CN104638054A - 一种改善选择性发射极太阳能电池片喷蜡断线的方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种改善选择性发射极太阳能电池片喷蜡断线的方法，具体步骤如下：在喷蜡机台的正上方安装两个紫光灯，分别位于机台的左右或者前后两侧，同时要保证两个紫光灯打在机台上的光区有交叉区域，紫光灯需安装在载片台上1～1.2m高的位置；在制备掩膜的过程中，打开紫光灯，按照喷蜡图形采用带有荧光成分的石蜡进行喷蜡制备掩膜，在紫光灯下发出荧光，与非掩膜区域会形成非常鲜明的对比，如果此时掩膜图形存在断线问题将会被及时发现。本发明的有益效果是在选择性发射极太阳能电池片制备掩膜的过程中极易发现断线问题，使电池片中低效片的比例降低8%。
Description
技术领域
本发明涉及选择性发射极太阳能电池片的制造技术，具体地涉及一种改善选择性发射极太阳能电池片喷蜡断线的方法。
背景技术
选择性发射极（SE）太阳能电池即在金属栅线（电极）与硅片接触部位进行重掺杂，在电极之间位置进行轻掺杂。该工艺既可以保证金属栅线区有比较好的接触电阻，在非栅线区的轻掺杂又能改善扩散后的死层问题。目前大多数公司采用的SE工艺流程如下：清洗制绒，低方阻扩散，喷涂掩膜，背刻蚀和正面刻蚀，PECVD镀膜，印刷烧结。该工艺流程可以使金属栅线区保证高浓度、较深的PN结，非栅线区由于正面刻蚀的原因，将硅片去掉约10nm左右的一层，最终得到低浓度、较浅的PN结。该工序经常发生由于喷头堵塞导致的图形断线问题，且生存过程中不易发现。在实际生产中喷涂的掩膜为石蜡，该断线问题使得掩膜缺失，使本该被掩膜保护的区域被刻蚀掉，导致该区域形成低浓度、较浅的PN结，印刷金属栅线后影响接触电阻，使得电池片的串联电阻上升从而导致电池片的效率降低。喷蜡过程中小的断线很难被及时发现，导致大量低效率电池片的产生。
发明内容
本发明的目的是提供一种改善选择性发射极太阳能电池片喷蜡断线的方法，降低电池片的低效比例。
为了解决上述技术问题，本发明采用的技术方案是提供一种改善选择性发射极太阳能电池片喷蜡断线的方法，具体步骤如下：
（1） 在喷蜡机台的正上方安装两个紫光灯，分别位于机台的左右或者前后两侧，同时要保证两个紫光灯打在机台上的光区有交叉区域，紫光灯需安装在载片台上1～1.2m高的位置；
（2） 在制备掩膜的过程中，打开紫光灯，按照喷蜡图形采用带有荧光成分的石蜡进行喷蜡制备掩膜，在紫光灯下发出荧光，与非掩膜区域会形成非常鲜明的对比，如果此时掩膜图形存在断线问题将会被及时发现。
本发明的有益效果是在选择性发射极太阳能电池片制备掩膜的过程中极易发现断线问题，使电池片中低效片的比例降低8%。
附图说明
附图1 本发明提供的技术方案实施时的示意图。
Claims (4)
1.一种改善选择性发射极太阳能电池片喷蜡断线的方法，其特征在于，具体步骤如下：
第一步：在喷蜡机台的正上方安装两个紫光灯；
第二步：在制备掩膜的过程中，打开紫光灯，按照喷蜡图形进行喷蜡制备掩膜。
2.根据权利要求1所述的一种改善选择性发射极太阳能电池片喷蜡断线的方法，其特征在于：所述的两个紫光灯分别位于机台的左右或者前后两侧，同时要保证两个紫光灯打在机台上的光区有交叉区域。
3.根据权利要求1所述的一种改善选择性发射极太阳能电池片喷蜡断线的方法，其特征在于：所述的紫光灯需安装在载片台上1～1.2m高的位置。
4.根据权利要求1所述的一种改善选择性发射极太阳能电池片喷蜡断线的方法，其特征在于：所述的制备掩膜过程中使用的石蜡需带有荧光成分。
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2013
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