方案中，第一过滤器元件810和第二过滤器元件812的一或两者一体地形成于板上。在一些实施方案中，在衬底上光界定过滤器的能力限于可用光刻方法实现的最小线宽度。例如，过滤器元件为约3微米宽，然而，如所属领域的一般技术人员将轻易理解，过滤器元件的宽度可基于设计参数而变动。

第一过滤器元件810之间的第一间隙814容许流体在第一过滤器元件810之间通过。然而，抑制非流体粒子806在第一过滤器元件810之间通过。在各种实施方案中，第一间隙810可为约1微米宽，且第一间隙810可小于约1微米宽。第二过滤器元件812之间的第二间隙816容许流体在第二过滤器元件812之间通过。第二间隙816可经间隔以抑制非流体粒子816在第二过滤器元件812之间通过。例如，第二间隙816可为约1微米宽，或第二间隙816可小于约1微米宽。根据一特征，一旦由第一过滤器元件810或第二过滤器元件812抑制非流体粒子，所述粒子就实质上永久地保持于第一过滤器元件810或第二过滤器元件812处的适当位置。

如图8A和图8B中所展示，第一过滤器元件810呈圆柱形且具有大于第二过滤器元件812的直径或宽度。第二过滤器元件812实质上呈矩形且具有小于第一过滤器元件810的宽度。在一些实施方案中，如图8B中所展示，通过将更小第二过滤器元件812定位于更大第一过滤器元件810上而产生隅角818和搁架820。隅角818和搁架820为可在抑制非流体粒子进入显示器的主体时使所述粒子保持于其中的适当位置的空间。根据其它实施方案，第一过滤器元件810和第二过滤器元件812可具有任何其它形状，如上文相对于图7的第一过滤器元件710和第二过滤器元件712所描述。在一些实施方案中，第一过滤器元件810可小于第二过滤器元件812。

图9A描绘具有弓形过滤器元件的过滤器的实例。图9A中所展示的显示器900的部分具有包含第一过滤器元件910a、第二过滤器元件912a、第三过滤器元件910b和第四过滤器元件912b的过滤器。显示器900包含密封件902和填充端口904。在填充端口904处将流体908注入到显示器中。将过滤器定位于显示器内的填充端口904附近以在非流体粒子进入显示器900时，在所述非流体粒子到达显示器900的主体内的机电组件之前抑制所述非流体粒子。如图9A中所展示，第一过滤器元件910a、第二过滤器元件912a、第三过滤器元件910b和第四过滤器元件912b呈弓形，且形成以填充端口904为中心的同心半圆。弓形半圆形过滤器元件910a、912a、910b和912b的每一者形成板和衬底的一者上的壁。同心半圆形过滤器元件910a、912a、910b和912b横向相邻。第一过滤器元件910a、第二过滤器元件912a、第三过滤器元件910b和第四过滤器元件912b朝向相对显示器表面(即，衬底或板)延伸但不邻接相对表面以留下使流体通过过滤器的空间。在一些实施方案中，第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b形成于衬底上，且第二过滤器元件912a和第四过滤器元件912b形成于板上。在一些实施方案中，第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b一体地形成于衬底上，且第二过滤器元件912a和第四过滤器元件912b一体地形成于板上。根据另一实施方案，第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b一体地形成于板上，且第二过滤器元件912a和第四过滤器元件912b一体地形成于衬底上。当将衬底与板接合在一起时，第一过滤器元件910a、第二过滤器元件912a、第三过滤器元件910b和第四过滤器元件912b的每一者彼此隔开呈同心半圆。

