CN104752263A - 反应室定位结构及反应室 - Google Patents

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Abstract

本发明提供了一种反应室定位结构及反应室，其反应室定位结构便于反应室的上盖和反应腔进行定位安装，包括定位销和弹簧，反应腔上设置有第一定位孔，上盖上设置有第二定位孔，定位销设置有用于限位弹簧的轴肩，弹簧套装在定位销的一端的外侧，并安装在反应腔的第一定位孔内，待上盖的第二定位孔与定位销的另一端对齐后，弹簧压缩，定位销的另一端插入第二定位孔定位。其反应室包括上述反应室定位结构。本发明的反应室定位结构及反应室，结构设计简单合理，通过弹簧和定位销的配合结构，增加定位销的高度，提高了上盖与反应腔装配的准确性及效率。

Description

反应室定位结构及反应室
技术领域
本发明涉及半导体设备，特别是涉及一种应用于半导体设备工艺模块的反应室定位结构，以及含有上述反应室定位结构的反应室。
背景技术
目前，在对反应室的反应腔的内部进行维护时，需要挪开上盖，以便对齐内部的零件进行擦拭或更换。反应腔维护完毕后，需要对上盖进行复位（即盒盖），在合盖时，反应腔的定位销插入到上盖的相应的销孔里。由于受到空间的限制，反应腔定位销的高度较低，一般为25mm左右，上盖向下运行至将要与反应腔定位销配合时，此时上盖与反应腔的距离即为定位销的高度（25mm左右）。但是由于上盖与反应腔之间的距离较小（25mm左右），在此距离下，通过目视来调整上盖，难度较大，稍有不慎，反应腔上的定位销就会撞坏上盖的零部件，存在一定的风险。
鉴于上述缺陷，本发明人经过长时间的研究和实践终于获得了本发明创造。
发明内容
基于此，有必要针对反应室装配时不易定位等问题，提供一种能够在安装时便于定位的反应室定位结构，以及含有上述反应室定位结构的反应室。上述目的通过下述技术方案实现：
一种反应室定位结构，便于反应室的上盖和反应腔进行定位安装，包括定位销和弹簧，反应腔上设置有第一定位孔，上盖上设置有第二定位孔，所述定位销设置有用于限位所述弹簧的轴肩；所述弹簧套装在定位销的一端的外侧，并安装在反应腔的所述第一定位孔内，待上盖的所述第二定位孔与所述定位销的另一端对齐后，弹簧压缩，所述定位销的另一端插入所述第二定位孔定位。
上述目的还可以通过下述技术方案进一步实现。
其中，所述定位销的数量为多个；所述弹簧的数量与所述定位销的数量相等；所述第一定位孔的数量与所述第二定位孔的数量相等；所述第一定位孔的数量与所述定位销的数量相等。
其中，多个所述第一定位孔均匀分布在反应腔的端面上；多个所述第二定位孔均匀分布在上盖的端面上；所述第一定位孔的位置和所述第二定位孔的位置相对应。
其中，所述弹簧处于自由状态，将所述定位销顶起后，所述定位销的另一端的端面与所述反应腔的表面设置有预设距离；所述预设距离便于通过目视将所述定位销与所述第二定位孔手动配合。
其中，所述定位销设置有第一定位部和第二定位部；所述第一定位部和所述第二定位部分隔在所述轴肩的两侧；所述第一定位部可插入所述第一定位孔定位；所述第二定位部可插入所述第二定位孔定位。
其中，所述弹簧套装所述第一定位部上；所述轴肩的直径大于所述第一定位部的直径；所述轴肩的直径大于所述第二定位部的直径。
其中，所述第一定位部、所述第二定位部与所述轴肩一体成型。
其中，所述第一定位孔为阶梯孔；所述阶梯孔设置有第一通孔、第二通孔和第三盲孔；所述第一通孔的内径大于所述第二通孔的内径；所述第二通孔的内径大于所述第三盲孔的内径；所述第一通孔放置所述轴肩，所述第二通孔放置所述弹簧；所述第一通孔的内径与所述轴肩的外径相适应；所述第二通孔的内径与所述弹簧的外径相适应。
其中，所述弹簧的外径大于所述第三盲孔的内径，所述第二通孔的高度小于所述弹簧自由状态的高度。
还涉及一种反应室，包括上盖、反应腔和反应室定位结构，上盖和反应腔相配合，通过反应室定位结构对上盖和反应腔进行定位装配，所述反应室定位结构上述任一实施例所述的反应室定位结构。
