CN104617011A - 一种化学液供给系统 - Google Patents
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Abstract
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种化学液供给系统，包括由气动泵、过滤器、加热器、冷却器、节流阀及供液桶依次相连形成的主循环管路和连通于加热器与冷却器之间的分支管路，气动泵与过滤器之间的管路上、节流阀与供液桶之间的管路上以及供液桶与气动泵之间的管路上分别设有控制管路通断的药液阀，供液桶内的化学液由气动泵泵入主循环管路内，通过过滤器过滤、加热器加热，被加热后的化学液经冷却器和节流阀流回供液桶中；分支管路与向晶圆喷洒化学液的摆臂喷嘴管路相连通，在该分支管路上依次设有控制摆臂喷嘴管路所需流量的流量计及控制管路通断的药液阀。本发明功能整合，成本低，功能多，结构简单紧凑。
Description
技术领域
本发明属于半导体行业晶片湿法处理领域，具体地说是一种化学液供给系统。
背景技术
目前，半导体行业中晶片湿法处理设备都涉及到化学液的供给，而随着设备的自动化程度和功能越来越完善，相应的化学液供给系统也变得越来越庞大和复杂。而如何整合和优化供液系统的设计就成为了一个不可避免的问题。
发明内容
为了解决化学液供给系统因功能的要求越来越多而导致系统元件臃肿的问题，本发明的目的在于提供一种化学液供给系统。该化学液供给系统采用了功能整合的设计，并且实现了所需的全部功能。
本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：
本发明包括由气动泵、过滤器、加热器、冷却器、节流阀及供液桶依次相连形成的主循环管路和连通于加热器与冷却器之间的分支管路，所述气动泵与过滤器之间的管路上、节流阀与供液桶之间的管路上以及供液桶与气动泵之间的管路上分别设有控制管路通断的药液阀，所述供液桶内的化学液由气动泵泵入主循环管路内，通过所述过滤器过滤、加热器加热，被加热后的化学液经所述冷却器和节流阀流回所述供液桶中；所述分支管路与向晶圆喷洒化学液的摆臂喷嘴管路相连通，在该分支管路上依次设有控制所述摆臂喷嘴管路所需流量的流量计及控制管路通断的药液阀。
其中：所述气动泵与过滤器之间的药液阀为第一两位三通药液阀，该第一两位三通药液阀上的两个端口分别通过管路与所述气动泵及过滤器相连通，第三个端口连通有排废管路，所述供液桶中的液体可由该排废管路排出；所述过滤器与排废管路之间通过管路相连，在所述管路上设有第一两位两通药液阀，过滤器和加热器中的残留液体通过气动泵的作用经第一两位两通药液阀、由所述排废管路排出；
所述气动泵与供液桶之间管路上设置的药液阀为第二两位三通药液阀，该第二两位三通药液阀上的两个端口分别通过管路与所述气动泵及供液桶相连通，第三个端口通过补液管与盛放化学液的容器相连通，通过所述气动泵的作用将所述容器内的化学液补充进所述供液桶中；
所述供液桶连通有清洗整个管路的去离子水源，该去离子水源与供液桶之间的管路上设有控制管路通断的药液阀。
本发明的优点与积极效果为：
1.本发明的供给系统功能整合，成本低，功能多，结构简单紧凑，占地面积小，保证设备的化学液喷洒可靠可控，耗气量小，能耗低。
2.本发明可对化学液进行加热和冷却，摆臂喷嘴的流量可由节流阀的开度和流量计的配合来调整。
3.本发明可实现供液桶中液体排废及过滤器和加热器中残留液体的快速排出，还可以对整个管路系统进行清洗。
4.本发明的气动泵既可用于供给系统供液，又可用于供液桶补液。
附图说明
图1为本发明的结构原理图；
其中：1为气动泵，2为第一两位三通药液阀，3为第二两位三通药液阀，4为第一两位两通药液阀，5为过滤器，6为加热器，7为冷却器，8为节流阀，9为第二两位两通药液阀，10为供液桶，11为第三两位两通药液阀，12为流量计，13为第四两位两通药液阀，14为排废管路。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步详述。