图9B是实例性过滤器元件和碎屑粒子的横截面图。如图9B中所展示，第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b形成于衬底上，且第二过滤器元件912a和第四过滤器元件912b形成于板上。如图9B中所展示，过滤器元件910a、912a、910b和912b配置成交替图案。特定来说，形成于衬底上的第一过滤器元件910a最靠近于填充端口904；接着插入第一间隙914a且接着第二过滤器元件912a形成于板上；接着插入第二间隙914b且接着第三过滤器元件910b形成于衬底上；以及接着插入第三间隙914c且第四过滤器元件912b形成于板上。根据一些实施方案，第一间隙914a、第二间隙914b和第三间隙914c的至少一者为至多约1微米宽。在各种实施方案中，过滤器元件910a、910b、912a和912b具有各种高度。例如，第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b可高于图9B中所展示的第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b，使得如果第一过滤器元件910a、第二过滤器元件912a、第三过滤器元件910b和第四过滤器元件912b未由第一间隙914a、第二间隙914b和第三间隙914c隔开，那么第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b将与第二过滤器元件912a和第四过滤器元件912b重叠。在另一实施方案中，第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b可矮于图9B中所展示的第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b。在一些实施方案中，第一过滤器元件910a和第三过滤器元件910b具有不同高度。类似地，第二过滤器元件912a和第四过滤器元件912b可高于或矮于图9B中所展示的第二过滤器元件912a和第四过滤器元件912b，且第二过滤器元件912a可具有不同于第四过滤器元件912b的高度。

在一些实施方案中，图9A和图9B中所展示的过滤器元件的设计可捕集具有约1微米的尺寸的粒子，这是因为第一间隙914a、第二间隙914b和第三间隙914c可为约1微米或小于约1微米。在各种实施方案中，第一间隙914a、第二间隙914b和第三间隙914c可每一者具有不同宽度，且在一实例中，第一间隙914a、第二间隙914b和第三间隙914c的至少一者具有约1微米或小于约1微米的宽度。间隙914a、914b和914c的宽度可取决于显示器的组装精度。

图9A和图9B中所展示的过滤器元件910a、910b、912a和912b呈半圆形。然而，在其它实施方案中，过滤器元件910a、910b、912a和912b的一或多者可具有任何其它形状，例如任何弯曲弓形、包含一或多个直边的多边形状，以及包含一或多个曲边的多边形状。在一些实施方案中，过滤器元件910a、910b、912a和912b的一或多者可不接触密封件902，且可在所述密封件与过滤器元件910a、910b、912a或912b之间存在小空间。

图10A描绘形成通道的过滤器的实例。图10A中所展示的显示器500的部分具有呈通道1014的形式的过滤器，其包含第一过滤器元件1010a、第二过滤器元件1010b、第三过滤器元件1012a和第四过滤器元件1012b。显示器1000包含密封件1002和填充端口1004。在填充端口1004处将流体1008注入到显示器中，且流体1008遵循通道1014的路径进入显示器1000的主体。过滤器元件1010a、1010b、1012a和1012b为长形元件或壁。第一过滤器元件1010a横向相邻于第二过滤器元件1010b，且第三过滤器元件1012a横向相邻于第四过滤器元件1012b，且过滤器元件1010a与1010b和1012a与1012b经隔开以形成通道1014。当非流体粒子1006在填充端口1004处进入显示器1000时且在非流体粒子1006到达显示器1000的主体内的机电组件之前，过滤器元件1010a、1010b、1012a和1012b抑制非流体粒子1006。在一些实施方案中，第一过滤器元件1010a和第二过滤器元件1010b一体地形成于衬底上，且第三过滤器元件1012a和第四过滤器元件1012b一体地形成于板上。

如图所展示，通道1014包含5个L形转弯以导致若干个隅角。根据一特征，当流体1008移动通过通道1014时，流体中的非流体粒子1006触碰通道的侧和隅角且附着到过滤器元件1010a、1010b、1012a和1012b。如图10A中所展示，通道1014中的五个隅角的三者含有非流体粒子1006。根据一特征，一旦非流体粒子1006停留于过滤器元件1010a、1010b、1012a、1012b处时，非流体粒子1006就保持于过滤器元件1010a、1010b、1012a、1012b处的适当位置。尽管通道1014展示五个转弯，但在其它实施方案中，通道1014可包含任何数目个转弯。另外，尽管通道1014上的转弯呈L形(依约90度角转弯)，但在其它实施方案中，转弯可形成任何其它角度。例如，转弯可形成约45度角，或转弯可形成约120度角。在其它实施方案中，转弯可经修圆，且转弯可呈弓形。