其中，所述反应室还包括导轨；所述导轨的一端与所述反应腔连接；所述导轨的另一端与所述上盖连接；所述上盖沿所述导轨升降。
本发明的有益效果是：
本发明的反应室定位结构及反应室，结构设计简单合理，将弹簧套装在定位销的外侧上，当上盖与反应腔配合时，上盖向下运动至定位销时，弹簧在自由状态时将定位销顶起，使上盖与反应腔之间存在足够的距离，可以通过目测和手动的操作将定位销安装到上盖的第二定位孔中。本发明的反应室定位结构及反应室，通过弹簧和定位销的配合结构，来增加定位销的高度，提高了上盖与反应腔装配的准确性及效率。
附图说明
图1为本发明的反应室一实施例的分解剖面示意图；
图2为图1所示的反应室中反应室定位结构的剖面示意图；
图3为图1所示的反应室中定位销的示意图；
图4为图1所示的反应室中反应腔的剖面示意图；
图5为图1所示的反应室去掉上盖的剖面示意图；
其中：
100-反应室定位结构
110-定位销；
111-第一定位部；112-第二定位部；113-轴肩；
120-弹簧；
200-反应腔；
210-第一定位孔；
211-第一通孔，212-第二通孔；213-第三盲孔；
300-上盖；
310-第二定位孔。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下通过实施例，并结合附图，对本发明的反应室定位结构及反应室进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。
参见图1至图5，本发明的反应室，包括反应腔200、上盖300、反应室定位结构100和导轨（未示出），反应腔200和上盖300相配合，导轨的一端与反应腔200连接，导轨的另一端与上盖300连接，上盖300沿导轨升降。通过反应室定位结构100对反应腔200和上盖300进行定位装配，保证定位准确。
如图1和图2所示，本发明的反应室定位结构100包括定位销110和弹簧120，反应腔200上设置有第一定位孔210，上盖300上设置有第二定位孔310，弹簧120套装在定位销110的外侧，并安装在反应腔200的第一定位孔210内，待上盖300的第二定位孔310与定位销110的另一端对齐后，弹簧120开始压缩，定位销110的另一端与第二定位孔310配合。
定位销110设置有用于限位弹簧120的轴肩113。弹簧120套装在定位销110的外侧，轴肩113的下表面与弹簧120接触，因弹簧120自身的作用力将定位销110顶起，增加定位销110的顶端到反应腔200上表面的距离。
上盖300在安装到反应腔200时，先将装有定位销110的弹簧120安装反应腔200的第一定位孔210中，上盖300在向下运动至快与定位销110接触时，弹簧120在自由状态时会将定位销110顶起，此时增加的高度便于目视和手动的操作，将上盖300的第二定位孔310与定位销110对齐，随后上盖300继续下降，弹簧120开始逐渐压缩，定位销110也开始下降。
本发明的反应室通过弹簧120和定位销110的配合结构，来增加定位销110的顶端到反应腔200上表面的距离，提高了上盖300与反应腔200装配的准确性及效率。
作为一种可实施方式，定位销110的数量为多个，弹簧120的数量与定位销110的数量相等，第一定位孔210的数量和第二定位孔310的数量相等，第一定位孔210的数量与定位销110的数量相等。
定位销110的数量为多个，定位销110的一端安装在第一定位孔210中，另一端安装在第二定位孔310中，因此需要数量相应的第一定位孔210和第二定位孔310与定位销110相配合使用。
为了便于上盖300与反应腔200装配的准确性，定位销110的数量至少设置两个来保证定位的准确性。
作为一种可实施方式，弹簧120将定位销110顶起后，定位销110的另一端的端面与反应腔200的表面设置有预设距离，便于通过目视将定位销110与第二定位孔310手动配合。
