CN104576332A - 一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶，该镓源瓶内设有石英载源体（5），其特征在于：所述石英载源体（5）放置在镓源瓶的中间部位，在石英载源体（5）的上沿外侧设有石英载源体侧翼（6），石英载源体侧翼（6）对应设置在石英载源体（5）的左右侧和/或前后侧使得石英载源体（5）能够固定嵌置在镓源瓶内。本发明通过设置石英载源体侧翼对石英载源体进行固定，操作方便且结构简单；进出气口挡板截面积的设置能够有效提高产品表面浓度的一致性和均匀性、提高参数一致性和产品的合格率，从而降低生产成本；镓源瓶和石英载源体的大小能够根据实际需求量来进行调整，故适宜在半导体硅片生产中推广使用。

Description

一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶
技术领域
 本发明涉及半导体工艺中镓扩散载镓源的镓源瓶，具体地说是一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶。
背景技术
在现有工艺上，一般半导体工艺中镓扩散载镓源的镓源瓶，其石英载源体为圆形，这样的圆形载源体很难固定在镓源瓶内，当操作时容易引起镓源的侧翻，且在进入镓源瓶中部时不易固定位置，从而引起硅片表面浓度不均匀而导致参数不一致，影响产品合格率和对挡率。
发明内容
本发明的目的是针对现有技术存在的缺陷，提供一种结构简单，操作方便的用于镓扩散载镓源的镓源瓶。
本发明的目的是通过以下技术方案解决的：
一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶，该镓源瓶内设有石英载源体，其特征在于：所述的石英载源体放置在镓源瓶的中间部位，在石英载源体的上沿外侧设有石英载源体侧翼，石英载源体侧翼对应设置在石英载源体的左右侧和/或前后侧使得石英载源体能够固定嵌置在镓源瓶内。
所述的石英载源体对应两侧的石英载源体侧翼的对应边沿之间垂直于镓源瓶轴线的连接线的长度与石英载源体侧翼位置处的镓源瓶的弦长相等，使得石英载源体侧翼能够固定嵌置石英载源体在镓源瓶内。
所述的石英载源体呈圆柱形、椭圆柱形、正方体形或长方体形中的一种或几种。
所述镓源瓶的进气口的上方设有进气口上挡板，且镓源瓶的出气口下方设有出气口下挡板，所述进气口上挡板和出气口下挡板位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。
所述的进气口上挡板和进气口位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。
所述的出气口下挡板和出气口位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。
所述的石英载源体、石英载源体侧翼、进气口上挡板和出气口下挡板以及镓源瓶的本体皆采用石英材料制成。
所述的镓源瓶设置在石英基座上。
本发明相比现有技术有如下优点：
本发明通过在石英载源体的上沿两侧或上沿四周设置石英载源体侧翼对石英载源体进行固定，操作方便且结构简单；进出气口挡板截面积的设置能够有效提高产品表面浓度的一致性和均匀性、提高参数一致性和产品的合格率，从而降低生产成本；另外能够根据实际需要设计成尺寸大小不同的镓扩散载镓源的镓源瓶，石英载源体的大小根据实际需求量来进行调整，故适宜在半导体硅片生产中推广使用。
附图说明
附图1为本发明的结构示意图；
附图2为附图1的截面结构示意图。
其中：1—进气口上挡板；2—出气口下挡板；3—进气口；4—出气口；5—石英载源体；6—石英载源体侧翼；7—石英基座。
具体实施方式
下面结合附图与实施例对本发明作进一步的说明。
如图1、图2所示：一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶，该镓源瓶内设有石英载源体5，放置在镓源瓶中间部位的石英载源体5呈圆柱形、椭圆柱形、正方体形或长方体形中的一种或几种，在石英载源体5的上沿外侧设有石英载源体侧翼6，石英载源体侧翼6对应设置在石英载源体5的左右侧和/或前后侧使得石英载源体5能够固定嵌置在镓源瓶内；具体来说，石英载源体5对应两侧的石英载源体侧翼6的对应边沿之间垂直于镓源瓶轴线的连接线的长度与石英载源体侧翼6位置处的镓源瓶的弦长相等，使得石英载源体侧翼6能够固定嵌置石英载源体5在镓源瓶内。另外镓源瓶的进气口3的上方设有进气口上挡板1，且镓源瓶的出气口4下方设有出气口下挡板2，所述进气口上挡板1和出气口下挡板2位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等；进一步的限定条件为：进气口上挡板1和进气口3位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等，出气口下挡板2和出气口4位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。
上述结构的镓源瓶设置在石英基座7上，且镓源瓶的本体以及石英载源体5、石英载源体侧翼6、进气口上挡板1和出气口下挡板2皆采用石英材料制成。
本发明的镓源瓶在使用时，首先将镓扩散载镓源的镓源瓶推入管道里端，在通气过程中，气体通过进气口3进入镓源瓶内，与固定在石英载源体5表面的镓源进行充分接触和分解反应，使气体携带的镓源通过出气口4进入管道内，均匀分布在管道内并与硅片接触，能够有效提高产品表面浓度的一致性和均匀性、提高参数一致性和合格率，从而降低生产成本。
本发明通过在石英载源体5的上沿两侧或上沿四周设置石英载源体侧翼6对石英载源体5进行固定，操作方便且结构简单；进出气口挡板截面积的设置能够有效提高产品表面浓度的一致性和均匀性、提高参数一致性和产品的合格率，从而降低生产成本；另外能够根据实际需要设计成尺寸大小不同的镓扩散载镓源的镓源瓶，石英载源体5的大小根据实际需求量来进行调整，故适宜在半导体硅片生产中推广使用。
以上实施例仅为说明本发明的技术思想，不能以此限定本发明的保护范围，凡是按照本发明提出的技术思想，在技术方案基础上所做的任何改动，均落入本发明保护范围之内；本发明未涉及的技术均可通过现有技术加以实现。

Claims (8)

1.一种用于镓扩散载镓源的镓源瓶，该镓源瓶内设有石英载源体（5），其特征在于：所述的石英载源体（5）放置在镓源瓶的中间部位，在石英载源体（5）的上沿外侧设有石英载源体侧翼（6），石英载源体侧翼（6）对应设置在石英载源体（5）的左右侧和/或前后侧使得石英载源体（5）能够固定嵌置在镓源瓶内。
2.根据权利要求1所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的石英载源体（5）对应两侧的石英载源体侧翼（6）的对应边沿之间垂直于镓源瓶轴线的连接线的长度与石英载源体侧翼（6）位置处的镓源瓶的弦长相等，使得石英载源体侧翼（6）能够固定嵌置石英载源体（5）在镓源瓶内。
3.根据权利要求1所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的石英载源体（5）呈圆柱形、椭圆柱形、正方体形或长方体形中的一种或几种。
4.根据权利要求1所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述镓源瓶的进气口（3）的上方设有进气口上挡板（1），且镓源瓶的出气口（4）下方设有出气口下挡板（2），所述进气口上挡板（1）和出气口下挡板（2）位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。
5.根据权利要求4所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的进气口上挡板（1）和进气口（3）位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。
6.根据权利要求4所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的出气口下挡板（2）和出气口（4）位于镓源瓶的开口截面处的截面积相等。
7.根据权利要求4所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的石英载源体（5）、石英载源体侧翼（6）、进气口上挡板（1）和出气口下挡板（2）以及镓源瓶的本体皆采用石英材料制成。
8.根据权利要求1所述的用于镓扩散载镓源的镓源瓶，其特征在于：所述的镓源瓶设置在石英基座（7）上。
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