CN104698584B - 双梁式热驱动可调谐滤波器及其制作方法 - Google Patents

Abstract

本申请提供一种双梁式热驱动可调谐滤波器及其制作方法，该可调谐滤波器包括：衬底1，在所述衬底1中形成有凹槽2和围绕所述凹槽2的台阶部2a；下层复合膜3，其形成为至少覆盖所述凹槽2的底部和侧壁；上层复合膜5，其与所述下层复合膜3隔开设置；红外吸收板9，其形成于所述第一部5a和所述第二部5b的表面；金属环8，其形成于所述第三部5c的表面；以及条形金属层7，其形成于所述第四部5d和所述第五部5e的表面；其中，在所述下层复合膜3和所述上层复合膜5之间形成为空腔11。根据本申请，实现了一种满足高选择性、低串扰、低损耗且成本低廉的可调谐滤波器。

Description

双梁式热驱动可调谐滤波器及其制作方法

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其涉及一种双梁式热驱动可调谐滤波器及其制作方法。

背景技术

在这个科技高速发展的时代，可调谐滤波器运用非常广泛，如光纤通讯，天文学，遥感测量等领域。其中，在高速和高密度WDM光通讯领域中，为了解决日益严重的系统带宽问题，主要采用高选择性、高透过率、低串扰、低损耗的分频滤光片区分各个信道。以往这种器件采用分立式的结构，对每个波长分别滤波。

随着信道数目的增加，滤光器件也增加。一个高质量的滤光器本来就价值不菲，如此使整个系统的成本大大提高。固定波长的滤波器随时间增加，受环境湿度及温度影响，极易产生中心波长漂移，使信号变差。

应该注意，上面对技术背景的介绍只是为了方便对本申请的技术方案进行清楚、完整的说明，并方便本领域技术人员的理解而阐述的。不能仅仅因为这些方案在本申请的背景技术部分进行了阐述而认为上述技术方案为本领域技术人员所公知。

发明内容

本申请采用MEMS微加工技术制作一种双梁式热驱动可调滤波器，通过吸收红外热辐射来热驱动处于双梁上的滤波器上层发生位移，利用法布里-珀罗干涉仪的原理，使得滤波器上下两层的空腔高度发生改变，从而改变滤波器的透过波长，实现了一种满足高选择性、低串扰、低损耗且成本低廉的可调谐滤波器。

根据本申请实施例的一个方面，提供一种双梁式热驱动可调谐滤波器的制作方法，该方法包括：

在衬底1中形成凹槽2和围绕所述凹槽2的台阶部2a；

形成至少覆盖所述凹槽2的底部和侧壁的下层复合膜3；

在所述下层复合膜3的表面形成填充所述凹槽2的牺牲层4；

在所述牺牲层4的表面，以及所述台阶部2a的表面形成上层复合膜5；

在所述上层复合膜5的表面形成条形金属层7、金属环8和红外吸收板9，其中，所述红外吸收板9设置于位于所述上层复合膜5的中央部13的两侧的第一部5a和第二部5b的表面，所述金属环8与所述台阶部2a的位置对应并覆盖所述上层复合膜5的第三部5c，所述条形金属层7覆盖连接于第一部5a和所述中央部13的所述上层复合膜5的第四部5d表面，以及连接于所述第二部5b和所述中央部13的所述上层复合膜5的第五部5e表面；

刻蚀所述上层复合膜5，以保留所述中央部13、所述第一部5a、所述第二部5b、所述第三部5c、所述第四部5d、所述第五部5e，以及悬浮梁14，其中，所述悬浮梁14用于将第一部5a和第二部5b连接于所述第三部5c；

释放所述牺牲层4，形成空腔11。

根据本申请实施例的另一个方面，其中，所述条形金属层7沿直线延伸或具有折弯结构。

根据本申请实施例的另一个方面，其中，所述第一部5a和所述第二部5b位于所述中央部13的沿第一方向的两侧，所述悬浮梁14沿第二方向延伸，所述第二方向垂直于所述第一方向。

根据本申请实施例的另一个方面，其中，并排设置的悬浮梁14之间连接有加强筋。

根据本申请实施例的另一个方面，提供一种双梁式热驱动可调谐滤波器，包括：

衬底1，在所述衬底1中形成有凹槽2和围绕所述凹槽2的台阶部2a；

下层复合膜3，其形成为至少覆盖所述凹槽2的底部和侧壁；

上层复合膜5，其与所述下层复合膜3隔开设置，所述上层复合膜5具有中央部13、位于中央部两侧的第一部5a和第二部5b、位于所述台阶部2a表面的第三部5c、连接于所述第一部5a和所述中央部13的条形的第四部5d、连接于所述第二部5b和所述中央部13的条形的第五部5e、以及用于将所述第一部5a和所述第二部5b与所述第三部5c连接的悬浮梁14；

