CN104569369B - 液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法 - Google Patents

液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，包括在谐振式微悬臂梁上以光刻胶为牺牲层，光刻形成环状凹槽；沉积疏水材料，在环状凹槽中形成疏水侧壁作为敏感池，其余部分形成疏水薄膜；通过刻蚀图形化疏水材料，在疏水侧壁的外侧与疏水薄膜之间形成狭缝；从背面划片，去除光刻胶释放器件结构；将敏感材料注入敏感池结构中并固化形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。本发明利用聚对二甲苯薄膜保护谐振式微悬臂梁，狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得工作时，微悬臂梁上仅敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数和灵敏度。

Description

液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法
技术领域
本发明涉及微纳传感器领域，特别是涉及一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法。
背景技术
微纳生化传感器作为一种重要的生化检测手段，在环境监测、食品工业、医学诊断、国家安全等方面有着广泛的应用。基于MEMS工艺制造的谐振式微悬臂梁生化传感器是目前传感器前沿研究领域的一个热点。谐振式微悬臂梁传感器属于质量型传感器，本身具有灵敏度高、功耗低、抗干扰性强等优点。与石英晶体微天平(QCM，QuartzCrystalMicrobalance)等其他谐振式传感器以及电化学传感器相比，谐振式微悬臂梁传感器同时具有与IC工艺兼容、可大批量生产、可集成、微型化、成本低、可阵列化等种种优点，在高性能便携式分析仪器上具有很大的应用前景。
一般来说，微悬臂梁传感器主要由微悬臂梁、敏感膜和接口电路组成。其工作原理如下：在微悬臂梁表面固定特异性敏感膜，当敏感膜对目标分子发生特异性吸附后，会引起悬臂梁的质量增加，从而导致悬臂梁的谐振频率下降。通过接口电路监测谐振频率下降的数值，并根据该传感器的设计质量检测灵敏度，便可以得到吸附的目标分子的质量。传统的谐振式微悬臂梁传感器一般用于气相检测，很少用于液相检测。这是由于在液相环境工作时，谐振式微悬臂梁受到的阻尼相比气相环境下大大增加，因此一般情况下液体环境中的Q值将比气相环境下低2个数量级以上，从而导致灵敏度大大下降。而大量的生物和化学检测和分析是要在液相环境下完成的，这对谐振式微悬臂梁的设计提出了挑战。
发明内容
鉴于以上所述现有技术的缺点，本发明的目的在于提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，用于解决现有技术中用于液相检测的谐振式微悬臂梁传感器受到的阻尼相比气相环境下大大增加，从而导致灵敏度大大下降的问题。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，所述液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器至少包括：
谐振式微悬臂梁，所述谐振式微悬臂梁的上表面设置有疏水薄膜，所述疏水薄膜与所述谐振式微悬臂梁之间形成空腔；所述谐振式微悬臂梁的敏感区域上方的所述疏水薄膜上开设有一凹孔，所述凹孔内设置有敏感池结构；所述敏感池结构由所述谐振式微悬臂梁及疏水侧壁围成，所述疏水侧壁与所述疏水薄膜之间形成一圈狭缝。
优选地，所述谐振式微悬臂梁的工作模态为一阶弯曲模态、扭转模态、平面内振动模态或更高阶的弯曲模态、扭转模态、平面内振动模态。
优选地，所述谐振式微悬臂梁的材料为结晶半导体、聚合物、硅化合物中的一种或者以上多种材料的复合。
优选地，所述谐振式微悬臂梁的形状为直条形、U形、T形、三角形、音叉形中的一种或组合。
优选地，所述谐振式微悬臂梁的激励方式为电磁激励、静电激励、逆压电激励、电热激励、光热激励或噪声自激励。
优选地，所述谐振式微悬臂梁的检测方式为压电拾振、电容拾振、电磁拾振、光信号拾振或压敏电阻拾振。
优选地，所述疏水薄膜及所述疏水侧壁的材料为聚对二甲苯。
优选地，所述狭缝的宽度设定为2μm～12μm。
优选地，所述谐振式微悬臂梁的敏感区域为所述谐振式微悬臂梁的自由端。
优选地，所述疏水侧壁的高度与所述疏水薄膜上表面齐平。
优选地，所述敏感池结构中填充有敏感材料。
为实现上述目的及其他相关目的，本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的制备方法，所述液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的制备方法至少包括以下步骤：