如图1所示，本发明包括由气动泵1、过滤器5、加热器6、冷却器7、节流阀8及供液桶10依次相连形成的主循环管路和连通于加热器6与冷却器7之间的分支管路，在气动泵1与过滤器5之间的管路上设置有第一两位三通药液阀2，该第一两位三通药液阀2上的两个端口分别通过管路与气动泵1及过滤器5相连通，第三个端口连通有排废管路14，供液桶10中的液体可由该排废管路14排出。在节流阀8与供液桶10之间的管路上设置有第二两位两通药液阀9，该第二两位两通药液阀9的两个端口分别通过管路与节流阀8及供液桶10相连通。在供液桶10与气动泵1之间的管路上设置有第二两位三通药液阀3，该第二两位三通药液阀3上的两个端口分别通过管路与气动泵1及供液桶10相连通，第三个端口通过补液管与盛放化学液的容器相连通，通过气动泵1的作用将容器内的化学液补充进供液桶10中。供液桶10内的化学液由气动泵1泵入主循环管路内，通过过滤器5过滤、加热器6加热，被加热后的化学液经冷却器7和节流阀8流回供液桶10中，进而形成主循环管路。分支管路与向晶圆喷洒化学液的摆臂喷嘴管路相连通，在该分支管路上依次设有控制摆臂喷嘴管路所需流量的流量计12及控制管路通断的第四两位两通药液阀13，该第四两位两通药液阀13的两个端口分别与流量计12及摆臂喷嘴管路相连通。
为了使过滤器5和加热器6中残留的液体可以快速排出，过滤器5与排废管路14之间通过管路相连，在该管路上设有第一两位两通药液阀4，过滤器5和加热器6中的残留液体通过气动泵1的作用经第一两位两通药液阀4、由排废管路14排出。
为了清洗整个管路，供液桶10连通有清洗整个管路的去离子水源，该去离子水源与供液桶10之间的管路上设有控制管路通断的第三两位两通药液阀11。
本发明的工作原理为：
气动泵1在压缩空气的驱动下开始工作，将化学液从供液桶10的底部吸入泵体，再压入到主循环管路中去。化学液首先经过过滤器5，完成对大颗粒的过滤，然后进入到加热器6中进行加热，而同时另一路（分支管路）通向摆臂的喷嘴管路中。被加热后的化学液继续沿主循环管路向前运动，经过冷却器7和节流阀8，通过调整节流阀8的开度，即可调整流向摆臂管路中化学液的流量。化学液经过节流阀8后再通过控制管路通断的第二两位两通药液阀9后，流回到供液桶10中，实现了完整的循环过程。供液桶10中的液体在不断地循环加热过程中，温度逐渐升高，当安装在供液桶10内的测温装置检测到供液桶10内的化学液体温度达到设定的温度时，将检测信号传递给控制器（本发明的控制器为现有技术），再由控制器发出指令使加热器6断电停止加热，直到测温装置检测到供液桶10内的化学液体温度低于设定温度时，加热器6再重新开始加热，从而维持化学液体温度保持在可接受精度范围内的小幅波动。本实施例的测温装置为温度传感器。当工艺单元中的摆臂需要喷洒化学液的时候，分支管路中的第四两位两通药液阀13开启，化学液从摆臂喷嘴流出，所需流量可以靠前端的流量计12来精确调整。
当供液桶10中的化学液慢慢减少而需要补充时，可将补液管插入到盛放化学液的容器的液面以下，然后将第二两位三通药液阀3切换到另一端，此时补液管端口与气动泵1相连，而供液桶10底部的管路端口与气动泵1的连接处于关闭状态；此时只要开启压缩空气使气动泵1工作，盛放化学液容器内的液体就会被吸入泵内，并沿主循环管路向前流动最终流入到供液桶10中；当供液桶10中的液体达到预期容积后，即可关闭气动泵1，并将第二两位三通药液阀3切换回原状态，恢复到补液前的状态。
当供液桶10中的液体由于某种原因需要排放而不再使用时，第一两位三通药液阀2切换位置，使气动泵1与排废管路14相连接，即可将供液桶10中的液体由排废管路14排出。当液体全部排净后，第一两位三通药液阀2恢复原位，等待下一次的循环供液。
当需要更换化学液或机台管路系统长时间未使用时，需要清洗整个的管路系统，此时可将第三两位两通药液阀11打开，厂务的去离子水加注到供液桶10中，再开启气动泵1进行管路的循环冲洗；经过一段时间的循环后可按化学液排废的动作顺序将去离子水排出，以上过程可重复若干次，直到管路彻底清洗干净为止，然后可加注新的化学液。
当需要过滤器5和加热器6快速排废时，将第二两位两通药液阀9关闭，过滤器5和加热器6底部的第一两位两通药液阀4打开，在气动泵1的作用下，过滤器5和加热器6中残留的液体可由底部加速排出。
本发明通过多组药液阀的组合控制，实现了整机的化学液供给与排放功能，从而保证设备化学液供应系统的自动运行。
Claims (5)
