CN104731420B - 一种电容式触摸屏及其制备方法 - Google Patents

Abstract

本发明所述的电容式触摸屏及其制备方法，对设置在相邻所述导电模块之间的介电层区域进行刻蚀，形成条形凹槽，可实现对导电模块的再次图案化，从而使得导电模块间的短路缺陷在该工艺中实现刻断，提高了产品的良率，大幅降低了生产成本；而且，在现有制作工艺的基础上只需要对介电层图形化的光罩图形做相应设计，完成相应的刻蚀即可实现产品良率的大幅提高，工艺简单，具有极佳的应用价值。

Description

一种电容式触摸屏及其制备方法

技术领域

本发明涉及显示技术领域，具体涉及一种电容式触摸屏及其制备方法。

背景技术

触控屏（英文全称为Touch Panel），又称触摸屏、触控面板，是一种可接收触头等输入信号的感应式显示装置，广泛应用在各种电子产品上。按照触摸屏的工作原理和传输信息的介质，触摸屏可分为四种：电阻式、电容式、红外线式和表面声波式。

电容式触摸屏（英文全称为Capacity Touch Panel，简称为CTP）是利用人体的电流感应对屏幕进行控制的。根据侦测触碰区域的电容变化，进而计算手指所在位置，精确度可达99%，响应时间小于3ms。CTP具有灵敏度高、容易实现多点触控技术等优点，逐渐成为智能手机、平板电脑等电子产品中应用的主流触摸屏。

电容式触摸屏的电路结构为架桥结构，如图1和2所示，包括形成于衬底100上的多个平行设置的横向导电单元和多个平行设置的纵向导电单元，多个横向导电单元与纵向导电单元形成彼此绝缘的交叉网络；每个横向导电单元由多个导电模块220通过多个第一层导电桥211串联组成，每个纵向导电单元由多个导电模块210通过多个第二层导电桥221串接组成；在衬底100上设有覆盖第一层导电桥211的第一介电层300，覆盖所有横向导电单元、纵向导电单元的第二介电层400。

现有技术中，横向导电单元和纵向导电单元中的导电模块通常会在同一导电层中通过刻蚀工艺同层制备，在刻蚀工艺中极易出现横向导电单元中的导电模块和纵向导电单元中的导电模块未彻底分离，从而造成横向导电单元和纵向导电单元短路的现象，严重影响产品的良率。

发明内容

为此，本发明所要解决的是现有电容式触摸屏电极之间容易出现短路现象，严重影响产品良率的问题，提供一种电极间绝缘性能优异、良品率高的电容式触摸屏及其制备方法。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：

本发明所述的一种电容式触摸屏，包括形成于衬底上的多个平行设置的横向导电单元和多个平行设置的纵向导电单元，多个横向导电单元与纵向导电单元形成彼此绝缘的交叉网络，每个横向导电单元和纵向导电单元均由多个导电模块通过多个导电桥串接组成，在衬底上设有覆盖所有横向导电单元、纵向导电单元的介电层；位于相邻两所述导电模块之间的介电层上成型有条形凹槽，所述凹槽贯穿整个所述介电层的厚度。

所述凹槽的宽度小于或等于相邻所述导电模块的间距。

所述横向导电单元中的导电模块与所述纵向导电单元中的导电模块以同种材料形成在同一层中。

所述横向导电单元或所述纵向导电单元中所述导电桥与所述导电模块以同种材料形成在同一层中。

所有所述导电模块为菱形。

所述介电层包括第一介电层和第二介电层，所述第一介电层直接设置在靠近衬底的一层所述导电桥上，所述第二介电层设置在所有所述导电模块和远离衬底的一层所述导电桥上。

本发明所述的电容式触摸屏的制备方法，包括如下步骤：

S1、在衬底上形成第一导电层，并图案化形成分别沿横向和纵向间隔排布的导电模块，在沿横向或纵向设置的导电模块之间形成第一层导电桥，以串接所述导电模块，形成多个平行设置的横向导电单元或多个平行设置的纵向导电单元；