通道1014具有宽度1016。宽度1016可小于约3微米、约3微米、约5微米、约10微米或大于约10微米。宽度1016可沿通道的长度变动。

图10B是实例性过滤器元件和碎屑粒子的横截面图。如图10A和图10B中所展示，第一过滤器元件1010a具有大于第三过滤器元件1012a的宽度。在一些实施方案中，通过将更小第三过滤器元件1012a定位于更大第一过滤器元件1010a上而产生隅角1018和搁架1020。隅角1018和搁架1020为其中可停留非流体粒子且使非流体粒子保持于其中的适当位置以防止所述非流体粒子进入显示器的主体的空间。在一些其它实施方案中，第一过滤器元件1010a和第三过滤器元件1012a可具有其它形状和大小，且第一过滤器元件1010a和第三过滤器元件1012a可具有彼此不同的大小。例如，第一过滤器元件1010a可小于第三过滤器元件1014a。

在一些实施方案中，通过调整过滤器元件的高度而进行的位于衬底与板之间的过滤器间隙的大小控制可比通过调整过滤器元件之间的距离而进行的位于衬底与板之间的过滤器间隙的大小控制更准确。在一实例中，通过在环氧树脂中使用间隔件而控制主密封高度。

图11A描绘包含两种类型的过滤器元件的过滤器的实例。所述过滤器元件包含第一过滤器元件1112和第二过滤器元件1114。第一过滤器元件1112和第二过滤器元件1114一体地形成于显示器的衬底和板的至少一者上，且可由相同于衬底或板的材料形成。如图11A的实例中所展示，第一过滤器元件1112形成连续过滤器元件。过滤器元件1112和1114定位于密封件1102中的空间周围，密封件1102保持敞开以作为用于将流体注入到显示器中的流体填充端口。在一实例中，第一过滤器元件1112形成于显示器的板上，且第二过滤器元件1114形成于显示器的衬底上。

图11B是实例性过滤器元件的横截面图。图11B展示图11A的第一过滤器元件1112和第二过滤器元件1114，且还展示密封件1102，密封件1102为围绕整个显示器的密封件。如所述横截面图中所展示，密封件1102具有第一高度“a”1104。第一过滤器元件1112具有第二高度“b1”1106且第二过滤器元件1114具有第三高度“b2”1108。第一过滤器元件1112与第二过滤器元件1114之间的空间1110为第一高度“a”1104减去第二高度“b1”1106且减去第三高度“b2”1108。在一些实施方案中，第一过滤器元件1112与第二过滤器元件1114之间的空间1110为约1微米，或小于约1微米。根据一应用，密封件1102为环氧密封件。根据一特征，可将空间1110的高度控制到1微米的十分之几。

图12是用于制造包含过滤器的装置的实例性方法的流程图。在框1202处，提供板。在一些实施方案中，所述板为显示器的玻璃板。在框1204处，提供衬底。在一些实施方案中，所述衬底可为显示器的衬底。在框1206处，在所述板和所述衬底的至少一者上形成过滤器。通过在所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上提供过滤器元件而形成所述过滤器。可与所述板或所述衬底的形成同时地形成所述过滤器元件。例如，可与在所述衬底上形成EMS装置相同的时间在所述衬底上形成过滤器元件。在另一实例中，可与在所述板上形成其它结构相同的时间在所述板上形成过滤器元件。所述过滤器元件可一体地形成于所述衬底和所述板的一或两者上。所述过滤器元件经间隔以界定经设定大小以抑制碎屑通过所述过滤器元件的间隙。在一些实施方案中，所述间隙抑制具有约1微米或更大的宽度或直径的碎屑。在一些其它实施方案中，所述间隙抑制具有小于约1微米的宽度或尺寸的碎屑。