红外吸收板9，其形成于所述第一部5a和所述第二部5b的表面；

金属环8，其形成于所述第三部5c的表面；以及

条形金属层7，其形成于所述第四部5d和所述第五部5e的表面；

其中，在所述下层复合膜3和所述上层复合膜5之间形成为空腔11。

根据本申请实施例的另一个方面，其中，所述条形金属层7沿直线延伸或具有折弯结构。

根据本申请实施例的另一个方面，其中，所述第一部5a和所述第二部5b位于所述中央部13的沿第一方向的两侧，所述悬浮梁14沿第二方向延伸，所述第二方向垂直于所述第一方向。

根据本申请实施例的另一个方面，其中，并排设置的悬浮梁14之间连接有加强筋15。

根据本申请实施例的另一个方面，其中，所述下层复合膜3和所述上层复合膜5均为3层以上。

根据本申请实施例的另一个方面，其中，所述下层复合膜3和所述上层复合膜5厚度相同或不同。

本申请的有益效果在于：该可调谐滤波器具有高选择性、低串扰、低损耗且成本低廉等优点。

参照后文的说明和附图，详细公开了本申请的特定实施方式，指明了本申请的原理可以被采用的方式。应该理解，本申请的实施方式在范围上并不因而受到限制。在所附权利要求的精神和条款的范围内，本申请的实施方式包括许多改变、修改和等同。

针对一种实施方式描述和/或示出的特征可以以相同或类似的方式在一个或更多个其它实施方式中使用，与其它实施方式中的特征相组合，或替代其它实施方式中的特征。

应该强调，术语“包括/包含”在本文使用时指特征、整件、步骤或组件的存在，但并不排除一个或更多个其它特征、整件、步骤或组件的存在或附加。

附图说明

所包括的附图用来提供对本申请实施例的进一步的理解，其构成了说明书的一部分，用于例示本申请的实施方式，并与文字描述一起来阐释本申请的原理。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。在附图中：

图1是本申请实施例的双梁式热驱动可调谐滤波器的一个器件结构俯视图；

图2是本申请实施例的双梁式热驱动可调谐滤波器的一个器件结构的纵向剖视图；

图3是本申请实施例的双梁式热驱动可调谐滤波器的另一个器件结构俯视图；

图4是本申请实施例的双梁式热驱动可调谐滤波器制作方法的一个流程示意图；

图5A-图5K是本申请实施例的双梁式热驱动可调谐滤波器制作方法的每一步对应的器件结构剖示图。

具体实施方式

参照附图，通过下面的说明书，本申请的前述以及其它特征将变得明显。在说明书和附图中，具体公开了本申请的特定实施方式，其表明了其中可以采用本申请的原则的部分实施方式，应了解的是，本申请不限于所描述的实施方式，相反，本申请包括落入所附权利要求的范围内的全部修改、变型以及等同物。

在本申请中，为了说明方便，将该衬底的形成凹槽的面称为“上表面”，将该衬底的与该“上表面”相对的面称为“下表面”，由此，“上”方向是指从“下表面”指向“上表面”的方向，“下”方向与“上”方向相反，并且，将“上”方向与“下”方向统称为“纵向”，将与该衬底的“上表面”平行的方向称为“横向”。需要说明的是，在本申请中，“上”和“下”的设定是相对而言，仅是为了说明方便，并不代表具体使用或制造该可调谐滤波器的方位。

实施例1

本申请实施例1提供一种双梁式热驱动可调谐滤波器。图1是该可调谐滤波器的一个器件结构的俯视图，图2是该可调谐滤波器的一个器件结构的纵向剖视图。如图1、图2所示，该可调谐滤波器100包括衬底1、下层复合膜3、上层复合膜5、红外吸收板9、金属环8和条形金属层7，其中，在该下层复合膜3和该上层复合膜5之间形成为空腔11。