步骤一：制作形成谐振式微悬臂梁，在所述谐振式微悬臂梁上涂光刻胶后进行光刻，以在所述谐振式微悬臂梁的敏感区域上形成环状凹槽；
步骤二：在所述谐振式微悬臂梁及所述光刻胶上沉积疏水材料，以光刻胶为掩模刻蚀所述疏水材料，以形成疏水侧壁及疏水薄膜，所述疏水侧壁位于所述环状凹槽中，其高度与所述疏水薄膜的上表面齐平，所述疏水侧壁的外侧与所述疏水薄膜之间存在狭缝；
步骤三：从背面划片，然后去除所述光刻胶，释放器件结构，以形成所述疏水薄膜和所述谐振式微悬臂梁之间的空腔，以及由所述疏水侧壁围成的敏感池结构；
步骤四：将敏感材料注入所述敏感池结构中并固化，最终形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。
优选地，步骤一中采用旋涂或喷涂的方式将所述光刻胶涂于所述谐振式微悬臂梁上，所述光刻胶的厚度设定为1μm～30μm。
优选地，步骤一中所述环状凹槽的宽度设定为4μm～10μm。
优选地，所述疏水薄膜的厚度设定为4μm～20μm。
优选地，采用氧等离子体刻蚀方法刻蚀所述疏水材料，所述氧等离子体刻蚀对所述疏水材料和所述光刻胶的刻蚀选择比为1:1.3。
优选地，步骤四具体包括采用喷墨滴涂或者手工涂覆的方式注入所述敏感材料，并利用烘箱固化所述敏感材料。
如上所述，本发明的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，具有以下有益效果：
本发明的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器利用防水的聚对二甲苯(parylene)薄膜保护谐振式微悬臂梁，特别设计的狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得在液相检测工作时，微悬臂梁上仅固定了敏感材料的敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数(Q值)和灵敏度。
附图说明
图1显示为本发明的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器制备方法的流程示意图。
图2～图6显示为本发明的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器制备方法各步骤示意图。
图7显示为本发明的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的原理示意图。
图8显示为本发明的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的检测结果示意图。
元件标号说明
1谐振式微悬臂梁
2光刻胶
3疏水侧壁
31敏感池结构
4疏水薄膜
5敏感材料
6待测液体样本
S1～S4步骤一～步骤四
具体实施方式
以下通过特定的具体实例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本发明的其他优点与功效。本发明还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本发明的精神下进行各种修饰或改变。
请参阅图1～图8。需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
实施例一：
以电热激励、压阻检测的一阶弯曲模态谐振式微悬臂梁为换能器，以对P＝O键敏感的氟化苯酚修饰的超支化聚合物为敏感材料，形成液相检测谐振式微悬臂梁有机磷化学传感器。如图1～图8所示，所述液相检测谐振式微悬臂梁有机磷化学传感器的制备方法包括以下步骤：
步骤一S1：制作形成谐振式微悬臂梁1，在所述谐振式微悬臂梁1上涂光刻胶2后进行光刻，以在所述谐振式微悬臂梁1的敏感区域上形成环状凹槽。
在本实施例中，首先制造完成集成了电热激励、压阻检测元件的谐振式微悬臂梁1(期刊J.Micromech.Microeng.,2009,19,045023公开了集成电热激励、压阻检测元件的谐振式微悬臂梁，本实施例中不一一赘述)，并通过器件设计确保所述谐振式微悬臂梁1的所有边缘与周围结构的间距不大于5μm，从而保证后续涂胶工艺时光刻胶不渗漏到所述谐振式微悬臂梁1的下方，制造完成的微悬臂梁暂不划片(所述谐振式微悬臂梁在硅圆片上)。具体地，如图2所示，所述谐振式微悬臂梁1的自由端为敏感区域11，易发生形变。在所述谐振式微悬臂梁1上旋涂或喷涂光刻胶2。所述光刻胶2的厚度决定了后续疏水薄膜与所述谐振式微悬臂梁的上表面的间距，可以根据需要来确定，优选为1μm～30μm，在本实施例中，所述光刻胶2的厚度设定为12μm。对所述光刻胶2进行光刻，以形成作为牺牲层的光刻胶图形。如图3所示，所述谐振式微悬臂梁1的敏感区域上的光刻胶2被去除，形成环状凹槽，所述环状凹槽的宽度设定为4μm～10μm，在本实施例中，所述环状凹槽的宽度设定为4μm。