为形成流体填充装置，在框1208处，方法1200将板和衬底与密封件接合在一起以形成使板与衬底之间的腔敞开的装置。使接近于过滤器的流体填充端口保持为敞开。在已在框1210处用流体填充所述装置的所述腔之后，在框1212处密封所述流体填充端口。

根据一些实施方案，形成过滤器元件可包含：在衬底或板上一体地形成多个柱，其可导致类似于图7或图8A到8B中所展示的过滤器的过滤器。在一些实施方案中，形成过滤器元件包含：在板的表面上一体地形成凸块，其也可导致类似于图7或图8A到8B中所展示的过滤器的过滤器。所述凸块可接触衬底，且所述凸块可接触形成于衬底上的一或多个柱。在一些实施方案中，形成所述凸块包含：形成至少两个壁以形成具有转弯以抵着所述两个壁的至少一者而导引流体流的通道，其可导致类似于图10A到10B中所展示的过滤器的过滤器。

在一些实施方案中，形成过滤器元件包含：在板上形成第一壁和在衬底上形成第二壁，使得当将板与衬底接合时，所述第一壁和所述第二壁经横向相邻安置以形成过滤器，例如图9A到9B中所展示的过滤器。

根据一些实施方案，图9A、9B和10展示其中粒子捕集与光刻限制无关的实施方案。在一些应用中，典型显示过程中的光刻限制为约3微米。图9A、9B、10A、10B、11A和11B中的实施方案可经设计以过滤小于约3微米的粒子。根据一应用，图7、8A和8B中所展示的实施方案可用于过滤大于约3微米的粒子。衬底与板的对准可用于界定约3微米宽的间隙。在一些实施方案中，可使用组合图7、8A、8B、9A、9B、10A、10B、11A和11B所展示的实施方案的两者或两者以上的过滤器，且所述过滤器可经设计以(例如)通过过滤具有约1微米或大于约1微米的尺寸的粒子而过滤小于约3微米的粒子。在一些实施方案中，具有变化节距的一系列过滤器元件可用于产生约1微米或小于约1微米的间隙。在一些实施方案中，间隔件的高度可经调整以产生如图11B中所展示的间隙，且可将所述间隙的大小控制到1微米的十分之几。图11B中所展示的所述间隙的大小可小于1微米。在一些实施方案中，聚合物间隔件可经图案化以容许具有约1微米、约1.5微米或大于约1.5微米的宽度的间隙。在其它实施方案中，衬底与板的对准可用于界定小于1微米宽的间隙。

上文所描述的显示器可用于计算机系统、蜂窝式电话、无线装置、电子阅读器、迷你笔记型计算机、笔记型计算机、平板计算机或包含视觉显示器的任何其它装置中。图13A和13B是适合于与本文所描述的显示器一起使用的类型的显示装置和控制器的实例。特定来说，图13A和13B是说明可包含如本文所描述的显示器的此类显示装置1340的系统框图。显示装置1340可(例如)为智能型电话、蜂窝式电话或移动电话。然而，显示装置1340的相同组件或其略微变动还说明各种类型的显示装置，例如电视机、计算机、平板计算机、电子阅读器、手持式装置和便携式媒体装置。

显示装置1340包含外壳1341、显示器1330、天线1343、扬声器1345、输入装置1348和麦克风1346。可由各种工艺的任何者(其包含射出模制和真空成形)形成外壳1341。另外，可由各种材料的任何者(其包含(但不限于)塑料、金属、玻璃、橡胶和陶瓷或其组合)制成外壳1341。外壳1341可包含可与具有不同色彩或含有不同标志、图片或符号的其它可移除部分互换的可移除部分(图中未展示)。