在本实施例中，在所述衬底1中形成有凹槽2和围绕所述凹槽2的台阶部2a；下层复合膜3形成为至少覆盖凹槽2的底部和侧壁；上层复合膜5与下层复合膜3隔开设置，并且，所述上层复合膜5具有中央部13、位于中央部两侧的第一部5a和第二部5b、位于所述台阶部2a表面的第三部5c、连接于所述第一部5a和所述中央部13的条形的第四部5d、连接于所述第二部5b和所述中央部13的条形的第五部5e、以及用于将所述第一部5a和所述第二部5b与所述第三部5c连接的悬浮梁14；红外吸收板9形成于所述第一部5a和所述第二部5b的表面；金属环8形成于所述第三部5c的表面；条形金属层7形成于所述第四部5d和所述第五部5e的表面。

在本实施例中，红外吸收板9的数量可以是2个，用于吸收外界热辐射源所发出的红外辐射并产生热量；金属环8可使不同部位玻璃衬底的温度保持均匀一致；悬浮梁14的数量可以是4个，其具有条形，用于最大化减少由红外吸收板9向该衬底1热量热传导损失的作用；由条形金属层7和位于其下方的第四部5d以及第五部5e，形成2个双材料悬臂梁12，其用于充分吸收由红外吸收板9产生的热量。

在本实施例中，由于组成双材料悬臂梁12的两种材料的热膨胀系数不同，导致双材料悬臂梁12发生弯曲变形，使得上层复合膜5中央部13拱起，空腔11的高度h变高。

在本实施例中，由下层复合膜3、上层复合膜5的中央部13以及空腔11组成的结构形成了一可调谐的法布里-珀罗干涉结构。根据法布里-珀罗干涉仪原理，当光从上层复合膜5顶端正入射时，该高度h与透过率极大值的中心波长λ关系为2nh＝mλ，其中，m为干涉级次，n为间隔层材料的折射率，这里是空腔11中空气的折射率。可见，当高度h发生变化时，透过率极大值的中心波长λ也会相应发生变化，使得该滤波器达到热驱动可调谐的目的，其中，具有该透过率极大值的中心波长λ的光从衬底1中射出。由此，通过控制红外吸收板9所吸收的热量，调整该滤波器的透光波长。

在本实施例中，该衬底1例如可以是玻璃，但本实施不限于此，该衬底1也可以是其它的透明材料，例如氧化铝或氧化铟锡(ITO)等。

在本实施例中，该下层复合膜3和该上层复合膜5可以均为3层以上，例如，该上层复合膜5和下层复合膜3可以是由氮化硅(Si3N4)、氧化硅(SiO2)、非晶硅(a-Si)等非导电性介质膜以不同排列次序组合而成。

在本实施例中，该下层复合膜3和所述上层复合膜5厚度可以相同或不同，本申请实施例对此并不作具体的限定。

在本实施例中，所述第一部5a和所述第二部5b可以位于所述中央部13的沿第一方向的两侧，所述悬浮梁14可以沿第二方向延伸，并且所述第二方向垂直于所述第一方向。在图1中，该第一方向、第二方向例如分别可以是图中的X方向、Y方向。

在本实施例中，悬浮梁14用于该可调谐滤波器的上层结构进行机械支撑，其数量可以是4个，但本实施例并不限于此，也可以是其它的数量。

图3是该可调谐滤波器的另一个器件结构的俯视图，如图3所示，在并排设置的悬浮梁14之间可以连接有加强筋15，在不影响隔热效果的同时，增加结构的机械稳定性。

在本实施例中，该条形金属层7可以沿直线延伸，并且，该条形的第四部5d和第五部5e与条形金属层7对应地也可以沿直线延伸，如图1所示。但是，本实施例并不限于此，该条形金属层7也可以具有折弯结构，如图3所示，条形金属层7设置为具有折弯结构，并且该条形的第四部5d和第五部5e也可以具有与条形金属层7相同的折弯结构，由此，形成具有折弯结构的双材料悬臂梁12，并且该双材料悬臂梁12的长度被有效增加，从而增加该滤波器的灵敏度。

在本实施例中，该红外吸收板9可以是钛(Ti)、氮化钛(TiN)、钽(Ta)、氮化钽(TaN)、金黑(Gold black)、硅黑(Silcon black)等材料，金属环8和条形金属层7可采用铝(Al)、钛(Ti)、或铬(Cr)等。

本申请的双梁式热驱动可调谐滤波器通过接受外界热辐射从而产生热量导致双材料悬臂梁12发生形变，由此改变法布里-珀罗干涉结构的空腔高度，使得其透过波长发生改变，形成可调谐的滤波效果。这种双梁式热驱动可调谐滤波器只需一小型可控热辐射源即可控制滤波的波段，而无需其他外部电路，因此可以满足高选择性、低串扰、低损耗的要求。