步骤二S2：在所述谐振式微悬臂梁1及所述光刻胶2上沉积疏水材料，以光刻胶为掩模刻蚀所述疏水材料，以形成疏水侧壁3及疏水薄膜4，所述疏水侧壁3位于所述环状凹槽中，其高度与所述疏水薄膜4的上表面齐平，所述疏水侧壁3的外侧与所述疏水薄膜4之间存在狭缝。
采用气相沉积的方法在所述谐振式微悬臂梁1及所述光刻胶2上制备疏水材料，在本实施例中，所述疏水材料为聚对二甲苯。所述疏水材料的厚度足以保证所述疏水材料形成的薄膜不塌陷即可，优选为4μm～20μm，在本实施例中，所述疏水材料的厚度设定为6μm。然后以光刻胶为掩模，采用氧等离子体刻蚀的方法刻蚀所述疏水材料，氧等离子体刻蚀对所述疏水材料和光刻胶的刻蚀选择比接近1:1.3左右。如图4所示，形成疏水侧壁3及疏水薄膜4，所述疏水侧壁3位于所述环状凹槽中，其高度与所述疏水薄膜4的上表面齐平，所述疏水侧壁3内侧的疏水材料被去除，所述疏水侧壁3外侧的疏水材料同样被去除，在所述疏水侧壁3与所述疏水薄膜4之间形成环状狭缝，所述狭缝的宽度设定为2μm～12μm，在本实施例中，所述狭缝的宽度设定为10μm。
步骤三S3：从背面划片，然后去除所述光刻胶2，释放器件结构以形成所述疏水薄膜4和所述谐振式微悬臂梁1之间的空腔，以及由所述疏水侧壁3围成的敏感池结构。
从背面划片，然后使用PRS-3000有机去胶液去除所有光刻胶2，释放器件结构，如图5所示，所述疏水薄膜4与所述谐振式微悬臂梁1之间形成空腔，所述谐振式微悬臂梁1可自由振动；所述疏水侧壁3围成敏感池结构31。
步骤四S4：将敏感材料注入所述敏感池结构31中并固化，最终形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。
在光学显微镜下(在本实施例中采用Leica公司的DM4000型光学显微镜)，利用显微操作系统(在本实施例中采用Eppendorf公司的PatchManNP2操作系统)，将配制好的氟化苯酚修饰的超支化聚合物的四氢呋喃溶液滴涂或者手工涂覆于所述敏感池结构31中(所述敏感池结构的大小为40μm×40μm)，置于50℃的烘箱中老化2小时，即可制得以氟化苯酚修饰的超支化聚合物为敏感材料、以谐振式微悬臂梁为换能器的液相检测有机磷化学传感器，如图6所示。
液相检测有机磷化学传感器对乙酰甲胺磷水溶液的测试：使用的分析纯的乙酰甲胺磷，将其通过多次稀释配制成体积浓度为10ppm(partpermillion,百万分之一)的水溶液作为标准样品液。首先在所述液相检测有机磷化学传感器上滴上0.1mL的去离子水，以频率计及锁相环电路同步采集所述液相检测有机磷化学传感器的谐振频率值。然后使用微量移液器将1μL配制好的标准样品液注入到所述液相检测有机磷化学传感器上的去离子水中，此时所述液相检测有机磷化学传感器接触的待测液体样本6浓度为100ppb(partperbillion，十亿分之一)，如图7所示。基于氢键作用原理(即敏感材料表面的羟基功能团与乙酰甲胺磷中的磷酰键之间的作用)，所述液相检测有机磷化学传感器表面具有高比表面积的功能化超支化聚合物材料将吸附大量的乙酰甲胺磷分子，这些吸附的分子将会使所述液相检测有机磷化学传感器的谐振频率产生降低，通过检测所述液相检测有机磷化学传感器的谐振频率即可对乙酰甲胺磷溶液进行现场实时检测。如图8所示记录了所述液相检测有机磷化学传感器对连续4次注入1μL标准样品液的检测结果：每次注入后，所述液相检测有机磷化学传感器在大约30秒后谐振频率下降大约50赫兹(比所述液相检测有机磷化学传感器的噪声水平大10倍以上)。
实施例二：
以电磁激励、压阻检测的高阶扭转模态谐振式微悬臂梁为换能器，以对氨基敏感的羧基功能化的介孔材料为敏感材料，形成的液相检测谐振式微悬臂梁胺类化学传感器。
在集成了电磁激励、压阻检测元件的高阶扭转模态谐振式微悬臂梁(申请号为200610023320的专利公开了该谐振式微悬臂梁)制造完成后(未划片)，采用同实施实例一相同的样步骤，形成传感器结构。将羧基功能化的介孔材料(申请号为201110044289的专利公开了该介质孔材料)滴涂于微悬臂梁的敏感池结构中，置于50℃的烘箱中老化2小时，即可制得以羧基功能化的介孔材料为敏感材料、以电磁激励、压阻检测的高阶扭转模态谐振式微悬臂梁为换能器的液相检测胺类化学传感器。
实施例三：
以电热激励、压阻检测的平面内振动模态谐振式微悬臂梁为换能器，以双链DNA为敏感材料，形成的谐振式微悬臂梁基因检测生物传感器。
在集成了电热激励、压阻检测的平面内振动模态谐振式微悬臂梁(申请号为201110072710的专利公开了该谐振式微悬臂梁)制造完成后(未划片)，采用同实施实例一相同的步骤，形成传感器结构。利用专利“一种用于基因检测的质量型传感器及其制备方法和应用”(申请号：201110044289)中的方法，将双链DNA自组装生长于微悬臂梁的“敏感池”中，即可制得谐振式微悬臂梁基因检测生物传感器。