如本文所描述，显示器1330可为各种显示器的任何者，其包含双稳态或模拟显示器。显示器1330还可经配置以包含平板显示器(例如等离子体、EL、OLED、STN LCD或TFT LCD)或非平板显示器(例如CRT或其它管装置)。另外，显示器1330可包含基于光调制器的显示器，如本文所描述。

图13A中示意性说明显示装置1340的组件。显示装置1340包含外壳1341且可包含至少部分围封于外壳1341内的额外组件。例如，显示装置1340包含网络接口1327，其包含可耦合到收发器1347的天线1343。网络接口1327可为可显示于显示装置1340上的图像数据的来源。据此，网络接口1327为图像源模块的实例，但处理器1321和输入装置1348也可充当图像源模块。收发器1347连接到处理器1321，处理器1321连接到调节硬件1352。调节硬件1352可经配置以调节信号(例如过滤或以其它方式操纵信号)。调节硬件1352可连接到扬声器1345和麦克风1346。处理器1321还可连接到输入装置1348和驱动器控制器1329。驱动器控制器1329可耦合到帧缓冲器1328和阵列驱动器1322，阵列驱动器1322继而可耦合到显示阵列1330。显示装置1340中的一或多个元件(其包含图13A中未特别描绘的元件)可经配置以用作存储器装置且经配置以与处理器1321通信。在一些实施方案中，电力供应器1350可将电力提供到特定显示装置1340的设计中的大体上所有组件。

网络接口1327包含天线1343和收发器1347，使得显示装置1340可经由网络而与一或多个装置通信。网络接口1327还可具有一些处理能力以减轻(例如)处理器1321的数据处理需求。天线1343可发射和接收信号。在一些实施方案中，天线1343根据IEEE16.11标准(其包含IEEE 16.11(a)、(b)或(g))或IEEE 802.11标准(其包含IEEE 802.11a、b、g或n)及其进一步实施方案而发射和接收RF信号。在一些其它实施方案中，天线1343根据标准而发射和接收RF信号。就蜂窝式电话而言，天线1343可经设计以接收码分多址(CDMA)、频分多址(FDMA)、时分多址(TDMA)、全球移动通信系统(GSM)、GSM/通用包无线电服务(GPRS)、增强型数据GSM环境(EDGE)、地面中继无线电(TETRA)、宽带CDMA(W-CDMA)、演进数据优化(EV-DO)、1xEV-DO、EV-DO ReV A、EV-DO ReV B、高速包接入(HSPA)、高速下行链路包接入(HSDPA)、高速上行链路包接入(HSUPA)、演进型高速包接入(HSPA+)、长期演进(LTE)、AMPS或用于在无线网络(例如利用3G、4G或5G技术的系统)内通信的其它已知信号。收发器1347可预处理从天线1343接收的信号，使得所述信号可由处理器1321接收且由处理器1321进一步操纵。收发器1347还可处理从处理器1321接收的信号，使得所述信号可经由天线1343而从显示装置1340发射。

在一些实施方案中，可由接收器替换收发器1347。另外，在一些实施方案中，可由可存储或产生待发送到处理器1321的图像数据的图像源替换网络接口1327。处理器1321可控制显示装置1340的总体操作。处理器1321接收数据(例如来自网络接口1327或图像源的压缩图像数据)，且将所述数据处理成原始图像数据或处理成可易于处理成原始图像数据的格式。处理器1321可将经处理数据发送到驱动器控制器1329或发送到用于存储的帧缓冲器1328。原始数据通常是指识别图像内每一位置处的图像特性的信息。例如，此等图像特性可包含色彩、饱和度和灰度水平。

处理器1321可包含微控制器、CPU或逻辑单元以控制显示装置1340的操作。调节硬件1352可包含用于将信号发射到扬声器1345且用于从麦克风1346接收信号的放大器和滤波器。调节硬件1352可为显示装置1340内的离散组件，或可并入于处理器1321或其它组件内。