S2、在衬底上直接形成覆盖图案化后的第一导电层的第一介电质材料层，并图案化制得覆盖第一层导电桥的第一介电层；

S3、在第一介电层上形成垂直于第一层导电桥的第二层导电桥，将步骤S1中未串接的导电模块进行串接；

S4、在衬底上直接形成覆盖导电模块、第一介电层和第二层导电桥的第二第一介电层；

S5、通过掩膜对第二介电层进行图案化，形成垂直贯通第二介电层并设置在相邻导电模块之间的条形凹槽。

步骤S1中，所述第一层导电桥与所述导电模块同步骤制得。

本发明的上述技术方案相比现有技术具有以下优点：

1、本发明所述的电容式触摸屏及其制备方法，对设置在相邻所述导电模块之间的介电层区域进行刻蚀，形成条形凹槽，可实现对导电模块的再次图案化，从而使得导电模块间的短路缺陷在该工艺中实现刻断，提高了产品的良率，大幅降低了生产成本。

2、本发明所述的电容式触摸屏及其制备方法，在现有制作工艺的基础上只需要对介电层图形化的光罩图形做相应设计，完成刻蚀后即可实现产品良率的大幅提高，工艺简单，具有极佳的应用价值。

附图说明

为了使本发明的内容更容易被清楚的理解，下面根据本发明的具体实施例并结合附图，对本发明作进一步详细的说明，其中

图1现有技术中所述电容式触摸屏的剖视图；

图2是图1中所述电容式触摸屏的俯视图；

图3是本发明所述电容式触摸屏的剖视图；

图4是图2中所述电容式触摸屏的俯视图。

图中附图标记表示为：100-衬底、210-纵向导电单元中的导电模块、211-第一层导电桥、220-横向导电单元中的导电模块、221-第二层导电桥、300-第一介电层、400-第二介电层、410-凹槽。

具体实施方式

为了使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明的实施方式作进一步地详细描述。

本发明可以以许多不同的形式实施，而不应该被理解为限于在此阐述的实施例。相反，提供这些实施例，使得本公开将是彻底和完整的，并且将把本发明的构思充分传达给本领域技术人员，本发明将仅由权利要求来限定。在附图中，为了清晰起见，会夸大层和区域的尺寸和相对尺寸。应当理解的是，当元件例如层、区域或基板被称作“形成在”或“设置在”另一元件“上”时，该元件可以直接设置在所述另一元件上，或者也可以存在中间元件。相反，当元件被称作“直接形成在”或“直接设置在”另一元件上时，不存在中间元件。

本实施例提供一种电容式触摸屏，如图3和4所示，包括形成于衬底100上的多个平行设置的横向导电单元和多个平行设置的纵向导电单元，所述横向导电单元与所述纵向导电单元形成彼此绝缘的交叉网络，每个所述横向导电单元和纵向导电单元均由多个导电模块通过多个导电桥串接组成，在衬底100上设有覆盖所有横向导电单元、纵向导电单元的介电层。

本实施例中，所述导电模块优选等间距分布，相邻所述导电模块的间距相等，所述导电模块优选为菱形。

作为本发明的其他实施例，所述导电模块还可以为其他图案，均可以实现本发明的目的，属于本发明的保护范围。

本实施例中，所述纵向导电单元中的导电模块210与所述横向导电单元中的导电模块220优选以同种材料形成在同一层中。

相邻所述纵向导电单元中的导电模块210之间通过第一层导电桥211串联连接；所述第一层导电桥211与所述纵向导电单元中的导电模块210以同种材料形成在同一层中，即直接设置在所述衬底100上。

相邻所述横向导电单元中的导电模块220之间通过第二层导电桥221串联连接。

所述第一层导电桥211与所述第二层导电桥221之间设置有使之彼此绝缘的第一介电层300，即所述第一介电层300直接设置在靠近衬底100的一层所述导电桥（所述第一层导电桥211）上。所述衬底100上直接设置有覆盖所有所述纵向导电单元中的导电模块210、所述横向导电单元中的导电模块220、所述第二层导电桥221以及所述第一介电层300的所述第二介电层400。所述第一介电层300和所述第二介电层400共同构成介电层，位于相邻两所述导电模块之间的介电层上成型有条形凹槽410，所述凹槽410贯穿整个所述介电层的厚度。

所述凹槽410的宽度小于或等于相邻所述导电模块的间距。

所述电容式触摸屏的制备方法，包括如下步骤：

S1、在衬底100上形成第一导电层，并图案化形成分别沿纵向间隔排布的若干纵向导电单元中的导电模块210，沿横向间隔排布的若干横向导电单元中的导电模块220以及沿纵向设置在相邻纵向导电单元中的导电模块210之间的第一层导电桥211，以串接所述导电模块，形成多个平行设置的纵向导电单元。

