CN104711517B - 一种真空镀膜生产线用传动机构 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种真空镀膜生产线用传动机构，其包括一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器，主动组件和从动组件分别设置在磁力耦合器的两侧，主动组件受电驱动，通过磁力耦合器将主动组件的运动传递给从动组件。与现有技术相比，该传动机构采用磁力耦合器连接主动轴和从动轴，主动轴和从动轴之间无直接接触，无机械传动，减少磨损，将动密封转换为静密封，保持各镀膜生产线中各腔室的气密性，有效防止出现漏气现象产生，该传动机构结构简单，能耗减少，节约资源，使用方便，使用寿命延长，安全性提高因此其应用前景十分广阔。

Description

一种真空镀膜生产线用传动机构

技术领域

本发明涉及真空镀膜生产线领域，具体说，是涉及一种真空镀膜生产线用传动机构。

背景技术

真空镀膜技术初现于20世纪30年代，四五十年代开始出现工业应用，工业化大规模生产开始于20世纪80年代，在电子、宇航、包装、装潢、烫金印刷等工业中取得广泛的应用。真空镀膜技术是一种新颖的材料合成与加工的新技术，是表面工程技术领域的重要组成部分。真空镀膜技术是利用物理、化学手段将固体表面涂覆一层特殊性能的镀膜，从而使固体表面具有耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、导电、导磁、绝缘和装饰灯许多优于固体材料本身的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。

为了减少工艺的复杂性，镀膜生产线中的各腔室空间狭小，仅能容基片架穿过，基片架在各腔室中通过安装在各腔室的传动机构传送。现有技术中，一般是传动机构中传动轮安装在各腔室内用于基片架的传送，传动机构中的驱动件安装在镀膜生产线中的各腔室外，驱动件中的驱动轴伸入到各腔室内来驱动传动轮转动，然后再密封，但是这种密封属于动密封，驱动轴的旋转还是会造成各腔室的漏气现象出现。真空镀膜生产线中，需要真空环境镀膜，镀膜生产线各腔室的气密性需要非常优良，在各腔壁上打孔都会增大漏气的可能性，即使采用各种机械密封或填料密封都有可能造成密封失效，因此如何将驱动件的运动传递给腔室内的传动轮，又不影响镀膜流水线中各腔室的气密性是一个亟需解决的问题。

磁力传动是采用现代最新永磁材料或电磁力，使主动件与从动件之间靠磁力的超矩特性，实现无接触、无泄漏传递扭矩的一种新技术。实现这一技术的装置称为磁力驱动器，或称磁力耦合器、磁力联动器等。

磁力耦合器选用永磁材料制成，利用永磁材料的高磁能积、高矫顽力的特性把不同极性的磁体密集排列在一起，当没有外力作用时，主动两侧相对的不同极性相互吸合在一起，当主动侧在一起外力作用下产生位移，从动侧由于惯性及负载的作用使主动、从动两侧的磁极发生错位，此时主动、从动两侧的磁极除了异极的相互吸引力之外，还有同极的相互斥力作用。吸力和斥力形成了“推拉”作用力，从而带动从动侧位移，实现磁力传动。磁力传动整个传动过程中，无从动轴和主动轴的直接接触，将动密封转换为静密封，从而保持气密性。

发明内容

针对现有技术存在的上述问题，本发明的目的是提供一种真空镀膜生产线用传动机构，将动密封转换为静密封，减少磨损，保持各镀膜生产线中各腔室的气密性。

为实现上述发明目的，本发明采用的技术方案如下：

一种真空镀膜生产线用传动机构，包括：一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器，主动组件和从动组件分别设置在磁力耦合器的两侧，主动组件受电驱动，通过磁力耦合器使主动组件驱动从动组件运动；所述主动组件包括一主动轴，所述主动轴包括一主动轴第一端部、一主动轴第二端部和一主动轴体，所述主动轴第一端部向所述主动轴第二端部延伸形成主动轴体，所述主动轴第二端部与所述磁力耦合器连接。