驱动器控制器1329可直接从处理器1321或从帧缓冲器1328获取由处理器1321产生的原始图像数据，且可重新格式化适合于高速发射到阵列驱动器1322的原始图像数据。在一些实施方案中，驱动器控制器1329可将原始图像数据重新格式化成具有类光栅格式的数据流，使得其具有适合于横跨显示阵列30的扫描的时间次序。接着，驱动器控制器1329将经格式化的信息发送到阵列驱动器1322。尽管驱动器控制器1329(例如LCD控制器)通常作为独立集成电路(IC)与系统处理器1321相关联，但可以许多方式实施此等控制器。例如，控制器可嵌入处理器1321中作为硬件，嵌入处理器1321中作为软件，或与阵列驱动器1322完全集成于硬件中。

阵列驱动器1322可从驱动器控制器1329接收经格式化的信息且可将视频数据重新格式化成每秒多次地施加到来自显示器的x-y矩阵的显示元件的数百和有时数千(或更多)个引线的一组平行波形。

在一些实施方案中，驱动器控制器1329、阵列驱动器1322和显示阵列1330适合于本文所描述的任何类型显示器。例如，驱动器控制器1329可为常规显示器控制器或双稳态显示器控制器(例如光调制器显示元件控制器)。另外，阵列驱动器1322可为常规驱动器或双稳态显示器驱动器(例如光调制器显示元件驱动器)。再者，显示阵列1330可为常规显示阵列或双稳态显示阵列(例如包含一阵列的光调制器显示元件的显示器)。在一些实施方案中，驱动器控制器1329可与阵列驱动器1322集成。此一实施方案可用于高度集成系统(例如移动电话、便携式电子装置、手表或小面积显示器)中。

在一些实施方案中，输入装置1348可经配置以容许(例如)用户控制显示装置1340的操作。输入装置1348可包含小键盘(例如QWERTY键盘或电话小键盘)、按钮、开关、摇杆、触敏屏幕、与显示阵列1330集成的触敏屏幕或压敏或热敏隔膜。麦克风1346可配置为显示装置1340的输入装置。在一些实施方案中，经由麦克风1346的声音命令可用于控制显示装置1340的操作。

电力供应器1350可包含各种能量存储装置。例如，电力供应器1350可为可再充电电池，例如镍镉电池或锂离子电池。在使用可再充电电池的实施方案中，可使用来自(例如)墙壁插座或光伏装置或阵列的电力来给所述可再充电电池充电。替代地，可给所述可再充电电池无线充电。电力供应器1350也可为再生能源、电容器或太阳能电池(其包含塑料太阳能电池或太阳能电池涂料)。电力供应器1350还可经配置以从壁式插座接收电力。

在一些实施方案中，控制可编程性可驻留于可位于电子显示系统的若干位置中的驱动器控制器1329中。在一些其它实施方案中，控制可编程性驻留于阵列驱动器1322中。可在任何数目个硬件和/或软件组件和各种配置中实施上文所描述的优化。

如本文所使用，涉及项目列表的“至少一者”的短语指代所述项目的任何组合，其包含单一成员。作为一实例，“a、b或c的至少一者”希望涵盖a、b、c；a-b；a-c；b-c；以及a-b-c。

结合本文所揭示的实施方案所描述的各种说明性逻辑、逻辑块、模块、电路和算法步骤可实施为电子硬件、计算机软件或两者的组合。已在功能性方面大体上描述硬件与软件的可互换性，且已在上文所描述的各种说明性组件、块、模块、电路和步骤中说明硬件与软件的可互换性。是否在硬件或软件中实施此功能性取决于特定应用和强加于整个系统的设计约束。

可用经设计以执行本文所描述的功能的通用单芯片或多芯片处理器、数字信号处理器(DSP)、专用集成电压(ASIC)、现场可编程门阵列(FPGA)或其它可编程逻辑装置、离散门或晶体管逻辑、离散硬件组件或其任何组合来实施或执行用于实施结合本文所揭示的方面而描述的各种说明性逻辑、逻辑块、模块和电路的硬件和数据处理设备。通用处理器可为微处理器或任何常规处理器、控制器、微控制器或状态机。处理器也可实施为计算装置的组合(例如DSP与微处理器的组合)、多个微处理器、与DSP核心结合的一或多个微处理器，或任何其它此类配置。在一些实施方案中，可由特定针对给定功能的电路执行特定步骤和方法。