作为本发明的其他实施例，也可以先形成沿横向设置在相邻横向导电单元中的导电模块220之间的导电桥，以形成多个平行设置的横向导电单元。

S2、在衬底100上直接形成覆盖图案化后的第一导电层的第一介电质材料层，并图案化制得覆盖第一层导电桥211的第一介电层300。

S3、在第一介电层300上形成第二层导电桥221，将步骤S1中未串接的导电模块进行串接，以形成多个平行设置的横向导电单元。

S4、在衬底100上直接形成覆盖导电模块、第一介电层300和第二层导电桥221的第二介电层400。

S5、通过掩膜对第二介电层400进行图案化，即通过光刻工艺对直接设置在衬底100上的第二介层400区域进行刻蚀，形成垂直贯通第二介电层400并设置在相邻导电模块之间的条形凹槽410。

所述电容式触摸屏的各层材料和厚度均同现有技术，步骤S1～S4中具体制备工艺同现有技术。

本发明所述的电容式触摸屏的制备方法，对设置在相邻所述导电模块之间的介电层区域进行刻蚀，形成条形凹槽410，可实现对导电模块的再次图案化，使得纵向导电单元中的导电模块210和横向导电单元中的导电模块220间的短路缺陷会在该步骤中实现刻断，提高了产品的良率，大幅降低了生产成本。另外，在现有制作工艺的基础上只需要对介电层图形化的光罩图形做相应设计，完成刻蚀后即可实现，不但大幅提高产品良率，而且工艺简单，具有极佳的应用价值。

Claims (7)

1.一种电容式触摸屏，包括形成于衬底上的多个平行设置的横向导电单元和多个平行设置的纵向导电单元，多个横向导电单元与纵向导电单元形成彼此绝缘的交叉网络，每个横向导电单元和纵向导电单元均由多个导电模块通过多个导电桥串接组成，在衬底上设有覆盖所有横向导电单元、纵向导电单元及导电桥的介电层，其特征在于，位于相邻两所述导电模块之间的介电层上成型有条形凹槽，所述凹槽垂直贯穿整个所述介电层的厚度；相邻两所述的导电模块之间填充有介电层且所述介电层为不连续结构；所述凹槽的宽度小于相邻所述导电模块的间距；所述导电桥设置在所述导电模块远离所述衬底的一侧。

2.根据权利要求1所述的电容式触摸屏，其特征在于，所述横向导电单元中的导电模块与所述纵向导电单元中的导电模块以同种材料形成在同一层中。

3.根据权利要求2所述的电容式触摸屏，其特征在于，所述横向导电单元或所述纵向导电单元中所述导电桥与所述导电模块以同种材料形成在同一层中。

4.根据权利要求1或3所述的电容式触摸屏，其特征在于，所有所述导电模块为菱形。

5.根据权利要求1或3所述的电容式触摸屏，其特征在于，所述介电层包括第一介电层和第二介电层，所述第一介电层直接设置在靠近衬底的一层所述导电桥上，所述第二介电层设置在所有所述导电模块和远离衬底的一层所述导电桥上。

6.一种权利要求1-5任一所述的电容式触摸屏的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1、在衬底上形成第一导电层，并图案化形成分别沿横向和纵向间隔排布的导电模块，在沿横向或纵向设置的导电模块之间形成第一层导电桥，以串接所述导电模块，形成多个平行设置的横向导电单元或多个平行设置的纵向导电单元；

S2、在衬底上直接形成覆盖图案化后的第一导电层的第一介电质材料层，并图案化制得覆盖第一层导电桥的第一介电层；

S3、在第一介电层上形成第二层导电桥，将步骤S1中未串接的导电模块进行串接；

S4、在衬底上直接形成覆盖导电模块、第一介电层和第二层导电桥的第二介电层；

S5、通过掩膜对第二介电层进行图案化，形成垂直贯通第二介电层并设置在相邻导电模块之间的条形凹槽。

7.根据权利要求6所述的电容式触摸屏的制备方法，其特征在于，步骤S1中，所述第一层导电桥与所述导电模块同步骤制得。