实施例2

本申请实施例2提供一种双梁式热驱动可调谐滤波器的制作方法，用于制造实施例1所述的可调谐滤波器。图4是该可调谐滤波器的制作方法的一个流程示意图，如图4所示，该可调谐滤波器的制造方法包括：

S401，在衬底1中形成凹槽2和围绕所述凹槽2的台阶部2a；

S402，形成至少覆盖所述凹槽2的底部和侧壁的下层复合膜3；

S403，在所述下层复合膜3的表面形成填充所述凹槽2的牺牲层4；

S404，在所述牺牲层4的表面，以及所述台阶部2a的表面形成上层复合膜5；

S405，在所述上层复合膜5的表面形成条形金属层7、金属环8和红外吸收板9；

S406，刻蚀所述上层复合膜5；

S407，释放所述牺牲层4，形成空腔11。

图5是该可调谐滤波器的制作方法的每一步对应的器件结构的纵剖面示意图。下面，结合图4和图5，对本实施例的可调谐滤波器的制作方法进行说明。

S401，在衬底1中形成凹槽2和围绕所述凹槽2的台阶部2a，如图5A所示。

在S401中，该衬底1例如可以是玻璃晶圆，可以在玻璃晶圆上通过掩模版光刻需要刻蚀的图形，用湿法腐蚀的方法刻蚀该图形，形成该凹槽2和台阶部2a。

S402，形成至少覆盖所述凹槽2的底部和侧壁的下层复合膜3，如图5B所示。此外，在本实施例中，该下层复合膜3也可以进一步覆盖在台阶部2a的表面。

S403，在所述下层复合膜3的表面形成填充所述凹槽2的牺牲层4，如图5C所示。在本步骤中，例如可以通过旋涂的方法形成该牺牲层4，该牺牲层4例如可以不覆盖台阶部2a。

S404，在所述牺牲层4的表面，以及所述台阶部2a的表面形成上层复合膜5，如图5D所示。

S405，在所述上层复合膜5的表面形成条形金属层7、金属环8和红外吸收板9，如图5E-5H所示。

该步骤S405可以进一步包含以下步骤：

S1、沉积金属层6，并图形化金属层6以形成条形金属层7和金属环8，如图5E、5F所示；其中，在上层复合膜5上沉积一层金属层6(图5E)，通过掩模版光刻和例如湿法腐蚀的方法刻蚀形成金属层7和金属环8(图5F)。

S2、沉积红外吸收层9a，并图形化该红外吸收层9a以形成红外吸收板9，如图5G、5H所示；其中，先沉积一层红外吸收层9a(图5G)，通过掩模版光刻和例如湿法腐蚀的方法刻蚀，以形成红外吸收板9(图5H)。

在本实施例中，所述红外吸收板9设置于位于所述上层复合膜5的中央部13的两侧的第一部5a和第二部5b的表面，所述金属环8与所述台阶部2a的位置对应并覆盖所述上层复合膜5的第三部5c，所述条形金属层7覆盖连接于第一部5a和所述中央部13的所述上层复合膜5的第四部5d表面，以及连接于所述第二部5b和所述中央部13的所述上层复合膜5的第五部5e表面。

在本实施例中，该金属层7和金属环8可以由相同的金属层形成，也可以由不同的金属层形成。

在上述的图5E-5H的步骤中，先形成金属层7和金属环8，在形成红外吸收板9，但本实施例并不限于此，也可以先形成红外吸收板9，再形成金属层7和金属环8。

S406，刻蚀所述上层复合膜5，如图5I所示。

在本步骤中，可以通过掩模版光刻的方式在上层复合膜5表面形成图形，并通过干法刻蚀的方法刻蚀该图形。例如，刻蚀后的所述上层复合膜5可以保留所述中央部13、所述第一部5a、所述第二部5b、所述第三部5c、所述第四部5d、所述第五部5e，以及悬浮梁14，其中，所述悬浮梁14用于将第一部5a和第二部5b连接于所述第三部5c；并且，被刻蚀掉的部分10可以使牺牲层4露出。

S407，释放所述牺牲层4，形成空腔11，如图5J所示，并且，由条形金属层7和位于其下方的第四部5d以及第五部5e形成2个双材料悬臂梁12，由于本征应力的作用，该双材料悬臂梁12会发生弯曲变形，使得上层复合膜5的中央部13向上拱起。