在一或多个方面中，可在硬件、数字电子电路、计算机软件、固件(其包含本说明书中所揭示的结构及其结构等效物)或其任何组合中实施所描述的功能。本说明书中所描述的标的物的实施方案还可实施为编码于计算机存储媒体上以由数据处理设备执行或控制数据处理设备的操作的一或多个计算机程序，即，计算机程序指令的一或多个模块。

所属领域的技术人员易于明白本发明中所描述的实施方案的各种修改，且可在不背离本发明的精神或范围的情况下将本文所界定的一般原理应用于其它实施方案。因此，权利要求书不希望限于本文所展示的实施方案，而是应被赋予与本文所揭示的揭示内容、原理和新颖特征一致的最广范围。另外，所属领域的一般技术人员将易于了解，术语“上”和“下”有时用于使图式描述简易，且指示对应于适当定向页上的图式的定向的相对位置，且无法反映例如所实施的IMOD显示元件的适当定向。

也可在单一实施方案中组合地实施本说明书的单独实施方案的内文中所描述的某些特征。相反，也可在多项实施方案中单独地或以任何适合的子组合方式实施单一实施方案的内文中所描述的各种特征。再者，尽管特征可在上文中被描述为作用于某些组合且甚至本身最初被主张，但来自所主张组合的一或多个特征可在一些情况中脱离所述组合，且所述所主张组合可针对子组合或子组合的变动。

类似地，尽管图式中依特定次序描绘操作，但所属领域的一般技术人员将易于认知，无需依所展示的特定次序或依相继次序执行此等操作，或执行所有所说明操作以实现所要结果。此外，图式可示意性描绘呈流程图形式的一或多个实例性过程。然而，可将未描绘的其它操作并入于示意性说明的所述实例性过程中。例如，可在所述所说明的操作的任何者之前、在所述所说明的操作的任何者之后、与所述所说明的操作的任何者同时地或在所述所说明的操作的任何者之间执行一或多个额外操作。在某些状况中，多重任务处理和并行处理可为有利的。再者，上文所描述的实施方案中的各种系统组件的分离不应被理解为在所有实施方案中需要此分离，且应了解，所描述的程序组件和系统可大体上一起集成于单一软件产品中或封装到多个软件产品中。另外，其它实施方案落于所附权利要求书的范围内。在一些情况中，权利要求书中所列举的动作可依不同次序执行且仍实现所要结果。

Claims (24)

1.一种设备，其包括：

板；

衬底，其支撑至少一机电系统EMS装置；

密封件，其接合所述板和所述衬底以在其间界定腔和用于接收流体的至少一端口；以及

过滤器，其安置于所述端口与所述EMS装置之间，且具有形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上的元件，从而界定间隙，所述间隙经设定大小以容许所述所接收的流体通过且抑制所述流体中所载送的非流体粒子进入所述EMS装置。

2.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含形成于所述衬底上且经横向隔开以提供所述所界定的间隙的多个相邻柱。

3.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含一体地形成于所述衬底的所述表面和所述板的所述表面的至少一者上以形成障壁的一部分的间隔件。

4.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含至少两个壁，所述至少两个壁经隔开以形成抵着至少一壁而导引所述所接收流体的流的通道。

5.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含形成于所述板上的第一壁和形成于所述衬底上的第二壁。