1.一种化学液供给系统，其特征在于：包括由气动泵（1）、过滤器（5）、加热器（6）、冷却器（7）、节流阀（8）及供液桶（10）依次相连形成的主循环管路和连通于加热器（6）与冷却器（7）之间的分支管路，所述气动泵（1）与过滤器（5）之间的管路上、节流阀（8）与供液桶（10）之间的管路上以及供液桶（10）与气动泵（1）之间的管路上分别设有控制管路通断的药液阀，所述供液桶（10）内的化学液由气动泵（1）泵入主循环管路内，通过所述过滤器（5）过滤、加热器（6）加热，被加热后的化学液经所述冷却器（7）和节流阀（8）流回所述供液桶（10）中；所述分支管路与向晶圆喷洒化学液的摆臂喷嘴管路相连通，在该分支管路上依次设有控制所述摆臂喷嘴管路所需流量的流量计（12）及控制管路通断的药液阀。
2.按权利要求1所述的化学液供给系统，其特征在于：所述气动泵（1）与过滤器（5）之间的药液阀为第一两位三通药液阀（2），该第一两位三通药液阀（2）上的两个端口分别通过管路与所述气动泵（1）及过滤器（5）相连通，第三个端口连通有排废管路（14），所述供液桶（10）中的液体可由该排废管路（14）排出。
3.按权利要求2所述的化学液供给系统，其特征在于：所述过滤器（5）与排废管路（14）之间通过管路相连，在所述管路上设有第一两位两通药液阀（4），过滤器（5）和加热器（6）中的残留液体通过气动泵（1）的作用经第一两位两通药液阀（4）、由所述排废管路（14）排出。
4.按权利要求1所述的化学液供给系统，其特征在于：所述气动泵（1）与供液桶（10）之间管路上设置的药液阀为第二两位三通药液阀（3），该第二两位三通药液阀（3）上的两个端口分别通过管路与所述气动泵（1）及供液桶（10）相连通，第三个端口通过补液管与盛放化学液的容器相连通，通过所述气动泵（1）的作用将所述容器内的化学液补充进所述供液桶（10）中。
5.按权利要求1所述的化学液供给系统，其特征在于：所述供液桶（10）连通有清洗整个管路的去离子水源，该去离子水源与供液桶（10）之间的管路上设有控制管路通断的药液阀。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111994864A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-11-27 | 东风商用车有限公司 | 气动式补液装置 |
| CN113793819A (zh) * | 2021-09-16 | 2021-12-14 | 长江存储科技有限责任公司 | 化学槽及其温度控制方法 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040221877A1 (en) * | 1997-05-09 | 2004-11-11 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for treating a workpiece with gases |
| JP2012178512A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
| CN102918641A (zh) * | 2010-05-24 | 2013-02-06 | 朗姆研究公司 | 用于半导体衬底支撑件的温度控制的装置和方法 |
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Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20040221877A1 (en) * | 1997-05-09 | 2004-11-11 | Semitool, Inc. | Process and apparatus for treating a workpiece with gases |
| CN102918641A (zh) * | 2010-05-24 | 2013-02-06 | 朗姆研究公司 | 用于半导体衬底支撑件的温度控制的装置和方法 |
| JP2012178512A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111994864A (zh) * | 2020-07-31 | 2020-11-27 | 东风商用车有限公司 | 气动式补液装置 |
| CN113793819A (zh) * | 2021-09-16 | 2021-12-14 | 长江存储科技有限责任公司 | 化学槽及其温度控制方法 |
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