CN104647200A - 一种含研磨液过滤装置的研磨机 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种含研磨液过滤装置的研磨机，包括研磨机（1）和研磨液管道（2），其特征是所述的研磨液管道串接有圆柱形漏斗（3），所述的圆柱形漏斗（3）两端设有进砂口（4）和出砂口（5），所述的圆柱形漏斗（3）内腔中可拆卸连接有过滤装置（6），所述的过滤装置（6）位于进砂口下部，所述的过滤装置（6）设有海绵和磁铁。研磨液使用前，通过圆柱形漏斗，圆柱形漏斗中的过滤装置将研磨液中的铁屑和杂质吸附走。从而确保研磨液纯净物杂质，杜绝晶片在研磨过程中存在的表面划伤与碎片现象。

Description

一种含研磨液过滤装置的研磨机
技术领域
本发明涉及研磨机，尤其涉及一种研磨液过滤装置。
背景技术
研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床。主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面。石英晶片研磨机在研磨过程中由于研磨液不干净容易在晶片上产生划痕与碎片，研磨液中含有的异物如铁屑、水中的杂质等严重影响了晶片的出片率、晶片电阻与寄生频率。
发明内容
本发明的目的是解决研磨机中研磨液不干净的问题，提供一种含研磨液过滤装置的研磨机。
本发明采用的技术方案是：一种含研磨液过滤装置的研磨机，包括研磨机和研磨液管道，所述的研磨液管道串接有圆柱形漏斗，所述的圆柱形漏斗两端设有进砂口和出砂口，所述的圆柱形漏斗内腔中可拆卸连接有过滤装置，所述的过滤装置位于进砂口下方，所述的过滤装置设有海绵和磁铁。利用海绵和磁铁吸附研磨液中的铁屑和杂质。
作为本发明的进一步改进，所述的圆柱形漏斗顶部设有顶盖。
本发明采用的有益效果是：研磨液使用前，通过圆柱形漏斗，圆柱形漏斗中的过滤装置将研磨液中的铁屑和杂质吸附走。从而确保研磨液纯净物杂质，杜绝晶片在研磨过程中存在的表面划伤与碎片现象。
附图说明
图1为本发明示意图。
图中所示：1 研磨机，2 研磨液管道，3 圆柱形漏斗，4 进砂口，5 出砂口，6 过滤装置。
具体实施方式
下面结合图1，对本发明做进一步的说明。
如图1所示，一种含研磨液过滤装置的研磨机，包括研磨机1和研磨液管道2，研磨液管道串接有圆柱形漏斗3，圆柱形漏斗3两端设有进砂口4和出砂口5，圆柱形漏斗3内腔中可拆卸连接有过滤装置6，过滤装置6位于进砂口下方，过滤装置6内设有海绵和磁铁。研磨液通过进砂口4进入圆柱形漏斗3内腔中，通过过滤装置6，被过滤装置6中的海绵和磁铁吸附走研磨液中掺杂的铁屑和杂质。从而确保研磨液纯净物杂质，杜绝晶片在研磨过程中存在的表面划伤与碎片现象。
圆柱形漏斗3顶部设有顶盖，方便将圆柱形漏斗3中的过滤装置6取出。确保过滤装置吸附研磨液中的铁屑和杂质过多后，工作效率不高或不起吸附作用时，重新更换过滤装置，确保了生产工作的正常运行。

Claims (2)

1.一种含研磨液过滤装置的研磨机，包括研磨机（1）和研磨液管道（2），其特征是所述的研磨液管道串接有圆柱形漏斗（3），所述的圆柱形漏斗（3）两端设有进砂口（4）和出砂口（5），所述的圆柱形漏斗（3）内腔中连接有过滤装置（6），所述的过滤装置（6）位于进砂口下方，所述的过滤装置（6）内设有海绵和磁铁。
2.根据权利要求1所述的一种含研磨液过滤装置的研磨机，其特征是所述的圆柱形漏斗（3）顶部设有顶盖。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106691234A (zh) * 2017-02-06 2017-05-24 郑州蓝山咖啡机械科技有限公司 咖啡豆研磨装置
CN115464561A (zh) * 2022-09-22 2022-12-13 上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司 一种研磨液供应装置、系统及方法

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PB01 Publication
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Application publication date: 20150527