6.根据权利要求1所述的设备，其中所述元件包含形成于所述板上的第一壁和形成于所述衬底上的第二壁，且所述第一壁和所述第二壁形成以所述至少一端口为中心的同心壁。

7.根据权利要求1所述的设备，其中所述至少一EMS装置包含液晶和微机电系统MEMS组件的至少一者。

8.根据权利要求7所述的设备，其中所述MEMS组件选自遮光器、镜和微流体组件的群组。

9.根据权利要求1所述的设备，其中所述所界定的间隙具有约至少1微米的宽度。

10.根据权利要求1所述的设备，其中所述板和所述衬底形成显示器，且所述设备进一步包括：

处理器，其经配置以与所述显示器通信，所述处理器经配置以处理图像数据；以及

存储器装置，其经配置以与所述处理器通信。

11.根据权利要求10所述的设备，其进一步包括：

驱动器电路，其经配置以将至少一信号发送到所述显示器；以及

控制器，其经配置以将所述图像数据的至少一部分发送到所述驱动器电路。

12.根据权利要求10所述的设备，其进一步包括：

图像源模块，其经配置以将所述图像数据发送到所述处理器，其中所述图像源模块包括接收器、收发器和发射器的至少一者。

13.根据权利要求10所述的设备，其进一步包括：

输入装置，其经配置以接收输入数据且将所述输入数据传达到所述处理器。

14.一种制造流体填充装置的方法，其包括：

提供板；

提供衬底，其中所述衬底具有机电系统EMS装置；

其中所述板和所述衬底的至少一者包含过滤器，且通过下列操作而形成所述过滤器：在所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上提供经一体形成的过滤器元件；以及将所述过滤器元件定位于所述衬底或所述板的外围边缘附近；以及使所述过滤器元件间隔以界定间隙，所述间隙经设定大小以抑制碎屑通过所述过滤器元件。

15.根据权利要求14所述的方法，其中形成所述过滤器元件包含：在所述衬底上形成多个柱。

16.根据权利要求14所述的方法，其中形成所述过滤器元件包含：在所述板的所述表面上一体地形成间隔件，其中所述间隔件接触所述衬底和形成于所述衬底上的至少一间隔件的至少一者。

17.根据权利要求14所述的方法，其中形成所述间隔件包含：形成至少两个壁以形成具有转弯以抵着所述两个壁的至少一者而导引流体流的通道。

18.根据权利要求14所述的方法，其中形成所述过滤器元件包含：在所述板上形成第一壁和在所述衬底上形成第二壁，其中当将所述板与所述衬底接合时，所述第一壁和所述第二壁经横向相邻安置以形成障壁。

19.一种设备，其包括：

板；

衬底，其支撑形成于其上的至少一机电系统EMS装置；

密封件，其接合所述板和所述衬底以在其间界定腔和用于接收到所述腔中的流体的至少一端口；以及

用于过滤在所述至少一端口处注入到所述腔中的所述流体的装置，其中用于过滤的所述装置一体地形成于所述衬底的表面和所述板的表面的至少一者上，且其中用于过滤的所述装置抑制所述流体中的非流体粒子进入所述至少一EMS装置。

20.根据权利要求19所述的设备，其中用于过滤的所述装置包含形成于所述衬底上且经横向隔开以界定间隙的多个相邻柱。

21.根据权利要求19所述的设备，其中用于过滤的所述装置包含一体地形成于所述板的所述表面上以形成障壁的一部分的间隔件。

22.根据权利要求19所述的设备，其中用于过滤的所述装置包含至少两个壁，所述至少两个壁经隔开以形成抵着至少一过滤壁而导引所述所接收流体的流的通道。

23.根据权利要求19所述的设备，其中用于过滤的所述装置包含形成于所述板上的第一壁和形成于所述衬底上的第二壁，且其中所述第一壁与所述第二壁之间的间隔界定抑制所述流体中的非流体粒子进入所述至少一EMS装置的间隙。

24.根据权利要求19所述的设备，其中用于过滤的所述装置包含形成于所述板上的第一壁和形成于所述衬底上的第二壁，且其中所述第一壁和所述第二壁形成以所述至少一端口为中心的同心环形壁。