在本实施例中，牺牲层4的材料可选用聚酰亚胺(PI)、非晶硅(a-Si)、多晶硅(polySi)、氧化硅(SiO2)、光刻胶(PR)等MEMS微加工常用的牺牲层；上层复合膜5和下层复合膜3可选用氮化硅(Si3N4)、氧化硅(SiO2)、非晶硅(a-Si)等非导电性介质膜的不同排列次序组合；红外吸收板9的材料可以是钛(Ti)、氮化钛(TiN)、钽(Ta)、氮化钽(TaN)、金黑(Gold black)或硅黑(Silcon black)等；金属环8和条形金属层7可采用铝(Al)、钛(Ti)或铬(Cr)等。

在本实施例中，与实施例1相同地，该条形金属层7可以沿直线延伸或具有折弯结构；所述第一部5a和所述第二部5b位于所述中央部13的沿第一方向的两侧，所述悬浮梁14沿第二方向延伸，所述第二方向垂直于所述第一方向；在并排设置的悬浮梁14之间可以连接有加强筋15。

根据上述说明可知，本申请采用MEMS微加工技术，形成双梁式热驱动可调谐滤波器，该双梁式热驱动可调谐滤波器通过接受外界热辐射从而产生热量导致双材料悬臂梁12发生形变，由此改变法布里-珀罗干涉结构的空腔高度，使得其透过波长发生改变，形成可调谐的滤波效果。这种双梁式热驱动可调谐滤波器只需一小型可控热辐射源即可控制滤波的波段，而无需其他外部电路，因此可以满足高选择性、低串扰、低损耗的要求，而且通过MEMS微加工技术使得其单个制作成本大大降低，利于市场推广。

下面，结合具体实例和图5，详细说明本实施例的制作方法的一个具体实施方式，在本具体实施方式中，牺牲层采用聚酰亚胺(PI)，下层和上层复合膜都采用氮化硅(Si3N4)/氧化硅(SiO2)/(a-Si)/氧化硅(SiO2)/氮化硅(Si3N4)的组合，红外吸收板采用氮化钛(TiN)，金属环和条形金属层都采用铝(Al)。

具体步骤如下：

1)如图5A所示，在玻璃晶圆1上通过掩模版光刻涂覆在玻璃晶圆1上的光刻胶图形，用氢氟酸(HF)湿法腐蚀的方法刻蚀该图形，形成一凹槽2，凹槽2周围是台阶部2a。

2)如图5B所示，在玻璃晶圆1上用PECVD的方法沉积氮化硅(Si3N4)/氧化硅(SiO2)/(a-Si)/氧化硅(SiO2)/氮化硅(Si3N4)五层复合膜，作为可调谐滤波器的下层复合膜3。

3)如图5C所示，在已形成的下层复合膜3的基础上旋涂一层聚酰亚胺(PI)胶，固化后用CMP的方法去除多余的聚酰亚胺(PI)，形成可调谐滤波器的牺牲层4。

4)如图5D所示，继续用PECVD的方法沉积氮化硅(Si3N4)/氧化硅(SiO2)/(a-Si)/氧化硅(SiO2)/氮化硅(Si3N4)五层复合膜，该复合膜的厚度可以与下层复合膜3一致也可以不同，作为可调谐滤波器的上层复合膜5。

5)如图5E、5F所示，用蒸发或溅射的方法沉积一层铝薄膜6，通过掩模版光刻涂覆在铝薄膜上的光刻胶图形，用湿法腐蚀的方法刻蚀该图形，形成双材料悬臂梁12的金属层7和用于均匀玻璃衬底温度的金属环8。

6)如图5G、5H所示，用蒸发或者溅射的方法沉积一层氮化钛(TiN)9a，通过掩模版光刻涂覆在氮化钛(TiN)薄膜上的光刻胶图形，用RIE或IBE或湿法腐蚀的方法刻蚀该图形，形成红外吸收板9。

7)如图5I所示，用形成光刻胶图像并用RIE的方法刻蚀上层复合膜5，使之形成连接双材料悬臂梁12的上层复合膜5中间央部13，同时形成连接红外吸收板9的孤立悬浮梁14。在该刻蚀过程中，红外吸收板9、条形金属层7和金属环8可以作为刻蚀的阻挡层，以保护其下方的上层复合膜5不被刻蚀。被刻蚀掉的部分10使得牺牲层4露出露出。