优选地，从动组件包括一从动轴和一传动轮，从动轴带动传动轮转动，主动轴和从动轴设置在磁力耦合器的两侧，磁力耦合器连接主动轴和从动轴。

优选地，主动组件进一步包括一带轮和一皮带，带轮设置在主动轴上，皮带连接真空镀膜生产线中的电机和主动轴上的带轮，主动轴受真空镀膜生产线中电机驱动。

更优选地，带轮设置在主动轴第一端部通过键连接。

更优选地，主动组件进一步包括至少一个主动轴键，主动轴键设置在带轮和主动轴第一端部之间。

更优选地，主动轴第一端部设有至少一个主动轴键槽，主动轴键槽的宽度与主动轴键的宽度一致，带轮上进一步包括一带轮内孔和至少一个带轮键槽，带轮内孔的内径与主动轴第一端部的直径一致，带轮键槽自带轮内孔上去除材料形成，带轮键槽的宽度与主动轴键的宽度一致。

更优选地，当带轮设置在主动轴第一端部上时，主动轴键槽与带轮键槽连通，主动轴键安置于主动轴键槽与带轮键槽之间，主动轴键槽和带轮键槽的深度不小于主动轴键的厚度。

更优选地，主动轴键槽的数量与主动轴键的数量一致。

优选地，从动轴进一步包括一从动轴第一端部、一从动轴第二端部和一从动轴体，从动轴第一端部向从动轴第二端部延伸形成从动轴体，从动轴第一端部与磁力耦合器连接。

优选地，传动轮设置在从动轴上，传动轮和从动轴通过键连接。

更优选地，从动组件进一步包括至少一个从动轴键，从动轴键设置在从动轴和传动轮之间。

更优选地，从动轴进一步包括至少一个从动轴键槽，从动轴键槽自从动轴第二端部去除材料形成，从动轴键槽的宽度与从动轴键的宽度一致。

更优选地，传动轮进一步包括一传动轮内孔和至少一个传动轮键槽，传动轮键槽自传动轮内孔上去除材料形成，传动轮内孔的直径与从动轴第二端部的直径一致，传动轮键槽的宽度与传动轮键的宽度一致。

更优选地，当传动轮安装在从动轴第二端部时，从动轴上的从动轴键槽与传动轮键槽连通，从动轴键安置在从动轴键槽与传动轮键槽之间，从动轴键槽和传动轮键槽的深度不小于从动轴键的厚度。

优选地，从动组件进一步包括一传动轮固定座，传动轮固定座设置在从动轴上，传动轮与传动轮固定座通过螺栓连接，防止传动轮从从动轴上脱落。

优选地，真空镀膜生产线用传动机构进一步包括一密封法兰，密封法兰设置在磁力耦合器上，密封法兰进一步包括一密封垫圈和一垫圈槽，密封垫圈放置在垫圈槽内。密封法兰将磁力耦合器安装在真空镀膜线中，防止磁力耦合器脱落。

优选地，该主动轴和从动轴采用磁性材料制成。

与现有技术相比，本发明提供的一种真空镀膜生产线用传动机构，采用磁力耦合器连接主动轴和从动轴，主动轴和从动轴之间无直接接触，无机械传动，减少磨损，将动密封转换为静密封，保持各镀膜生产线中各腔室的气密性，有效防止出现漏气现象产生，该传动机构结构简单，能耗减少，节约资源，使用方便，使用寿命延长，安全性提高因此其应用前景十分广阔。

附图说明

图1为本发明提供的真空镀膜生产线用传动机构的一种优选实施方式的示意图；

图2为本发明提供的真空镀膜生产线用传动机构的一种优选实施方式的主视图；

图3为本发明提供的真空镀膜生产线用传动机构的剖视图A-A；

图4为本发明提供的真空镀膜生产线用传动机构的剖视图B-B。

具体实施方式

下面结合实施方式及附图对本发明作进一步详细、完整地说明。

图1至图4，为本发明提供的真空镀膜生产线用传动机构的一种优选实施方式的示意图。该传动机构用于移动真空镀膜生产线中真空镀膜腔室内基片移动。如图1至图4所示，该传动机构包括一主动组件10，一从动组件20和一磁力耦合器30，主动组件10和从动组件20分别设置在磁力耦合器30的两侧，主动组件10受电驱动，通过磁力耦合器30使主动组件10的驱动从动组件20。

图2为本发明提供的真空镀膜生产线用传动机构的一种优选实施方式的主视图。如图2所示，主动组件10包括一主动轴11，主动轴11受真空镀膜生产线中电机驱动，从动组件20包括一从动轴21和一传动轮22，从动轴21带动传动轮22转动，主动轴11和从动轴21设置在磁力耦合器30的两侧，磁力耦合器30连接主动轴11和从动轴21。该主动轴11和从动轴21采用磁性材料制成。

