CN104878369B - Teos机台的排气管连接件以及排气管 - Google Patents
Teos机台的排气管连接件以及排气管 Download PDFInfo
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Abstract
本发明提供一种TEOS机台的排气管连接件以及排气管，连接件包括一第一管和一第二管，所述第一管嵌套在所述第二管内，所述第一管的底端和所述第二管的底端封闭连接，并且，所述第一管的高度大于所述第二管的高度。本发明中，第一管与第二管之间形成半封闭的连接空间，使得在未反应的气体或者反应的副产物排出反应腔室的过程中，形成的残留物可以沉积在半封闭的连接空间中，不会将排气管堵住。在后期的TEOS机台维护过程中，只需要将连接空间中的残留物去除即可，不会对机台的使用产生影响。
Description
技术领域
本发明涉及半导体集成电路制造技术领域，尤其涉及一种TEOS机台的排气管连接件以及排气管。
背景技术
半导体集成电路制造工艺中，正硅酸乙酯TEOS淀积二氧化硅由于台阶覆盖性好，成本低，作为介质层被广泛使用，其中，TEOS淀积是把含有构成薄膜元素的气态反应剂引入反应腔室,气态反应剂在硅片等基片的表面发生化学反应,从而生成所需的固态薄膜并淀积在其表面，反应过程中或者反应完成之后，将反应剩余的气体反应剂或者反应生成的其他副产物排出反应腔室。TEOS机台的排气管的结构参考图1所示，通过连接件10将第一连接管30和第二连接管20连接，第二连接管20与反应腔室连接，使得反应腔室中的气体从第二连接管20通过连接件10排出。但是，在TEOS机台的的排气管在将剩余未反应的气体或着副产物排出TEOS机台过程中，排气管中连接件的部分容易积累颗粒，形成残留物，并将排气管堵住，从而影响TEOS机台的正常使用。因此，需要对排气管的连接件部分进行重新设计。
发明内容
本发明的目的在于，提供一种TEOS机台的排气管连接件以及排气管，解决现有技术中排气管连接部分易形成堵塞的问题。
为解决上述技术问题，本发明提供一种TEOS机台的排气管连接件，包括一第一管和一第二管，所述第一管嵌套在所述第二管内，所述第一管的底端和所述第二管的底端封闭连接，并且，所述第一管的高度大于所述第二管的高度。
可选的，所述第一管成圆筒形。
可选的，所述第一管的高度为30cm-40cm，直径为5cm-15cm。
可选的，所述第二管成喇叭形状，直径由第二管的底端向第二管的顶端逐渐增加。
可选的，所述第二管的高度为20cm-25cm
可选的，所述第二管底端的直径为5cm-15cm。
可选的，所述第二管还包括一第二连接部，所述第二连接部为圆环结构，并与所述第二管的底端相连。
可选的，所述第二管顶端的直径为20cm-40cm。
可选的，所述第二管还包括一第一连接部，所述第一连接部为圆环结构，并与所述第二管的顶端相连。
相应的，本发明还提供一种TEOS机台排气管，包括第一连接管、连接件和第二连接管，其中所述连接件采用上述的TEOS机台的排气管连接件。
本发明提供的TEOS机台的排气管连接件以及排气管，包括一第一管和一第二管，所述第一管嵌套在所述第二管内，所述第一管的底端和所述第二管的底端封闭连接，并且，所述第一管的高度大于所述第二管的高度。本发明中，第一管与第二管之间形成半封闭的连接空间，使得在未反应的气体或者反应的副产物排出反应腔室的过程中，形成的残留物可以沉积在半封闭的连接空间中，不会将排气管堵住。在后期的TEOS机台维护过程中，只需要将连接空间中的残留物去除即可，不会对机台的使用产生影响。
附图说明
图1为现有技术中TEOS机台的排气管的结构示意图；
图2为本发明一实施例中TEOS机台的排气管连接件的结构示意图；
图3为本发明一实施例中TEOS机台的排气管的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合示意图对本发明的TEOS机台的排气管连接件以及排气管进行更详细的描述，其中表示了本发明的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本发明，而仍然实现本发明的有利效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本发明的限制。
本发明的核心思想在于，TEOS机台的排气管连接件包括一第一管和一第二管，所述第一管嵌套在所述第二管内，所述第一管的底端和所述第二管的底端封闭连接，并且，所述第一管的高度大于所述第二管的高度。本发明中，第一管与第二管之间形成半封闭的连接空间，使得在未反应的气体或者反应的副产物排出反应腔室的过程中，形成的残留物可以沉积在半封闭的连接空间中，不会将排气管堵住。在后期的TEOS机台维护过程中，只需要将连接空间中的残留物去除即可，不会对机台的使用产生影响。
下文结合图2对本发明的TEOS机台的排气管连接件进行具体说明。
参考图2所示，本发明的TEOS机台的排气管连接件100包括一第一管1和一第二管2，所述第一管1嵌套在所述第二管2内，所述第一管1的底端和所述第二管2的底端封闭连接，并且，所述第一管1的高度大于所述第二管2的高度，所述第一管1的顶端不与所述第二管2的顶端相连，因此，所述第一管1与所述第二管2之间形成半封闭的连接空间。