以上方法制得的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器结构如下，至少包括：
谐振式微悬臂梁1，所述谐振式微悬臂梁1的上表面设置有疏水薄膜4，所述疏水薄膜4与所述谐振式微悬臂梁1之间形成空腔。在本实施例中，所述疏水薄膜4的材料为聚对二甲苯。所述谐振式微悬臂梁1的敏感区域11上方的所述疏水薄膜4上开设有一凹孔，所述凹孔内设置有敏感池结构31；所述敏感池结构31由所述谐振式微悬臂梁1及疏水侧壁3围成，在本实施例中，所述疏水侧壁3的材料为聚对二甲苯。所述疏水侧壁3与所述疏水薄膜4之间形成一圈狭缝，所述狭缝的宽度设定为2μm～12μm，确保液体无法进入所述疏水薄膜4下方。
敏感材料5固定在所述敏感池结构31中，可以与待测液体样本6接触；而微悬臂梁其余部分均暴露在空气环境下，并且不与上方的疏水薄膜4接触，可以自由振动。
液相检测工作时，谐振式微悬臂梁上仅固定了敏感材料的敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的Q值和灵敏度。
本发明所述的液相检测的谐振式微悬臂梁传感器使用谐振式微悬臂梁作为质量敏感元件(换能器)。谐振式微悬臂梁作为换能器，其特征在于其工作模态可以为基础弯曲模态，也可以为高阶模态，如二阶弯曲模态、扭转模态、平面内振动模态或更高阶的弯曲模态、扭转模态、平面内振动模态等；其材料可以为结晶半导体、聚合物，也可以是硅化合物或者以上多种材料的复合；其形状为规则形状，如直条形、U形、T形、三角形、音叉形等；其激励方式可以为电磁激励、静电激励、逆压电激励、电热激励、光热激励及噪声自激励；其检测方式可以为压电拾振、电容拾振、电磁拾振、光信号拾振以及压敏电阻拾振。
本发明的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器利用防水的聚对二甲苯(parylene)薄膜保护谐振式微悬臂梁，特别设计的狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得在液相检测工作时，微悬臂梁上仅固定了敏感材料的敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数(Q值)和灵敏度。且本发明所述的方法，易于操作、造价低廉、可以批量生产、方法先进。
综上所述，本发明提供一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器及其制备方法，至少包括：制作形成谐振式微悬臂梁，在所述谐振式微悬臂梁上涂光刻胶后进行光刻，以在所述谐振式微悬臂梁的敏感区域上形成环状凹槽；在所述谐振式微悬臂梁及所述光刻胶上沉积疏水材料，刻蚀所述疏水材料以形成疏水侧壁及疏水薄膜，所述疏水侧壁位于所述环状凹槽中，其高度与所述疏水薄膜的上表面齐平，所述疏水侧壁的外侧与所述疏水薄膜之间存在狭缝；从背面划片，然后去除所述光刻胶，释放器件结构以形成所述疏水薄膜和所述谐振式微悬臂梁之间的空腔，以及由所述疏水侧壁围成的敏感池结构；将敏感材料注入所述敏感池结构中并固化，最终形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。该液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器包括谐振式微悬臂梁，所述谐振式微悬臂梁的上表面设置有疏水薄膜，所述疏水薄膜与所述谐振式微悬臂梁之间形成空腔；所述谐振式微悬臂梁的敏感区域上方的所述疏水薄膜上开设有一凹孔，所述凹孔内设置有敏感池结构；所述敏感池结构由所述谐振式微悬臂梁及疏水侧壁围成，所述疏水侧壁与所述疏水薄膜之间形成一圈狭缝。本发明的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器利用防水的聚对二甲苯(parylene)薄膜保护谐振式微悬臂梁，特别设计的狭缝结构有效防止液体进入聚对二甲苯薄膜下方接触微悬臂梁，从而使得在液相检测工作时，微悬臂梁上仅固定了敏感材料的敏感区域接触待测液体样品，其余部分均工作在空气环境下，从而大大减小了阻尼，提高了传感器的品质因数(Q值)和灵敏度。所以，本发明有效克服了现有技术中的种种缺点而具高度产业利用价值。
上述实施例仅例示性说明本发明的原理及其功效，而非用于限制本发明。任何熟悉此技术的人士皆可在不违背本发明的精神及范畴下，对上述实施例进行修饰或改变。因此，举凡所属技术领域中具有通常知识者在未脱离本发明所揭示的精神与技术思想下所完成的一切等效修饰或改变，仍应由本发明的权利要求所涵盖。

Claims (17)

1.一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于，所述液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器至少包括：