主动组件10进一步包括一带轮12和一皮带13(图中未显示)，带轮12设置在主动轴11上，皮带13连接真空镀膜生产线中的电机和主动轴11上的带轮12，电机转动通过皮带13将运动传递给主动轴11上的带轮12，带轮12带动主动轴11旋转运动。

主动轴11包括一主动轴第一端部111、一主动轴第二端部112和一主动轴体113，从主动轴第一端部111向主动轴第二端部112延伸形成主动轴体113，主动轴第二端部112与磁力耦合器30接触。

图3所示为带轮12安装在主动轴11上的剖视图A-A，带轮12设置在主动轴第一端部111通过键连接。如图3所示，主动组件10进一步包括至少一个主动轴键14，主动轴键14设置在带轮12和主动轴第一端部111之间。主动轴第一端部111设有至少一个主动轴键槽1111，主动轴键槽1111的宽度与主动轴键14的宽度一致，带轮12上进一步包括一带轮内孔121和至少一个带轮键槽122，带轮内孔121的内径与主动轴第一端部111的直径一致，带轮键槽122自带轮内孔121上去除材料形成，带轮键槽122的宽度与主动轴键14的宽度一致。

当带轮12设置在主动轴第一端部111上时，主动轴键槽1111与带轮键槽121连通，主动轴键14安置于主动轴键槽1111与带轮键槽121之间，主动轴键槽1111和带轮键槽121的深度不小于主动轴键14的厚度。当带轮12受皮带13带动时，带轮12转动，带轮12中带轮键槽121内的主动轴键14转动，同时主动轴键14处于主动轴键槽1111内，这样主动轴键14转动时带动主动轴11转动，因此电机转动通过皮带13将运动传递给主动轴11上的带轮12，带轮12带动主动轴11旋转运动。

主动轴11受真空镀膜生产线中电机驱动而转动时，主动轴11和从动轴21在磁力耦合器30的两侧，通过耦合力，将主动轴11的转动传递给从动轴21。

真空镀膜生产线用传动机构进一步包括一密封法兰40，密封法兰40设置在磁力耦合器30上，密封法兰40进一步包括一密封垫圈41和一垫圈槽42，密封垫圈41放置在垫圈槽42内。密封法兰40将磁力耦合器30安装在真空镀膜线中，防止磁力耦合器30脱落。

从动轴21进一步包括一从动轴第一端部211、一从动轴第二端部212和一从动轴体213，从动轴第一端部211向从动轴第二端部212延伸形成从动轴体213，从动轴第一端部211与磁力耦合器30连接。

图4为传动轮22安装在从动轴21上的剖视图B-B。如图4所示，传动轮22设置在从动轴21上，传动轮22和从动轴21通过键连接。

从动组件20进一步包括至少一个从动轴键23，从动轴键23设置在从动轴21和传动轮22之间。从动轴21进一步包括至少一个从动轴键槽214，从动轴键槽214自从动轴第二端部212去除材料形成，从动轴键槽214的宽度与从动轴键23的宽度一致。

传动轮22进一步包括一传动轮内孔221和至少一个传动轮键槽222，传动轮键槽222自传动轮内孔221上去除材料形成，传动轮内孔221的直径与从动轴第二端部212的直径一致，传动轮键槽222的宽度与从动轴键23的宽度一致。

从动组件20进一步包括一传动轮固定座24，传动轮固定座24设置在从动轴21上，传动轮22与传动轮固定座24通过螺栓连接，防止传动轮22从从动轴21上脱落。

当传动轮22安装在从动轴第二端部212时，从动轴21上的从动轴键槽214与传动轮键槽222连通，从动轴键23安置在从动轴键槽214与传动轮键槽222之间，从动轴键槽214和传动轮键槽214的深度不小于从动轴键23的厚度。当从动轴21转动时，从动轴21中从动轴键槽214内从动轴键23转动，同时从动轴键23处于传动轮键槽214内，这样从动轴键23带动传动轮22转动，因此从动轴21带动传动轮22转动。

真空镀膜生产线中的电机启动，电机通过皮带13与主动轴11上带轮12连接，带轮12受皮带13带动，带轮12转动，带轮12中带轮键槽121内的主动轴键14转动，同时主动轴键14处于主动轴键槽1111内，主动轴键14转动时带动主动轴11转动，此时电机驱动主动轴11旋转；主动轴11和从动轴21在磁力耦合器30的两侧，通过耦合力，将主动轴11的转动传递给从动轴21；从动轴21因磁力耦合器30的传递主动轴11的转动而转动时，从动轴21中从动轴键槽214内从动轴键23转动，同时从动轴键23处于传动轮键槽214内，这样从动轴键23带动传动轮22转动，从动轴21带动传动轮22转动；真空镀膜生产线中的基片通过传动轮22转动而在真空镀膜生产线中移动。

