CN104808449A - 一种高精度的曝光装置 - Google Patents

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CN104808449A CN201510139151.XA CN201510139151A CN104808449A CN 104808449 A CN104808449 A CN 104808449A CN 201510139151 A CN201510139151 A CN 201510139151A CN 104808449 A CN104808449 A CN 104808449A
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张梦莹
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Abstract

本发明公开了一种高精度的曝光装置,所述的高精度的曝光装置包括机台、自动传输装置、菲林支架、水平仪和固定槽,所述的自动传送装置安装在机台上,所述的固定槽置于自动传送装置上,所述的菲林支架固定在机台的某段,所述的水平仪在菲林支架区域的正下方的机台下。本发明在封闭环境中,利用水平仪调节菲林支架,直至被放置在菲林支架上的菲林平行于被曝光的ITO玻璃,使曝光源充分垂直投射被曝光物,达到彻底曝光的效果。

Description

一种高精度的曝光装置
技术领域
本发明公开了一种曝光装置,特别是一种高精度的曝光装置。
背景技术
菲林曝光现广泛用于液晶生产行业,将底片菲林药膜面贴在殷望的印刷面,然后在真空曝光机内曝光,一般在使用前要借助曝光计算尺来测定曝光时间,在固定所制网版的曝光时间。
曝光时间过短会造成感光胶脱落,线条变粗,字符号不牢固;曝光时间过长,会造成显影不尽,或线条变细等质量事故;曝光源投影角度有偏差,会造成被曝光物图像倾斜,产生投影差,影像模糊失真等现象。
发明内容
针对以上问题,本发明公开了一种高精度的曝光装置。在封闭环境中,利用水平仪调节菲林支架,直至被放置在菲林支架上的菲林平行于被曝光的ITO玻璃,使曝光源充分垂直投射被曝光物,再利用自动传送装置控制曝光的时间,达到彻底曝光的效果。
一种高精度的曝光装置,所述的高精度的曝光装置包括机台、自动传输装置、菲林支架、水平仪、固定槽。在封闭环境中,自动传送装置将ITO玻璃传送到菲林支架区域正下方,通过水平仪检测水平度,自动调节菲林支架,直至被放置在菲林支架上的菲林平行于被曝光的ITO玻璃,使曝光源经过菲林充分垂直投射至被曝光物上,达到彻底曝光的效果。
本发明公开的一种高精度曝光的装置,所述的菲林支架由四根不锈钢支架构成,牢固稳定且耐用,支架的高度可根据实际情况自动调节伸缩,适应曝光程度的需要。
本发明公开的一种高精度曝光的装置,所述的菲林支架的四根不锈钢支架柱某段很切面二分之一位置设置中空,设置强力磁铁,可以轻松卡住菲林,强力度的磁铁互相吸引使菲林稳固在不锈钢支架中,此种方式避免强力度的挤压导致菲林变形。
本发明公开的一种高精度曝光的装置,所述的水平仪是红外线激光水平仪,通过水平仪的红外激光探头感应菲林支架上的菲林是否水平,若不平,则通过感应装置传输到菲林支架上,四个支架自动调节本身的高度,达到水平效果。
本发明公开的一种高精度曝光的装置,所述的自动传送装置可以控制ITO传送速度与停止的时间,当将固定槽传送至菲林放置区的下方,传送装置立即停止,停留一定的时间,给被曝光物充分曝光,曝光完之后继续开启传送。
本发明公开的一种高精度曝光的装置,所述的固定槽安装在自动传送带上,可以随时拆卸,其作用是防止被曝光物受外力影响而偏移曝光位置,固定槽使被曝光物更精确的处于菲林放置区,被曝光源曝光,达到曝光高精度的效果。
附图说明
图1是本发明公开的高精度曝光的装置结构示意图。
附图标记列表
1、机台                     2、自动传送装置                 3、水平仪
4、菲林支架                 5、固定槽。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式,进一步阐明本发明,应理解下述具体实施方式仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围,在阅读了本发明之后,本领域技术人员对发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。
本发明公开的一种高精度曝光的装置,其特征在于:所述的高精度曝光的装置包括机台1、自动传输装置2、菲林支架3、水平仪4和固定槽5,所述的自动传送装置2安装在机台1上,所述的固定槽5置于自动传送装置2上,所述的菲林支架4固定在机台1的某段,所述的水平仪3在菲林支架区域的正下方的机台1下。本发明在封闭环境中,自动传送装置将ITO玻璃传送到菲林支架区域正下方,通过水平仪检测水平度,自动调节菲林支架,直至被放置在菲林支架上的菲林平行于被曝光的ITO玻璃,使曝光源经过菲林充分垂直投射至被曝光物上,达到彻底曝光的效果。
作为一种优选,所述的菲林支架由四根不锈钢支架构成,支架的高度可根据实际情况自动调节伸缩。
作为一种优选,所述的菲林支架的四根不锈钢支架均在某段内置磁铁装置,可将菲林四个角卡在钢管的磁铁段上,起到固定菲林的作用。
作为一种优选,所述的水平仪是红外线激光水平仪,通过水平仪的激光红外感应,传输到菲林支架上,四个支架自动调节本身的高度,达到水平效果。
作为一种优选,所述的自动传送装置可以控制ITO传送速度与停止的时间。
作为一种优选,所述的固定槽安装在自动传送带上,可以随时拆卸,固定槽是防止被曝光物受外力影响而偏移曝光位置。

Claims (6)

1.一种高精度的曝光装置,其特征在于:所述的高精度的曝光装置包括机台、自动传输装置、菲林支架、水平仪和固定槽,所述的自动传送装置安装在机台上,所述的固定槽置于自动传送装置上,所述的菲林支架固定在机台的某段,所述的水平仪在菲林支架区域的正下方的机台下。
2.根据权利要求1所述的菲林支架,其特征在于:所述的菲林支架由四根不锈钢支架构成,支架的高度可根据实际情况自动调节伸缩。
3.根据权利要求1所述的菲林支架,其特征在于:所述的菲林支架的四根不锈钢支架均在某段内置磁铁装置,可将菲林四个角卡在钢管的磁铁段上,起到固定菲林的作用。
4.根据权利要求1所述的水平仪,其特征在于:所述的水平仪是红外线激光水平仪,通过水平仪的激光红外感应,传输到菲林支架上,四个支架自动调节本身的高度,达到水平效果。
5.根据权利要求1所述的自动传送装置,其特征在于:所述的自动传送装置可以控制ITO传送速度与停止的时间。
6.根据权利要求1所述的固定槽,其特征在于:所述的固定槽安装在自动传送带上,可以随时拆卸,固定槽是防止被曝光物受外力影响而偏移曝光位置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI648600B (zh) * 2017-07-14 2019-01-21 大陸商瀋陽芯源微電子設備有限公司 一種可擴展連接多台光刻機的塗膠顯影設備系統
CN110824861A (zh) * 2019-11-26 2020-02-21 武汉新芯集成电路制造有限公司 光罩盒定位装置以及光刻设备

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