8)如图5J、5K所示，释放牺牲层4，形成空腔11。此时，由于本征应力的作用，双材料悬臂梁12会向上鼓起。

9)切割晶圆，双梁式热驱动可调谐滤波器制作完成。

以上结合具体的实施方式对本申请进行了描述，但本领域技术人员应该清楚，这些描述都是示例性的，并不是对本申请保护范围的限制。本领域技术人员可以根据本申请的精神和原理对本申请做出各种变型和修改，这些变型和修改也在本申请的范围内。

Claims (10)

1.一种双梁式热驱动可调谐滤波器的制作方法，该方法包括：

在衬底(1)中形成凹槽(2)和围绕所述凹槽(2)的台阶部(2a)；

形成至少覆盖所述凹槽(2)的底部和侧壁的下层复合膜(3)；

在所述下层复合膜(3)的表面形成填充所述凹槽(2)的牺牲层(4)；

在所述牺牲层(4)的表面，以及所述台阶部(2a)的表面形成上层复合膜(5)；

在所述上层复合膜(5)的表面形成条形金属层(7)、金属环(8)和红外吸收板(9)，其中，所述红外吸收板(9)设置于位于所述上层复合膜(5)的中央部(13)的两侧的第一部(5a)和第二部(5b)的表面，所述金属环(8)与所述台阶部(2a)的位置对应并覆盖所述上层复合膜(5)的第三部(5c)，所述条形金属层(7)覆盖连接于第一部(5a)和所述中央部(13)的所述上层复合膜(5)的第四部(5d)表面，以及连接于所述第二部(5b)和所述中央部(13)的所述上层复合膜(5)的第五部(5e)表面；

刻蚀所述上层复合膜(5)，以保留所述中央部(13)、所述第一部(5a)、所述第二部(5b)、所述第三部(5c)、所述第四部(5d)、所述第五部(5e)，以及悬浮梁(14)，其中，所述悬浮梁(14)用于将第一部(5a)和第二部(5b)连接于所述第三部(5c)；

释放所述牺牲层(4)，形成空腔(11)。

2.如权利要求1所述的可调谐滤波器的制作方法，其中，

所述条形金属层(7)沿直线延伸或具有折弯结构。

3.如权利要求1所述的可调谐滤波器的制作方法，其中，

所述第一部(5a)和所述第二部(5b)位于所述中央部(13)的沿第一方向的两侧，所述悬浮梁(14)沿第二方向延伸，所述第二方向垂直于所述第一方向。

4.如权利要求1所述的可调谐滤波器的制作方法，其中，

并排设置的悬浮梁(14)之间连接有加强筋。

5.一种双梁式热驱动可调谐滤波器，包括：

衬底(1)，在所述衬底(1)中形成有凹槽(2)和围绕所述凹槽(2)的台阶部(2a)；

下层复合膜(3)，其形成为至少覆盖所述凹槽(2)的底部和侧壁；

上层复合膜(5)，其与所述下层复合膜(3)隔开设置，所述上层复合膜(5)具有中央部(13)、位于中央部两侧的第一部(5a)和第二部(5b)、位于所述台阶部(2a)表面的第三部(5c)、连接于所述第一部(5a)和所述中央部(13)的条形的第四部(5d)、连接于所述第二部(5b)和所述中央部(13)的条形的第五部(5e)、以及用于将所述第一部(5a)和所述第二部(5b)与所述第三部(5c)连接的悬浮梁(14)；

红外吸收板(9)，其形成于所述第一部(5a)和所述第二部(5b)的表面；

金属环(8)，其形成于所述第三部(5c)的表面；以及

条形金属层(7)，其形成于所述第四部(5d)和所述第五部(5e)的表面；

其中，在所述下层复合膜(3)和所述上层复合膜(5)之间形成为空腔(11)。

6.如权利要求5所述的双梁式热驱动可调谐滤波器，其中，

所述条形金属层(7)沿直线延伸或具有折弯结构。

7.如权利要求5所述的双梁式热驱动可调谐滤波器，其中，

所述第一部(5a)和所述第二部(5b)位于所述中央部(13)的沿第一方向的两侧，所述悬浮梁(14)沿第二方向延伸，所述第二方向垂直于所述第一方向。

8.如权利要求5所述的双梁式热驱动可调谐滤波器，其中，

并排设置的悬浮梁(14)之间连接有加强筋(15)。

9.如权利要求5所述的双梁式热驱动可调谐滤波器，其中，

所述下层复合膜(3)和所述上层复合膜(5)均为3层以上。

10.如权利要求5所述的双梁式热驱动可调谐滤波器，其中，

所述下层复合膜(3)和所述上层复合膜(5)厚度相同或不同。