为了保证定位销110容易进入上盖300的第二定位孔310中，通过弹簧120在自由状态时可以将定位销110顶起一定的高度，同时定位销110的高度可以设计的更高，便于目视及手动操作将定位销110对准上盖300的第二定位孔310。预设距离可以设计成60mm或更高，在考虑考虑到空间的前提下，设计成便于目视及手动对准定位销110及第二定位孔310的高度，以便于操作。
作为一种可实施方式，多个第一定位孔210均匀分布在反应腔200的端面上，多个第二定位孔310均匀分布在上盖300的端面上，第一定位孔210的位置和第二定位孔310的位置相对应。
在本实施例中，第一定位孔210均匀分布在反应腔200的上表面上，第二定位孔310均匀分布在上盖300的下表面上，可以保证在安装时受力均匀，并且一个定位销110的一端安装到第一定位孔210，另一端安装到第二定位孔310，这就要求第一定位孔210的位置和第二定位孔310的位置相对应，保证定位准确。
如图3所示，作为一种可实施方式，定位销110设置有第一定位部111和第二定位部112，第一定位部111和第二定位部112分隔在轴肩113的两侧。第一定位部111与第一定位孔210配合，第二定位部112与第二定位孔310配合。
进一步地，弹簧120套装第一定位部111上。轴肩113的直径大于第一定位部111的直径，轴肩113的直径大于第二定位部112的直径。
通过轴肩113卡住弹簧120，当上盖300与反应腔200分开时，弹簧120处于自由状态，弹簧120利用自身的弹力通过轴肩113将定位销110顶起来，从而增加定位销110的顶端到反应腔200上表面的距离。因此要求轴肩113的直径大于第一定位部111的直径。
上盖300上的第二定位孔310与第二定位部112对齐后，上盖300沿导轨开始下降，待上盖300下降至上盖300的下表面与轴肩113的上表面接触时，弹簧120处于自由状态，上盖300继续下降，弹簧120逐渐压缩，因此要求轴肩113的直径大于第二定位部112的直径。
如图4所示，作为一种可实施方式，第一定位孔210为阶梯孔；阶梯孔设置有第一通孔211、第二通孔212和第三盲孔213。第一通孔211的内径大于第二通孔212的内径，第二通孔212的内径大于第三盲孔213的内径，
如图5所示，第一通孔211用于放置轴肩113，第二通孔212用于放置弹簧120，第一通孔211的内径与轴肩113的外径相适应，第二通孔212的内径与弹簧120的外径相适应。
进一步地，弹簧120的外径大于第三盲孔213的内径。弹簧120安装在第二通孔213内就要求第二通孔212的内径与弹簧120相适应，同时为了保证弹簧120安装在第二通孔212内时，弹簧120不会落入第三盲孔213中，弹簧120的外径应大于第三盲孔213的内径。
第二通孔212的高度小于弹簧120在自由状态时的高度。本发明的反应室是通过弹簧120与定位销110的配合来对上盖300和反应腔200进行准确定位的，所以对弹簧120的要求是能够处于自由状态和压缩状态。弹簧120的缩放是通过轴肩113和第二通孔212来控制的。
弹簧120在自由状态时顶起定位销110，便于第二定位部112与第二定位孔310对齐，随后上盖300下降时，通过定位销110带动弹簧120一起向下运动，弹簧120开始逐渐压缩，因此就要求第二通孔212的高度小于弹簧120在自由状态时，以保证上盖300从反应腔200上移除时弹簧120能够处于自由状态，能将定位销110顶起来。
作为一种可实施方式，第一定位部111、第二定位部112与轴肩113一体成型。为了节省生产成本、节约生产时间，第一定位部111、第二定位部112与轴肩113可以采用一体成型的加工方式加工出来。