最后有必要在此说明的是：以上实施例只用于对本发明的技术方案作进一步详细地说明，不能理解为对本发明保护范围的限制，本领域的技术人员根据本发明的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本发明的保护范围。

Claims (16)

1.一种真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于，包括：一主动组件、一从动组件和一磁力耦合器，所述主动组件和所述从动组件分别设置在所述磁力耦合器的两侧，所述主动组件受电驱动，通过所述磁力耦合器使所述主动组件驱动所述从动组件运动；所述主动组件包括一主动轴，所述主动轴包括一主动轴第一端部、一主动轴第二端部和一主动轴体，所述主动轴第一端部向所述主动轴第二端部延伸形成主动轴体，所述主动轴第二端部与所述磁力耦合器连接。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述从动组件包括一从动轴和一传动轮，所述从动轴带动所述传动轮转动，所述主动轴和所述从动轴设置在所述磁力耦合器的两侧，所述磁力耦合器连接所述主动轴和所述从动轴。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述主动组件进一步包括一带轮和一皮带，所述带轮设置在所述主动轴上，所述皮带连接所述真空镀膜生产线中的电机和所述主动轴上的带轮，所述主动轴受所述真空镀膜生产线中电机驱动。

4.根据权利要求3所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述带轮设置在所述主动轴第一端部。

5.根据权利要求4所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述主动组件进一步包括至少一个主动轴键，所述主动轴键设置在所述带轮和所述主动轴第一端部之间。

6.根据权利要求2或5所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述从动轴进一步包括一从动轴第一端部、一从动轴第二端部和一从动轴体，所述从动轴第一端部向所述从动轴第二端部延伸形成从动轴体，所述从动轴第一端部与所述磁力耦合器连接，所述传动轮设置在所述从动轴第二端部。

7.根据权利要求6所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述从动组件进一步包括一传动轮固定座，所述传动轮固定座设置在所述从动轴上，所述传动轮与所述传动轮固定座通过螺栓连接。

8.根据权利要求7所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述从动组件进一步包括至少一个从动轴键，所述从动轴键设置在所述从动轴和所述传动轮之间。

9.根据权利要求8所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述真空镀膜生产线用传动机构进一步包括一密封法兰，所述密封法兰设置在所述磁力耦合器上。

10.根据权利要求9所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述密封法兰进一步包括一密封垫圈和一垫圈槽，所述密封垫圈放置在所述垫圈槽内。

11.根据权利要求5所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述主动轴第一端部设有至少一个主动轴键槽，所述主动轴键槽的宽度与所述主动轴键的宽度一致。

12.根据权利要求11所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述带轮上进一步包括一带轮内孔和至少一个带轮键槽，所述带轮内孔的内径与所述主动轴第一端部的直径一致，所述带轮键槽自所述带轮内孔上去除材料形成，所述带轮键槽的宽度与所述主动轴键的宽度一致。

13.根据权利要求12所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述带轮设置在所述主动轴第一端部通过键连接，所述主动轴键槽与所述带轮键槽连通，所述主动轴键安置于所述主动轴键槽与所述带轮键槽之间，所述主动轴键槽和所述带轮键槽的深度不小于所述主动轴键的厚度。

14.根据权利要求8所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述从动轴进一步包括至少一个从动轴键槽，所述从动轴键槽自所述从动轴第二端部去除材料形成，所述从动轴键槽的宽度与所述从动轴键的宽度一致。

15.根据权利要求14所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述传动轮进一步包括一传动轮内孔和至少一个传动轮键槽，所述传动轮键槽自所述传动轮内孔上去除材料形成，所述传动轮内孔的直径与所述从动轴第二端部的直径一致，所述传动轮键槽的宽度与所述传动轮键的宽度一致。

16.根据权利要求15所述的真空镀膜生产线用传动机构，其特征在于：所述传动轮和所述从动轴通过键连接；所述从动轴上的从动轴键槽与所述传动轮键槽连通，所述从动轴键安置在所述从动轴键槽与所述传动轮键槽之间，所述从动轴键槽和所述传动轮键槽的深度不小于所述从动轴键的厚度。