谐振式微悬臂梁，所述谐振式微悬臂梁的上表面设置有疏水薄膜，所述疏水薄膜与所述谐振式微悬臂梁之间形成空腔；所述谐振式微悬臂梁的敏感区域上方的所述疏水薄膜上开设有一凹孔，所述凹孔内设置有敏感池结构；所述敏感池结构由所述谐振式微悬臂梁及疏水侧壁围成，所述疏水侧壁与所述疏水薄膜之间形成一圈狭缝。
2.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述谐振式微悬臂梁的工作模态为一阶弯曲模态、扭转模态、平面内振动模态或更高阶的弯曲模态、扭转模态、平面内振动模态。
3.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述谐振式微悬臂梁的材料为结晶半导体、聚合物、硅化合物中的一种或者以上多种材料的复合。
4.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述谐振式微悬臂梁的形状为直条形、U形、T形、三角形、音叉形中的一种或组合。
5.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述谐振式微悬臂梁的激励方式为电磁激励、静电激励、逆压电激励、电热激励、光热激励或噪声自激励。
6.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述谐振式微悬臂梁的检测方式为压电拾振、电容拾振、电磁拾振、光信号拾振或压敏电阻拾振。
7.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述疏水薄膜及所述疏水侧壁的材料为聚对二甲苯。
8.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述狭缝的宽度设定为2μm～12μm。
9.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述谐振式微悬臂梁的敏感区域为所述谐振式微悬臂梁的自由端。
10.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述疏水侧壁的高度与所述疏水薄膜上表面齐平。
11.根据权利要求1所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器，其特征在于：所述敏感池结构中填充有敏感材料。
12.一种液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的制备方法，其特征在于，所述液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的制备方法包括以下步骤：
步骤一：制作形成谐振式微悬臂梁，在所述谐振式微悬臂梁上涂光刻胶后进行光刻，以在所述谐振式微悬臂梁的敏感区域上形成环状凹槽；
步骤二：在所述谐振式微悬臂梁及所述光刻胶上沉积疏水材料，刻蚀所述疏水材料以形成疏水侧壁及疏水薄膜，所述疏水侧壁位于所述环状凹槽中，其高度与所述疏水薄膜的上表面齐平，所述疏水侧壁的外侧与所述疏水薄膜之间存在狭缝；
步骤三：从背面划片，然后去除所述光刻胶，释放器件结构以形成所述疏水薄膜和所述谐振式微悬臂梁之间的空腔，以及由所述疏水侧壁围成的敏感池结构；
步骤四：将敏感材料注入所述敏感池结构中并固化，最终形成液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器。
13.根据权利要求12所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的制备方法，其特征在于：步骤一中采用旋涂或喷涂的方式将所述光刻胶涂于所述谐振式微悬臂梁上，所述光刻胶的厚度设定为1μm～30μm。
14.根据权利要求12所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的制备方法，其特征在于：步骤一中所述环状凹槽的宽度设定为4μm～10μm。
15.根据权利要求12所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的制备方法，其特征在于：所述疏水薄膜的厚度设定为4μm～20μm。
16.根据权利要求12所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的制备方法，其特征在于：采用氧等离子体刻蚀方法刻蚀所述疏水材料，所述氧等离子体刻蚀对所述疏水材料和所述光刻胶的刻蚀选择比为1:1.3。
17.根据权利要求12所述的液相检测的谐振式微悬臂梁生化传感器的制备方法，其特征在于：步骤四具体包括采用喷墨滴涂或者手工涂覆的方式注入所述敏感材料，并利用烘箱固化所述敏感材料。
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