需要说明的是，采用第一管1的底端与第二管2的底端封闭连接，可以使得第一管1与第二管2形成的半封闭的连接空间尽可能的大，从而能够积累较多的颗粒物，并且，可以使得直径较小的底端不会形成颗粒物的堵塞。
继续参考图2所示，所述第一管1成圆筒形。所述第一管1的高度为30cm-40cm。所述第一管1的直径为5cm-15cm。
接着，所述第二管2成喇叭形状，所述第二管的高度为20cm-25cm，直径由第二管2的底端向第二管2的顶端逐渐增加。其中，所述第二管2顶端的直径为20cm-40cm。所述第二管2还包括一第一连接部21，所述第一连接部21为圆环结构，并与所述第二管2的顶端相连，环面与第二管2喇叭开口的方向垂直。所述第一连接部21与TEOS机台的排气管子相连，所述第一连接部21上还包括有用于固定的卡口(图中未示出)。所述第二管2底端的直径为5cm-15cm。所述第二管2还包括一第二连接部22，所述第二连接部22为圆环结构，并与所述第二管2的底端相连，环面与第二管2喇叭开口的方向垂直。所述第二连接部22与TEOS机台的反应腔室连接的管子相连，所述第二连接部22上还包括有用于固定的卡口(图中未示出)。
本发明的TEOS机台的排气管连接件的使用的过程中，通过第一连接部21和第二连接部22连接TEOS机台的排气管之间，将剩余未反应的气体或者副产物排出反应腔室的过程中，反应气体或者副产物在通过连接件的过程中，形成的颗粒残留物可以沉积在连接空间中，使得残留物不会残留在排气管口，不对会排气管造成堵塞，保证TEOS机台的正常使用，减小TEOS机台的清洗周期。
此外，本领域技术人员可以理解的是，第二管2的形状并不限于喇叭形状，顶端和开口大于底端的开口即可，并且底端和顶端的形状还可以为正方形、长方形等形状，此为根据实际排气管的形状决定。同样的，所述第一管1并不限于为圆筒形，还可以为长方体等形状，只要使得第一管1的底端与第二管2相连，形成半封闭的连接空间，用于积累残留物。
作为本发明的另一面，本发明还提供一种TEOS机台排气管，参考图3所示，排气管包括第一连接管300、连接件100和第二连接管200，其中，连接件100采用上述的TEOS机台的排气管连接件100。通过采用上述连接件100，不会在排气管的第一连接管300和第二连接管200的连接部分形成颗粒残留，缩短TEOS机台的维护周期。
综上所述，本发明提供的TEOS机台的排气管连接件以及排气管，连接件包括一第一管和一第二管，所述第一管嵌套在所述第二管内，所述第一管的底端和所述第二管的底端封闭连接，并且，所述第一管的高度大于所述第二管的高度。本发明中，第一管与第二管之间形成半封闭的连接空间，使得在未反应的气体或者反应的副产物排出反应腔室的过程中，形成的残留物可以沉积在半封闭的连接空间中，不会将排气管堵住。在后期的TEOS机台维护过程中，只需要将连接空间中的残留物去除即可，不会对机台的使用产生影响。
显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。
Claims (10)
1.一种TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，包括一第一管和一第二管，所述第一管嵌套在所述第二管内，所述第一管的底端和所述第二管的底端封闭连接，并且，所述第一管的高度大于所述第二管的高度；所述第二管包括第一连接部与第二连接部，连接于所述TEOS机台的排气管之间，其中，所述第一连接部与所述第二管的顶端相连，所述第二连接部与所述第二管的底端相连。
2.如权利要求1所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第一管呈圆筒形。
3.如权利要求2所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第一管的高度为30cm-40cm，直径为5cm-15cm。
4.如权利要求1所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二管呈喇叭形状，直径由第二管的底端向第二管的顶端逐渐增加。
5.如权利要求4所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二管的高度为20cm-25cm。
6.如权利要求4所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二管顶端的直径为20cm-40cm。
7.如权利要求6所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第一连接部为圆环结构。
8.如权利要求4所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二管底端的直径为5cm-15cm。
9.如权利要求8所述的TEOS机台的排气管连接件，其特征在于，所述第二连接部为圆环结构。
10.一种TEOS机台排气管，包括第一连接管、连接件和第二连接管，其中所述连接件采用如权利要求1-9中任意一项所述TEOS机台的排气管连接件。
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