在将上盖300装配到反应腔200时，先将弹簧120安装在第一定位部111的外侧，再将第一定位部111装入第一定位孔210中，上盖300沿导轨向下运动至第二定位孔310快与第二定位部112接触时，由于弹簧120将定位销110顶起，此时定位销110的顶端到反应腔200上表面的距离足以保证上盖300可以通过目视和手动操作将其上的第二定位孔310与第二定位部112对齐，使第二定位孔310准确的套在第二定位部112的外侧。第二定位孔310准确的套在第二定位部112的外侧后，上盖300继续向下运动，同时压缩弹簧120，使定位销110与上盖300同时向下运动。
定位销110与上盖300继续向下运动，直至上盖300的下表面与反应腔200的上表面完全接触位置，此时完成装配过程。
上述发明的反应室定位结构及反应室，结构设计简单合理，将弹簧套装在定位销的外侧上，当上盖与反应腔配合时，上盖向下运动至定位销时，弹簧在自由状态时将定位销顶起，使上盖与反应腔之间存在足够的距离，可以通过目测和手动的操作将定位销安装到上盖的第二定位孔中。本发明的反应室定位结构及反应室，通过弹簧和定位销的配合结构，来增加定位销的高度，提高了上盖与反应腔装配的准确性及效率。
以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。

Claims (11)

1.一种反应室定位结构，便于反应室的上盖和反应腔进行定位安装，包括定位销，反应腔上设置有第一定位孔，上盖上设置有第二定位孔，其特征在于：
还包括弹簧；
所述定位销设置有用于限位所述弹簧的轴肩；
所述弹簧套装在所述定位销的一端的外侧，并安装在反应腔的所述第一定位孔内，待上盖的所述第二定位孔与所述定位销的另一端对齐后，所述弹簧压缩，所述定位销的另一端插入所述第二定位孔定位。
2.根据权利要求1所述的反应室定位结构，其特征在于：
所述定位销的数量为多个；
所述弹簧的数量与所述定位销的数量相等；
所述第一定位孔的数量与所述第二定位孔的数量相等；
所述第一定位孔的数量与所述定位销的数量相等。
3.根据权利要求2所述的反应室定位结构，其特征在于：
多个所述第一定位孔均匀分布在反应腔的端面上；
多个所述第二定位孔均匀分布在上盖的端面上；
所述第一定位孔的位置和所述第二定位孔的位置相对应。
4.根据权利要求1所述的反应室定位结构，其特征在于：
所述弹簧处于自由状态，将所述定位销顶起后，所述定位销的另一端的端面与反应腔的表面设置有预设距离；
所述预设距离便于通过目视将所述定位销与所述第二定位孔手动配合。
5.根据权利要求2所述的反应室定位结构，其特征在于：
所述定位销设置有第一定位部和第二定位部；
所述第一定位部和所述第二定位部分隔在所述轴肩的两侧；
所述第一定位部可插入所述第一定位孔定位；
所述第二定位部可插入所述第二定位孔定位。
6.根据权利要求5所述的反应室定位结构，其特征在于：
所述弹簧套装所述第一定位部上；
所述轴肩的直径大于所述第一定位部的直径；
所述轴肩的直径大于所述第二定位部的直径。
7.根据权利要求6所述的反应室定位结构，其特征在于：
所述第一定位部、所述第二定位部与所述轴肩一体成型。
8.根据权利要求6所述的反应室定位结构，其特征在于：
所述第一定位孔为阶梯孔；
所述阶梯孔设置有第一通孔、第二通孔和第三盲孔；
所述第一通孔的内径大于所述第二通孔的内径；
所述第二通孔的内径大于所述第三盲孔的内径；
所述第一通孔放置所述轴肩；
所述第二通孔放置所述弹簧；
所述第一通孔的内径与所述轴肩的外径相适应；
所述第二通孔的内径与所述弹簧的外径相适应。
9.根据权利要求8所述的反应室定位结构，其特征在于：
所述弹簧的外径大于所述第三盲孔的内径；
所述第二通孔的高度小于所述弹簧自由状态的高度。
10.一种反应室，包括上盖、反应腔和反应室定位结构，上盖和反应腔相配合，通过反应室定位结构对上盖和反应腔进行定位装配，其特征在于：
所述反应室定位结构为权利要求1至9任一项所述的反应室定位结构。
11.根据权利要求10所述的反应室，其特征在于：
还包括导轨；
所述导轨的一端与所述反应腔连接；
所述导轨的另一端与所述上盖连接；
所述上盖沿所述导轨升降。
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